JPH06201405A - エンコーダ - Google Patents
エンコーダInfo
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- JPH06201405A JPH06201405A JP1703993A JP1703993A JPH06201405A JP H06201405 A JPH06201405 A JP H06201405A JP 1703993 A JP1703993 A JP 1703993A JP 1703993 A JP1703993 A JP 1703993A JP H06201405 A JPH06201405 A JP H06201405A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- diffraction grating
- light source
- reflecting
- order diffracted
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- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光量を１／４に減衰するハーフミラーを使用
することなく低出力光源、更には波長変動の大きい光源
の使用を可能とし、低コスト、小型化されしかも高精度
で高信頼性のエンコーダを提供することを目的とする。 【構成】 光源１と、上記光源からの光を回折させる回
折格子２と、上記回折格子からの各±１次回折光を反射
させて再び同一経路で反射させる反射部材３と、上記±
１次回折光の一方の光のｎ次光と他方の光の（２−ｎ）
次光を同光路上にて干渉させ、上記回折格子の移動に伴
って発生する上記干渉光断面内の明暗の干渉縞の光量の
変化を検知する光検知器５によって、上記回折格子の移
動量を検知する。
することなく低出力光源、更には波長変動の大きい光源
の使用を可能とし、低コスト、小型化されしかも高精度
で高信頼性のエンコーダを提供することを目的とする。 【構成】 光源１と、上記光源からの光を回折させる回
折格子２と、上記回折格子からの各±１次回折光を反射
させて再び同一経路で反射させる反射部材３と、上記±
１次回折光の一方の光のｎ次光と他方の光の（２−ｎ）
次光を同光路上にて干渉させ、上記回折格子の移動に伴
って発生する上記干渉光断面内の明暗の干渉縞の光量の
変化を検知する光検知器５によって、上記回折格子の移
動量を検知する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定物の移動量を測
定するエンコーダに関し、更に詳しくは光回折型の高分
解能のエンコーダの改良に関するものである。
定するエンコーダに関し、更に詳しくは光回折型の高分
解能のエンコーダの改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の高分解能のエンコーダとしては、
光回折型ロータリーエンコーダがある図６及び図７は従
来の光回折型ロータリエンコーダを説明する為の図であ
って、同図において、Ｈｅ−Ｎｅレーザである光源１０
１からの出射光は、ハーフミラー１０６を透過し、回折
格子１０２に入射する。上記回折格子１０２は図７に示
すように、原盤１０２−１の中心から放射状に多数の格
子１０２−２が形成されている。格子ピッチは最外周で
１．５７μｍ、外形でφ１５ｍｍ、格子数３０，０００
である。これはＳｉ基板上に電子線描画法でレジストパ
ターンを作成し、電鋳工程をへてＮｉ金型スタンパを作
成し、２Ｐ（ｐｈｏｔｏ ｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏ
ｎ）法によりガラス基板上に紫外線硬化樹脂のグレーテ
ィングパターンを形成して、位相変調型のロータリーエ
ンコーダディスクとして作成したものである。
光回折型ロータリーエンコーダがある図６及び図７は従
来の光回折型ロータリエンコーダを説明する為の図であ
って、同図において、Ｈｅ−Ｎｅレーザである光源１０
１からの出射光は、ハーフミラー１０６を透過し、回折
格子１０２に入射する。上記回折格子１０２は図７に示
すように、原盤１０２−１の中心から放射状に多数の格
子１０２−２が形成されている。格子ピッチは最外周で
１．５７μｍ、外形でφ１５ｍｍ、格子数３０，０００
である。これはＳｉ基板上に電子線描画法でレジストパ
ターンを作成し、電鋳工程をへてＮｉ金型スタンパを作
成し、２Ｐ（ｐｈｏｔｏ ｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏ
ｎ）法によりガラス基板上に紫外線硬化樹脂のグレーテ
ィングパターンを形成して、位相変調型のロータリーエ
ンコーダディスクとして作成したものである。
【０００３】上記回折格子１０２には、Ｈｅ−Ｎｅレー
ザである光源１０１からレーザ光を垂直入射させて、±
１次回折光を発生させる。それぞれの回折光は平面ミラ
ー１０３ａ１〜２で反射されて、もと来た光路を戻る。
そして再び上記回折格子１０２の同じ位置に入射し逆方
向に再び回折することにより光源１０１の入射光と同じ
光路を進行して互いに干渉を生じる。上記干渉光はハー
フミラー１０６で分離し、フォトダイオード等の光検知
器１０５で検知してオシロスコープ１０７に光量が正弦
波状出力として表示される。また、光源１０１からの入
射光を横切る回折格子１０２が回転に伴って変位すると
干渉縞の中で回折格子１０２が位相格子の役目を果たし
てオシロスコープ１０７に表示される正弦波に位相変調
が発生する。上記回折格子１０２の格子の１ピッチ分だ
け移動すると上記干渉縞が１周期移動する。反射光も同
様の効果を有し、＋１次光と−１次光があるので、結
局、格子の１ピッチ分で干渉縞４周期の移動を検知する
ことができる。上記ハーフミラー１０６と光検知器１０
５の間にピンホール１０４を挿入すると、ピンホール１
０４より抜き取られた部分の光量が正弦波状出力とな
り、格子数３０，０００に対し、その４倍の１２０，０
００周期の正弦波出力を得ることができることになる。
尚、上記光源１０１のＨｅ−Ｎｅレーザは高価であるた
めに低価格のＬＤ（半導体レーザ）に置き換え得れば、
低コスト化が可能であるが。然し、ＬＤ（半導体レー
ザ）は温度変化などにより波長変化が大きくなるので、
±１次光のミラー１０３からの反射光が回折格子１０２
の元の位置に帰還しないことがあり、この場合、干渉が
発生せず、エンコーダとして機能させ得ない。また、上
記エンコーダは、ハーフミラーを用いるとその透過減衰
量のため、回折格子に入射する光量が１／２となり、回
折格子から戻って来た光量も１／２になるので結局光検
出器に到来する光量は元の１／４となる。従って、所要
量の検出光を得るためには高出力の光源が必要でありコ
スト高になる不具合があった。更に、光源には波長変動
の少ないＨｅ−Ｎｅレーザ等しか使用できないので大型
でコスト高となる不具合があった。即ち、前述した従来
のエンコーダでは、光路中にハーフミラーを使用してい
たので光量が１／４となり、高出力の光源が必要であ
り、更に、光源は波長変動の少ないＨｅ−Ｎｅレーザ等
しか使用できないので大型化して、コスト高となる不具
合があった。
ザである光源１０１からレーザ光を垂直入射させて、±
１次回折光を発生させる。それぞれの回折光は平面ミラ
ー１０３ａ１〜２で反射されて、もと来た光路を戻る。
そして再び上記回折格子１０２の同じ位置に入射し逆方
向に再び回折することにより光源１０１の入射光と同じ
光路を進行して互いに干渉を生じる。上記干渉光はハー
フミラー１０６で分離し、フォトダイオード等の光検知
器１０５で検知してオシロスコープ１０７に光量が正弦
波状出力として表示される。また、光源１０１からの入
射光を横切る回折格子１０２が回転に伴って変位すると
干渉縞の中で回折格子１０２が位相格子の役目を果たし
てオシロスコープ１０７に表示される正弦波に位相変調
が発生する。上記回折格子１０２の格子の１ピッチ分だ
け移動すると上記干渉縞が１周期移動する。反射光も同
様の効果を有し、＋１次光と−１次光があるので、結
局、格子の１ピッチ分で干渉縞４周期の移動を検知する
ことができる。上記ハーフミラー１０６と光検知器１０
５の間にピンホール１０４を挿入すると、ピンホール１
０４より抜き取られた部分の光量が正弦波状出力とな
り、格子数３０，０００に対し、その４倍の１２０，０
００周期の正弦波出力を得ることができることになる。
尚、上記光源１０１のＨｅ−Ｎｅレーザは高価であるた
めに低価格のＬＤ（半導体レーザ）に置き換え得れば、
低コスト化が可能であるが。然し、ＬＤ（半導体レー
ザ）は温度変化などにより波長変化が大きくなるので、
±１次光のミラー１０３からの反射光が回折格子１０２
の元の位置に帰還しないことがあり、この場合、干渉が
発生せず、エンコーダとして機能させ得ない。また、上
記エンコーダは、ハーフミラーを用いるとその透過減衰
量のため、回折格子に入射する光量が１／２となり、回
折格子から戻って来た光量も１／２になるので結局光検
出器に到来する光量は元の１／４となる。従って、所要
量の検出光を得るためには高出力の光源が必要でありコ
スト高になる不具合があった。更に、光源には波長変動
の少ないＨｅ−Ｎｅレーザ等しか使用できないので大型
でコスト高となる不具合があった。即ち、前述した従来
のエンコーダでは、光路中にハーフミラーを使用してい
たので光量が１／４となり、高出力の光源が必要であ
り、更に、光源は波長変動の少ないＨｅ−Ｎｅレーザ等
しか使用できないので大型化して、コスト高となる不具
合があった。
【０００４】
【発明の目的】そこで本発明は、このような従来のエン
コーダの不具合を解決しようとするものである。即ち、
光量を１／４に減衰するハーフミラー等を使用せず、更
に波長変動の大きい光源であってもこれを使用すること
により、低コスト化並びに小型化された高精度で高信頼
性のエンコーダを提供することを目的とする。
コーダの不具合を解決しようとするものである。即ち、
光量を１／４に減衰するハーフミラー等を使用せず、更
に波長変動の大きい光源であってもこれを使用すること
により、低コスト化並びに小型化された高精度で高信頼
性のエンコーダを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、光源と、上記光源からの光を回折させる
回折格子と、上記回折格子からの各±１次回折光を反射
させて再び同一経路で反射する反射部材と、上記±１次
回折光の一方の光のｎ次光と他方の光の（２−ｎ）次光
を同一光路上にて干渉させ、上記回折格子の移動に伴っ
て発生する上記干渉光断面内の明暗の干渉縞の光量の変
化を検知する光検知器とを備えることによって、上記回
折格子の移動量を検知すること、前記反射部材が円筒面
ミラーであること、前記反射部材が各±１次回折光を平
行化するレンズと上記各±１次回折光を反射して戻す平
面ミラーとからなること、前記反射部材が片面に反射手
段を形成したグレーデッドインデックスレンズであるこ
と、前記光検知器をピンホール程度の受光面積を有した
受光素子としたことを特徴とする。
に、本発明は、光源と、上記光源からの光を回折させる
回折格子と、上記回折格子からの各±１次回折光を反射
させて再び同一経路で反射する反射部材と、上記±１次
回折光の一方の光のｎ次光と他方の光の（２−ｎ）次光
を同一光路上にて干渉させ、上記回折格子の移動に伴っ
て発生する上記干渉光断面内の明暗の干渉縞の光量の変
化を検知する光検知器とを備えることによって、上記回
折格子の移動量を検知すること、前記反射部材が円筒面
ミラーであること、前記反射部材が各±１次回折光を平
行化するレンズと上記各±１次回折光を反射して戻す平
面ミラーとからなること、前記反射部材が片面に反射手
段を形成したグレーデッドインデックスレンズであるこ
と、前記光検知器をピンホール程度の受光面積を有した
受光素子としたことを特徴とする。
【０００６】
【作用】上記のように構成されたエンコーダは、回折格
子に入射する光と同光路の戻り光を、夫々反射部材に向
かう＋１次光の次数をｎとするときに、他方は反射部材
に向かう−１次光の次数を（２−ｎ）となるように選択
させて干渉させることにより、光源がＬＤ（半導体レー
ザ）のように温度変化などにより波長変化が大きく変化
して回折角が変化しても、同じ位置に戻るから、従来の
ようなハーフミラーが不要になり、従ってより低出力の
光源を用いることができる低コスト化並びに小型化され
た高精度で高信頼性のエンコーダを提供することができ
る。
子に入射する光と同光路の戻り光を、夫々反射部材に向
かう＋１次光の次数をｎとするときに、他方は反射部材
に向かう−１次光の次数を（２−ｎ）となるように選択
させて干渉させることにより、光源がＬＤ（半導体レー
ザ）のように温度変化などにより波長変化が大きく変化
して回折角が変化しても、同じ位置に戻るから、従来の
ようなハーフミラーが不要になり、従ってより低出力の
光源を用いることができる低コスト化並びに小型化され
た高精度で高信頼性のエンコーダを提供することができ
る。
【０００７】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１及び図２は本発明の一実施例を示す図
であり、図１において光源１ａからの光は回折格子２に
入射し、ここで回折を受ける。今、説明の都合上、上記
回折格子２からの各±１次回折光それぞれを、例えば反
射部材３の平面ミラー３ａ１に向かう＋１次光をＡ光、
反射部材３の平面ミラー３ａ２に向かう−１次光をＢ光
とすると、夫々の反射部材によって反射さえるＡ光の＋
２次光とＢ光の０次光を選んで干渉させて、ピンホール
４ａを介して光検出器５ａに入射させるようにすると共
に、上記上記光検知器５ａは上記回折格子２の平面上を
移動するときに上記干渉光断面内に明暗の干渉縞が移動
する光量の変化を検知する位置に配置したフォトダイオ
ード等である。この構成によれば、上記回折格子２の回
転に伴って上記図６の如く光検出器５ａに接続したオシ
ロスコープ上に正弦波の位相変調量として表れるから、
回折格子２の移動量を検知することができる。また同様
に、反射光Ａ、ＢとしてＡ光の０次光とＢ光の＋２次光
を選んでもよい。この関係は、Ａ光の次数をｎとすると
きに、Ｂ光の次数が（２−ｎ）となるようにすればよい
（図２参照）。上記に説明した構成以外のその他の構成
の説明は、従来例の図６と図７に示した従来のものと同
じであるから、重複した説明は省略する。
て説明する。図１及び図２は本発明の一実施例を示す図
であり、図１において光源１ａからの光は回折格子２に
入射し、ここで回折を受ける。今、説明の都合上、上記
回折格子２からの各±１次回折光それぞれを、例えば反
射部材３の平面ミラー３ａ１に向かう＋１次光をＡ光、
反射部材３の平面ミラー３ａ２に向かう−１次光をＢ光
とすると、夫々の反射部材によって反射さえるＡ光の＋
２次光とＢ光の０次光を選んで干渉させて、ピンホール
４ａを介して光検出器５ａに入射させるようにすると共
に、上記上記光検知器５ａは上記回折格子２の平面上を
移動するときに上記干渉光断面内に明暗の干渉縞が移動
する光量の変化を検知する位置に配置したフォトダイオ
ード等である。この構成によれば、上記回折格子２の回
転に伴って上記図６の如く光検出器５ａに接続したオシ
ロスコープ上に正弦波の位相変調量として表れるから、
回折格子２の移動量を検知することができる。また同様
に、反射光Ａ、ＢとしてＡ光の０次光とＢ光の＋２次光
を選んでもよい。この関係は、Ａ光の次数をｎとすると
きに、Ｂ光の次数が（２−ｎ）となるようにすればよい
（図２参照）。上記に説明した構成以外のその他の構成
の説明は、従来例の図６と図７に示した従来のものと同
じであるから、重複した説明は省略する。
【０００８】図３は本発明の変形実施例を示す図であっ
て、この図に示す例では光源１ｂからの光を回折格子２
に入射することによって回折させ、上記回折格子２から
の±１次の夫々の回折光を上記平面ミラーに代えて円筒
面ミラー３ｂ１，３ｂ２によって反射させるように構成
したもので、この円筒ミラーは、その曲率の中心が回折
格子２となるに配置される。このような構成にすれば、
上記光源１ｂが例えばＬＤ（半導体レーザ）のように温
度変化などにより波長変化が大きく変化し回折角が変化
するものであっても、反射光が同じ位置に戻るから光源
として使用することができる。従ってＨｅ−Ｎｅレーザ
に代わって安価なＬＤを用いることが可能となる。上記
実施例では、２個の円筒面ミラー３ｂ１と円筒面ミラー
３ｂ２を図示したが、１個の円筒面ミラー３ｂ０で±１
次光を共に併用してもよい。上記に説明した構成以外の
その他の構成の説明は、従来例の図６と図７に示した従
来のもの並びに上記図１と図２に示した本発明の第１の
実施例の説明と同じであるから重複した説明は省略す
る。
て、この図に示す例では光源１ｂからの光を回折格子２
に入射することによって回折させ、上記回折格子２から
の±１次の夫々の回折光を上記平面ミラーに代えて円筒
面ミラー３ｂ１，３ｂ２によって反射させるように構成
したもので、この円筒ミラーは、その曲率の中心が回折
格子２となるに配置される。このような構成にすれば、
上記光源１ｂが例えばＬＤ（半導体レーザ）のように温
度変化などにより波長変化が大きく変化し回折角が変化
するものであっても、反射光が同じ位置に戻るから光源
として使用することができる。従ってＨｅ−Ｎｅレーザ
に代わって安価なＬＤを用いることが可能となる。上記
実施例では、２個の円筒面ミラー３ｂ１と円筒面ミラー
３ｂ２を図示したが、１個の円筒面ミラー３ｂ０で±１
次光を共に併用してもよい。上記に説明した構成以外の
その他の構成の説明は、従来例の図６と図７に示した従
来のもの並びに上記図１と図２に示した本発明の第１の
実施例の説明と同じであるから重複した説明は省略す
る。
【０００９】図４は本発明の他の変形実施例であり、光
源１からの光を回折させる回折格子２に入射し、上記回
折格子２からの各±１次回折光を平行化用レンズと平面
ミラーによって反射する様に変形したもので、具体的に
は一方の平行化するレンズ３ｃ１と他方の平行化するレ
ンズ３ｃ２と夫々対応させ、上記各±１次回折光を反射
して戻す一方の平面ミラー３ａ３と他方の平面ミラー３
ａ４とが配置されたものである。各±１次回折光を平行
化するレンズ３ｃ１とレンズ３ｃ２の焦点位置と回折格
子２上の回折位置を一致させ、上記各±１次回折光を平
行化させると、戻り光は常に同じ光路上に戻ってくる。
上記実施例では、２組の平行化する一方のレンズ３ｃ１
と他方の平行化するレンズ３ｃ２と、上記各±１次回折
光を反射して戻す一方の平面ミラー３ａ３と他方の平面
ミラー３ａ４を図示したが、１組の平行化するレンズ３
ｃ０と上記各±１次回折光を反射して戻す平面ミラー３
ａ０で±１次光を共に併用してもよい。上記に説明した
構成以外のその他の構成の説明は、図６と図７に示した
従来例の説明並びに上記図１乃至図３の他の実施例の説
明と同じであるから、重複した説明は省略する。
源１からの光を回折させる回折格子２に入射し、上記回
折格子２からの各±１次回折光を平行化用レンズと平面
ミラーによって反射する様に変形したもので、具体的に
は一方の平行化するレンズ３ｃ１と他方の平行化するレ
ンズ３ｃ２と夫々対応させ、上記各±１次回折光を反射
して戻す一方の平面ミラー３ａ３と他方の平面ミラー３
ａ４とが配置されたものである。各±１次回折光を平行
化するレンズ３ｃ１とレンズ３ｃ２の焦点位置と回折格
子２上の回折位置を一致させ、上記各±１次回折光を平
行化させると、戻り光は常に同じ光路上に戻ってくる。
上記実施例では、２組の平行化する一方のレンズ３ｃ１
と他方の平行化するレンズ３ｃ２と、上記各±１次回折
光を反射して戻す一方の平面ミラー３ａ３と他方の平面
ミラー３ａ４を図示したが、１組の平行化するレンズ３
ｃ０と上記各±１次回折光を反射して戻す平面ミラー３
ａ０で±１次光を共に併用してもよい。上記に説明した
構成以外のその他の構成の説明は、図６と図７に示した
従来例の説明並びに上記図１乃至図３の他の実施例の説
明と同じであるから、重複した説明は省略する。
【００１０】図５は更に本発明の他の実施例を示すもの
で、この図においては、光源１の光を回折させる回折格
子２からの光を２組の円柱型のグレーデッドインデック
スレンズ及び金属反射ミラーにて反射する様に構成した
もので、具体的には上記回折格子２からの各±１次回折
光を、反射して戻すための一方の円柱型のグレーデッド
インデックスレンズ３ｄ１と他方の円柱型のグレーデッ
ドインデックスレンズ３ｄ２夫々のレンズの片方の端面
に誘電体多層膜ミラーやアルミなどの金属反射ミラーな
どの反射手段６を形成して配置される。上記実施例で
は、２個の反射して戻すための一方の円柱型のグレーデ
ッドインデックスレンズ３ｄ１と他方の円柱型のグレー
デッドインデックスレンズ３ｄ２を図示したが、１個の
円柱型のグレーデッドインデックスレンズ３ｄ０で±１
次光を共に併用してもよい。上記に説明した構成以外の
その他の構成の説明は、図６と図７の説明並びに上記図
１乃至図３の説明と同じであるため、重複した説明は省
略する。
で、この図においては、光源１の光を回折させる回折格
子２からの光を２組の円柱型のグレーデッドインデック
スレンズ及び金属反射ミラーにて反射する様に構成した
もので、具体的には上記回折格子２からの各±１次回折
光を、反射して戻すための一方の円柱型のグレーデッド
インデックスレンズ３ｄ１と他方の円柱型のグレーデッ
ドインデックスレンズ３ｄ２夫々のレンズの片方の端面
に誘電体多層膜ミラーやアルミなどの金属反射ミラーな
どの反射手段６を形成して配置される。上記実施例で
は、２個の反射して戻すための一方の円柱型のグレーデ
ッドインデックスレンズ３ｄ１と他方の円柱型のグレー
デッドインデックスレンズ３ｄ２を図示したが、１個の
円柱型のグレーデッドインデックスレンズ３ｄ０で±１
次光を共に併用してもよい。上記に説明した構成以外の
その他の構成の説明は、図６と図７の説明並びに上記図
１乃至図３の説明と同じであるため、重複した説明は省
略する。
【００１１】なお、上記実施例では、ピンホール４を用
いて出力を抜き出したが、上記光検知器５を上記ピンホ
ール４程度の小さい受光面積のディテクタ、例えばフォ
トダイオードとすれば、上記の出力の抜き出し用のピン
ホール４を省略した構成にすることができる。
いて出力を抜き出したが、上記光検知器５を上記ピンホ
ール４程度の小さい受光面積のディテクタ、例えばフォ
トダイオードとすれば、上記の出力の抜き出し用のピン
ホール４を省略した構成にすることができる。
【００１２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように、回折格
子に入射する光と同光路の戻り光を、反射部材に向かう
＋１次光の次数をｎとするときに、他方は反射部材に向
かう−１次光の次数を（２−ｎ）となるように選択させ
て干渉させるようにしたので、光源がＬＤ（半導体レー
ザ）のように温度変化などにより波長変化が大きく変化
して回折角が変化しても、反射光が同一位置に戻るか
ら、従来のような光を減衰させるハーフミラーが不要に
なり、より低出力の光源を用いることができる。従っ
て、低コスト化並びに小型化され、しかも高精度及び高
信頼性のエンコーダを提供することができる。
子に入射する光と同光路の戻り光を、反射部材に向かう
＋１次光の次数をｎとするときに、他方は反射部材に向
かう−１次光の次数を（２−ｎ）となるように選択させ
て干渉させるようにしたので、光源がＬＤ（半導体レー
ザ）のように温度変化などにより波長変化が大きく変化
して回折角が変化しても、反射光が同一位置に戻るか
ら、従来のような光を減衰させるハーフミラーが不要に
なり、より低出力の光源を用いることができる。従っ
て、低コスト化並びに小型化され、しかも高精度及び高
信頼性のエンコーダを提供することができる。
【図１】本発明の一実施例を示すエンコーダの概要構成
図である。
図である。
【図２】本発明の変形実施例を示すエンコーダの要部の
構成説明図である。
構成説明図である。
【図３】本発明の他の実施例を示すエンコーダの説明図
である。
である。
【図４】本発明の他の変形実施例を示すエンコーダの説
明図である。
明図である。
【図５】本発明の他の変形実施例を示すエンコーダの要
部構成図である。
部構成図である。
【図６】従来のエンコーダの概要構成図である。
【図７】図６に示す回折格子の正面図である。
１・・・光源、１ａ・・・Ｈｅ−Ｎｅレーザ、１ｂ・・
・半導体レーザ、２・・・回折格子、３・・・反射部
材、３ａ１〜４・・・平面ミラー、３ｂ１〜２・・・円
筒面ミラー、３ｃ１〜２・・・レンズ、３ｄ１〜２・・
・グレーデッドインデックスレンズ、４・・・ピンホー
ル、５・・・光検知器、６・・・反射手段、１０１・・
・光源、１０２・・・回折格子、３ａ１〜２・・・平面
ミラー、１０４・・・ピンホール、１０５・・・光検知
器、１０６・・・ハーフミラー、１０７・・・オシロス
コープ。
・半導体レーザ、２・・・回折格子、３・・・反射部
材、３ａ１〜４・・・平面ミラー、３ｂ１〜２・・・円
筒面ミラー、３ｃ１〜２・・・レンズ、３ｄ１〜２・・
・グレーデッドインデックスレンズ、４・・・ピンホー
ル、５・・・光検知器、６・・・反射手段、１０１・・
・光源、１０２・・・回折格子、３ａ１〜２・・・平面
ミラー、１０４・・・ピンホール、１０５・・・光検知
器、１０６・・・ハーフミラー、１０７・・・オシロス
コープ。
Claims (5)
- 【請求項１】 光源と、上記光源からの光を回折させる
回折格子と、上記回折格子からの各±１次回折光を反射
させて再び同一経路で反射する反射部材と、上記±１次
回折光の一方の光のｎ次光と他方の光の（２−ｎ）次光
を同一光路上にて干渉させ、上記回折格子の移動に伴っ
て発生する上記干渉光断面内の明暗の干渉縞の光量の変
化を検知する光検知器とを備えることによって、上記回
折格子の移動量を検知することを特徴とするエンコー
ダ。 - 【請求項２】 前記反射部材が円筒面ミラーであること
を特徴とする請求項１記載のエンコーダ。 - 【請求項３】 前記反射部材が各±１次回折光を平行化
するレンズと上記各±１次回折光を反射して戻す平面ミ
ラーとからなることを特徴とする請求項１記載のエンコ
ーダ。 - 【請求項４】 前記反射部材が片面に反射手段を形成し
たグレーデッドインデックスレンズであることを特徴と
する請求項１記載のエンコーダ。 - 【請求項５】 前記光検知器をピンホール程度の受光面
積を有した受光素子としたことを特徴とする請求項１乃
至４記載のエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1703993A JPH06201405A (ja) | 1993-01-07 | 1993-01-07 | エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1703993A JPH06201405A (ja) | 1993-01-07 | 1993-01-07 | エンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06201405A true JPH06201405A (ja) | 1994-07-19 |
Family
ID=11932862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1703993A Pending JPH06201405A (ja) | 1993-01-07 | 1993-01-07 | エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06201405A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014119445A (ja) * | 2012-12-17 | 2014-06-30 | Mitsutoyo Corp | 光学エンコーダ用の照明部 |
| CN108458672A (zh) * | 2018-06-28 | 2018-08-28 | 北方民族大学 | 基于双曲面透镜的角度传感器及其测量方法 |
-
1993
- 1993-01-07 JP JP1703993A patent/JPH06201405A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014119445A (ja) * | 2012-12-17 | 2014-06-30 | Mitsutoyo Corp | 光学エンコーダ用の照明部 |
| CN108458672A (zh) * | 2018-06-28 | 2018-08-28 | 北方民族大学 | 基于双曲面透镜的角度传感器及其测量方法 |
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