JPH06201338A - 外観状態検査方法 - Google Patents
外観状態検査方法Info
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- JPH06201338A JPH06201338A JP35902592A JP35902592A JPH06201338A JP H06201338 A JPH06201338 A JP H06201338A JP 35902592 A JP35902592 A JP 35902592A JP 35902592 A JP35902592 A JP 35902592A JP H06201338 A JPH06201338 A JP H06201338A
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 一般部品の外観検査方法に係り、特に、各種
条件にフレキシブルに対応する電子部品の基板実装後の
はんだ付け状態の検査方法に関する。 【構成】 本発明は上記の問題を解決するために、被検
査物品のを発光手段により照射し、撮像カメラ等のセン
サにより、撮像し、電気信号に変換する。更に、この電
気信号は画像処理手段により、形状情報コ−ドデ−タ
(すなわち、立体形状のデータ)のパターンと濃淡階調
分布デ−タのパターンが作成される。このそれぞれのパ
ターンデ−タをもとに、被検査物品の外観状態を正確に
把握し、検査、判断する学習認識機能をもったニュ−ロ
コンピュ−タの手段により構成される。
条件にフレキシブルに対応する電子部品の基板実装後の
はんだ付け状態の検査方法に関する。 【構成】 本発明は上記の問題を解決するために、被検
査物品のを発光手段により照射し、撮像カメラ等のセン
サにより、撮像し、電気信号に変換する。更に、この電
気信号は画像処理手段により、形状情報コ−ドデ−タ
(すなわち、立体形状のデータ)のパターンと濃淡階調
分布デ−タのパターンが作成される。このそれぞれのパ
ターンデ−タをもとに、被検査物品の外観状態を正確に
把握し、検査、判断する学習認識機能をもったニュ−ロ
コンピュ−タの手段により構成される。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は一般部品の外観検査方法
に係り、特に、電子部品の基板実装後のはんだ付け状態
の検査方法に関する。
に係り、特に、電子部品の基板実装後のはんだ付け状態
の検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】立体形状としての被検査対象品の一例と
して、従来の装置には特開61−41906号公報に記
載のように、被検査対象であるはんだ付け部に異なった
複数の光源光を照射し、はんだ付け面に対して、その都
度得られる反射面の値の変化を、受光素子またはテレビ
カメラによりはんだ付け面の幾つかの傾斜面の画像情報
を得る(以下段差照明装置と称す)。この種々の画像情
報を数値的演算処理により判断基準を作り高度のソフト
により、はんだの状態別、例えば、はんだ付けの良、不
足、過剰、ぬれ不良、無し、リ−ド浮き、リ−ドずれ、
異常などに分類し判定をしていた。
して、従来の装置には特開61−41906号公報に記
載のように、被検査対象であるはんだ付け部に異なった
複数の光源光を照射し、はんだ付け面に対して、その都
度得られる反射面の値の変化を、受光素子またはテレビ
カメラによりはんだ付け面の幾つかの傾斜面の画像情報
を得る(以下段差照明装置と称す)。この種々の画像情
報を数値的演算処理により判断基準を作り高度のソフト
により、はんだの状態別、例えば、はんだ付けの良、不
足、過剰、ぬれ不良、無し、リ−ド浮き、リ−ドずれ、
異常などに分類し判定をしていた。
【0003】上記従来技術は、特に、立体形状としての
被検査対象品の一例として、例えばはんだ表面状態の多
様性、及びその進展性、柔軟性について考慮されていな
い。つまり、実装基板に搭載する電子部品はより一層高
密度化され、小形化され、はんだ付け技術は進歩し、ま
た、当該基板の採用先により、その都度、はんだ付けの
良否判定基準は変化する。従って、その毎に画像情報の
数値的演算処理内容を変更する必要がある。
被検査対象品の一例として、例えばはんだ表面状態の多
様性、及びその進展性、柔軟性について考慮されていな
い。つまり、実装基板に搭載する電子部品はより一層高
密度化され、小形化され、はんだ付け技術は進歩し、ま
た、当該基板の採用先により、その都度、はんだ付けの
良否判定基準は変化する。従って、その毎に画像情報の
数値的演算処理内容を変更する必要がある。
【0004】しかし、これらの検討は大変に手間の掛か
るものであり、非常に困難である。また、この判定基準
を設定することは種々のノウハウの積み重ねが必要であ
るため高度の解析判定ソフトが必要であり、また、その
判定基準の設定は大変困難であり判定も微妙である。こ
のため判定が不十分であったり、時により検査結果に大
きなバラツキが出る為に検査精度が低下するという問題
もあった。また、判定処理時間も長くなり問題であっ
た。一方、これらの問題点を解決する方法として、ニュ
ーラルネットワークを応用した検査装置が提案されてい
る。その一例として、例えば、特願平3−81206号
がある。 この発明は段差照明を使用した検査装置で、
立体形状コ−ドデ−タをニューロコンピュータ処理して
いる。このため、ニューラルネットワークによる学習機
能の効果により、微妙な判定基準の設定が可能になっ
た。
るものであり、非常に困難である。また、この判定基準
を設定することは種々のノウハウの積み重ねが必要であ
るため高度の解析判定ソフトが必要であり、また、その
判定基準の設定は大変困難であり判定も微妙である。こ
のため判定が不十分であったり、時により検査結果に大
きなバラツキが出る為に検査精度が低下するという問題
もあった。また、判定処理時間も長くなり問題であっ
た。一方、これらの問題点を解決する方法として、ニュ
ーラルネットワークを応用した検査装置が提案されてい
る。その一例として、例えば、特願平3−81206号
がある。 この発明は段差照明を使用した検査装置で、
立体形状コ−ドデ−タをニューロコンピュータ処理して
いる。このため、ニューラルネットワークによる学習機
能の効果により、微妙な判定基準の設定が可能になっ
た。
【発明が解決しようとする課題】これら従来方法におい
て、より微細な平面の状態を把握することは、照明の段
数を増加させなければならず、装置の構成が複雑になる
ばかりではなく、処理時間も長くなり、実用上の問題が
多い。
て、より微細な平面の状態を把握することは、照明の段
数を増加させなければならず、装置の構成が複雑になる
ばかりではなく、処理時間も長くなり、実用上の問題が
多い。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の問題を解
決するために、被検査物品のを発光手段により照射し、
撮像カメラ等のセンサにより、撮像し、電気信号に変換
する。更に、この電気信号は画像処理手段により、形状
情報コ−ドデ−タ(すなわち、立体形状のデータ)のパ
ターンと濃淡階調分布デ−タのパターンが作成される。
このそれぞれのパターンデ−タをもとに、被検査物品の
外観状態を正確に把握し、検査、判断する学習認識機能
をもったニュ−ロコンピュ−タの手段により構成され
る。
決するために、被検査物品のを発光手段により照射し、
撮像カメラ等のセンサにより、撮像し、電気信号に変換
する。更に、この電気信号は画像処理手段により、形状
情報コ−ドデ−タ(すなわち、立体形状のデータ)のパ
ターンと濃淡階調分布デ−タのパターンが作成される。
このそれぞれのパターンデ−タをもとに、被検査物品の
外観状態を正確に把握し、検査、判断する学習認識機能
をもったニュ−ロコンピュ−タの手段により構成され
る。
【0006】
【作用】発光手段とセンサによりえられた被検査物品の
形状情報コ−ドデ−タ(すなわち、立体形状のデータ)
のパターンと濃淡階調分布デ−タのパターンは、ニュー
ロコンピュータ内で、被検査物品の判定基準と検出デー
タとの関係を対応させながら、対象品の外観状態の各種
レベルの豊富なデ−タにより学習させニュ−ロコンピュ
−タ内のネットワ−クが最適な判断構成となるように重
み付けされ、構成される。このように、ニュ−ロコンピ
ュ−タは、形状情報と濃淡階調分布の2つデ−タにより
微妙な形状の変化にも対応し、最適に判断を行うもので
ある。
形状情報コ−ドデ−タ(すなわち、立体形状のデータ)
のパターンと濃淡階調分布デ−タのパターンは、ニュー
ロコンピュータ内で、被検査物品の判定基準と検出デー
タとの関係を対応させながら、対象品の外観状態の各種
レベルの豊富なデ−タにより学習させニュ−ロコンピュ
−タ内のネットワ−クが最適な判断構成となるように重
み付けされ、構成される。このように、ニュ−ロコンピ
ュ−タは、形状情報と濃淡階調分布の2つデ−タにより
微妙な形状の変化にも対応し、最適に判断を行うもので
ある。
【0007】
【実施例】以下に本発明による立体形状の被検査対象品
の一例として、はんだ付けの状態の外観検査装置の一実
施例について図面により詳細に説明する。図1は、はん
だ付けの状態検査装置の主要部簡略構成図である。同図
において、電子部品がはんだ付けされた実装基板1の上
方には被検査はんだ付け部への照射角度が変えられる光
源として複数の環状の照明装置11、13、15、17
を配置している。更に撮像カメラ2、2’を上方に配置
し、この撮像カメラ2、または2’は画像処理装置3、
4及び認識判定装置5に接続される。各照明装置は最初
に設定された一定の明るさに保持されている。尚、実装
基板1上面においては電子部品のリ−ド部21とはんだ
付け部22の側断面図を示してある。
の一例として、はんだ付けの状態の外観検査装置の一実
施例について図面により詳細に説明する。図1は、はん
だ付けの状態検査装置の主要部簡略構成図である。同図
において、電子部品がはんだ付けされた実装基板1の上
方には被検査はんだ付け部への照射角度が変えられる光
源として複数の環状の照明装置11、13、15、17
を配置している。更に撮像カメラ2、2’を上方に配置
し、この撮像カメラ2、または2’は画像処理装置3、
4及び認識判定装置5に接続される。各照明装置は最初
に設定された一定の明るさに保持されている。尚、実装
基板1上面においては電子部品のリ−ド部21とはんだ
付け部22の側断面図を示してある。
【0008】図2は図1の実装基板1を拡大したはんだ
付け部側面図を示したものである。同図において、1
a、3a、5a、7aは各段各照明装置11、13、1
5、17を順次切り替えた場合の入射光、1b、3b、
5b、7bは同じく反射光である。この入射光と反射光
の関連からはんだめんの傾斜角度を求めることができ
る。
付け部側面図を示したものである。同図において、1
a、3a、5a、7aは各段各照明装置11、13、1
5、17を順次切り替えた場合の入射光、1b、3b、
5b、7bは同じく反射光である。この入射光と反射光
の関連からはんだめんの傾斜角度を求めることができ
る。
【0009】図3は電子部品のリ−ド部21とはんだ付
け部22の平面図を示している。同図の二点鎖線であら
わしたほぼ正方形の枠23は撮像カメラ2、または2’
の撮像取り込み検査する窓枠の範囲を示す。なお、図1
から3については特願平3−81206号に詳細に説明
されている
け部22の平面図を示している。同図の二点鎖線であら
わしたほぼ正方形の枠23は撮像カメラ2、または2’
の撮像取り込み検査する窓枠の範囲を示す。なお、図1
から3については特願平3−81206号に詳細に説明
されている
【0010】図4は画像処理装置3から得たはんだ付け
状態の形状情報コ−ドと、その濃淡階調分布デ−タの例
を示す。同図において、濃淡階調分布デ−タは、多段照
明装置11、13、15、17を順次切り替え、撮像カ
メラ2、または2’から得た撮影画像を、画像処理装置
3により、相対値演算し正規化したのち、はんだ面から
の相対的に反射率の高い箇所の領域を摘出し、画像処理
装置4により、各画像データを合成して再構築し表した
ものである。各画素毎に、形状のコ−ドデ−タ番号Nc
と濃淡階調デ−タ値Mを、[Nc−M]にて表す。
状態の形状情報コ−ドと、その濃淡階調分布デ−タの例
を示す。同図において、濃淡階調分布デ−タは、多段照
明装置11、13、15、17を順次切り替え、撮像カ
メラ2、または2’から得た撮影画像を、画像処理装置
3により、相対値演算し正規化したのち、はんだ面から
の相対的に反射率の高い箇所の領域を摘出し、画像処理
装置4により、各画像データを合成して再構築し表した
ものである。各画素毎に、形状のコ−ドデ−タ番号Nc
と濃淡階調デ−タ値Mを、[Nc−M]にて表す。
【0011】例えば、[1c−数値]は照明装置11で
照射した場合の相対的に反射率の高い箇所の領域の形状
情報コード番号とその濃淡階調デ−タ値を示し、[3c
−数値]は照明装置13で照射した場合の相対的に反射
率の高い箇所の領域の形状情報コード番号とその濃淡階
調デ−タ値を示す。このように画像処理装置4により各
照明に対応した各撮像デ−タは合成作成される。従っ
て、図4は、はんだ付け上面より見た形状情報コード番
号と濃淡階調分布デ−タ例を示していることになる。な
お、[Nc−M]の、形状情報コード番号2cは多段多
照明装置11、13の中間値コ−ド番号、4cは多段多
照明装置13、15の中間値、コ−ド番号6cは多段多
照明装置15、17の中間値を画像処理装置3、4によ
り求め設定したものである。このときの濃淡階調デ−タ
値Mはそれぞれの両者の多段多照明装置による和で表わ
されている。
照射した場合の相対的に反射率の高い箇所の領域の形状
情報コード番号とその濃淡階調デ−タ値を示し、[3c
−数値]は照明装置13で照射した場合の相対的に反射
率の高い箇所の領域の形状情報コード番号とその濃淡階
調デ−タ値を示す。このように画像処理装置4により各
照明に対応した各撮像デ−タは合成作成される。従っ
て、図4は、はんだ付け上面より見た形状情報コード番
号と濃淡階調分布デ−タ例を示していることになる。な
お、[Nc−M]の、形状情報コード番号2cは多段多
照明装置11、13の中間値コ−ド番号、4cは多段多
照明装置13、15の中間値、コ−ド番号6cは多段多
照明装置15、17の中間値を画像処理装置3、4によ
り求め設定したものである。このときの濃淡階調デ−タ
値Mはそれぞれの両者の多段多照明装置による和で表わ
されている。
【0012】図5は、はんだ付け上面より示した詳細デ
−タ(すなわち、図4)の結果を入力し、認識判定処理
し、各種のはんだ付け状態別に分類し出力する認識判定
装置5の構成図を示す。同図において認識判定装置5の
構成はニュ−ラルネットワ−ク31の一種である学習形
階層式パ−セプトロンからなる、ニュ−ロコンピュ−タ
32である。
−タ(すなわち、図4)の結果を入力し、認識判定処理
し、各種のはんだ付け状態別に分類し出力する認識判定
装置5の構成図を示す。同図において認識判定装置5の
構成はニュ−ラルネットワ−ク31の一種である学習形
階層式パ−セプトロンからなる、ニュ−ロコンピュ−タ
32である。
【0013】入力デ−タ、すなわち、形状情報コードデ
−タと、濃淡階調分布デ−タは区分して入力される。な
お、この場合の濃淡階調分布デ−タは、多段照明装置1
3、15、17の照明・反射から得られる階調デ−タ値
(形状情報コードデ−タの3c以上に対応の)が選択さ
れ入力される。逆に、はんだ付けされていない比較的平
坦部分の特徴を捕らえているところの、真上方向からの
多段照明装置11、13の照明・反射から得られる、階
調デ−タ値(形状情報コードデ−タの3c以下に対応
の)を選択し入力されることもある。
−タと、濃淡階調分布デ−タは区分して入力される。な
お、この場合の濃淡階調分布デ−タは、多段照明装置1
3、15、17の照明・反射から得られる階調デ−タ値
(形状情報コードデ−タの3c以上に対応の)が選択さ
れ入力される。逆に、はんだ付けされていない比較的平
坦部分の特徴を捕らえているところの、真上方向からの
多段照明装置11、13の照明・反射から得られる、階
調デ−タ値(形状情報コードデ−タの3c以下に対応
の)を選択し入力されることもある。
【0014】ニュ−ラルネットワ−ク31の構成は入力
層、中間層、出力層である。ここで、図5に示す各層の
ニュ−ロンユニットjが、図6に示す互いにシナプス結
合s、すなわち、各シナプスsはそれぞれ1個づつ係数
を記憶し、他のニュ−ロンユニットjからきた信号を受
けて、該係数を掛ける作用を介して接続され後、ニュ−
ロンnに取り込む。各ニュ−ロンnが出す信号は該ニュ
−ロンユニットjが取り込んだ信号の総和のレベルによ
り決まる。記憶している係数が該ニューラルネットワ−
ク31の持つ知識である。なお、ニュ−ロンユニットの
ハードウエアについては既に周知の技術であるため、こ
こでは特に説明しない。
層、中間層、出力層である。ここで、図5に示す各層の
ニュ−ロンユニットjが、図6に示す互いにシナプス結
合s、すなわち、各シナプスsはそれぞれ1個づつ係数
を記憶し、他のニュ−ロンユニットjからきた信号を受
けて、該係数を掛ける作用を介して接続され後、ニュ−
ロンnに取り込む。各ニュ−ロンnが出す信号は該ニュ
−ロンユニットjが取り込んだ信号の総和のレベルによ
り決まる。記憶している係数が該ニューラルネットワ−
ク31の持つ知識である。なお、ニュ−ロンユニットの
ハードウエアについては既に周知の技術であるため、こ
こでは特に説明しない。
【0015】ここで、ニューラルネットワ−ク31の学
習にはバックプロパゲ−ションを用いる。すなわち(詳
細は後述)、始めに入力層Iに詳細データ(学習教示デ
ータ)を入力し、中間層Hを経て、出力層Oに回答、す
なわち、はんだ付け状態別分類を得る。ニューラルネッ
トワ−ク31はこの回答(出力)と理想回答(対象出力
のみ1、他の出力は0)とを比較しその差が小さくなる
ようにシナップス結合を出力層Oから中間層H、入力層
Iへと逆にたどり、自ら変更していく。この学習を多く
のデータを用いて繰り返すことにより、ニューラルネッ
トワ−ク31はあらゆるデータに対して正確な回答を出
力するようになる。すなわち、ニューラルネットワ−ク
31内のネットワ−クが最適な判断構成となるように結
合の重み付けを実施されるように構成される。
習にはバックプロパゲ−ションを用いる。すなわち(詳
細は後述)、始めに入力層Iに詳細データ(学習教示デ
ータ)を入力し、中間層Hを経て、出力層Oに回答、す
なわち、はんだ付け状態別分類を得る。ニューラルネッ
トワ−ク31はこの回答(出力)と理想回答(対象出力
のみ1、他の出力は0)とを比較しその差が小さくなる
ようにシナップス結合を出力層Oから中間層H、入力層
Iへと逆にたどり、自ら変更していく。この学習を多く
のデータを用いて繰り返すことにより、ニューラルネッ
トワ−ク31はあらゆるデータに対して正確な回答を出
力するようになる。すなわち、ニューラルネットワ−ク
31内のネットワ−クが最適な判断構成となるように結
合の重み付けを実施されるように構成される。
【0016】以上のニューラルネットワ−ク31の動作
式を説明する。初めに、順伝播の動作は、入力層Iにパ
タ−ンPが入力さえれると、中間層Hの各ユニットjは
式(1)にで示される内部ポテンシャルUjを蓄積す
る。結合の重み値をWとし、fをシグモイド関数とす
る。 Uj=ΣWji・Ii+θj−−−−−(1) Uj:中間層Hのユニットの内部ポテンシャル Wji:入力層Iのユニットから中間層Hのユニットへ
の結合係数 Ii:入力層Iのユニットの出力 θj:中間層Hのユニットのオフセット係数 Hj=f(Uj)−−−−−−−−−(2) Hj:中間層Hのユニットの出力 これは、中間層Hのユニットの出力が、入力層Iのユニ
ットの出力と結合係数の荷重和により求められることを
表している。この内部ポテンシャルUjは、例として単
調非減少のシグモイド関数f(x)により、中間層Hの
ユニットの出力Hjとなる。同様に、出力層Oの各ユニ
ットkも次式により求められる。 Sk=ΣVkj・Hj+γk−−−−(3) Sk:出力層Oのユニットの内部ポテンシャル Vkj:中間層Hのユニットから出力層Oのユニットへ
の結合係数 γj:出力層Oのユニットのオフセット係数 Ok=f(Sk)−−−−−−−−−(4) Ok :出力層Oのユニットの出力 次に、理想回答の対象となる学習教示デ−タにもとづく
結合係数の逆伝播の動作は、出力層Oの回答する出力O
kと学習教示デ−タTkとが一致するように、結合係数
の修正値を求める。学習の評価としては、誤差関数Ep
とする。 Ep=g(Tpk−Okp)−−−−−(5) を考える。中間層と出力層の結合係数の更新値ΔVkj
は、各結合係数を微小変化させたとき、誤差関数への影
響δEp/δVkjに比例した量ずつ、最小値へ変化さ
せれば、 ΔVkj=−α・δEp/δVkj−−(6) α:定数 結合係数の誤差関数Epへの影響は δEp/δVkj=−θk・Hj−−−(7) θk:誤差 新たな結合係数Vkjは、 ΔVkj=α・θk・Hj−−−−−−(8) Vkj=Vkj(前回)+ΔVkj−−−(9) 同様に、入力層と中間層の結合係数の更新値ΔWji
は、各結合係数を微小変化させたとき、誤差関数への影
響 δEp/δWjiに比例した量ずつ、最小値へ変化
させれば、 ΔWji=−β・δEp/δWji−−(10) β:定数 結合係数の誤差関数Epへの影響は δEp/δWji=−ξj・Ii−−−(11) ξj:誤差 新たな結合係数Wijは、 ΔWji=β・ξj・Ii−−−−−−(12) Wji=Wji(前回)+ΔWji−−(13) となる。この結合の重み値の更新の動作を繰り返す事に
より、誤差を0に近付けていく学習方法である。
式を説明する。初めに、順伝播の動作は、入力層Iにパ
タ−ンPが入力さえれると、中間層Hの各ユニットjは
式(1)にで示される内部ポテンシャルUjを蓄積す
る。結合の重み値をWとし、fをシグモイド関数とす
る。 Uj=ΣWji・Ii+θj−−−−−(1) Uj:中間層Hのユニットの内部ポテンシャル Wji:入力層Iのユニットから中間層Hのユニットへ
の結合係数 Ii:入力層Iのユニットの出力 θj:中間層Hのユニットのオフセット係数 Hj=f(Uj)−−−−−−−−−(2) Hj:中間層Hのユニットの出力 これは、中間層Hのユニットの出力が、入力層Iのユニ
ットの出力と結合係数の荷重和により求められることを
表している。この内部ポテンシャルUjは、例として単
調非減少のシグモイド関数f(x)により、中間層Hの
ユニットの出力Hjとなる。同様に、出力層Oの各ユニ
ットkも次式により求められる。 Sk=ΣVkj・Hj+γk−−−−(3) Sk:出力層Oのユニットの内部ポテンシャル Vkj:中間層Hのユニットから出力層Oのユニットへ
の結合係数 γj:出力層Oのユニットのオフセット係数 Ok=f(Sk)−−−−−−−−−(4) Ok :出力層Oのユニットの出力 次に、理想回答の対象となる学習教示デ−タにもとづく
結合係数の逆伝播の動作は、出力層Oの回答する出力O
kと学習教示デ−タTkとが一致するように、結合係数
の修正値を求める。学習の評価としては、誤差関数Ep
とする。 Ep=g(Tpk−Okp)−−−−−(5) を考える。中間層と出力層の結合係数の更新値ΔVkj
は、各結合係数を微小変化させたとき、誤差関数への影
響δEp/δVkjに比例した量ずつ、最小値へ変化さ
せれば、 ΔVkj=−α・δEp/δVkj−−(6) α:定数 結合係数の誤差関数Epへの影響は δEp/δVkj=−θk・Hj−−−(7) θk:誤差 新たな結合係数Vkjは、 ΔVkj=α・θk・Hj−−−−−−(8) Vkj=Vkj(前回)+ΔVkj−−−(9) 同様に、入力層と中間層の結合係数の更新値ΔWji
は、各結合係数を微小変化させたとき、誤差関数への影
響 δEp/δWjiに比例した量ずつ、最小値へ変化
させれば、 ΔWji=−β・δEp/δWji−−(10) β:定数 結合係数の誤差関数Epへの影響は δEp/δWji=−ξj・Ii−−−(11) ξj:誤差 新たな結合係数Wijは、 ΔWji=β・ξj・Ii−−−−−−(12) Wji=Wji(前回)+ΔWji−−(13) となる。この結合の重み値の更新の動作を繰り返す事に
より、誤差を0に近付けていく学習方法である。
【0017】本発明の実施例においては、図5に示すよ
うに、ニューラルネットワ−ク31の具体的構成例とし
て、中間層を二重とした入力層I、I’、中間層H、
H’、出力層Oの3層にて、ニュ−ロコンピュ−タ32
を構成している。更に、入力層I、中間層Hの一群は形
状情報コ−ドデ−タ側に結合されている。入力層I’、
中間層H’の他の一群は濃淡階調分布デ−タ側に結合さ
れている。
うに、ニューラルネットワ−ク31の具体的構成例とし
て、中間層を二重とした入力層I、I’、中間層H、
H’、出力層Oの3層にて、ニュ−ロコンピュ−タ32
を構成している。更に、入力層I、中間層Hの一群は形
状情報コ−ドデ−タ側に結合されている。入力層I’、
中間層H’の他の一群は濃淡階調分布デ−タ側に結合さ
れている。
【0018】ニュ−ロコンピュ−タ32の入力層I、
I’は図4に示した詳細デ−タ状態図に対応し、その画
素に対応する(冗長度が高い場合には必要に応じて、一
定間隔に間曳いた後)たてデ−タm×よこデ−タn=m
nのニュ−ロンユニットjをそれぞれ設ける。(図6は
1つのニューロンユニットの構成を示す)この入力層
I、I’に画像処理装置4からのデータが入力する。
I’は図4に示した詳細デ−タ状態図に対応し、その画
素に対応する(冗長度が高い場合には必要に応じて、一
定間隔に間曳いた後)たてデ−タm×よこデ−タn=m
nのニュ−ロンユニットjをそれぞれ設ける。(図6は
1つのニューロンユニットの構成を示す)この入力層
I、I’に画像処理装置4からのデータが入力する。
【0019】中間層H、H’は入力層I、I’に対応し
M、Nのニュ−ロンユニットjを実験的に設ける。
M、Nのニュ−ロンユニットjを実験的に設ける。
【0020】出力層Oには認識判定カテゴリ結果の詳細
分類Sのニュ−ロンユニットjを設ける。例えば、予め
設定した認識判定カテゴリとして各種はんだ付けの状態
別、すなわち、a:良、b:不足、c:過剰、d:ぬれ
不良、e:無し、f:リ−ド浮き、g:リ−ドずれ、
h:異常などに、分類される。
分類Sのニュ−ロンユニットjを設ける。例えば、予め
設定した認識判定カテゴリとして各種はんだ付けの状態
別、すなわち、a:良、b:不足、c:過剰、d:ぬれ
不良、e:無し、f:リ−ド浮き、g:リ−ドずれ、
h:異常などに、分類される。
【0021】初に、学習段階においては、係数(知識)
を適切な値に修正する事になる。先ず、はんだ付け状態
の自動分類をするために、予め詳細分類が分かっている
はんだ面の特徴パラメ−タである形状傾斜角度別の形状
情報コ−ドデ−タが入力層Iと、濃淡階調分布デ−タが
入力層I’に、画素分たてデ−タn×よこデ−タm=n
mニユ−ロンユニットjに入力される。この時のはんだ
付け状態のデ−タは、はんだ付けの実面積領域、急峻
性、平坦性、リ−ド位置との対象性等の形状デ−タをふ
くんでいる。学習には、各分類の学習教示のお手本の例
題となるデ−タと正しい出力値を準備し、例題を入力層
I、I’に入力し、中間層H、H’をえて、出力層Oの
出力と正しい出力値の差(誤差)が小さくなるように、
各シナプスが記憶している係数を更新する。外部へ出力
しない中間層H、H’については、お手本に対する直接
の誤差を測定出来ないため、出力層Oに表れている誤差
を逆伝播させることによって、その誤差を修正する。具
体的には後段の層のニユ−ロンユニットjの誤差とシナ
プスsの係数を掛け算し、そのシナプスにつながる前段
の層Hのニュ−ロンユニットnにつたえ記憶している係
数を更新し学習する。すなわち、例えば、学習教示デ−
タに外観状態が“a:良”の場合の学習においては、出
力層Oの理想回答であるニュ−ロンユニットaの出力デ
−タを“1.000”とし、ニュ−ロンユニットb以降
の他の出力デ−タを“0.000”とし、入力層I、
I’のニュ−ロンユニットjの入力層mnに学習教示デ
−タに対応した多数の良品サンプルのデ−タとして、外
観状態の入力デ−タである形状情報コ−ドデ−タ(1〜
8)と濃淡階調分布デ−タ(1〜256)を入力し、中
間層H、H’をえて、出力層Oが出す検査回答の出力
(必ずしも“1.000”“0.000”とならず、0
〜1の少数点以下を含む数値デ−タとなる)と正しい出
力値の差(誤差)が小さく(≒0に)なるように、各シ
ナプスが記憶している係数を更新し学習される。他の認
識判定カテゴリも同様にして、学習教示データを多数入
力し、対応する出力値を1、他の出力を0に設定し、次
々と学習させる。
を適切な値に修正する事になる。先ず、はんだ付け状態
の自動分類をするために、予め詳細分類が分かっている
はんだ面の特徴パラメ−タである形状傾斜角度別の形状
情報コ−ドデ−タが入力層Iと、濃淡階調分布デ−タが
入力層I’に、画素分たてデ−タn×よこデ−タm=n
mニユ−ロンユニットjに入力される。この時のはんだ
付け状態のデ−タは、はんだ付けの実面積領域、急峻
性、平坦性、リ−ド位置との対象性等の形状デ−タをふ
くんでいる。学習には、各分類の学習教示のお手本の例
題となるデ−タと正しい出力値を準備し、例題を入力層
I、I’に入力し、中間層H、H’をえて、出力層Oの
出力と正しい出力値の差(誤差)が小さくなるように、
各シナプスが記憶している係数を更新する。外部へ出力
しない中間層H、H’については、お手本に対する直接
の誤差を測定出来ないため、出力層Oに表れている誤差
を逆伝播させることによって、その誤差を修正する。具
体的には後段の層のニユ−ロンユニットjの誤差とシナ
プスsの係数を掛け算し、そのシナプスにつながる前段
の層Hのニュ−ロンユニットnにつたえ記憶している係
数を更新し学習する。すなわち、例えば、学習教示デ−
タに外観状態が“a:良”の場合の学習においては、出
力層Oの理想回答であるニュ−ロンユニットaの出力デ
−タを“1.000”とし、ニュ−ロンユニットb以降
の他の出力デ−タを“0.000”とし、入力層I、
I’のニュ−ロンユニットjの入力層mnに学習教示デ
−タに対応した多数の良品サンプルのデ−タとして、外
観状態の入力デ−タである形状情報コ−ドデ−タ(1〜
8)と濃淡階調分布デ−タ(1〜256)を入力し、中
間層H、H’をえて、出力層Oが出す検査回答の出力
(必ずしも“1.000”“0.000”とならず、0
〜1の少数点以下を含む数値デ−タとなる)と正しい出
力値の差(誤差)が小さく(≒0に)なるように、各シ
ナプスが記憶している係数を更新し学習される。他の認
識判定カテゴリも同様にして、学習教示データを多数入
力し、対応する出力値を1、他の出力を0に設定し、次
々と学習させる。
【0022】しかるのちに、任意のはんだ付けの状態を
撮像すれば、画像処理し、認識判定し、はんだ付けの状
態の結果を抽出し明確に検査回答する。以上の実施例に
よれば、簡単な構成と、高級なソフトを使用しないで、
必要時に詳細デ−タ状態図即ち画像分布デ−タの入力の
みで、はんだ付けの状態を判定しつつ、認識判定カテゴ
リのレベルを学習し、最適な検査基準を設定できる。使
用時には極めて高速に、正確に判定検査できる。はんだ
付け状態の条件変更も学習により容易である。
撮像すれば、画像処理し、認識判定し、はんだ付けの状
態の結果を抽出し明確に検査回答する。以上の実施例に
よれば、簡単な構成と、高級なソフトを使用しないで、
必要時に詳細デ−タ状態図即ち画像分布デ−タの入力の
みで、はんだ付けの状態を判定しつつ、認識判定カテゴ
リのレベルを学習し、最適な検査基準を設定できる。使
用時には極めて高速に、正確に判定検査できる。はんだ
付け状態の条件変更も学習により容易である。
【0023】尚、実施例では、濃淡階調分布デ−タは各
画素毎に対し、各照明装置毎によるデ−タを形状情報コ
−ドデ−タと対応して用いたが、必要に応じて濃淡階調
分布デ−タは各画素毎に対し、形状を捕らえる各照明装
置毎による濃淡階調分布デ−タの総和を用いて正規化し
ても良い。また、必要に応じて濃淡階調分布デ−タは各
画素毎に対し、形状の一部を捕らえる或る照明装置によ
る濃淡階調分布デ−タの単独、または照明装置による濃
淡階調分布デ−タ幾つかの各和を用いて正規化しても良
い。
画素毎に対し、各照明装置毎によるデ−タを形状情報コ
−ドデ−タと対応して用いたが、必要に応じて濃淡階調
分布デ−タは各画素毎に対し、形状を捕らえる各照明装
置毎による濃淡階調分布デ−タの総和を用いて正規化し
ても良い。また、必要に応じて濃淡階調分布デ−タは各
画素毎に対し、形状の一部を捕らえる或る照明装置によ
る濃淡階調分布デ−タの単独、または照明装置による濃
淡階調分布デ−タ幾つかの各和を用いて正規化しても良
い。
【0024】また、実施例では照明式で説明したがレ−
ザー光線を用いてもよい。この場合は例えば図1の撮像
カメラの位置にレ−ザー光源を置き多段照明装置のそれ
ぞれの位置に環状のセンサを設け角度又は高さの画像分
布デ−タをもとに入力しても同様の効果が得られること
が可能である。
ザー光線を用いてもよい。この場合は例えば図1の撮像
カメラの位置にレ−ザー光源を置き多段照明装置のそれ
ぞれの位置に環状のセンサを設け角度又は高さの画像分
布デ−タをもとに入力しても同様の効果が得られること
が可能である。
【0025】更に、多段の照明装置は当該各段、すなわ
ち、光の各照射角度に対応して固有の色を発光させるこ
とにより、画像分布デ−タの抽出をより高速化すること
が出来る。例えば、照明手段を赤色、青色、緑色等の複
数の色相とした場合は反射光の色相の違い、変化により
照射角度が特定出来るため、時間と共に光源を切換(多
段光源の場合)たり、移動(光源を移動することにより
照射角度を変える)する必要が無い。
ち、光の各照射角度に対応して固有の色を発光させるこ
とにより、画像分布デ−タの抽出をより高速化すること
が出来る。例えば、照明手段を赤色、青色、緑色等の複
数の色相とした場合は反射光の色相の違い、変化により
照射角度が特定出来るため、時間と共に光源を切換(多
段光源の場合)たり、移動(光源を移動することにより
照射角度を変える)する必要が無い。
【0026】尚、更に図7に示されるように、認識判定
装置5のニュ−ラルネットワ−ク31にファジィ処理装
置33を併せ構成し、ニュ−ロ・ファジィコンピュ−タ
34の構成とし、立体形状の検査対象品の外観状態を正
確にファジィ認識判定検査する。すなわち、ニュ−ラル
ネットワ−ク31の出力層Oの認識判定カテゴリ結果の
詳細分類Sのニュ−ロンユニットjを細かく設けるとと
もに、この出力層Oにファジィ処理装置33が接続され
る。この場合の出力層Oは、予め設定した認識判定カテ
ゴリとして、各種はんだ付けの状態別、a:良、b:不
足、c:過剰、d:ぬれ不良、e:無し、f:リ−ド浮
き、g:リ−ドずれ、h:異常などの他に対し、更に、
多めの良:a’、少なめの良:a”、多めの不足:
b’、少なめの不足:b”、多めの過剰:c’、少なめ
の過剰:c”、多めのぬれ不良:d’、少なめのぬれ不
良:d”、多めのリ−ド浮き(未接浮き):f’、少な
めのリ−ド浮き(接合浮き):f”、多めのリ−ドず
れ:g’、少なめのリ−ドずれ:g”等に追加詳細分類
S分類される。これらの出力デ−タをファジィ処理装置
33に設けられたメンバ−シップ関数にもとずいてファ
ジィ処理され、最終設定した認識判定カテゴリとして、
各種はんだ付けの状態別、良、不足、過剰、ぬれ不良、
無し、リ−ド浮き、リ−ドずれ、異常などに判定され
る。ここで、具体例として、出力層Oのファジィ的出力
デ−タとして、良品の値は多めの良:a’(0.03
0)、良:a(0.040)、少なめの良:a”(0.
700)、不足の値は、多めの不足:b’(0.20
0)、不足:b(0.020)、少なめの不足:b”
(0.010)などのにおいて、ファジィ処理装置33
により、良品と判定される。
装置5のニュ−ラルネットワ−ク31にファジィ処理装
置33を併せ構成し、ニュ−ロ・ファジィコンピュ−タ
34の構成とし、立体形状の検査対象品の外観状態を正
確にファジィ認識判定検査する。すなわち、ニュ−ラル
ネットワ−ク31の出力層Oの認識判定カテゴリ結果の
詳細分類Sのニュ−ロンユニットjを細かく設けるとと
もに、この出力層Oにファジィ処理装置33が接続され
る。この場合の出力層Oは、予め設定した認識判定カテ
ゴリとして、各種はんだ付けの状態別、a:良、b:不
足、c:過剰、d:ぬれ不良、e:無し、f:リ−ド浮
き、g:リ−ドずれ、h:異常などの他に対し、更に、
多めの良:a’、少なめの良:a”、多めの不足:
b’、少なめの不足:b”、多めの過剰:c’、少なめ
の過剰:c”、多めのぬれ不良:d’、少なめのぬれ不
良:d”、多めのリ−ド浮き(未接浮き):f’、少な
めのリ−ド浮き(接合浮き):f”、多めのリ−ドず
れ:g’、少なめのリ−ドずれ:g”等に追加詳細分類
S分類される。これらの出力デ−タをファジィ処理装置
33に設けられたメンバ−シップ関数にもとずいてファ
ジィ処理され、最終設定した認識判定カテゴリとして、
各種はんだ付けの状態別、良、不足、過剰、ぬれ不良、
無し、リ−ド浮き、リ−ドずれ、異常などに判定され
る。ここで、具体例として、出力層Oのファジィ的出力
デ−タとして、良品の値は多めの良:a’(0.03
0)、良:a(0.040)、少なめの良:a”(0.
700)、不足の値は、多めの不足:b’(0.20
0)、不足:b(0.020)、少なめの不足:b”
(0.010)などのにおいて、ファジィ処理装置33
により、良品と判定される。
【0027】更にまた、図8に示されるように、認識判
定装置5のニュ−ラルネットワ−ク31の中にファジィ
処理機能を併せ構成し、ニュ−ロ・ファジィコンピュ−
タ35の構成とし、立体形状の検査対象品の外観状態を
正確にファジィ認識判定検査する。すなわち、ニュ−ラ
ルネットワ−ク31の出力層Oを中間層H”に置き換え
て、もう一つの層の出力層Oを設け、入力層I、入力層
I’、中間層H、中間層H’、中間層H”、出力層Oと
される。ここで、中間層H”のニュ−ロンユニットjを
認識判定カテゴリ結果の詳細分類Sのニュ−ロンユニッ
トjを更に細かく設ける。例えば、予め設定した認識判
定カテゴリとして、各種はんだ付けの状態別、a:良、
b:不足、c:過剰、d:ぬれ不良、e:無し、f:リ
−ド浮き、g:リ−ドずれ、h:異常などを、更に、多
めの良:a’、少なめの良:a”、多めの不足:b’、
少なめの不足:b”、多めの過剰:c’、少なめの過
剰:c”、多めのぬれ不良:d’、少なめのぬれ不良:
d”、多めのリ−ド浮き:f’、少なめのリ−ド浮き:
f”、多めのリ−ドずれ:g’、少なめのリ−ドずれ:
g”等に追加詳細分類S分類される。ここで、中間層
H”と出力層Oの結合はファジィ的に結合され、出力層
Oの認識判定カテゴリ結果をa:良、b:不足、c:過
剰、d:ぬれ不良、e:無し、f:リ−ド浮き、g:リ
−ドずれ、h:異常などとし、中間層H”と出力層Oの
デ−タはファジィ的に処理判定される。具体的には、中
間層H”の良品の値はファジィ的デ−タ例として、多め
の良:a’(0.100)、良:a(0.200)、少
なめの良:a”(0.500)中間層H”の不足の値は
ファジィ的デ−タとして、多めの不足:b’(0.15
0)、不足:b(0.050)、少なめの不足:b”
(0.000)などとなり、ファジィ的に処理され出力
層Oの認識判定カテゴリ結果はa:良とされる。
定装置5のニュ−ラルネットワ−ク31の中にファジィ
処理機能を併せ構成し、ニュ−ロ・ファジィコンピュ−
タ35の構成とし、立体形状の検査対象品の外観状態を
正確にファジィ認識判定検査する。すなわち、ニュ−ラ
ルネットワ−ク31の出力層Oを中間層H”に置き換え
て、もう一つの層の出力層Oを設け、入力層I、入力層
I’、中間層H、中間層H’、中間層H”、出力層Oと
される。ここで、中間層H”のニュ−ロンユニットjを
認識判定カテゴリ結果の詳細分類Sのニュ−ロンユニッ
トjを更に細かく設ける。例えば、予め設定した認識判
定カテゴリとして、各種はんだ付けの状態別、a:良、
b:不足、c:過剰、d:ぬれ不良、e:無し、f:リ
−ド浮き、g:リ−ドずれ、h:異常などを、更に、多
めの良:a’、少なめの良:a”、多めの不足:b’、
少なめの不足:b”、多めの過剰:c’、少なめの過
剰:c”、多めのぬれ不良:d’、少なめのぬれ不良:
d”、多めのリ−ド浮き:f’、少なめのリ−ド浮き:
f”、多めのリ−ドずれ:g’、少なめのリ−ドずれ:
g”等に追加詳細分類S分類される。ここで、中間層
H”と出力層Oの結合はファジィ的に結合され、出力層
Oの認識判定カテゴリ結果をa:良、b:不足、c:過
剰、d:ぬれ不良、e:無し、f:リ−ド浮き、g:リ
−ドずれ、h:異常などとし、中間層H”と出力層Oの
デ−タはファジィ的に処理判定される。具体的には、中
間層H”の良品の値はファジィ的デ−タ例として、多め
の良:a’(0.100)、良:a(0.200)、少
なめの良:a”(0.500)中間層H”の不足の値は
ファジィ的デ−タとして、多めの不足:b’(0.15
0)、不足:b(0.050)、少なめの不足:b”
(0.000)などとなり、ファジィ的に処理され出力
層Oの認識判定カテゴリ結果はa:良とされる。
【発明の効果】以上説明したように本発明は、立体形状
の検査対象品の外観状態をを多段照明装置により照射
し、それぞれの画像を撮像カメラ等のセンサにて撮像
し、画像処理装置に成において、必要画像分布デ−タを
形状情報コ−ドデ−タと濃淡階調分布デ−タとに区分
し、認識判定装置において、ニュ−ラルネットワ−ク一
種である学習形階層式パ−セプトロンにて、入力層I、
中間層Hの一群は形状情報コ−ドデ−タ側に結合され、
入力層I’、中間層H’の他の一群は濃淡階調分布デ−
タ側に結合されて出力層Oに出力されるニュ−ロコンピ
ュ−タを構成し、立体形状の検査対象品の外観状態を高
速、正確に認識判定検査する。また、本発明に用いる認
識判定装置のニュ−ラルネットワ−クにファジィ処理装
置とを併せ構成し、ニュ−ロ・ファジィコンピュ−タの
構成とし、立体形状の検査対象品の外観状態を正確にフ
ァジィ認識判定検査する。更にまた、本発明に用いる認
識判定装置のニュ−ラルネットワ−クの中にファジィ処
理機能を併せ構成し、ニュ−ロ・ファジィコンピュ−タ
の構成とし、立体形状の検査対象品の外観状態を正確に
ファジィ認識判定検査する。
の検査対象品の外観状態をを多段照明装置により照射
し、それぞれの画像を撮像カメラ等のセンサにて撮像
し、画像処理装置に成において、必要画像分布デ−タを
形状情報コ−ドデ−タと濃淡階調分布デ−タとに区分
し、認識判定装置において、ニュ−ラルネットワ−ク一
種である学習形階層式パ−セプトロンにて、入力層I、
中間層Hの一群は形状情報コ−ドデ−タ側に結合され、
入力層I’、中間層H’の他の一群は濃淡階調分布デ−
タ側に結合されて出力層Oに出力されるニュ−ロコンピ
ュ−タを構成し、立体形状の検査対象品の外観状態を高
速、正確に認識判定検査する。また、本発明に用いる認
識判定装置のニュ−ラルネットワ−クにファジィ処理装
置とを併せ構成し、ニュ−ロ・ファジィコンピュ−タの
構成とし、立体形状の検査対象品の外観状態を正確にフ
ァジィ認識判定検査する。更にまた、本発明に用いる認
識判定装置のニュ−ラルネットワ−クの中にファジィ処
理機能を併せ構成し、ニュ−ロ・ファジィコンピュ−タ
の構成とし、立体形状の検査対象品の外観状態を正確に
ファジィ認識判定検査する。
【図1】本発明による検査対象品であるはんだ付け状態
の外観検査装置の主要部簡略構成図。
の外観検査装置の主要部簡略構成図。
【図2】はんだ付け部拡大側断面図。
【図3】電子部品のリ−ド部とはんだ付け部の平面図。
【図4】本発明によるはんだ形状情報コ−ドデ−タと、
濃淡階調デ−タとを示した詳細デ−タ状態図。
濃淡階調デ−タとを示した詳細デ−タ状態図。
【図5】本発明に用いる認識判定装置のブロック構成
図。
図。
【図6】本発明の実施例におけるニュ−ラルユニットの
説明図
説明図
【図7】本発明の他の実施例を示す主要部簡略構成図。
【図8】本発明の他の実施例を示す主要部簡略構成図。
1 実装基板 11,13,15,17 照明装置 1a,3a,5a,7a 入射光 1b,3b,5b,7b 反射光 2 撮像カメラ 3,4 画像処理装置 5 認識判定装置 I、I’ 入力層 H、H’ 中間層 O 出力層
Claims (5)
- 【請求項1】検査対象品を多段多照明装置により照射
し、それぞれの画像を撮像手段にて撮像し、各段より得
られた濃淡階調分布の画像配列デ−タから構成される形
状情報コ−ドデ−タのパターンと濃淡階調分布デ−タの
パターンとを、入力層、中間層、出力層により学習形階
層式パ−セプトロンが形成されるニュ−ロコンピュ−タ
手段に入力し、該手段の出力層に、前記検査対象品の外
観の状態を出力し、認識判定検査することを特徴とする
外観状態検査方法 - 【請求項2】検査対象品をレ−ザー光線にて走査照射
し、反射光をセンサにて受光し、画像処理装置により必
要抽出画像分布の画像配列デ−タから構成される形状情
報コ−ドデ−タのパターンと濃淡階調分布デ−タのパタ
ーンとを作成し、これら2つのデータパターンを入力
層、中間層、出力層により学習形階層式パ−セプトロン
が形成されるニュ−ロコンピュ−タ手段に入力し、該手
段の出力層に、前記検査対象品の外観の状態を出力し、
認識判定検査することを特徴とする外観状態検査方法 - 【請求項3】請求項1において、多段照明手段の各段は
互いの色相が異なり、かつ、撮像手段がカラーカメラで
あることを特徴とする外観状態検査方法 - 【請求項4】請求項1又は2において、認識判定手段の
出力層にファジィ処理手段を有することを特徴とする外
観状態検査方法 - 【請求項5】請求項1又は2において、認識判定手段の
中間層にファジィ処理手段を有することを特徴とする外
観状態検査方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35902592A JPH06201338A (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 外観状態検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35902592A JPH06201338A (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 外観状態検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06201338A true JPH06201338A (ja) | 1994-07-19 |
Family
ID=18462359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35902592A Pending JPH06201338A (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 外観状態検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06201338A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000009655A (ja) * | 1998-06-25 | 2000-01-14 | Kobe Steel Ltd | 外観検査装置 |
| WO2021199513A1 (ja) * | 2020-03-30 | 2021-10-07 | オムロン株式会社 | 検査装置 |
-
1992
- 1992-12-25 JP JP35902592A patent/JPH06201338A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000009655A (ja) * | 1998-06-25 | 2000-01-14 | Kobe Steel Ltd | 外観検査装置 |
| WO2021199513A1 (ja) * | 2020-03-30 | 2021-10-07 | オムロン株式会社 | 検査装置 |
| JP2021162331A (ja) * | 2020-03-30 | 2021-10-11 | オムロン株式会社 | 検査装置 |
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