JPH06208018A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法Info
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- JPH06208018A JPH06208018A JP284293A JP284293A JPH06208018A JP H06208018 A JPH06208018 A JP H06208018A JP 284293 A JP284293 A JP 284293A JP 284293 A JP284293 A JP 284293A JP H06208018 A JPH06208018 A JP H06208018A
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- JP
- Japan
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- black matrix
- filter
- color
- glass substrate
- color filter
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ブラックマトリクスの幅を均一にでき、しか
も遮光性に制限を生じない電気抵抗の低い材料をブラッ
クマトリクスに使うことができるようにする。 【構成】 ガラス基板１の上にブラックマトリクス２を
形成し、しかる後に各色のフィルタ部５、６、７を形成
する。この形成の際、各色のフィルタ部５、６、７を、
その端がブラックマトリクス２の上に位置するように行
うので、各色のフィルタ部５、６、７の位置合わせが比
較的精度よくなされ、その結果としてブラックマトリク
ス２の幅が均一となる。また、ＩＴＯ電極３を間にし
て、ブラックマトリクス２と各色のフィルタ部５、６、
７とが形成され、ブラックマトリクス２と各色のフィル
タ部５、６、７とが直接に重なることがないので、これ
によりブラックマトリクス２に電気抵抗の低い金属や樹
脂を使っても、膜質の低下がなくなる。
も遮光性に制限を生じない電気抵抗の低い材料をブラッ
クマトリクスに使うことができるようにする。 【構成】 ガラス基板１の上にブラックマトリクス２を
形成し、しかる後に各色のフィルタ部５、６、７を形成
する。この形成の際、各色のフィルタ部５、６、７を、
その端がブラックマトリクス２の上に位置するように行
うので、各色のフィルタ部５、６、７の位置合わせが比
較的精度よくなされ、その結果としてブラックマトリク
ス２の幅が均一となる。また、ＩＴＯ電極３を間にし
て、ブラックマトリクス２と各色のフィルタ部５、６、
７とが形成され、ブラックマトリクス２と各色のフィル
タ部５、６、７とが直接に重なることがないので、これ
によりブラックマトリクス２に電気抵抗の低い金属や樹
脂を使っても、膜質の低下がなくなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示装置などの表
示装置のカラー化に用いられるカラーフィルタの製造方
法に関する。
示装置のカラー化に用いられるカラーフィルタの製造方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記カラーフィルタは、図３に示すよう
に、赤（Ｒ）色用フィルタ部５、緑（Ｇ）色用フィルタ
部６、青（Ｂ）色用フィルタ部７を１組として複数組が
ガラス基板上に形成されており、赤色、緑色、青色の各
フィルタ部５、６、７が形成されていない部分にはブラ
ックマトリクス８が形成されている。
に、赤（Ｒ）色用フィルタ部５、緑（Ｇ）色用フィルタ
部６、青（Ｂ）色用フィルタ部７を１組として複数組が
ガラス基板上に形成されており、赤色、緑色、青色の各
フィルタ部５、６、７が形成されていない部分にはブラ
ックマトリクス８が形成されている。
【０００３】このように構成されたカラーフィルタの製
造方法としては、図４に示す方法が提案されている｛特
開昭６１−２７２７２０号や日経産業新聞（1990.10.22
付の日本ペイントによる液晶用カラーフィルタ）｝。そ
の方法は、以下のように行われる。
造方法としては、図４に示す方法が提案されている｛特
開昭６１−２７２７２０号や日経産業新聞（1990.10.22
付の日本ペイントによる液晶用カラーフィルタ）｝。そ
の方法は、以下のように行われる。
【０００４】先ず、図４（ａ）に示すように、ガラス基
板１上の全面に、ＩＴＯ電極３とポジレジスト４とをこ
の順に塗布する。
板１上の全面に、ＩＴＯ電極３とポジレジスト４とをこ
の順に塗布する。
【０００５】次に、露光・現像してポジレジスト４の一
部を除去して、カラーフィルタを形成すべきＩＴＯ電極
３部分を露出させ、この状態の基板を電着浴に浸して電
圧を印加し、露出したＩＴＯ電極３部分の上に電着カラ
ーフィルタを析出させ、続いて水洗し、ベークすること
により、例えば硬化した赤色用フィルタ部５を得る｛図
４（ｂ）参照｝。このプロセスを同様に繰り返して、図
４（ｃ）及び（ｄ）に示すように緑色用フィルタ部６、
青色用フィルタ部７を得る。
部を除去して、カラーフィルタを形成すべきＩＴＯ電極
３部分を露出させ、この状態の基板を電着浴に浸して電
圧を印加し、露出したＩＴＯ電極３部分の上に電着カラ
ーフィルタを析出させ、続いて水洗し、ベークすること
により、例えば硬化した赤色用フィルタ部５を得る｛図
４（ｂ）参照｝。このプロセスを同様に繰り返して、図
４（ｃ）及び（ｄ）に示すように緑色用フィルタ部６、
青色用フィルタ部７を得る。
【０００６】最後に、図４（ｅ）に示すようにポジレジ
スト４の残っている部分を剥離し、この状態の基板を黒
色用の電着液に浸して電着し、各色のフィルタ部５、
６、７の間にブラックマトリクス８を形成する。
スト４の残っている部分を剥離し、この状態の基板を黒
色用の電着液に浸して電着し、各色のフィルタ部５、
６、７の間にブラックマトリクス８を形成する。
【０００７】更には、上記方法の改良方法が提案されて
いる（EID90-120：日本ＩＢＭ）。この改良方法は、ガ
ラス基板上の全面にＩＴＯ電極をスパッターあるいは蒸
着により形成し、そのＩＴＯ電極の上に、有機顔料を混
合した黒色ネガ型感光性樹脂を使用してブラックマトリ
クスを形成する。次に、ブラックマトリクスの上にポジ
レジストを塗布し、続いてブラックマトリクスよりも広
い光透過域を有するフォトマスクを使用し、露光、現像
してフィルタ部を形成すべきＩＴＯ電極部分を露出させ
る。その後、前述の方法と同様にして、赤色、緑色、青
色の各フィルタ部を電着により形成する方法である。
いる（EID90-120：日本ＩＢＭ）。この改良方法は、ガ
ラス基板上の全面にＩＴＯ電極をスパッターあるいは蒸
着により形成し、そのＩＴＯ電極の上に、有機顔料を混
合した黒色ネガ型感光性樹脂を使用してブラックマトリ
クスを形成する。次に、ブラックマトリクスの上にポジ
レジストを塗布し、続いてブラックマトリクスよりも広
い光透過域を有するフォトマスクを使用し、露光、現像
してフィルタ部を形成すべきＩＴＯ電極部分を露出させ
る。その後、前述の方法と同様にして、赤色、緑色、青
色の各フィルタ部を電着により形成する方法である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図４にて説
明した方法による場合には、ＩＴＯ電極の上に各色のフ
ィルタ部５、６、７を形成した後にブラックマトリクス
８を形成するため、各色のフィルタ部５、６、７の形成
位置がずれることにより、図３に示したようにブラック
マトリクス８の幅がばらつくという問題がある。
明した方法による場合には、ＩＴＯ電極の上に各色のフ
ィルタ部５、６、７を形成した後にブラックマトリクス
８を形成するため、各色のフィルタ部５、６、７の形成
位置がずれることにより、図３に示したようにブラック
マトリクス８の幅がばらつくという問題がある。
【０００９】一方、改良方法による場合には、ブラック
マトリクスを形成した後にフィルタ部を形成するもの
の、ブラックマトリクスに電気抵抗の低い材料を使う
と、その後の電着によるフィルタ部形成の際にブラック
マトリクス上にもフィルタ部が形成されてブラックマト
リクス上の膜質が悪くなるので、これを防止するために
高い電気抵抗を有する有機材料を使う必要が生じ、その
結果として遮光性に制限が招来されるという問題があ
る。
マトリクスを形成した後にフィルタ部を形成するもの
の、ブラックマトリクスに電気抵抗の低い材料を使う
と、その後の電着によるフィルタ部形成の際にブラック
マトリクス上にもフィルタ部が形成されてブラックマト
リクス上の膜質が悪くなるので、これを防止するために
高い電気抵抗を有する有機材料を使う必要が生じ、その
結果として遮光性に制限が招来されるという問題があ
る。
【００１０】本発明は、このような従来技術の課題を解
決すべくなされたものであり、ブラックマトリクスの幅
を均一にでき、しかも遮光性に制限を生じない電気抵抗
の低い材料をブラックマトリクスに使うことができるカ
ラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。
決すべくなされたものであり、ブラックマトリクスの幅
を均一にでき、しかも遮光性に制限を生じない電気抵抗
の低い材料をブラックマトリクスに使うことができるカ
ラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明のカラーフィルタ
の製造方法は、ガラス基板上に赤色用フィルタ部、緑色
用フィルタ部および青色用フィルタ部が所定のパターン
に形成され、フィルタ部の非形成部分にブラックマトリ
クスが形成されているカラーフィルタの製造方法におい
て、ガラス基板上に、電気抵抗が低く、かつ遮光率が高
い顔料を分散させた樹脂または金属からなるブラックマ
トリクスを所定パターンに形成する工程と、該ブラック
マトリクスの上の全面に透明電極を形成する工程と、該
透明電極の上にレジスト膜を形成する工程と、該レジス
ト膜の一部を除去し、露出した透明電極部分の上に赤色
用フィルタ部を、その端が該ブラックマトリクスの上に
位置する状態に形成する工程と、該レジスト膜の一部を
除去し、露出した透明電極部分の上に緑色用フィルタ部
を、その端が該ブラックマトリクスの上に位置する状態
に形成する工程と、該レジスト膜の一部を除去し、露出
した透明電極部分の上に青色用フィルタ部を、その端が
該ブラックマトリクスの上に位置する状態に形成する工
程と、を含んでおり、そのことにより上記目的が達成さ
れる。
の製造方法は、ガラス基板上に赤色用フィルタ部、緑色
用フィルタ部および青色用フィルタ部が所定のパターン
に形成され、フィルタ部の非形成部分にブラックマトリ
クスが形成されているカラーフィルタの製造方法におい
て、ガラス基板上に、電気抵抗が低く、かつ遮光率が高
い顔料を分散させた樹脂または金属からなるブラックマ
トリクスを所定パターンに形成する工程と、該ブラック
マトリクスの上の全面に透明電極を形成する工程と、該
透明電極の上にレジスト膜を形成する工程と、該レジス
ト膜の一部を除去し、露出した透明電極部分の上に赤色
用フィルタ部を、その端が該ブラックマトリクスの上に
位置する状態に形成する工程と、該レジスト膜の一部を
除去し、露出した透明電極部分の上に緑色用フィルタ部
を、その端が該ブラックマトリクスの上に位置する状態
に形成する工程と、該レジスト膜の一部を除去し、露出
した透明電極部分の上に青色用フィルタ部を、その端が
該ブラックマトリクスの上に位置する状態に形成する工
程と、を含んでおり、そのことにより上記目的が達成さ
れる。
【００１２】
【作用】本発明にあっては、ガラス基板の上にブラック
マトリクスを形成し、しかる後に各色のフィルタ部を形
成する。この形成の際、各色のフィルタ部を、その端が
ブラックマトリクスの上に位置するように行うので、各
色のフィルタ部の位置合わせが比較的精度よくなされ、
その結果としてブラックマトリクスの幅が均一となる。
また、透明電極を間にして、ブラックマトリクスと各色
のフィルタ部とが形成され、ブラックマトリクスと各色
のフィルタ部とが直接に重なることがないので、これに
よりブラックマトリクスに電気抵抗の低い金属や樹脂を
使っても、膜質の低下がなくなる。
マトリクスを形成し、しかる後に各色のフィルタ部を形
成する。この形成の際、各色のフィルタ部を、その端が
ブラックマトリクスの上に位置するように行うので、各
色のフィルタ部の位置合わせが比較的精度よくなされ、
その結果としてブラックマトリクスの幅が均一となる。
また、透明電極を間にして、ブラックマトリクスと各色
のフィルタ部とが形成され、ブラックマトリクスと各色
のフィルタ部とが直接に重なることがないので、これに
よりブラックマトリクスに電気抵抗の低い金属や樹脂を
使っても、膜質の低下がなくなる。
【００１３】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１４】図１は、本実施例のカラーフィルタの製造
方法を説明するための工程図である。先ず、図１（ａ）
に示すように、例えばコーニング７０５９からなるガラ
ス基板１上に、ブラックマトリクス用のクロム膜をスパ
ッターにより形成し、そのクロム膜の上にフォトレジス
ト（ＯＦＰＲ５０００）を塗布し、そのあと露光、現
像、ベイクを行った後、ＳＦ６ガスでドライエッチング
を行い、ガラス基板１上にクロムからなるブラックマト
リクスパターン２を形成する。
方法を説明するための工程図である。先ず、図１（ａ）
に示すように、例えばコーニング７０５９からなるガラ
ス基板１上に、ブラックマトリクス用のクロム膜をスパ
ッターにより形成し、そのクロム膜の上にフォトレジス
ト（ＯＦＰＲ５０００）を塗布し、そのあと露光、現
像、ベイクを行った後、ＳＦ６ガスでドライエッチング
を行い、ガラス基板１上にクロムからなるブラックマト
リクスパターン２を形成する。
【００１５】次に、図１（ｂ）に示すように、ブラック
マトリクスパターン２が形成されたガラス基板１上の全
面にＩＴＯ電極３をスパッターにより形成し、更にＩＴ
Ｏ電極３上の全面にポジ型レジスト４を塗布する。
マトリクスパターン２が形成されたガラス基板１上の全
面にＩＴＯ電極３をスパッターにより形成し、更にＩＴ
Ｏ電極３上の全面にポジ型レジスト４を塗布する。
【００１６】次に、図１（ｃ）に示すように、ポジ型レ
ジスト４の一部を除去して、その除去した部分に、赤色
のフィルタ部５を形成する。これを詳述すると、ポジ型
レジスト４の一部を除去した部分の端が、その下にある
ブラックマトリクス２の幅内に収まるように、即ちブラ
ックマトリクス２の上にあるように位置合わせし、その
後露光、現像を行って、赤色のフィルタ部５を形成すべ
きＩＴＯ電極３部分を露出させる。かかる状態のガラス
基板１を後述する電着液浴に浸し、５０Ｖの電圧を印加
して赤色のフィルタ部５を形成する。上記電着液浴は、
例えば赤色の顔料に黄色の顔料を３０％添加した平均粒
径が０．１７μｍの顔料を、アクリル系の樹脂に１／５
の割合で分散し、ＰＨを９以下としたものを使用した。
ジスト４の一部を除去して、その除去した部分に、赤色
のフィルタ部５を形成する。これを詳述すると、ポジ型
レジスト４の一部を除去した部分の端が、その下にある
ブラックマトリクス２の幅内に収まるように、即ちブラ
ックマトリクス２の上にあるように位置合わせし、その
後露光、現像を行って、赤色のフィルタ部５を形成すべ
きＩＴＯ電極３部分を露出させる。かかる状態のガラス
基板１を後述する電着液浴に浸し、５０Ｖの電圧を印加
して赤色のフィルタ部５を形成する。上記電着液浴は、
例えば赤色の顔料に黄色の顔料を３０％添加した平均粒
径が０．１７μｍの顔料を、アクリル系の樹脂に１／５
の割合で分散し、ＰＨを９以下としたものを使用した。
【００１７】次に、図１（ｄ）に示すように、更にポジ
型レジスト４の一部を除去して、その除去した部分に、
緑色のフィルタ部６を形成する。これを詳述すると、ポ
ジ型レジスト４の一部を除去した部分の端が、その下に
あるブラックマトリクス２の上にあるように位置合わせ
し、その後露光、現像を行って、緑色のフィルタ部６を
形成すべきＩＴＯ電極３部分を露出させる。かかる状態
のガラス基板１を後述する電着液浴に浸し、５５Ｖの電
圧を印加して緑色のフィルタ部６を形成する。この場合
の電着液浴としては、例えば緑色の顔料に黄色の顔料を
４０％添加した平均粒径が０．１２μｍの顔料を、アク
リル系樹脂内に１／５の割合で分散し、ＰＨを９以下と
したものを使用した。
型レジスト４の一部を除去して、その除去した部分に、
緑色のフィルタ部６を形成する。これを詳述すると、ポ
ジ型レジスト４の一部を除去した部分の端が、その下に
あるブラックマトリクス２の上にあるように位置合わせ
し、その後露光、現像を行って、緑色のフィルタ部６を
形成すべきＩＴＯ電極３部分を露出させる。かかる状態
のガラス基板１を後述する電着液浴に浸し、５５Ｖの電
圧を印加して緑色のフィルタ部６を形成する。この場合
の電着液浴としては、例えば緑色の顔料に黄色の顔料を
４０％添加した平均粒径が０．１２μｍの顔料を、アク
リル系樹脂内に１／５の割合で分散し、ＰＨを９以下と
したものを使用した。
【００１８】次に、図１（ｅ）に示すように、ガラス基
板１の全面に紫外線光を照射してポジ型レジスト４を現
像して除去し、赤色及び緑色のフィルタ部５、６の形成
されていないＩＴＯ電極３部分の上を露出させる。かか
る状態のガラス基板１を後述する電着液浴に浸し、５０
Ｖの電圧を印加して青色のフィルタ部７を形成する。こ
の場合の電着液浴としては、例えば青色の顔料に黄色の
顔料を３０％添加した平均粒径が０．１μｍの顔料を、
アクリル系樹脂内に１／５の割合で分散し、ＰＨが９以
下のものを使用した。
板１の全面に紫外線光を照射してポジ型レジスト４を現
像して除去し、赤色及び緑色のフィルタ部５、６の形成
されていないＩＴＯ電極３部分の上を露出させる。かか
る状態のガラス基板１を後述する電着液浴に浸し、５０
Ｖの電圧を印加して青色のフィルタ部７を形成する。こ
の場合の電着液浴としては、例えば青色の顔料に黄色の
顔料を３０％添加した平均粒径が０．１μｍの顔料を、
アクリル系樹脂内に１／５の割合で分散し、ＰＨが９以
下のものを使用した。
【００１９】したがって、本実施例による場合には、ブ
ラックマトリクス２の後に各色のフィルタ部５、６、７
を形成すると共に、各色のフィルタ部５、６、７の形成
の際の位置合わせを、各色のフィルタ部５、６、７の端
がブラックマトリクス２の上に位置するようにして行っ
ている。即ち、各色のフィルタ部の形状が先に形成され
たブラックマトリクスのパターンによって自動的に決め
られるように行っている。よって、図２（平面図）に示
すようにブラックマトリクス２の幅がほぼ一定であり、
各色のフィルタ部５、６、７に形状ムラがないカラーフ
ィルタを製造することが可能になる。また、ＩＴＯ電極
３を間にして、ブラックマトリクス２と各色のフィルタ
部５、６、７とが形成され、ブラックマトリクス２と各
色のフィルタ部５、６、７とが直接に重なることがない
ので、これによりブラックマトリクス２に電気抵抗の低
いクロムを使っても、膜質の低下がなくなる。
ラックマトリクス２の後に各色のフィルタ部５、６、７
を形成すると共に、各色のフィルタ部５、６、７の形成
の際の位置合わせを、各色のフィルタ部５、６、７の端
がブラックマトリクス２の上に位置するようにして行っ
ている。即ち、各色のフィルタ部の形状が先に形成され
たブラックマトリクスのパターンによって自動的に決め
られるように行っている。よって、図２（平面図）に示
すようにブラックマトリクス２の幅がほぼ一定であり、
各色のフィルタ部５、６、７に形状ムラがないカラーフ
ィルタを製造することが可能になる。また、ＩＴＯ電極
３を間にして、ブラックマトリクス２と各色のフィルタ
部５、６、７とが形成され、ブラックマトリクス２と各
色のフィルタ部５、６、７とが直接に重なることがない
ので、これによりブラックマトリクス２に電気抵抗の低
いクロムを使っても、膜質の低下がなくなる。
【００２０】上記実施例ではブラックマトリクス２にク
ロムを使用しているが、本発明はこれに限らず、他の金
属や、電気抵抗が低く、かつ遮光率が高い顔料を分散さ
せた樹脂を使用することができる。
ロムを使用しているが、本発明はこれに限らず、他の金
属や、電気抵抗が低く、かつ遮光率が高い顔料を分散さ
せた樹脂を使用することができる。
【００２１】なお、上記電気抵抗が低く、かつ遮光率が
高い顔料を分散させた樹脂を使用する場合の製造方法の
一例を以下に説明する。コーニング７０５９からなるガ
ラス基板１の上に、カーボンブラックを分散したネガ型
感光性樹脂（抵抗値１０9Ωｃｍ）を塗布し、そのあと
露光、現像を行ってブラックマトリクス２を形成する。
なお、ブラックマトリクス２は、例えばその膜厚を１．
５μｍとし、透過率を可視光線の平均で１％以下にする
のが好ましい。ブラックマトリクス２を形成した後は、
前同様に全面にＩＴＯ電極３をスパッターにより蒸着
し、ポジ型フォトレジスト４をその上に塗布し、順次、
フィルタ部を形成すべき部分のＩＴＯ電極３を露出させ
て電着により各色のフィルタ部分５、６、７を形成す
る。
高い顔料を分散させた樹脂を使用する場合の製造方法の
一例を以下に説明する。コーニング７０５９からなるガ
ラス基板１の上に、カーボンブラックを分散したネガ型
感光性樹脂（抵抗値１０9Ωｃｍ）を塗布し、そのあと
露光、現像を行ってブラックマトリクス２を形成する。
なお、ブラックマトリクス２は、例えばその膜厚を１．
５μｍとし、透過率を可視光線の平均で１％以下にする
のが好ましい。ブラックマトリクス２を形成した後は、
前同様に全面にＩＴＯ電極３をスパッターにより蒸着
し、ポジ型フォトレジスト４をその上に塗布し、順次、
フィルタ部を形成すべき部分のＩＴＯ電極３を露出させ
て電着により各色のフィルタ部分５、６、７を形成す
る。
【００２２】樹脂を使用するこの例では、顔料にカーボ
ンブラックを使用し、樹脂にネガ型感光性樹脂を使用し
ているが、顔料及び樹脂共に他の材料を使用することが
できる。
ンブラックを使用し、樹脂にネガ型感光性樹脂を使用し
ているが、顔料及び樹脂共に他の材料を使用することが
できる。
【００２３】上記実施例では各色のフィルタ部を赤、
緑、青の順に形成しているが、本発明はこれに限らず、
順序は任意である。例えば、形成順序を赤、青、緑の
順、あるいは青、緑、赤の順等としてもよい。
緑、青の順に形成しているが、本発明はこれに限らず、
順序は任意である。例えば、形成順序を赤、青、緑の
順、あるいは青、緑、赤の順等としてもよい。
【００２４】
【発明の効果】以上詳述したように本発明による場合に
は、各色のフィルタ部とブラックマトリクスとが接触し
ない構成であるので、ブラックマトリクスの材料を電気
抵抗率に関係なく選択使用することが可能となり、金属
あるいは抵抗の低い樹脂を使用しても支障がない。ま
た、各色のフィルタ部がその端をブラックマトリクスの
上に位置するように形成されるため、即ち各色のフィル
タ部の形状が先に形成されたブラックマトリクスのパタ
ーンによって自動的に決められた状態で各色のフィルタ
部が形成されるため、形状ムラのない均一なブラックマ
トリクスを有するカラーフィルタの実現が可能となる。
は、各色のフィルタ部とブラックマトリクスとが接触し
ない構成であるので、ブラックマトリクスの材料を電気
抵抗率に関係なく選択使用することが可能となり、金属
あるいは抵抗の低い樹脂を使用しても支障がない。ま
た、各色のフィルタ部がその端をブラックマトリクスの
上に位置するように形成されるため、即ち各色のフィル
タ部の形状が先に形成されたブラックマトリクスのパタ
ーンによって自動的に決められた状態で各色のフィルタ
部が形成されるため、形状ムラのない均一なブラックマ
トリクスを有するカラーフィルタの実現が可能となる。
【図１】本発明のカラーフィルタの製造方法を説明する
ための工程図。
ための工程図。
【図２】本発明方法により製造されたカラーフィルタを
部分的に示す平面図。
部分的に示す平面図。
【図３】従来方法により製造されたカラーフィルタを部
分的に示す平面図。
分的に示す平面図。
【図４】従来のカラーフィルタの製造方法を説明するた
めの工程図。
めの工程図。
１ ガラス基板 ２ ブラックマトリクス ３ ＩＴＯ電極 ４ ポジ型レジスト ５ 赤色のフィルタ部 ６ 緑色のフィルタ部 ７ 青色のフィルタ部
Claims (1)
- 【請求項１】 ガラス基板上に赤色用フィルタ部、緑色
用フィルタ部および青色用フィルタ部が所定のパターン
に形成され、フィルタ部の非形成部分にブラックマトリ
クスが形成されているカラーフィルタの製造方法におい
て、 ガラス基板上に、電気抵抗が低く、かつ遮光率が高い顔
料を分散させた樹脂または金属からなるブラックマトリ
クスを所定パターンに形成する工程と、 該ブラックマトリクスの上の全面に透明電極を形成する
工程と、 該透明電極の上にレジスト膜を形成する工程と、 該レジスト膜の一部を除去し、露出した透明電極部分の
上に赤色用フィルタ部を、その端が該ブラックマトリク
スの上に位置する状態に形成する工程と、 該レジスト膜の一部を除去し、露出した透明電極部分の
上に緑色用フィルタ部を、その端が該ブラックマトリク
スの上に位置する状態に形成する工程と、 該レジスト膜の一部を除去し、露出した透明電極部分の
上に青色用フィルタ部を、その端が該ブラックマトリク
スの上に位置する状態に形成する工程と、 を含むカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP284293A JPH06208018A (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP284293A JPH06208018A (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06208018A true JPH06208018A (ja) | 1994-07-26 |
Family
ID=11540670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP284293A Pending JPH06208018A (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06208018A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09265006A (ja) * | 1996-03-27 | 1997-10-07 | Toray Ind Inc | 樹脂ブラックマトリックス、黒色ペースト、およびカラーフィルタ |
| JP2006106164A (ja) * | 2004-10-01 | 2006-04-20 | Sharp Corp | カラーフィルタ基板及びその製造方法 |
| JP2009186990A (ja) * | 2008-01-10 | 2009-08-20 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタ |
-
1993
- 1993-01-11 JP JP284293A patent/JPH06208018A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09265006A (ja) * | 1996-03-27 | 1997-10-07 | Toray Ind Inc | 樹脂ブラックマトリックス、黒色ペースト、およびカラーフィルタ |
| JP2006106164A (ja) * | 2004-10-01 | 2006-04-20 | Sharp Corp | カラーフィルタ基板及びその製造方法 |
| JP2009186990A (ja) * | 2008-01-10 | 2009-08-20 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタ |
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