JPH06202060A - LCD display panel inspection device - Google Patents

LCD display panel inspection device

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JPH06202060A
JPH06202060A JP34940292A JP34940292A JPH06202060A JP H06202060 A JPH06202060 A JP H06202060A JP 34940292 A JP34940292 A JP 34940292A JP 34940292 A JP34940292 A JP 34940292A JP H06202060 A JPH06202060 A JP H06202060A
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JP
Japan
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light
liquid crystal
panel
display panel
crystal display
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Application number
JP34940292A
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Japanese (ja)
Inventor
Junzo Kawakami
順三 川上
Kazuyuki Tamura
和之 田村
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Sharp Corp
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Sharp Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】液晶表示パネルのムラ、黒点、白点等の表示品
位不良の検査が、視野角に依存することなくパネル全面
にわたって均一に測定できる検査装置を実現する。 【構成】被検査パネル1の下方に光源装置5と、この光
源装置5と被検査パネル1との間に光拡散板6と、被検
査パネル1の上方に凹面鏡3が配置され、凹面鏡3から
の反射光の光路上にCCDカメラ2と、このCCDカメ
ラ2の前方にスリット板4とを有する。凹面鏡3はその
レンズ軸が水平方向と45゜の角度を成すように配置さ
れている。光源装置5から発せられ、下方から垂直上方
に被検査パネル1を通過した光は凹面鏡3により光路を
90゜曲げられ、水平方向に光路をとる。これらの光の
内、平行光線のみが光軸中心のスリットを通過し、平行
光線以外の光はスリット板4によって遮光され、CCD
カメラ2には平行光線だけが届く。
(57) [Abstract] [Purpose] To realize an inspection device capable of uniformly measuring the liquid crystal display panel for display quality defects such as unevenness, black spots, and white spots, regardless of the viewing angle. A light source device 5 is disposed below the panel 1 to be inspected, a light diffusion plate 6 is disposed between the light source device 5 and the panel 1 to be inspected, and a concave mirror 3 is disposed above the panel 1 to be inspected. The CCD camera 2 and the slit plate 4 are provided in front of the CCD camera 2 on the optical path of the reflected light. The concave mirror 3 is arranged so that its lens axis forms an angle of 45 ° with the horizontal direction. The light emitted from the light source device 5 and passing through the panel 1 to be inspected vertically from below is bent by 90 ° by the concave mirror 3 to take an optical path in the horizontal direction. Of these lights, only parallel rays pass through the slit at the center of the optical axis, and the rays other than parallel rays are shielded by the slit plate 4,
Only parallel rays reach the camera 2.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示パネルの表示
品位をチェックする液晶表示パネル検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display panel inspection device for checking the display quality of a liquid crystal display panel.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示パネルとしては、TN型、ST
N型の液晶表示パネルが多用されているが、この種の液
晶表示パネルの表示品位不良として、例えば、ムラ、黒
点、白点等の存在がある。これらの不良要素は腕時計等
に使用されている小型の液晶表示パネルにおいてはさほ
ど問題にはならないものの、大型の液晶表示パネルにお
いては拡大されて目につき易いため、その商品価値を著
しく低下させる。従って、製作工程において、このよう
な表示品位不良を厳格にチェックし、不良の場合は修正
作業を施す必要がある。
2. Description of the Related Art As liquid crystal display panels, TN type, ST type
N-type liquid crystal display panels are frequently used, but as display quality defects of this type of liquid crystal display panel, there are, for example, unevenness, black spots, white spots, and the like. Although these defective elements are not a serious problem in a small liquid crystal display panel used in a wristwatch or the like, they are magnified and easily noticeable in a large liquid crystal display panel, so that the commercial value thereof is significantly reduced. Therefore, in the manufacturing process, it is necessary to strictly check such a display quality defect and, if it is defective, correct it.

【0003】この表示不良のための検査方法としては、
従来、検査員の目視により行われていた。しかるに、目
視検査による場合は熟練を要するため、均一な検査が行
えないという欠点がある。
As an inspection method for this display defect,
Conventionally, this has been done by the visual inspection of an inspector. However, since visual inspection requires skill, there is a drawback that uniform inspection cannot be performed.

【0004】このような人手による目視検査の欠点を補
うべく、上記した表示品位不良を光学的に検出する方法
としては、例えば、図3に示すような方法がある。この
方法では撮像管、CCD素子、またはCds素子等を用
いた検出用撮像素子2(CCDカメラ)で液晶表示パネ
ル1の表示画面を撮像し、続いて撮像信号を信号処理回
路11によって信号処理し、その出力信号を演算処理回
路12で演算処理し、この演算結果をもとにして表示品
位の良否の判定を行っている。
As a method of optically detecting the above-mentioned display quality defect in order to make up for such a drawback of the manual visual inspection, there is a method shown in FIG. 3, for example. In this method, an image of the display screen of the liquid crystal display panel 1 is picked up by a detecting image pickup device 2 (CCD camera) using an image pickup tube, a CCD device, a Cds device, or the like, and then an image pickup signal is processed by a signal processing circuit 11. The output signal is arithmetically processed by the arithmetic processing circuit 12, and the quality of the display quality is determined based on the arithmetic result.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、TN型、S
TN型等の液晶表示パネルは、液晶の複屈折性を利用し
て画像表示を行うため、視線がパネルに対して垂直方向
である場合と、上下方向または左右方向に傾いた場合と
ではそれぞれの傾き角度により表示のコントラストが異
なる。
By the way, TN type, S type
A liquid crystal display panel such as a TN type displays an image by utilizing the birefringence of liquid crystal, and therefore, depending on whether the line of sight is vertical to the panel or tilted vertically or horizontally. The display contrast differs depending on the tilt angle.

【0006】すなわち、図4および図5に示すように、
例えば、視線が液晶表示パネルに対して垂直方向(=0
°)から下側に14°ずれた場合は、図4から理解され
るように、表示コントラスト比が0°の場合に比べて1
50から30へと大幅に低下している。また、図5によ
っても、視線が液晶表示パネルに対して垂直方向(=0
°)から右側に30°ずれた場合は200から30へ
と、大幅にコントラスト比が低下しているのが理解され
る。
That is, as shown in FIGS. 4 and 5,
For example, the line of sight is perpendicular to the liquid crystal display panel (= 0.
When the display contrast ratio is shifted downward by 14 ° from 0 °), as is understood from FIG.
It has dropped significantly from 50 to 30. In addition, also in FIG. 5, the line of sight is in the direction perpendicular to the liquid crystal display panel (= 0.
It is understood that the contrast ratio is significantly reduced from 200 to 30 when the angle is shifted 30 ° to the right from (°).

【0007】これは、屈折率の異方性および光が液晶層
を横切る距離のそれぞれが視る角度によって違うためで
ある。例えば、ノーマリーホワイト表示の液晶表示パネ
ルにおいて、液晶に電圧を印加して黒色に表示した場
合、視線が上下方向に傾いた場合、あるいは左右方向に
傾いた場合では、遮光されずに透過してくる漏れ光が増
加する。人が視た場合には、こうした上下、左右方向に
傾いた場合のコントラスト差に惑わされることなく、ム
ラ、黒点、白点等の表示品位不良そのものを意識して識
別できるが、光学素子を用いて測定した場合には、この
コントラスト差のデーターとパネル上の表示ムラについ
てのデーターとの識別がつかず、誤判定を招来するおそ
れがある。
This is because the anisotropy of the refractive index and the distance that light traverses the liquid crystal layer differ depending on the viewing angle. For example, in a normally white liquid crystal display panel, when a voltage is applied to the liquid crystal to display it in black, or when the line of sight is tilted in the vertical direction or tilted in the horizontal direction, the light is transmitted without being shielded. Incident light leakage increases. When a person looks at it, he or she can recognize the display quality itself such as unevenness, black spots, white spots, etc. without being confused by the contrast difference when tilted in the vertical and horizontal directions. When measured by the above method, the contrast difference data and the display unevenness data on the panel cannot be discriminated from each other, which may lead to erroneous determination.

【0008】よって、従来は、以下のような対策が講じ
られている。
Therefore, conventionally, the following measures have been taken.

【0009】距離を大きく取って角度差を縮める。A large distance is set to reduce the angle difference.

【0010】測定領域を微小領域に分けて測定する。The measurement area is divided into minute areas for measurement.

【0011】コントラスト比の差を事前に想定し、こ
の比の差に応じた補正量を加味して演算処理する。
The difference in the contrast ratio is assumed in advance, and the calculation process is performed by adding the correction amount according to the difference in the ratio.

【0012】しかし、上記やの方法では、比較的小
さなパネルでは問題はないが、大型の液晶表示表示パネ
ルでは、視角が±5゜程度でもコントラスト比の差が現
れはじめ問題である。よって、距離を十分取る必要があ
るが、このためには対角が10インチクラスのパネルで
も、少なくとも2〜3m以上の遠方から測定することに
なり、装置が非常に大きくなって実用的ではない。
However, in the above method, although there is no problem with a relatively small panel, a large liquid crystal display panel has a problem that a difference in contrast ratio begins to appear even when the viewing angle is about ± 5 °. Therefore, it is necessary to secure a sufficient distance, but for this purpose, even a panel with a diagonal of 10 inches will be measured from a distance of at least 2 to 3 m or more, and the device becomes very large, which is not practical. .

【0013】また、上記のような対策を講じた装置で
は、システム的に大がかりな演算装置が必要であるとい
う問題がある。また、想定したコントラスト差と実際の
コントラスト差が個々の液晶表示パネルに合っている
か、かつ、その結果が信用できるかどうかが問題であ
る。
In addition, the device which has taken the above measures has a problem that a large-scale arithmetic unit is required in terms of a system. Another problem is whether the assumed contrast difference and the actual contrast difference match each liquid crystal display panel and whether the result can be trusted.

【0014】このような理由により、上記従来の光学的
検査では、視野角の影響により精度の良い表示品位検査
を小型の装置構成で行えなかったのが実状である。
For these reasons, in the conventional optical inspection described above, it is not possible to carry out an accurate display quality inspection with a small device configuration due to the influence of the viewing angle.

【0015】本発明は上記のような課題を解決するため
になされたものであり、液晶表示パネルパネルの表示ム
ラ等の検出が視野角に依存することなく、精度良く簡潔
なシステム構成で行える検査装置を提供することを目的
とする。
The present invention has been made in order to solve the above problems, and an inspection can be performed with high accuracy and a simple system configuration for detecting display unevenness of a liquid crystal display panel panel without depending on a viewing angle. The purpose is to provide a device.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示パネル
の検査装置は、液晶表示パネルに光を照射する光源と、
該液晶表示パネルを透過する光又は該液晶表示パネルか
ら反射される光を集光する集光手段と、該集光手段によ
り集光された光の内、集光前の平行光を取り出して、該
平行光を受光手段に導く手段と、該受光手段の検出信号
により、該液晶表示パネルの表示品位の良否を判定する
判定手段とを有する液晶表示パネル検査装置であり、そ
のことにより上記目的が達成される。
A liquid crystal display panel inspection apparatus according to the present invention comprises a light source for irradiating the liquid crystal display panel with light.
Condensing means for condensing the light transmitted through the liquid crystal display panel or the light reflected from the liquid crystal display panel, and out of the light condensed by the condensing means, the parallel light before condensing is taken out, A liquid crystal display panel inspection device comprising: a means for guiding the parallel light to a light receiving means; and a determination means for determining the quality of the display quality of the liquid crystal display panel based on a detection signal from the light receiving means. To be achieved.

【0017】また、好ましくは前記平行光を前記受光手
段に導く手段に絞りを用いるとよい。
Further, it is preferable to use a diaphragm as a means for guiding the parallel light to the light receiving means.

【0018】また、好ましくは前記集光手段に凹面鏡を
用いるとよい。
Further, it is preferable to use a concave mirror as the light converging means.

【0019】また、好ましくは前記集光手段に凸レンズ
を用いるとよい。
Further, it is preferable to use a convex lens for the light converging means.

【0020】[0020]

【作用】本発明の構成によれば、液晶表示パネルから出
た光の内、集光前の平行光だけが受光手段に達し、受光
手段の受光素子上に結ばれる。すなわち、液晶パネルの
全画素が正対状態、かつ一対一対応で受光素子に受光さ
れるので精度の良い検査が行える。
According to the structure of the present invention, of the light emitted from the liquid crystal display panel, only the parallel light before condensing reaches the light receiving means and is coupled onto the light receiving element of the light receiving means. That is, since all the pixels of the liquid crystal panel are directly faced and received by the light receiving elements in a one-to-one correspondence, an accurate inspection can be performed.

【0021】[0021]

【実施例】【Example】

(実施例1)以下、本発明の実施例を説明する。図1に
本発明による液晶表示パネル検査装置の実施例1を示
す。この検査装置は、検査対象の液晶表示パネル(以
下、被検査パネル1という)の下方に配置された光源装
置5と、この光源装置5と被検査パネル1との間に配置
された光拡散板6と、被検査パネル1の上方に配置され
た凹面鏡3と、凹面鏡3からの反射光L2の光路上に配
置されたCCDカメラ2と、このCCDカメラ2の前方
に、光軸中心にスリットを有し、凹面鏡3の焦点位置に
配置されたスリット板4とを有する。CCDカメラ2と
して、本実施例では1/2インチCCD素子を内蔵した
ビデオ用CCDカメラを用いた。また、光源装置5とし
て熱陰極管を使用した。光拡散板6は被検査パネル1平
面全体の照度が均一になるようにするためのものであ
る。凹面鏡3は焦点距離300mmのものを用い、被検
査パネル1の垂直上方300mmの位置にそのレンズ軸
が水平方向と45゜の角度を成すように配置した。
Example 1 An example of the present invention will be described below. First Embodiment FIG. 1 shows a liquid crystal display panel inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention. This inspection apparatus includes a light source device 5 arranged below a liquid crystal display panel to be inspected (hereinafter referred to as an inspected panel 1), and a light diffusion plate disposed between the light source device 5 and the inspected panel 1. 6, a concave mirror 3 arranged above the panel 1 to be inspected, a CCD camera 2 arranged on the optical path of the reflected light L 2 from the concave mirror 3, and a slit at the center of the optical axis in front of the CCD camera 2. And the slit plate 4 arranged at the focal position of the concave mirror 3. As the CCD camera 2, in the present embodiment, a video CCD camera having a built-in 1/2 inch CCD element was used. A hot cathode tube was used as the light source device 5. The light diffusion plate 6 is for making the illuminance uniform over the entire plane of the panel 1 to be inspected. The concave mirror 3 has a focal length of 300 mm, and is arranged vertically above the panel 1 to be inspected 300 mm so that its lens axis forms an angle of 45 ° with the horizontal direction.

【0022】なお、被検査パネル1としては、対角寸法
が10インチ、各絵素寸法0.33mm×0.11m
m、絵素数640×480×3=921,600のカラ
ー表示TN型液晶表示パネルを使用した。偏光板は被検
査パネル1に一体化されたものを用いたが、偏光板と被
検査パネル1とを別置きとし、被検査パネル1の前後に
配置するだけの構成でもよい。
The panel 1 to be inspected has a diagonal dimension of 10 inches and each pixel dimension is 0.33 mm × 0.11 m.
A color display TN type liquid crystal display panel with m and the number of picture elements 640 × 480 × 3 = 921,600 was used. Although the polarizing plate integrated with the panel 1 to be inspected is used, the polarizing plate and the panel 1 to be inspected may be separately placed and arranged before and after the panel 1 to be inspected.

【0023】加えて、この検査装置はCCDカメラ2に
接続された信号処理回路11及び演算処理回路12を有
する。
In addition, this inspection apparatus has a signal processing circuit 11 and an arithmetic processing circuit 12 connected to the CCD camera 2.

【0024】光源装置5から発せられた照明光L1は光
拡散板6によって照度が均一にされた状態で被検査パネ
ル1を透過し、続いて凹面鏡3で反射して光路を90゜
曲げられて水平方向に光路をとる。反射光L2の内、平
行光線のみが光軸中心のスリットを通過し、平行光線以
外の光はこのスリット板4によって遮光される。従っ
て、CCDカメラ2には平行光線だけが導かれる。
Illumination light L 1 emitted from the light source device 5 is transmitted through the panel 1 to be inspected while the illuminance is made uniform by the light diffusing plate 6, and then is reflected by the concave mirror 3 to bend the optical path by 90 °. And take the optical path in the horizontal direction. Of the reflected light L 2 , only parallel rays pass through the slit at the center of the optical axis, and light other than parallel rays is blocked by this slit plate 4. Therefore, only parallel rays are guided to the CCD camera 2.

【0025】このような構成によれば、図1に示すよう
に凹面鏡3を挟んでCCDカメラ2と反対側の位置に被
検査パネル1の虚像が結ばれ、この虚像が縮小されてC
CDカメラ2に撮像されることになる。よってCCDカ
メラ2の個体撮像素子に被検査パネル1の画素が正対、
かつ一対一で撮像される。
With such a configuration, as shown in FIG. 1, a virtual image of the panel 1 to be inspected is formed at a position opposite to the CCD camera 2 with the concave mirror 3 interposed therebetween, and the virtual image is reduced to C.
The image is taken by the CD camera 2. Therefore, the pixels of the panel 1 to be inspected face the individual image pickup element of the CCD camera 2,
And one-to-one is imaged.

【0026】そして、CCDカメラ2からの出力が信号
処理回路11に入力され、ここで所定の信号処理が行わ
れ演算処理回路12に入力される。
Then, the output from the CCD camera 2 is input to the signal processing circuit 11, where predetermined signal processing is performed and input to the arithmetic processing circuit 12.

【0027】演算処理回路12には液晶表示パネルの表
示品位が良品である場合のデータが予め入力されてお
り、このデータと信号処理回路11より与えられる被検
査パネル1の画像のデータとを比較し、被検査パネル1
にムラ、黒点、白点等の表示品位不良が存在するか否か
を判定し、被検査パネル1の良否が判定される。ここ
で、不良品は不良の種類、不良信号のデータと共に修正
工程に返還され、良品は次工程に搬送される。
Data in the case where the display quality of the liquid crystal display panel is non-defective is input in advance to the arithmetic processing circuit 12, and this data is compared with the image data of the panel 1 to be inspected given from the signal processing circuit 11. And the panel to be inspected 1
It is determined whether or not there are display quality defects such as unevenness, black spots, and white spots, and the quality of the panel 1 to be inspected is determined. Here, the defective product is returned to the correction process together with the type of defect and the data of the defective signal, and the non-defective product is transported to the next process.

【0028】(実施例2)図2に本発明の実施例2のパ
ネル検査装置を示す。本実施例2においては、被検査パ
ネル1とスリット板4との間に凸レンズ7が配置され、
この凸レンズ7により被検査パネル1を透過した光を集
光する。光軸中心にスリットを有し、凸レンズ7の焦点
位置に設けられたスリット板4の背後にCCDカメラ2
が配置されており、凸レンズ7で集光された後、集光前
の平行光だけがスリット板4を経てCCDカメラ2に受
光される。以下、上記実施例1と同様の信号処理、演算
処理が行われて被検査パネル1の良否が判定される。本
実施例2では凸レンズ7が安価であり、光学系の組立が
容易であるという利点がある。
(Embodiment 2) FIG. 2 shows a panel inspection apparatus according to Embodiment 2 of the present invention. In the second embodiment, the convex lens 7 is arranged between the panel 1 to be inspected and the slit plate 4,
The convex lens 7 collects the light transmitted through the panel 1 to be inspected. The CCD camera 2 is provided behind the slit plate 4 which has a slit at the center of the optical axis and is provided at the focal position of the convex lens 7.
Is arranged, and after being condensed by the convex lens 7, only the parallel light before being condensed is received by the CCD camera 2 through the slit plate 4. Thereafter, the same signal processing and arithmetic processing as those in the first embodiment are performed to determine the quality of the inspected panel 1. The second embodiment has the advantages that the convex lens 7 is inexpensive and the optical system can be easily assembled.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上、本発明の液晶表示パネル検査装置
によれば、検査パネルから出た光の内、絞り手段を通過
する集光前の平行光だけが受光手段に達し、受光手段の
受光素子上に結ばれる。すなわち、液晶パネルの全画素
が正対、かつ一対一対応で受光素子に受光されるのでデ
ーター補正をする必要がない。従って、液晶パネルに対
する視野角に依存することなく、液晶パネル全画面にわ
たって精度の良い検査が行える。
As described above, according to the liquid crystal display panel inspection apparatus of the present invention, of the light emitted from the inspection panel, only the parallel light before passing through the diaphragm means reaches the light receiving means, and the light receiving means receives light. Tied on the element. That is, since all the pixels of the liquid crystal panel are face-to-face and are received by the light-receiving element in a one-to-one correspondence, it is not necessary to correct the data. Therefore, an accurate inspection can be performed over the entire screen of the liquid crystal panel without depending on the viewing angle with respect to the liquid crystal panel.

【0030】また、特に請求項3の液晶表示パネル検査
装置によれば、集光手段として凸レンズを用いるので、
安価で取り付けも容易である。
Further, according to the liquid crystal display panel inspection apparatus of the third aspect, since the convex lens is used as the light converging means,
It is inexpensive and easy to install.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の液晶表示パネル検査装置の実施例1を
示す模式図。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a first embodiment of a liquid crystal display panel inspection device of the present invention.

【図2】本発明の液晶表示パネル検査装置の実施例2を
示す模式図。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a second embodiment of the liquid crystal display panel inspection device of the present invention.

【図3】視野が上下方向に傾いた場合のコントラスト比
の変化を示すグラフ。
FIG. 3 is a graph showing changes in contrast ratio when the field of view is tilted in the vertical direction.

【図4】視野が左右方向に傾いた場合のコントラスト比
の変化を示すグラフ。
FIG. 4 is a graph showing changes in contrast ratio when the field of view is tilted in the left-right direction.

【図5】従来例による液晶表示パネル検査装置を示す模
式図。
FIG. 5 is a schematic diagram showing a liquid crystal display panel inspection device according to a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 被検査パネル 2 CCDカメラ 3 凹面鏡 4 スリット板 5 光源装置 6 光拡散板 7 凸レンズ 11 信号処理回路 12 演算処理回路 L1 照明光 L2 反射光1 panel to be inspected 2 CCD camera 3 concave mirror 4 slit plate 5 light source device 6 light diffusing plate 7 convex lens 11 signal processing circuit 12 arithmetic processing circuit L 1 illumination light L 2 reflected light

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】液晶表示パネルに光を照射する光源と、 該液晶表示パネルを透過する光又は該液晶表示パネルか
ら反射される光を集光する集光手段と、 該集光手段により集光された光の内、集光前の平行光を
取り出して、該平行光を受光手段に導く手段と、 該受光手段の検出信号により、該液晶表示パネルの表示
品位の良否を判定する判定手段とを有する液晶表示パネ
ル検査装置。
1. A light source for irradiating a liquid crystal display panel with light, a light condensing means for condensing light transmitted through the liquid crystal display panel or light reflected from the liquid crystal display panel, and light condensing means for condensing the light. A means for extracting parallel light before condensing out of the collected light and guiding the parallel light to a light receiving means, and a judgment means for judging the quality of the display quality of the liquid crystal display panel by a detection signal of the light receiving means. Liquid crystal display panel inspection device having a.
【請求項2】前記平行光を前記受光手段に導く手段に絞
りを用いる請求項1に記載の液晶表示パネル検査装置。
2. The liquid crystal display panel inspection device according to claim 1, wherein a diaphragm is used as a means for guiding the parallel light to the light receiving means.
【請求項3】前記集光手段に凹面鏡を用いる請求項1に
記載の液晶表示パネル検査装置。
3. The liquid crystal display panel inspection device according to claim 1, wherein a concave mirror is used as the light converging means.
【請求項4】前記集光手段に凸レンズを用いる請求項1
に記載の液晶表示パネル検査装置。
4. A convex lens is used as the light converging means.
The liquid crystal display panel inspection device according to 1.
JP34940292A 1992-12-28 1992-12-28 LCD display panel inspection device Pending JPH06202060A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34940292A JPH06202060A (en) 1992-12-28 1992-12-28 LCD display panel inspection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34940292A JPH06202060A (en) 1992-12-28 1992-12-28 LCD display panel inspection device

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ID=18403510

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JP34940292A Pending JPH06202060A (en) 1992-12-28 1992-12-28 LCD display panel inspection device

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JP (1) JPH06202060A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09258156A (en) * 1996-03-25 1997-10-03 Nippon Maikuronikusu:Kk Liquid crystal display panel inspection equipment

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JPH09258156A (en) * 1996-03-25 1997-10-03 Nippon Maikuronikusu:Kk Liquid crystal display panel inspection equipment

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