JPH06201467A - 分光光量可変装置 - Google Patents
分光光量可変装置Info
- Publication number
- JPH06201467A JPH06201467A JP231393A JP231393A JPH06201467A JP H06201467 A JPH06201467 A JP H06201467A JP 231393 A JP231393 A JP 231393A JP 231393 A JP231393 A JP 231393A JP H06201467 A JPH06201467 A JP H06201467A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- beam splitter
- disks
- control
- cutouts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 分光光量可変装置において、光源ランプの電
圧或いはＮＤフィルター等を使用しないで光量を制御し
たい。 【構成】 オプチカルチョッパー２とビームスプリッタ
ー５間に、２枚の円盤14、14ａに逆向きの雲形切り抜き
16、16ａを形成し、この切り抜き16、16ａの交点に形成
される空間17で光量を制御すると共にビームスプリッタ
ー５で分割された光を検出器８で計測し、この値に基づ
いてモータ18（円盤14、14ａ）の回転数をＣＵＰ９で演
算して制御することにより光量をフィードバック制御す
る。
圧或いはＮＤフィルター等を使用しないで光量を制御し
たい。 【構成】 オプチカルチョッパー２とビームスプリッタ
ー５間に、２枚の円盤14、14ａに逆向きの雲形切り抜き
16、16ａを形成し、この切り抜き16、16ａの交点に形成
される空間17で光量を制御すると共にビームスプリッタ
ー５で分割された光を検出器８で計測し、この値に基づ
いてモータ18（円盤14、14ａ）の回転数をＣＵＰ９で演
算して制御することにより光量をフィードバック制御す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、各種の光を用いて観察
或いは試験等を行う分光光量可変装置に関する。
或いは試験等を行う分光光量可変装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の分光光量可変装置において、光量
を自動的に制御する装置としては、図４に示す例の様
に、光学系の一部にハーフミラー等のビームスプリッタ
ー５を組込み、一定比率で分割された光量を検出器８で
計測し、ＣＰＵ（制御器）９を介して光量情報をランプ
電源10にフィードバックし、電圧あるいは電流を制御す
るシステムと、図５に示す様に、ＣＰＵ９を介した光量
情報を、ＮＤフィルター11（或いは可変スリット、絞り
器）にフィードバックして制御するシステムが公知であ
る。
を自動的に制御する装置としては、図４に示す例の様
に、光学系の一部にハーフミラー等のビームスプリッタ
ー５を組込み、一定比率で分割された光量を検出器８で
計測し、ＣＰＵ（制御器）９を介して光量情報をランプ
電源10にフィードバックし、電圧あるいは電流を制御す
るシステムと、図５に示す様に、ＣＰＵ９を介した光量
情報を、ＮＤフィルター11（或いは可変スリット、絞り
器）にフィードバックして制御するシステムが公知であ
る。
【０００３】図中１は光源、２はオプチカルチョッパ
ー、３はモノクロメータ、４はコリメータ、６は試料、
７は試料透過光測定用検出器である。
ー、３はモノクロメータ、４はコリメータ、６は試料、
７は試料透過光測定用検出器である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来例に
おいては、次のような欠点がある。ａ．光源ランプ１の
電力（電圧、電流）負荷を制御する方式では、電力負荷
の変化と伴にランプ、フィラメントの温度も変動し、ラ
ンプより放射された波長の分布（スペクトル）が変化し
てしまう。又、ハロゲンランプの様なものを光源に用い
た場合には温度変化によりハロゲンサイクルがみだれる
為に、安定した光源を得ることができなくなる。更に、
制御レスポンスが非常に遅い。ｂ．ＮＤフィルター11の
様なフィルターを用いて制御する場合には、制御領域が
制限されると共に、ほこり等によるフィルターのよごれ
の影響を大きく受ける。
おいては、次のような欠点がある。ａ．光源ランプ１の
電力（電圧、電流）負荷を制御する方式では、電力負荷
の変化と伴にランプ、フィラメントの温度も変動し、ラ
ンプより放射された波長の分布（スペクトル）が変化し
てしまう。又、ハロゲンランプの様なものを光源に用い
た場合には温度変化によりハロゲンサイクルがみだれる
為に、安定した光源を得ることができなくなる。更に、
制御レスポンスが非常に遅い。ｂ．ＮＤフィルター11の
様なフィルターを用いて制御する場合には、制御領域が
制限されると共に、ほこり等によるフィルターのよごれ
の影響を大きく受ける。
【０００５】本発明の目的は、上記ａ〜ｂに記した欠点
を解消した分光光量可変装置を提供することである。
を解消した分光光量可変装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る分光光量可
変装置の構成は次のとおりである。
変装置の構成は次のとおりである。
【０００７】２枚の円盤において、同心円線上に徐々に
小さくなる雲形の切り抜きを形成し、この切り抜きが反
対方向を向くように重ね合わせて２枚の円盤を回転自在
に軸支すると共に２枚の円盤をモータにより同一方向に
回転させて前記切り抜きの交点に形成される空間の大き
さを変更することにより、光量を制御できるように構成
した光量可変器をオプチカルチョッパーとビームスプリ
ッター間に配置し、ビームスプリッターで分割された光
を光源制御用検出器で計測し、この計測値を基に前記２
枚の円盤の回転量を演算してモータに信号を送り、この
信号に基づいて２枚の円盤を回転させて光量をフィード
バック制御する制御器を設けて成る分光光量可変装置。
小さくなる雲形の切り抜きを形成し、この切り抜きが反
対方向を向くように重ね合わせて２枚の円盤を回転自在
に軸支すると共に２枚の円盤をモータにより同一方向に
回転させて前記切り抜きの交点に形成される空間の大き
さを変更することにより、光量を制御できるように構成
した光量可変器をオプチカルチョッパーとビームスプリ
ッター間に配置し、ビームスプリッターで分割された光
を光源制御用検出器で計測し、この計測値を基に前記２
枚の円盤の回転量を演算してモータに信号を送り、この
信号に基づいて２枚の円盤を回転させて光量をフィード
バック制御する制御器を設けて成る分光光量可変装置。
【０００８】
【作用】光源から放射された光はオプチカルチョッパー
を経由して光量可変器に入る。この光量可変器は、２枚
の円盤に形成した雲形切り抜きの交点に形成される空間
により光量を制御する。制御された光はビームスプリッ
ターを経由してモノクロメータ、コリメータ、試料に至
り、例えば検出器により透過光量が検出される。一方、
ビームスプリッターで分割された光は光源制御用検出器
で測定され、この値はＣＰＵ（制御器）に入力される。
制御器は検出器で計測された光量を基に、光量可変器に
信号を送り、モータを駆動して２枚の円盤を回転させて
雲形切り抜きで形成されている空間の大きさを制御して
光量をフィードバック制御する。
を経由して光量可変器に入る。この光量可変器は、２枚
の円盤に形成した雲形切り抜きの交点に形成される空間
により光量を制御する。制御された光はビームスプリッ
ターを経由してモノクロメータ、コリメータ、試料に至
り、例えば検出器により透過光量が検出される。一方、
ビームスプリッターで分割された光は光源制御用検出器
で測定され、この値はＣＰＵ（制御器）に入力される。
制御器は検出器で計測された光量を基に、光量可変器に
信号を送り、モータを駆動して２枚の円盤を回転させて
雲形切り抜きで形成されている空間の大きさを制御して
光量をフィードバック制御する。
【０００９】
【実施例】図１に基づいて本発明の実施例を説明する。
１は光源、２はオプチカルチョッパー、12は光量可変器
にして、この光量可変器12の構成は図２に示されてい
る。但し、この光量可変器12の説明は後述する。３はモ
ノクロメータ、４はコリメータ、５はビームスプリッタ
ー、６は試料、７は試料透過光測定用検出器、８はビー
ムスプリッター５で分割された光を計測する検出器、９
はＣＰＵ（制御器）、10はランプ電源である。
１は光源、２はオプチカルチョッパー、12は光量可変器
にして、この光量可変器12の構成は図２に示されてい
る。但し、この光量可変器12の説明は後述する。３はモ
ノクロメータ、４はコリメータ、５はビームスプリッタ
ー、６は試料、７は試料透過光測定用検出器、８はビー
ムスプリッター５で分割された光を計測する検出器、９
はＣＰＵ（制御器）、10はランプ電源である。
【００１０】図２に示した光量可変器12は、枠体13に２
枚の円盤14、14ａを軸15、15ａで回転自在に軸支し、且
つこの２枚の円盤14、14ａには同心円線上において徐々
に小さくなる雲形切り抜き16、16ａを互いに反対方向に
形成し、この切り抜き16、16ａの交点に光量制御用の空
間17を形成するように構成すると共にモータ18、駆動輪
19、ベルト20、回転輪21、21ａにより回転軸15、15ａを
回転させることにより、円盤14、14ａが同一方向に回転
する構成である。
枚の円盤14、14ａを軸15、15ａで回転自在に軸支し、且
つこの２枚の円盤14、14ａには同心円線上において徐々
に小さくなる雲形切り抜き16、16ａを互いに反対方向に
形成し、この切り抜き16、16ａの交点に光量制御用の空
間17を形成するように構成すると共にモータ18、駆動輪
19、ベルト20、回転輪21、21ａにより回転軸15、15ａを
回転させることにより、円盤14、14ａが同一方向に回転
する構成である。
【００１１】光源から放射された光はオプチカルチョッ
パー２を経由して光量可変器12に入る。この光量可変器
12は、２枚の円盤14、14ａに形成した雲形切り抜き16、
16ａの交点に形成される空間17により光量を制御する。
制御された光はビームスプリッター５を経由してモノク
ロメータ３、コリメータ４、試料６に至り、検出器７に
より透過光量が検出される。一方、ビームスプリッター
５で分割された光は光源制御用検出器８で測定され、こ
の値はＣＰＵ（制御器）９に入力される。ＣＰＵ９は検
出器８で計測された光量を基に、光量可変器12に信号を
送り、モータ18を駆動して２枚の円盤14、14ａを回転さ
せて雲形切り抜き16、16ａで形成される空間17の大きさ
を制御して光量をフィードバック制御する。
パー２を経由して光量可変器12に入る。この光量可変器
12は、２枚の円盤14、14ａに形成した雲形切り抜き16、
16ａの交点に形成される空間17により光量を制御する。
制御された光はビームスプリッター５を経由してモノク
ロメータ３、コリメータ４、試料６に至り、検出器７に
より透過光量が検出される。一方、ビームスプリッター
５で分割された光は光源制御用検出器８で測定され、こ
の値はＣＰＵ（制御器）９に入力される。ＣＰＵ９は検
出器８で計測された光量を基に、光量可変器12に信号を
送り、モータ18を駆動して２枚の円盤14、14ａを回転さ
せて雲形切り抜き16、16ａで形成される空間17の大きさ
を制御して光量をフィードバック制御する。
【００１２】
ａ．光源にかかる電力を制御しない為に、光源ランプの
温度変化による、ランプの放射スペクトル（波長分布と
強度）が一定である。 ｂ．２枚の円盤により、光束の大きさを調節する為に、
制御レスポンスが非常に速い。 ｃ．ＮＤフィルターを使用しないことにより、光の制御
領域に制限がない。 ｄ．本件の分光光量可変装置を用いることにより、図３
に示すように定エネルギー分光を簡単に行うことができ
る。例えば、Ｘｅで特定のランプのスペクトルは図３の
とおりであり、この光源の波長域λ1 で連続的に定エネ
ルギー分光を行う為には光源の強さを強度３に設定すれ
ば良い。
温度変化による、ランプの放射スペクトル（波長分布と
強度）が一定である。 ｂ．２枚の円盤により、光束の大きさを調節する為に、
制御レスポンスが非常に速い。 ｃ．ＮＤフィルターを使用しないことにより、光の制御
領域に制限がない。 ｄ．本件の分光光量可変装置を用いることにより、図３
に示すように定エネルギー分光を簡単に行うことができ
る。例えば、Ｘｅで特定のランプのスペクトルは図３の
とおりであり、この光源の波長域λ1 で連続的に定エネ
ルギー分光を行う為には光源の強さを強度３に設定すれ
ば良い。
【図１】本発明に係る分光光量可変装置の説明図。
【図２】光量可変器の説明図。
【図３】分光光量可変装置の制御例の説明図。
【図４】従来のランプ電力制御による自動光量制御シス
テムを採用した分光光量可変装置の説明図。
テムを採用した分光光量可変装置の説明図。
【図５】ＮＤフィルター等による自動光量制御システム
を採用した分光光量可変装置の説明図。
を採用した分光光量可変装置の説明図。
１ 光源 ２ オプチカルチョッパー ３ モノクロメータ ４ コリメータ ５ ビームスプリッター ６ 試料 ７ 検出器 ８ 検出器 ９ ＣＵＰ（制御器） 10 ランプ電源 12 光量可変器 13 枠体 14、14ａ 円盤 15、15ａ 軸 16、16ａ 雲形切り抜き 17 空間 18 モータ 19 駆動輪 20 ベルト 21、21ａ 回転輪
Claims (1)
- 【請求項１】 ２枚の円盤において、同心円線上に徐々
に小さくなる雲形の切り抜きを形成し、この切り抜きが
反対方向を向くように重ね合わせて２枚の円盤を回転自
在に軸支すると共に２枚の円盤をモータにより同一方向
に回転させて前記切り抜きの交点に形成される空間の大
きさを変更することにより、光量を制御できるように構
成した光量可変器をオプチカルチョッパーとビームスプ
リッター間に配置し、ビームスプリッターで分割された
光を光源制御用検出器で計測し、この計測値を基に前記
２枚の円盤の回転量を演算してモータに信号を送り、こ
の信号に基づいて２枚の円盤を回転させて光量をフィー
ドバック制御する制御器を設けて成る分光光量可変装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP231393A JPH06201467A (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | 分光光量可変装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP231393A JPH06201467A (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | 分光光量可変装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06201467A true JPH06201467A (ja) | 1994-07-19 |
Family
ID=11525856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP231393A Pending JPH06201467A (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | 分光光量可変装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06201467A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006025104A1 (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-09 | Gl Sciences Incorporated | 光学的検出方法および光学的検出器 |
| US7369243B2 (en) | 2003-05-28 | 2008-05-06 | Fujifilm Corporation | Optical measuring apparatus and optical measuring method |
| JP2008309805A (ja) * | 2008-09-26 | 2008-12-25 | Fujifilm Corp | 光計測装置及び光計測方法 |
| JP2010085305A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Ushio Inc | 照明光光源装置 |
| JP2016191647A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | ブラザー工業株式会社 | 検査装置 |
-
1993
- 1993-01-11 JP JP231393A patent/JPH06201467A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7369243B2 (en) | 2003-05-28 | 2008-05-06 | Fujifilm Corporation | Optical measuring apparatus and optical measuring method |
| WO2006025104A1 (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-09 | Gl Sciences Incorporated | 光学的検出方法および光学的検出器 |
| JPWO2006025104A1 (ja) * | 2004-08-31 | 2008-05-08 | ジーエルサイエンス株式会社 | 光学的検出方法および光学的検出器 |
| JP4584254B2 (ja) * | 2004-08-31 | 2010-11-17 | ジーエルサイエンス株式会社 | 光学的検出方法および光学的検出器 |
| JP2008309805A (ja) * | 2008-09-26 | 2008-12-25 | Fujifilm Corp | 光計測装置及び光計測方法 |
| JP2010085305A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Ushio Inc | 照明光光源装置 |
| JP2016191647A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | ブラザー工業株式会社 | 検査装置 |
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