JPH06201773A - プローバ - Google Patents
プローバInfo
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- JPH06201773A JPH06201773A JP34842292A JP34842292A JPH06201773A JP H06201773 A JPH06201773 A JP H06201773A JP 34842292 A JP34842292 A JP 34842292A JP 34842292 A JP34842292 A JP 34842292A JP H06201773 A JPH06201773 A JP H06201773A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体装置の高電圧測定に伴う感電や放電等
の異常を防止して、作業の安全性および測定の信頼性の
向上したプローバを得る。 【構成】 プローバの測定系をシールドボックス９で覆
い、その開閉状態を検出する接点スイッチ１０を設け
て、シールドボックス９が開いた状態では電圧印加を不
可能とする。
の異常を防止して、作業の安全性および測定の信頼性の
向上したプローバを得る。 【構成】 プローバの測定系をシールドボックス９で覆
い、その開閉状態を検出する接点スイッチ１０を設け
て、シールドボックス９が開いた状態では電圧印加を不
可能とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体装置などを測
定するプローバに関するものである。
定するプローバに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年の半導体素子の進歩により、高電圧
で用いられる半導体素子も出現し、高電圧用の半導体集
積回路の集積度も向上してきた。これに伴って、半導体
素子を測定する際、測定装置にも高電圧を用いて測定す
るようになって来た。半導体素子などの微細なものをプ
ローバで測定するとき、高電圧のかかる電極と低電圧部
分が接近しているため、この間に放電が生じたり、高電
圧による人体への感電の危険性が高くなる。またそれら
によって大電流が流れるとプローバの測定回路が破壊ま
たは劣化したり、放電の場合は、デバイスが表面から劣
化する等の問題点があった。
で用いられる半導体素子も出現し、高電圧用の半導体集
積回路の集積度も向上してきた。これに伴って、半導体
素子を測定する際、測定装置にも高電圧を用いて測定す
るようになって来た。半導体素子などの微細なものをプ
ローバで測定するとき、高電圧のかかる電極と低電圧部
分が接近しているため、この間に放電が生じたり、高電
圧による人体への感電の危険性が高くなる。またそれら
によって大電流が流れるとプローバの測定回路が破壊ま
たは劣化したり、放電の場合は、デバイスが表面から劣
化する等の問題点があった。
【０００３】これらの問題点の対策として従来から取ら
れていた方法は、放電や感電によって流れ出す大電流を
検出し、電圧源から供給される電流や電圧を制限する方
法であり、以下に説明する。図６は従来のプローバの構
造を示す図である。図において１は被測定物である半導
体装置としてのウエハ、２はウエハ１をその上に置くチ
ャックで、ウエハ１を固定し、ウエハ１の裏面と接触し
てウエハ１の電位を決める。３、４はウエハ１内の被測
定回路の配線に接触するプローブ、５は電源装置、６は
電圧源、７は電流計、８は電流計７から電圧源６へのフ
ィードバック回路であり、電圧源６、電流計７、および
フィードバック回路８で電源装置５を構成する。測定時
に電圧源６から供給された電圧は、電流計７を通して一
方のプローブ３に印加される。他方のプローブ４および
チャック２は、この場合接地される。プローブ３、４の
間で放電が生じた場合および、この回路に人体が接触し
て人体に電流が流れて感電した場合は、流れ出す大電流
を電流計７で検出し、フィードバック回路８によって電
圧源６の電流や電圧を制限することによって放電や感電
を早期に止める。
れていた方法は、放電や感電によって流れ出す大電流を
検出し、電圧源から供給される電流や電圧を制限する方
法であり、以下に説明する。図６は従来のプローバの構
造を示す図である。図において１は被測定物である半導
体装置としてのウエハ、２はウエハ１をその上に置くチ
ャックで、ウエハ１を固定し、ウエハ１の裏面と接触し
てウエハ１の電位を決める。３、４はウエハ１内の被測
定回路の配線に接触するプローブ、５は電源装置、６は
電圧源、７は電流計、８は電流計７から電圧源６へのフ
ィードバック回路であり、電圧源６、電流計７、および
フィードバック回路８で電源装置５を構成する。測定時
に電圧源６から供給された電圧は、電流計７を通して一
方のプローブ３に印加される。他方のプローブ４および
チャック２は、この場合接地される。プローブ３、４の
間で放電が生じた場合および、この回路に人体が接触し
て人体に電流が流れて感電した場合は、流れ出す大電流
を電流計７で検出し、フィードバック回路８によって電
圧源６の電流や電圧を制限することによって放電や感電
を早期に止める。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のプローバは以上
のように構成されていたので、測定時にデバイスに流れ
る電流が大きい場合、電流計７で検出された電流値が放
電や感電によるものかあるいはデバイスに流れる電流か
を区別することが困難で正確な測定が行えない等の問題
点があった。
のように構成されていたので、測定時にデバイスに流れ
る電流が大きい場合、電流計７で検出された電流値が放
電や感電によるものかあるいはデバイスに流れる電流か
を区別することが困難で正確な測定が行えない等の問題
点があった。
【０００５】この発明は、上記の問題点を解決するため
になされたもので、半導体装置をプローバで測定時に測
定回路が人体に接触することを防いで感電を防止するこ
とを目的とする。また、測定回路を流れる電流が、半導
体装置の被測定対象域を流れたものか、それ以外を感
電、放電等の異常要因で流れたものかを識別して、異常
時に早期に停止させることによって、作業者の安定性の
向上、測定回路や半導体装置の破壊、劣化の防止、およ
び測定精度の向上を図るものである。
になされたもので、半導体装置をプローバで測定時に測
定回路が人体に接触することを防いで感電を防止するこ
とを目的とする。また、測定回路を流れる電流が、半導
体装置の被測定対象域を流れたものか、それ以外を感
電、放電等の異常要因で流れたものかを識別して、異常
時に早期に停止させることによって、作業者の安定性の
向上、測定回路や半導体装置の破壊、劣化の防止、およ
び測定精度の向上を図るものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係る請求項１
記載のプローバは、測定時にプローバの測定回路を流れ
る電流が、外来物との電気的接触によって流れることを
防止するための保護装置を備え、その保護装置がセット
されているかどうかを検出するセンサーを設け、上記保
護装置がセットされていないとき測定不可能とするもの
である。
記載のプローバは、測定時にプローバの測定回路を流れ
る電流が、外来物との電気的接触によって流れることを
防止するための保護装置を備え、その保護装置がセット
されているかどうかを検出するセンサーを設け、上記保
護装置がセットされていないとき測定不可能とするもの
である。
【０００７】また、この発明に係る請求項２記載のプロ
ーバは、測定時にプローバの測定回路を流れる電流が、
上記半導体装置の被測定対象域以外を感電、放電等の異
常要因によって流れたことを検出するセンサーを設け、
異常を検出時に測定を停止させるものである。
ーバは、測定時にプローバの測定回路を流れる電流が、
上記半導体装置の被測定対象域以外を感電、放電等の異
常要因によって流れたことを検出するセンサーを設け、
異常を検出時に測定を停止させるものである。
【０００８】
【作用】この発明におけるプローバは、測定時に電流が
外来物との接触によって流れることを防止する保護装置
を備え、センサーを設けてその保護装置がセットされて
いない時は測定不可能としたため、作業者が測定する時
は必ず保護装置がセットされた状態であるため、作業者
が接触して感電することがない。このため作業の安全性
が向上し、感電による大電流で測定回路を破壊や劣化さ
せることを防止する。
外来物との接触によって流れることを防止する保護装置
を備え、センサーを設けてその保護装置がセットされて
いない時は測定不可能としたため、作業者が測定する時
は必ず保護装置がセットされた状態であるため、作業者
が接触して感電することがない。このため作業の安全性
が向上し、感電による大電流で測定回路を破壊や劣化さ
せることを防止する。
【０００９】またこの発明におけるプローバは、測定時
に感電、放電等の異常要因によって電流が流れたことを
検出できるセンサーを備えて、異常時に測定停止させ
る。このため異常が起こっても停止するため、感電等に
よる危険から作業者を守り、異常による大電流で測定回
路やデバイスを破壊や劣化させることを防止する。また
異常時には測定不可能となるため、測定値の信頼性が向
上する。
に感電、放電等の異常要因によって電流が流れたことを
検出できるセンサーを備えて、異常時に測定停止させ
る。このため異常が起こっても停止するため、感電等に
よる危険から作業者を守り、異常による大電流で測定回
路やデバイスを破壊や劣化させることを防止する。また
異常時には測定不可能となるため、測定値の信頼性が向
上する。
【００１０】
実施例１．以下、この発明の一実施例を図について説明
する。なお、従来の技術と重複する箇所は適宜省略す
る。図１（ａ）はこの発明の実施例１によるプローバの
構造を示す斜視図であり、図１（ｂ）は動作を説明する
回路図である。図において１〜７は従来のものと同じも
の、９は測定系を覆う感電防止の保護装置としてのシー
ルドボックス、１０はシールドボックス９に取り付けら
れシールドボックス１０の開閉状態を検出するセンサー
としての接点スイッチ、１１は電源装置５内の出力がプ
ローブ３に印加されるのをＯＮ−ＯＦＦする電磁リレー
である。なお図１（ｂ）のＡ、Ｂは図１のＡ、Ｂに対応
してプローブ３、４に接続される。
する。なお、従来の技術と重複する箇所は適宜省略す
る。図１（ａ）はこの発明の実施例１によるプローバの
構造を示す斜視図であり、図１（ｂ）は動作を説明する
回路図である。図において１〜７は従来のものと同じも
の、９は測定系を覆う感電防止の保護装置としてのシー
ルドボックス、１０はシールドボックス９に取り付けら
れシールドボックス１０の開閉状態を検出するセンサー
としての接点スイッチ、１１は電源装置５内の出力がプ
ローブ３に印加されるのをＯＮ−ＯＦＦする電磁リレー
である。なお図１（ｂ）のＡ、Ｂは図１のＡ、Ｂに対応
してプローブ３、４に接続される。
【００１１】この発明によるプローバで測定する際、シ
ールドボックス９が開いている状態では接点スイッチ１
０はＯＦＦとなり、これによって電磁リレー１１をＯＦ
Ｆにして電圧をプローブ３に印加しない。またシールド
ボックス９が閉じると接点スイッチ１０さらに電磁リレ
ー１１はＯＮとなり測定できる。このように接点スイッ
チ１０を設けたことにより、シールドボックス９が閉じ
た状態でないと測定できないため、測定時に作業者が感
電する等の危険がなく、それによる測定回路の劣化も防
止できる。また測定回路を流れる電流が大きい場合で
も、感電でないことが識別できるため測定値の信頼性が
向上する。
ールドボックス９が開いている状態では接点スイッチ１
０はＯＦＦとなり、これによって電磁リレー１１をＯＦ
Ｆにして電圧をプローブ３に印加しない。またシールド
ボックス９が閉じると接点スイッチ１０さらに電磁リレ
ー１１はＯＮとなり測定できる。このように接点スイッ
チ１０を設けたことにより、シールドボックス９が閉じ
た状態でないと測定できないため、測定時に作業者が感
電する等の危険がなく、それによる測定回路の劣化も防
止できる。また測定回路を流れる電流が大きい場合で
も、感電でないことが識別できるため測定値の信頼性が
向上する。
【００１２】実施例２．また二重の安全機能として実施
例１におけるシールドボックス９にセンサーとしてのタ
ッチスイッチ１２をつけ、作業者がシールドボックス９
に接触すると電圧印加を止める様にしても良い。図２に
示される様に、シールドボックス９に設けられたタッチ
スイッチ１２が接点スイッチ１０と直列に接続され、プ
ローバで測定時に作業者が接触するとＯＦＦとなり電磁
リレー１１をＯＦＦにして電圧印加を止める。
例１におけるシールドボックス９にセンサーとしてのタ
ッチスイッチ１２をつけ、作業者がシールドボックス９
に接触すると電圧印加を止める様にしても良い。図２に
示される様に、シールドボックス９に設けられたタッチ
スイッチ１２が接点スイッチ１０と直列に接続され、プ
ローバで測定時に作業者が接触するとＯＦＦとなり電磁
リレー１１をＯＦＦにして電圧印加を止める。
【００１３】実施例３．上記実施例２ではタッチスイッ
チ１２はシールドボックス９に設けられたが、シールド
ボックス９が無い場合、測定回路に取り付けられても良
い。この場合、作業者が測定回路に接触すると、タッチ
スイッチ１２で検出する。これは実質、作業者への感電
によって異常電流が流れたことを検出するものであり、
電磁リレー１１をＯＦＦにして電圧印加を止める。
チ１２はシールドボックス９に設けられたが、シールド
ボックス９が無い場合、測定回路に取り付けられても良
い。この場合、作業者が測定回路に接触すると、タッチ
スイッチ１２で検出する。これは実質、作業者への感電
によって異常電流が流れたことを検出するものであり、
電磁リレー１１をＯＦＦにして電圧印加を止める。
【００１４】実施例４．また電圧印加中にランプ点灯等
を行って作業者に注意を促して感電を防止する様にして
も良い。
を行って作業者に注意を促して感電を防止する様にして
も良い。
【００１５】実施例５．また、電圧印加部分にサーモセ
ンサーをつけ、絶縁材の劣化等による漏電やショート等
による発熱を検出する。これは実質、漏電やショート等
によって異常電流が流れたことを検出するものであり電
圧印加を止める。この場合も、漏電、ショート等の異常
が起こっても早期に電圧印加を停止するため、感電等に
よる危険防止、測定回路の劣化防止、および測定値の信
頼性向上等同様の効果がある。
ンサーをつけ、絶縁材の劣化等による漏電やショート等
による発熱を検出する。これは実質、漏電やショート等
によって異常電流が流れたことを検出するものであり電
圧印加を止める。この場合も、漏電、ショート等の異常
が起こっても早期に電圧印加を停止するため、感電等に
よる危険防止、測定回路の劣化防止、および測定値の信
頼性向上等同様の効果がある。
【００１６】実施例６．次にウエハ１上に放電が生じた
場合について述べる。図３はこの発明の実施例６による
プローバの回路図である。５〜７、９および１１は実施
例１のものと同じもの、１３はシールドボックス９内に
設けられたセンサーとしてのアンテナで、１３（ａ）、
１３（ｂ）はそれぞれ電気的に独立した導電体で構成さ
れる。１４はアンテナ１３が接続された増幅器である。
またＡ、Ｂは図１のＡ、Ｂに続き、それぞれプローブ
３、４に接続される。
場合について述べる。図３はこの発明の実施例６による
プローバの回路図である。５〜７、９および１１は実施
例１のものと同じもの、１３はシールドボックス９内に
設けられたセンサーとしてのアンテナで、１３（ａ）、
１３（ｂ）はそれぞれ電気的に独立した導電体で構成さ
れる。１４はアンテナ１３が接続された増幅器である。
またＡ、Ｂは図１のＡ、Ｂに続き、それぞれプローブ
３、４に接続される。
【００１７】次に動作を説明する。プローバによる測定
時に放電が生じ電磁波が放射されるとアンテナ１３
（ａ）、１３（ｂ）間に電位差が生じる。この電位差を
増幅器１４で増幅して電磁リレー１１をＯＦＦにする。
これによって電圧印加を止めて放電状態を止める。これ
によって放電を検出して早期に停止させることができる
ため、測定回路およびウエハの表面からの劣化や破壊を
防止し、測定値の信頼性が向上する。
時に放電が生じ電磁波が放射されるとアンテナ１３
（ａ）、１３（ｂ）間に電位差が生じる。この電位差を
増幅器１４で増幅して電磁リレー１１をＯＦＦにする。
これによって電圧印加を止めて放電状態を止める。これ
によって放電を検出して早期に停止させることができる
ため、測定回路およびウエハの表面からの劣化や破壊を
防止し、測定値の信頼性が向上する。
【００１８】実施例７．実施例６では放電を電磁波によ
って検出したが、光によって検出する場合について述べ
る。図４はこの発明の実施例７によるプローバの回路図
である。プローブ３、４間で放電が生じやすいため、プ
ローブ３、４の付近に光センサー１５を設け放電による
発光を検出する。光センサー１５による電気信号は増幅
器１４によって増幅され、電磁リレー１２をＯＦＦにし
て電圧印加を止める。
って検出したが、光によって検出する場合について述べ
る。図４はこの発明の実施例７によるプローバの回路図
である。プローブ３、４間で放電が生じやすいため、プ
ローブ３、４の付近に光センサー１５を設け放電による
発光を検出する。光センサー１５による電気信号は増幅
器１４によって増幅され、電磁リレー１２をＯＦＦにし
て電圧印加を止める。
【００１９】また、自動測定用プローバではＣＣＤによ
りウエハ表面を画像検出してウエハの方位を合わせるも
のがあるが、この機能は電圧印加をして測定中には用い
ないので、このＣＣＤを光センサーとして用いても良
く、図５を用いて説明する。図５に示す様にプローブ
３、４の付近にレンズ１６の焦点を合わせ、プローブ
３、４間で放電が生じるとそれによる発光をレンズ１６
とミラー１７によってＣＣＤ１８に集めて検出しても良
い。
りウエハ表面を画像検出してウエハの方位を合わせるも
のがあるが、この機能は電圧印加をして測定中には用い
ないので、このＣＣＤを光センサーとして用いても良
く、図５を用いて説明する。図５に示す様にプローブ
３、４の付近にレンズ１６の焦点を合わせ、プローブ
３、４間で放電が生じるとそれによる発光をレンズ１６
とミラー１７によってＣＣＤ１８に集めて検出しても良
い。
【００２０】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、プロ
ーバによる測定時に感電を防止したり、感電や放電等の
異常を検出して早期に停止させることができるため、作
業者の安全性が向上し、測定回路やデバイスの破壊や劣
化を防止し、常に正常に測定できるため測定の信頼性が
向上する。
ーバによる測定時に感電を防止したり、感電や放電等の
異常を検出して早期に停止させることができるため、作
業者の安全性が向上し、測定回路やデバイスの破壊や劣
化を防止し、常に正常に測定できるため測定の信頼性が
向上する。
【図１】この発明の実施例１によるプローバの構造を示
す斜視図および回路図である。
す斜視図および回路図である。
【図２】この発明の実施例２によるプローバの回路図で
ある。
ある。
【図３】この発明の実施例６によるプローバの回路図で
ある。
ある。
【図４】この発明の実施例７によるプローバの回路図で
ある。
ある。
【図５】この発明の実施例７によるプローバの光検出器
を示す図である。
を示す図である。
【図６】従来のプローバの構造を示す図である。
１ 半導体装置としてのウエハ ９ 保護装置としてのシールドボックス １０ センサーとしての接点スイッチ １２ センサーとしてのタッチスイッチ １３ センサーとしてのアンテナ １５ 光センサー １８ センサーとしてのＣＣＤ
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体装置の電気的特性を測定するプロ
ーバにおいて、測定時に上記プローバの測定回路を流れ
る電流が、外来物との電気的接触によって流れることを
防止するための保護装置を備え、その保護装置がセット
されているかどうかを検出するセンサーを設け、上記保
護装置がセットされていないとき測定不可能とすること
を特徴とするプローバ。 - 【請求項２】 半導体装置の電気的特性を測定するプロ
ーバにおいて、測定時に上記プローバの測定回路を流れ
る電流が、上記半導体装置の被測定対象域以外を感電、
放電等の異常要因によって流れたことを検出するセンサ
ーを設け、異常を検出時に測定を停止させることを特徴
とするプローバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34842292A JPH06201773A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | プローバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34842292A JPH06201773A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | プローバ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06201773A true JPH06201773A (ja) | 1994-07-22 |
Family
ID=18396907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34842292A Pending JPH06201773A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | プローバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06201773A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101833020A (zh) * | 2010-05-11 | 2010-09-15 | 友达光电股份有限公司 | 测试装置 |
| JP2015169474A (ja) * | 2014-03-05 | 2015-09-28 | 三菱電線工業株式会社 | 部分放電測定装置 |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP34842292A patent/JPH06201773A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101833020A (zh) * | 2010-05-11 | 2010-09-15 | 友达光电股份有限公司 | 测试装置 |
| CN101833020B (zh) | 2010-05-11 | 2012-07-04 | 友达光电股份有限公司 | 测试装置 |
| JP2015169474A (ja) * | 2014-03-05 | 2015-09-28 | 三菱電線工業株式会社 | 部分放電測定装置 |
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