JPH0620284Y2 - 電子線照射装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は電子線照射装置に関する。

（従来の技術） 周知のようにこの種電子線照射装置では、加速管の加速
電源として直流高電圧発生装置が必要とされている。従
来ではその直流高電圧発生装置として、コッククロフト
形高電圧発生装置が広く使用されている。

（考案が解決しようとする課題） しかしコッククロフト形高電圧発生装置では、これを構
成する回路素子を多数必要とするとともに、コンデンサ
を使用するため、構成が煩雑かつ高価となる欠点があっ
た。他の高電圧発生装置においても、ほぼ同様の不利益
がある。

この考案は、加速電源としての直流高電圧発生装置とし
て、簡単でかつ安価な構成とすることを目的とする。

（課題を解決するための手段） この考案は、変圧器によって昇圧された多相の交流高電
圧を整流器によって同一極性に整流するとともに、前記
整流器の出力端を一括して得た整流電圧を加速管の加速
電圧とし、また走査管の走査電圧を、前記整流電圧のリ
ップルに同期させてなることを特徴とする。

（作用） 整流器の出力端を一括することによって、リップルを持
つ直流高電圧が得られる。この直流高電圧を加速管の加
速電圧として使用する。またこのリップル電圧に同期す
る走査電源によって走査管を走査すると、走査両端部で
の電子流の透過能力を増すことができるし、あるいは抑
えることができるようになる。

（実施例） この考案の実施例を第１図によって説明する。１は三相
線路、２はこの三相線路１の三相電圧をこれより多相
の、たとえば六相電圧に変換する変換装置で、これはた
とえば変圧器などによって構成されてある。

３ａ〜３ｆは変圧器からなる昇圧回路で、その各低圧側
は変換装置２の出力端に接続されてあり、またその各高
圧側には整流器４ａ〜４ｆが接続されてある。

整流器４ａ〜４ｆの出力端は一括されてある。そしてそ
の一括された出力端は、加速管５のカソード６に接続さ
れることによって、加速管５の直流高電圧電源として利
用されるようになる。

７は加速管５によって加速された電子流を走査する走査
管、８は走査コイルである。９はその走査電源で、これ
は変換装置２からの六相電圧を入力とし、これに同期す
る電圧を発生する。この電圧により走査コイル８に走査
電流が供給される。

具体的に説明すると、変換装置２の出力電圧すなわち加
速電圧Ｖが、第２図Ａに示すようなリップル分を含んだ
波形であるとすると、これが加速管５にその加速電圧と
して印加される。しかし電圧Ｖは六相電圧を整流したも
のであるので、リップル分は比較的小さく、したがって
大きな影響を与えることなく加速管５は加速される。

一方走査電源９からの走査用電圧Ｓを第２図Ｂとすると
き、その最大値を加速電圧Ｖのリップル最大値に合わせ
るように同期させる。

すると走査用電圧Ｓの正負の最大値において、電子流は
走査管７の走査両端に到達するので、したがって電子流
が走査管７の走査両端で、加速電圧が最大となり、これ
によって電子流の透過能力を増大させることができる。

なお走査用電圧Ｓの最大値を加速電圧Ｖのリップル最小
値に合わせるように同期させると、逆に電子流が走査管
７の走査両端で、加速電圧が最小となり、これによって
電子流の透過能力を抑制させることができる。

すなわち走査用電圧Ｓを移相することによって、走査両
端部での電子流の透過能力を調整することができ、した
がって電子線照射分布を適当に均一化することができる
ようになる。

第１図に示す例では、昇圧回路３ａ〜３ｆの変圧器の高
圧巻線の一端が高電圧となり、他端は低電圧となるもの
であるが、高圧巻線の両端がともに高電圧となり得るよ
うな昇圧変圧器を用いれば、変換装置２を使用しなくと
も、高圧巻線の出力電圧を全波清流することにより、多
相の高電圧が得られるようになる。

第３図はそのための例を示し、昇圧変圧器１１ａ〜１１
ｃの各低圧巻線を三相線路１の各線間に接続するととも
に、高圧巻線のセンタータップを大地電位とし、かつ両
端に同一方向に向けて接続された整流器１２介して一括
接続する。その接続点の電位を加速管５のカソード電位
とする。

このようにすると、高圧巻線の電圧は、それぞれ第４図
のＡ〜Ｃに示すような全波整流された波形の電圧とな
り、したがってこれを一括して合成した電圧は第４図の
Ｄに示すような波形の電圧となる。

これは六相電圧を整流した波形と同じくなるので、した
がって第２図のＡに示す波形の電圧を加速管５に与えた
ときと同様の作用を呈するようになる。

（考案の効果） 以上詳述したようにこの考案によれば、従来のようなコ
ッククロフト形高電圧発生装置のような、複雑かつ高価
な装置を使用することなく、簡単な構成によって直流高
電圧を発生することができるようになり、また走査両端
での電子流の透過能力の調整が可能となるといった効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例を示す回路図、第２図は第１
図の動作説明用の波形図、第３図はこの考案の他の例を
示す回路図、第４図は第３図の動作説明用の波形図であ
る。 １…三沿線路、２…変換装置、３ａ〜３ｆ…昇圧回路、
４ａ〜４ｆ…整流器、５…加速管、７…走査管、９…走
査電源、１１ａ〜１１ｃ…昇圧変圧器、１２…整流器、

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】変圧器によって昇圧された多相の交流高電
   圧を同一極性に整流する整流器と、前記整流器の出力端
   を一括して得た整流電圧を加速電圧とする加速管と、前
   記加速管によって加速された電子流を走査する加速管
   と、前記加速管を前記整流電圧のリップルに同期させて
   走査するための走査電源とを備えてなる電子線照射装
   置。