JPH06208000A - 分子線ビーム−光学装置 - Google Patents
分子線ビーム−光学装置Info
- Publication number
- JPH06208000A JPH06208000A JP5211590A JP21159093A JPH06208000A JP H06208000 A JPH06208000 A JP H06208000A JP 5211590 A JP5211590 A JP 5211590A JP 21159093 A JP21159093 A JP 21159093A JP H06208000 A JPH06208000 A JP H06208000A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical device
- molecular beam
- housing
- specimen
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 標本のｘ位置をより正確かつより再現性のあ
る方法で規定することができる粒子線ビーム−光学装置
を提供する。 【構成】 標本６の動作は、玉継手８中の管状のハウジ
ング２を動作させることにより既知の方法で実現するこ
とができる。標本６のｘ方向における適切に規定されか
つ適切に再現性のある動作を行うために、ロッド状の標
本支持部３をハウジング中のＶ字溝１１，２２に支持す
る。さらに、ｘ方向の移動を行うために真空通路を構成
し、標本支持部３をベローズ２０を介してハウジング２
に連結した状態で静止させる。静止した真空シールをこ
の場合Ｏリング１８により設ける。
る方法で規定することができる粒子線ビーム−光学装置
を提供する。 【構成】 標本６の動作は、玉継手８中の管状のハウジ
ング２を動作させることにより既知の方法で実現するこ
とができる。標本６のｘ方向における適切に規定されか
つ適切に再現性のある動作を行うために、ロッド状の標
本支持部３をハウジング中のＶ字溝１１，２２に支持す
る。さらに、ｘ方向の移動を行うために真空通路を構成
し、標本支持部３をベローズ２０を介してハウジング２
に連結した状態で静止させる。静止した真空シールをこ
の場合Ｏリング１８により設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、標本ホルダを具える分
子線ビーム−光学装置であって、この標本ホルダは、互
いに直交する第１及び第２の方向へ前記分子線ビーム−
光学装置に対して相対移動可能なハウジング及び標本を
支持するロッド状の標本支持体を具え、この標本支持体
を管状の前記ハウジングに収容し、かつ、前記第１及び
第２の方向に直交する第３の方向に移動可能にし、前記
分子線ビーム−光学装置の光軸に対面する前記標本支持
体の端部を、溝方向が前記第３の方向であるＶ字溝に支
持する分子線ビーム−光学装置に関するものである。本
発明はまた、このような分子線ビーム−光学装置用の標
本ホルダにも関するものである。
子線ビーム−光学装置であって、この標本ホルダは、互
いに直交する第１及び第２の方向へ前記分子線ビーム−
光学装置に対して相対移動可能なハウジング及び標本を
支持するロッド状の標本支持体を具え、この標本支持体
を管状の前記ハウジングに収容し、かつ、前記第１及び
第２の方向に直交する第３の方向に移動可能にし、前記
分子線ビーム−光学装置の光軸に対面する前記標本支持
体の端部を、溝方向が前記第３の方向であるＶ字溝に支
持する分子線ビーム−光学装置に関するものである。本
発明はまた、このような分子線ビーム−光学装置用の標
本ホルダにも関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の標本支持体は独国特許公開明細
書第35 46 095 号に記載されている。一般に、標本支持
体は標本を３方向、つまり分子線ビームの方向（ｚ
軸）、標本ホルダの標本支持体の軸線の方向（ｘ方向）
及びこれら二つの軸線に直交する方向（ｙ軸）に移動す
ることができなければならない。
書第35 46 095 号に記載されている。一般に、標本支持
体は標本を３方向、つまり分子線ビームの方向（ｚ
軸）、標本ホルダの標本支持体の軸線の方向（ｘ方向）
及びこれら二つの軸線に直交する方向（ｙ軸）に移動す
ることができなければならない。
【０００３】上述した特許明細書では、ｙ方向及びｚ方
向の移動は、ハウジングの一部を成す玉継手の周りでハ
ウジングを傾動することにより実現される。この傾動軸
線が粒子線ビーム−光学装置の光軸の外側（したがって
標本の外側）にあるため、このような傾動によってｙ方
向及び／又はｚ方向に標本が移動する。この標本ホルダ
では、ｘ軸の周りにも回転できる。この目的を達成する
ために、この回転駆動機構をベローズを介してハウジン
グの外側に連結する。この発明の目的は、上述した傾動
を妨げないねじれ防止伝達を行うことである。
向の移動は、ハウジングの一部を成す玉継手の周りでハ
ウジングを傾動することにより実現される。この傾動軸
線が粒子線ビーム−光学装置の光軸の外側（したがって
標本の外側）にあるため、このような傾動によってｙ方
向及び／又はｚ方向に標本が移動する。この標本ホルダ
では、ｘ軸の周りにも回転できる。この目的を達成する
ために、この回転駆動機構をベローズを介してハウジン
グの外側に連結する。この発明の目的は、上述した傾動
を妨げないねじれ防止伝達を行うことである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】標本支持体のｘ方向の
移動は、玉継手の一部を成す玉中のＶ字溝により案内さ
れる。ｘ方向の移動を行うために標本支持体移動装置を
設けているが、この装置は標本支持体に作用する周囲の
気圧に抵抗して動作する。上述した明細書には、標本支
持体とハウジングとの間の真空シールをどのようにして
実現するか開示していない。このタイプのシールは、標
本支持体とハウジングとの間にＯリングを介することに
より実現するのが一般的である。正確に規定し、かつ、
正確に再現可能な移動を得るためには、Ｏリングは幾つ
かの欠点を有する。例えば、Ｏリングの移動開始時にお
ける初期摩擦に打ち勝つために何らかの力が必要とな
り、またＯリングの材料は、常に何らかの弛緩を示し、
したがって標本支持体の初期のｘ方向位置は失われる。
移動は、玉継手の一部を成す玉中のＶ字溝により案内さ
れる。ｘ方向の移動を行うために標本支持体移動装置を
設けているが、この装置は標本支持体に作用する周囲の
気圧に抵抗して動作する。上述した明細書には、標本支
持体とハウジングとの間の真空シールをどのようにして
実現するか開示していない。このタイプのシールは、標
本支持体とハウジングとの間にＯリングを介することに
より実現するのが一般的である。正確に規定し、かつ、
正確に再現可能な移動を得るためには、Ｏリングは幾つ
かの欠点を有する。例えば、Ｏリングの移動開始時にお
ける初期摩擦に打ち勝つために何らかの力が必要とな
り、またＯリングの材料は、常に何らかの弛緩を示し、
したがって標本支持体の初期のｘ方向位置は失われる。
【０００５】本発明の目的は、標本のｘ方向の位置決め
をより正確なかつより再現性のある方法で規定すること
ができる上述した種類の標本ホルダを具える分子線ビー
ム−光学装置を提供することである。
をより正確なかつより再現性のある方法で規定すること
ができる上述した種類の標本ホルダを具える分子線ビー
ム−光学装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明の分子線ビーム−光学装置は前記標本支持体
をベローズを介して前記ハウジングに連結することを特
徴とするものである。
に、本発明の分子線ビーム−光学装置は前記標本支持体
をベローズを介して前記ハウジングに連結することを特
徴とするものである。
【０００７】この構成によれば、真空シールがｘ方向へ
の移動による影響を受けないということにある。この場
合、真空シールを従来公知の方法例えばＯリングにより
実現できる。
の移動による影響を受けないということにある。この場
合、真空シールを従来公知の方法例えばＯリングにより
実現できる。
【０００８】さらに、標本の位置決めを改善すること
は、前記標本支持体の他の端部を、追加のＶ字溝で支持
することにより達成される。したがって、寄生の力（所
望の方向とは異なる他の方向に作用する力である）によ
り、寄生的な移動を相当小さくすることができる。
は、前記標本支持体の他の端部を、追加のＶ字溝で支持
することにより達成される。したがって、寄生の力（所
望の方向とは異なる他の方向に作用する力である）によ
り、寄生的な移動を相当小さくすることができる。
【０００９】高分解能電子顕微鏡ような分子線ビーム−
光学装置にはしばしば、標本支持体の端部に種々の追加
の装置を装着し、これらの装置は標本支持体の他方の端
部を介してＶ字溝に相当の力を及ぼしている。ｘ方向に
移動する際標本支持体に生じる摩擦を、前記他のＶ字溝
をＶローラとして構成する本発明ではさらに減少するこ
とができる。
光学装置にはしばしば、標本支持体の端部に種々の追加
の装置を装着し、これらの装置は標本支持体の他方の端
部を介してＶ字溝に相当の力を及ぼしている。ｘ方向に
移動する際標本支持体に生じる摩擦を、前記他のＶ字溝
をＶローラとして構成する本発明ではさらに減少するこ
とができる。
【００１０】さらに、ｘ方向の移動を改善することは、
ｘ方向移動のための駆動機構と（場合によっては）標本
支持体との間に差動ギアを設けることにより達成され
る。したがって寄生的な力の発生も著しく減少し、寄生
的な移動もさらに減少する。
ｘ方向移動のための駆動機構と（場合によっては）標本
支持体との間に差動ギアを設けることにより達成され
る。したがって寄生的な力の発生も著しく減少し、寄生
的な移動もさらに減少する。
【００１１】
【実施例】本発明を図面を参照して以下詳細に説明す
る。図１に線図的に示した分子線ビーム−光学装置３０
は、高電圧源３２によって駆動して電子ビーム３３を発
生させる電子発生源３１と、標本ホルダ１に配置された
物体にビーム３３を指向する電子−光学系３４とを具え
る。この電子−光学系を、コンデンサレンズ系３５及び
極４を線図的に示す対物レンズ３６から構成する。電子
ビームが物体を通過した後、対物レンズ及び追加のレン
ズ系３７を介して像平面３８に結像する。これらのレン
ズを、レンズ電源３９によって動作させる。
る。図１に線図的に示した分子線ビーム−光学装置３０
は、高電圧源３２によって駆動して電子ビーム３３を発
生させる電子発生源３１と、標本ホルダ１に配置された
物体にビーム３３を指向する電子−光学系３４とを具え
る。この電子−光学系を、コンデンサレンズ系３５及び
極４を線図的に示す対物レンズ３６から構成する。電子
ビームが物体を通過した後、対物レンズ及び追加のレン
ズ系３７を介して像平面３８に結像する。これらのレン
ズを、レンズ電源３９によって動作させる。
【００１２】図２に、ハウジング２及びこのハウジング
内に収容できる標本支持体３で実質的に構成されている
標本ホルダ１を示す。標本支持体の端部５は、粒子線ビ
ーム−光学装置の粒子レンズの極４の間に位置する標本
６を支持する。標本が移動することができるｘ、ｙ及び
ｚ方向を図中の標本ホルダの右側に示す。標本のｚ方向
及びｙ方向の移動は、円錐形表面１０により形成された
空洞に配置された玉９で構成された玉継手８をハウジン
グ２に設けることにより可能となる。この円錐形表面を
粒子線ビーム−光学装置と強固に連結する。ハウジング
を図面平面内で玉継手を中心にして動かすと、ｚ方向に
変移する。同様にハウジングを図面平面に垂直に玉継手
を中心にして動かすと、ｙ方向に変移する。
内に収容できる標本支持体３で実質的に構成されている
標本ホルダ１を示す。標本支持体の端部５は、粒子線ビ
ーム−光学装置の粒子レンズの極４の間に位置する標本
６を支持する。標本が移動することができるｘ、ｙ及び
ｚ方向を図中の標本ホルダの右側に示す。標本のｚ方向
及びｙ方向の移動は、円錐形表面１０により形成された
空洞に配置された玉９で構成された玉継手８をハウジン
グ２に設けることにより可能となる。この円錐形表面を
粒子線ビーム−光学装置と強固に連結する。ハウジング
を図面平面内で玉継手を中心にして動かすと、ｚ方向に
変移する。同様にハウジングを図面平面に垂直に玉継手
を中心にして動かすと、ｙ方向に変移する。
【００１３】玉継手８の玉９内において、標本支持体を
Ｖ字溝１１内に支持する。このＶ字溝を、例えば玉９の
内側の一部を成す二つの光沢仕上げした表面によって形
成する。標本支持体３を、圧力スプリング１２によって
遊びなく位置決めする。
Ｖ字溝１１内に支持する。このＶ字溝を、例えば玉９の
内側の一部を成す二つの光沢仕上げした表面によって形
成する。標本支持体３を、圧力スプリング１２によって
遊びなく位置決めする。
【００１４】ｘ方向移動機構及び真空通路をハウジング
２の拡開部１３に設ける。標本支持体３の円錐形の肉厚
部分１４の周りに円筒形フランジ１５を設ける。ガイド
１６例えば玉軸受を介してこのフランジをｘ方向に往復
運動可能にする。フランジ１５と標本支持体３の肉厚部
分１７との間に真空シール用のＯリング１８を設ける。
フランジ１５とハウジング２の外側に指向する端縁１９
との間に気密ベローズ２０を設ける。このベローズを設
けることにより標本支持体３を、必ずしも真空シールに
対して標本支持体がこすられることなく、ｘ方向に移動
させることができる。
２の拡開部１３に設ける。標本支持体３の円錐形の肉厚
部分１４の周りに円筒形フランジ１５を設ける。ガイド
１６例えば玉軸受を介してこのフランジをｘ方向に往復
運動可能にする。フランジ１５と標本支持体３の肉厚部
分１７との間に真空シール用のＯリング１８を設ける。
フランジ１５とハウジング２の外側に指向する端縁１９
との間に気密ベローズ２０を設ける。このベローズを設
けることにより標本支持体３を、必ずしも真空シールに
対して標本支持体がこすられることなく、ｘ方向に移動
させることができる。
【００１５】標本支持体３の後方側面２１を、ハウジン
グ２と強固に連結したＶローラ２２に支持する。後方側
面２１を、図示しない方法でハウジング２に連結した圧
力バネ２３によりＶローラ２２に圧入する。
グ２と強固に連結したＶローラ２２に支持する。後方側
面２１を、図示しない方法でハウジング２に連結した圧
力バネ２３によりＶローラ２２に圧入する。
【００１６】円筒形フランジ１５内に複数の穴を設ける
が、これらの穴は円錐形の肉厚部分１４の両側に位置す
る。丸ピン２４をこれらの穴の中に設け、ピンの表面が
肉厚部分１４の円錐形表面に圧着する。ｘ方向の張力
が、標本ホルダの標本支持体３に伝達する。
が、これらの穴は円錐形の肉厚部分１４の両側に位置す
る。丸ピン２４をこれらの穴の中に設け、ピンの表面が
肉厚部分１４の円錐形表面に圧着する。ｘ方向の張力
が、標本ホルダの標本支持体３に伝達する。
【図１】本発明の分子線ビーム−光学装置の線型図であ
る。
る。
【図２】図１の分子線ビーム−光学装置を用いた標本ホ
ルダの断面図である。
ルダの断面図である。
１ 標本ホルダ ２ ハウジング ３ 標本支持体 ４ 極 ５ 端部 ６ 標本 ８ 玉継手 ９ 玉 １０ 円錐形平面 １１ Ｖ字溝 １２，２３ 圧力バネ １３ 拡開部 １４，１７ 肉厚部分 １５ 円筒形フランジ １６ ガイド １８ Ｏリング １９ 端縁 ２０ ベローズ ２１ 後方側面 ２２ Ｖローラ ２４ 丸ピン ３０ 分子線ビーム−光学装置 ３１ 電子発生源 ３２ 高電圧源 ３３ 電子ビーム ３４ 電子−光学系 ３５ コンデンサレンズ系 ３６ 対物レンズ ３７ レンズ系 ３８ 像平面 ３９ レンズ電源
Claims (5)
- 【請求項１】標本ホルダを具える分子線ビーム−光学装
置であって、この標本ホルダは、互いに直交する第１及
び第２の方向へ前記分子線ビーム−光学装置に対して相
対移動可能なハウジング（２）及び標本（６）を支持す
るロッド状の標本支持体（３）を具え、この標本支持体
を管状の前記ハウジング（２）に収容し、かつ、前記第
１及び第２の方向に直交する第３の方向に移動可能に
し、前記分子線ビーム−光学装置の光軸に対面する前記
標本支持体（３）の端部を、溝方向が前記第３の方向で
あるＶ字溝（１１）に支持する分子線ビーム−光学装置
において、前記標本支持体（３）をベローズを介して前
記ハウジング（２）に連結することを特徴とする分子線
ビーム−光学装置。 - 【請求項２】前記標本支持体（３）の他方の端部（２
１）を、他のＶ字溝（２２）で支持することを特徴とす
る請求項１記載の分子線ビーム−光学装置。 - 【請求項３】前記他のＶ字溝（２２）をＶローラとして
構成することを特徴とする請求項２記載の分子線ビーム
−光学装置。 - 【請求項４】ｘ方向移動のための駆動機構を具える請求
項１乃至３のうちいずれか１項に記載の分子線ビーム−
光学装置において、差動ギアを前記駆動機構と前記標本
支持体との間に設けることを特徴とする分子線ビーム−
光学装置。 - 【請求項５】請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載
の分子線ビーム−光学装置用の標本ホルダ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP92202609 | 1992-08-27 | ||
| NL92202609:1 | 1992-08-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06208000A true JPH06208000A (ja) | 1994-07-26 |
Family
ID=8210884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5211590A Pending JPH06208000A (ja) | 1992-08-27 | 1993-08-26 | 分子線ビーム−光学装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5412503A (ja) |
| JP (1) | JPH06208000A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210030531A (ko) * | 2019-09-09 | 2021-03-18 | 한국기계연구원 | 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치 |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6469779B2 (en) | 1997-02-07 | 2002-10-22 | Arcturus Engineering, Inc. | Laser capture microdissection method and apparatus |
| US6495195B2 (en) * | 1997-02-14 | 2002-12-17 | Arcturus Engineering, Inc. | Broadband absorbing film for laser capture microdissection |
| US6828566B2 (en) * | 1997-07-22 | 2004-12-07 | Hitachi Ltd | Method and apparatus for specimen fabrication |
| US7075640B2 (en) | 1997-10-01 | 2006-07-11 | Arcturus Bioscience, Inc. | Consumable for laser capture microdissection |
| US5985085A (en) * | 1997-10-01 | 1999-11-16 | Arcturus Engineering, Inc. | Method of manufacturing consumable for laser capture microdissection |
| US7473401B1 (en) | 1997-12-04 | 2009-01-06 | Mds Analytical Technologies (Us) Inc. | Fluidic extraction of microdissected samples |
| GB2334593B (en) * | 1998-02-20 | 2002-07-17 | Melles Griot Ltd | Positioning mechanism |
| US6388262B1 (en) | 1998-08-12 | 2002-05-14 | Gatan, Inc. | Double tilt and rotate specimen holder for a transmission electron microscope |
| EP1210577A2 (en) | 1999-04-29 | 2002-06-05 | Arcturus Engineering, Inc. | Processing technology for lcm samples |
| US6690470B1 (en) | 1999-11-04 | 2004-02-10 | Arcturus Engineering, Inc. | Automated laser capture microdissection |
| EP1279020B1 (en) * | 2000-04-26 | 2016-03-16 | Life Technologies Corporation | Laser capture microdissection (lcm) extraction device and device carrier and method for post-lcm fluid processing |
| US8722357B2 (en) * | 2001-11-05 | 2014-05-13 | Life Technologies Corporation | Automated microdissection instrument |
| US8715955B2 (en) | 2004-09-09 | 2014-05-06 | Life Technologies Corporation | Laser microdissection apparatus and method |
| US10156501B2 (en) | 2001-11-05 | 2018-12-18 | Life Technologies Corporation | Automated microdissection instrument for determining a location of a laser beam projection on a worksurface area |
| US6967335B1 (en) | 2002-06-17 | 2005-11-22 | Zyvex Corporation | Manipulation system for manipulating a sample under study with a microscope |
| US6891170B1 (en) * | 2002-06-17 | 2005-05-10 | Zyvex Corporation | Modular manipulation system for manipulating a sample under study with a microscope |
| US20070035856A1 (en) * | 2003-01-28 | 2007-02-15 | John Galpin | Multi-axis positioner |
| US6995380B2 (en) * | 2003-03-13 | 2006-02-07 | Ascend Instruments, Llc | End effector for supporting a microsample |
| CN1871684B (zh) * | 2003-09-23 | 2011-08-24 | 塞威仪器公司 | 采用fib准备的样本的抓取元件的显微镜检查的方法、系统和设备 |
| TW200531420A (en) | 2004-02-20 | 2005-09-16 | Zyvex Corp | Positioning device for microscopic motion |
| US20050184028A1 (en) * | 2004-02-23 | 2005-08-25 | Zyvex Corporation | Probe tip processing |
| US7326293B2 (en) * | 2004-03-26 | 2008-02-05 | Zyvex Labs, Llc | Patterned atomic layer epitaxy |
| US8604445B2 (en) * | 2011-12-28 | 2013-12-10 | Jeol Ltd. | Method of evacuating sample holder, pumping system, and electron microscope |
| US20140082920A1 (en) * | 2012-09-27 | 2014-03-27 | International Business Machines Corporation | High aspect ratio sample holder |
| US20140374467A1 (en) * | 2013-06-24 | 2014-12-25 | Jia Lin Yap | Capillary bonding tool and method of forming wire bonds |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB682530A (en) * | 1950-02-23 | 1952-11-12 | Vickers Electrical Co Ltd | Improvements in apparatus for introducing specimens into an evacuated chamber |
| DE2542351A1 (de) * | 1975-09-19 | 1977-03-24 | Siemens Ag | Korpuskularstrahloptisches geraet mit einem stabfoermigen objekthalter |
| US4587431A (en) * | 1983-04-22 | 1986-05-06 | Jeol Ltd. | Specimen manipulating mechanism for charged-particle beam instrument |
| DE3546095A1 (de) * | 1985-12-24 | 1987-06-25 | Zeiss Carl Fa | Goniometertisch |
| NL8902568A (nl) * | 1989-10-17 | 1991-05-16 | Philips Nv | Vacuuem systeem voorzien van een evacueerbaar huis, een objecthouder en een losneembaar daarmee gekoppelde objectdrager. |
-
1993
- 1993-08-23 US US08/110,597 patent/US5412503A/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-08-26 JP JP5211590A patent/JPH06208000A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210030531A (ko) * | 2019-09-09 | 2021-03-18 | 한국기계연구원 | 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5412503A (en) | 1995-05-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5412503A (en) | Specimen holder for a particle beam optical apparatus | |
| US4099852A (en) | Lens positioner with five degrees of freedom | |
| JPS62276612A (ja) | 位置決め装置 | |
| JP2001332181A (ja) | イオン抽出アセンブリ | |
| US8987682B2 (en) | Specimen positioning device, charged particle beam system, and specimen holder | |
| KR20020092796A (ko) | 스테이지 장치 및 노광장치 | |
| US4615591A (en) | Mechanical positioning device for scientific instruments | |
| JP3133307B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| US5323012A (en) | Apparatus for positioning a stage | |
| JPS62234858A (ja) | ゴニオメ−タテ−ブル | |
| US5483065A (en) | Electron beam microanalyzer | |
| US20020179850A1 (en) | Positioning stage with stationary actuators | |
| US3702399A (en) | Specimen stage for an electron microscope | |
| US7732985B2 (en) | Micro stage using piezoelectric element | |
| JPH02241018A (ja) | 光学結像装置及び方法 | |
| KR102822121B1 (ko) | 전자 현미경 스테이지 | |
| JP2002328309A (ja) | 試料支持装置 | |
| EP0584869A1 (en) | Specimen holder for a particle-optical apparatus | |
| JP4190832B2 (ja) | 透過型電子顕微鏡 | |
| JPH02239560A (ja) | 電子顕微鏡等用試料装置 | |
| JP2896205B2 (ja) | 電子ビーム露光装置 | |
| JPH0125475Y2 (ja) | ||
| JPH06215717A (ja) | 試料ホルダ保持機構 | |
| KR100430494B1 (ko) | 진동의영향이없는오브젝트테이블을갖는위치설정장치및상기위치설정장치가제공된리소그래피장치 | |
| KR100430493B1 (ko) | 3차원으로위치설정가능한마스크홀더를가진리소그래피장치 |