JPH0621279A - 伝熱装置 - Google Patents
伝熱装置Info
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- JPH0621279A JPH0621279A JP4200625A JP20062592A JPH0621279A JP H0621279 A JPH0621279 A JP H0621279A JP 4200625 A JP4200625 A JP 4200625A JP 20062592 A JP20062592 A JP 20062592A JP H0621279 A JPH0621279 A JP H0621279A
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- Japan
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- heat transfer
- heat
- refrigerant bag
- transfer device
- refrigerant
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W40/00—Arrangements for thermal protection or thermal control
- H10W40/70—Fillings or auxiliary members in containers or in encapsulations for thermal protection or control
- H10W40/73—Fillings or auxiliary members in containers or in encapsulations for thermal protection or control for cooling by change of state
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 熱伝導率及び熱抵抗に関する問題点を解消
し、LSI等の電子素子及び熱伝導体の損傷を防止し
て、基板上の凹凸にかかわらず十分な熱伝達を可能とす
る。 【構成】 開孔部2を有する保護用金属容器1と、放熱
フィン11を有する熱搬送部材9と、被冷却体10と、
伝熱管9とを熱的に結合する冷媒バッグ3とからなる。
伝熱管10と、冷媒バッグ3とは、保護用金属容器1に
収納され、保護用金属容器1の開孔部2と、冷媒バッグ
3とから接触部7が形成される。この接触部7が直接被
冷却体10に触れ、冷却を行う。
し、LSI等の電子素子及び熱伝導体の損傷を防止し
て、基板上の凹凸にかかわらず十分な熱伝達を可能とす
る。 【構成】 開孔部2を有する保護用金属容器1と、放熱
フィン11を有する熱搬送部材9と、被冷却体10と、
伝熱管9とを熱的に結合する冷媒バッグ3とからなる。
伝熱管10と、冷媒バッグ3とは、保護用金属容器1に
収納され、保護用金属容器1の開孔部2と、冷媒バッグ
3とから接触部7が形成される。この接触部7が直接被
冷却体10に触れ、冷却を行う。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、LSI等の電子素子冷
却用伝熱装置に関し、特に、一端に吸熱部を有するヒー
トパイプや水冷管等の熱搬送部材との間を、熱的に結合
する熱伝達手段を有する伝熱装置に関する。
却用伝熱装置に関し、特に、一端に吸熱部を有するヒー
トパイプや水冷管等の熱搬送部材との間を、熱的に結合
する熱伝達手段を有する伝熱装置に関する。
【0002】
【従来の技術】パーソナルコンピューターに代表される
電子機器は、近年コンパクト化及び機能向上が急速に進
んでいる。これに伴い、これら電子機器に使用されるL
SI等の電子素子の発熱量が増大し、自然放冷や、電子
素子の周りに風を流すことによる強制空冷方式では対処
できなくなった。その手段として、ヒートパイプや水冷
管を用いることが考えられたが、ヒートパイプ等の剛性
度の高い熱搬送体と、電子素子とを熱的に結合すること
は困難であった。
電子機器は、近年コンパクト化及び機能向上が急速に進
んでいる。これに伴い、これら電子機器に使用されるL
SI等の電子素子の発熱量が増大し、自然放冷や、電子
素子の周りに風を流すことによる強制空冷方式では対処
できなくなった。その手段として、ヒートパイプや水冷
管を用いることが考えられたが、ヒートパイプ等の剛性
度の高い熱搬送体と、電子素子とを熱的に結合すること
は困難であった。
【0003】これに対処すべく、従来では、プラスチッ
クバッグ等の軟質容器内に、フロン、パーフロロカーボ
ン等の液状物質とからなる作動液を密封し、これらの液
の熱伝導を利用する方式のものが使用されていた。ま
た、特開昭63−148091、同148092に見ら
れるように、前記と同様の構造で、封入液の相変化時の
潜熱を利用する方式のものも知られていた。なお、これ
らの伝熱装置において使用される作動液は、万一外部へ
漏洩したときの人体や機器に対する安全性(毒性、引火
性、腐食性等)や、その使用温度範囲における飽和蒸気
が容器の許容内圧を超えないこと等の制約条件から、フ
ロンやパーフロロカーボン等の一部に限定されていた。
クバッグ等の軟質容器内に、フロン、パーフロロカーボ
ン等の液状物質とからなる作動液を密封し、これらの液
の熱伝導を利用する方式のものが使用されていた。ま
た、特開昭63−148091、同148092に見ら
れるように、前記と同様の構造で、封入液の相変化時の
潜熱を利用する方式のものも知られていた。なお、これ
らの伝熱装置において使用される作動液は、万一外部へ
漏洩したときの人体や機器に対する安全性(毒性、引火
性、腐食性等)や、その使用温度範囲における飽和蒸気
が容器の許容内圧を超えないこと等の制約条件から、フ
ロンやパーフロロカーボン等の一部に限定されていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
伝熱装置は、以下のような問題点があった。上述のよう
に、伝熱装置の作動液には安全性の面からフロンや、パ
ーフロロカーボン等が使用されていたが、これらは、そ
の熱伝導率が、概ね0.1から0.12w/m℃程度と
極めて小さく、これに加えて熱伝導時の熱抵抗が大きい
という性質を有していた。このような性質は、伝熱装置
全体の効率にマイナスの影響を与えていた。
伝熱装置は、以下のような問題点があった。上述のよう
に、伝熱装置の作動液には安全性の面からフロンや、パ
ーフロロカーボン等が使用されていたが、これらは、そ
の熱伝導率が、概ね0.1から0.12w/m℃程度と
極めて小さく、これに加えて熱伝導時の熱抵抗が大きい
という性質を有していた。このような性質は、伝熱装置
全体の効率にマイナスの影響を与えていた。
【0005】次に、作動液の相変化を利用する熱伝達部
材において、作動液の飽和蒸気圧は図8に示すように温
度によって大幅に変化し、その温度係数はいずれも0.
05MPa/10℃前後であり、この場合の使用温度範
囲を例えば、20℃から60℃とすると、内圧が約0.
2MPa変化することになる。したがって、20℃で相
変化(沸騰)を開始する液を封入した場合、60℃にな
ったときの内圧は、0.3MPaに達するため、容器で
ある軟質容器と、被冷却体である電子素子に加わる力が
大きくなる。
材において、作動液の飽和蒸気圧は図8に示すように温
度によって大幅に変化し、その温度係数はいずれも0.
05MPa/10℃前後であり、この場合の使用温度範
囲を例えば、20℃から60℃とすると、内圧が約0.
2MPa変化することになる。したがって、20℃で相
変化(沸騰)を開始する液を封入した場合、60℃にな
ったときの内圧は、0.3MPaに達するため、容器で
ある軟質容器と、被冷却体である電子素子に加わる力が
大きくなる。
【0006】また、従来の軟質容器は、高分子材料の単
体や複合体、無機物との複合体等からなっているため、
機械的強度が小さく、損傷を受け易かった。
体や複合体、無機物との複合体等からなっているため、
機械的強度が小さく、損傷を受け易かった。
【0007】更に、複数のLSI等の電子素子が同一基
板上に取り付けられている場合、そのLSI等により、
基板表面には、ほんのわずかであっても必ず凹凸が存在
する。したがって、剛性の高い熱搬送部材と被冷却体で
あるLSI等を結合するには、この凹凸を何らかの方法
で吸収する必要があった。
板上に取り付けられている場合、そのLSI等により、
基板表面には、ほんのわずかであっても必ず凹凸が存在
する。したがって、剛性の高い熱搬送部材と被冷却体で
あるLSI等を結合するには、この凹凸を何らかの方法
で吸収する必要があった。
【0008】したがって、本発明の目的は、伝熱装置の
作動液にフロンや、パーフロロカーボン等を使用して
も、熱伝導率が小さく、かつ、熱抵抗が大きいという面
を十分にカバーすることができる伝熱装置を提供するこ
とにある。
作動液にフロンや、パーフロロカーボン等を使用して
も、熱伝導率が小さく、かつ、熱抵抗が大きいという面
を十分にカバーすることができる伝熱装置を提供するこ
とにある。
【0009】他の目的は、軟質容器に封入する作動液の
温度変化に基づく内圧の大幅な増大を抑え、軟質容器及
び被冷却体であるLSI等の電子素子の損傷を防止する
伝熱装置を提供することにある。
温度変化に基づく内圧の大幅な増大を抑え、軟質容器及
び被冷却体であるLSI等の電子素子の損傷を防止する
伝熱装置を提供することにある。
【0010】また、他の目的は、軟質容器を、LSI等
の被冷却体に接地させても、損傷を受けにくい伝熱装置
を提供することにある。
の被冷却体に接地させても、損傷を受けにくい伝熱装置
を提供することにある。
【0011】更に、他の目的は、LSI等による基板上
の凹凸にかかわらず熱伝達可能な伝熱装置を提供するこ
とにある。
の凹凸にかかわらず熱伝達可能な伝熱装置を提供するこ
とにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述した課題
を解決するため、LSI等の発熱部品を液状の冷媒によ
って、冷却する伝熱装置において、前記冷媒を収容し、
前記発熱部品の表面形状に順応して、直接的あるいは間
接的に接触する変形可能な冷媒バッグと、前記変形可能
な冷媒バッグに接触して吸収した熱を、放熱部へ伝熱す
る伝熱手段と、前記変形可能な冷媒バッグを収容して、
所定の形状に保持する容器より構成されることを特徴と
する伝熱装置を提供する。
を解決するため、LSI等の発熱部品を液状の冷媒によ
って、冷却する伝熱装置において、前記冷媒を収容し、
前記発熱部品の表面形状に順応して、直接的あるいは間
接的に接触する変形可能な冷媒バッグと、前記変形可能
な冷媒バッグに接触して吸収した熱を、放熱部へ伝熱す
る伝熱手段と、前記変形可能な冷媒バッグを収容して、
所定の形状に保持する容器より構成されることを特徴と
する伝熱装置を提供する。
【0013】また、前記伝熱手段は、一端が前記変形可
能な冷媒バッグに接し、他端にラジエターを有する伝熱
管によって構成され、前記容器は、前記変形可能な冷媒
バッグと、前記発熱部品を接触させる開孔部を有する金
属容器によって構成される前記伝熱装置を提供する。
能な冷媒バッグに接し、他端にラジエターを有する伝熱
管によって構成され、前記容器は、前記変形可能な冷媒
バッグと、前記発熱部品を接触させる開孔部を有する金
属容器によって構成される前記伝熱装置を提供する。
【0014】前記変形可能な冷媒バッグは、使用温度範
囲における内圧を大気圧より大なる圧力に設定する封入
ガス及び冷媒を収容した構成の前記熱伝導体を提供す
る。
囲における内圧を大気圧より大なる圧力に設定する封入
ガス及び冷媒を収容した構成の前記熱伝導体を提供す
る。
【0015】
【作用】本発明の伝熱装置においては、まず、LSI等
の被冷却体に、冷媒用変形可能バッグが接触するように
設置する。そして、被冷却体が発生する熱が、冷媒バッ
グ内の液体冷媒に伝達される。前記液体冷媒は、伝えら
れた熱によって蒸発する。この蒸気は、放熱部を有する
熱伝達手段によって吸収されて凝縮し、液化して落下す
る。この蒸発、吸収が繰り返されることにより、被冷却
体が冷却される。
の被冷却体に、冷媒用変形可能バッグが接触するように
設置する。そして、被冷却体が発生する熱が、冷媒バッ
グ内の液体冷媒に伝達される。前記液体冷媒は、伝えら
れた熱によって蒸発する。この蒸気は、放熱部を有する
熱伝達手段によって吸収されて凝縮し、液化して落下す
る。この蒸発、吸収が繰り返されることにより、被冷却
体が冷却される。
【0016】また、変形可能バッグの温度が上昇するに
したがい、内圧が上昇し、被冷却体との密着度が大きく
なり、冷却効果が大になる。
したがい、内圧が上昇し、被冷却体との密着度が大きく
なり、冷却効果が大になる。
【0017】
【実施例1】以下、本発明の実施例を図面を参照にしつ
つ詳細に説明する。図1には、第1実施例に係る伝熱装
置の構造が示され、図2には、図1のA−A’断面が示
されている。この伝熱装置は、保護用金属容器1と、保
護用金属容器1内の下部に収められた冷媒バッグ3と、
冷媒バッグ3に包み込まれるようにして、保護用金属容
器1内に収められたヒートパイプや水冷管等の伝熱管9
とを有している。
つ詳細に説明する。図1には、第1実施例に係る伝熱装
置の構造が示され、図2には、図1のA−A’断面が示
されている。この伝熱装置は、保護用金属容器1と、保
護用金属容器1内の下部に収められた冷媒バッグ3と、
冷媒バッグ3に包み込まれるようにして、保護用金属容
器1内に収められたヒートパイプや水冷管等の伝熱管9
とを有している。
【0018】保護用金属容器1は、冷媒バッグ3が、被
冷却体と接触することができるように開孔部2が設けら
れている。
冷却体と接触することができるように開孔部2が設けら
れている。
【0019】図3は、冷媒バッグ3の構造を示し、図4
は、図3のB−B’断面を示している。冷媒バッグ3
は、ポリエチレン等の軟質プラスチック材よりなる円筒
状のものの両端を、熱融着等の手段でシールした構成を
有し、その内部に注入ノズル4を通して作動液5が注入
され、上部空間6にガスが充満している。再び、図1、
図2に戻ると、冷媒バッグ3は、伝熱管9の表面を包み
込みつつ、保護用金属容器1の内面に密着するような大
きさに形成されている。そして、保護用金属容器1に収
められると、開孔部2から冷媒バッグ3の一部が突出
し、LSI等の被冷却体と接触する接触部7が形成され
る。
は、図3のB−B’断面を示している。冷媒バッグ3
は、ポリエチレン等の軟質プラスチック材よりなる円筒
状のものの両端を、熱融着等の手段でシールした構成を
有し、その内部に注入ノズル4を通して作動液5が注入
され、上部空間6にガスが充満している。再び、図1、
図2に戻ると、冷媒バッグ3は、伝熱管9の表面を包み
込みつつ、保護用金属容器1の内面に密着するような大
きさに形成されている。そして、保護用金属容器1に収
められると、開孔部2から冷媒バッグ3の一部が突出
し、LSI等の被冷却体と接触する接触部7が形成され
る。
【0020】冷媒バッグ3に封入される作動液5は、そ
の沸点が、被冷却体であるLSI等の作動温度範囲の上
限以下であるものとし、また、作動液3と、上部空間6
に封入されるガス成分との分圧の和は、大気圧より若干
高くなるようする。
の沸点が、被冷却体であるLSI等の作動温度範囲の上
限以下であるものとし、また、作動液3と、上部空間6
に封入されるガス成分との分圧の和は、大気圧より若干
高くなるようする。
【0021】伝熱管9は、一端が、保護用金属容器1か
ら外部へ突き出すような大きさに形成され、その外部に
突き出した一端には、放熱フィン11が、取りつけられ
ている。
ら外部へ突き出すような大きさに形成され、その外部に
突き出した一端には、放熱フィン11が、取りつけられ
ている。
【0022】なお、保護用金属容器1内に、冷媒バッグ
3と伝熱管9とを収納する場合、冷媒バッグ3の柔軟性
を利用して、伝熱管9を包み込むようにし、保護用金属
容器1の内面にも密着させる。また、伝熱管9は、この
接触部7にできるだけ近づけて配置することが望まし
く、伝熱管9と作動液5の間である上部空間6には、必
ず空間を設けるようにする。使用に際しては、冷媒バッ
グ3の被冷却体10への接触部7付近には、作動液5が
存在するようにする。
3と伝熱管9とを収納する場合、冷媒バッグ3の柔軟性
を利用して、伝熱管9を包み込むようにし、保護用金属
容器1の内面にも密着させる。また、伝熱管9は、この
接触部7にできるだけ近づけて配置することが望まし
く、伝熱管9と作動液5の間である上部空間6には、必
ず空間を設けるようにする。使用に際しては、冷媒バッ
グ3の被冷却体10への接触部7付近には、作動液5が
存在するようにする。
【0023】以上説明した第1実施例に係る伝熱装置
は、以下のように動作する。まず、LSI等の被冷却体
10に、接触部8が接触するように、伝熱装置を設置す
る。そして、被冷却体10が発生する熱が、接触部7か
ら作動液5へ伝達される。作動液5は、接触部7より伝
えられた熱によって蒸発し、この蒸気は、冷媒バッグ3
内の伝熱管9に接触している部分で凝縮し、液化して落
下する。この潜熱のやりとりを通して熱が伝熱管9に吸
収される。その後、熱は、伝熱管9の一端に設けられた
放熱フィン11から、放熱される。このような熱交換を
繰り返すことにより、被冷却体10が冷却される。
は、以下のように動作する。まず、LSI等の被冷却体
10に、接触部8が接触するように、伝熱装置を設置す
る。そして、被冷却体10が発生する熱が、接触部7か
ら作動液5へ伝達される。作動液5は、接触部7より伝
えられた熱によって蒸発し、この蒸気は、冷媒バッグ3
内の伝熱管9に接触している部分で凝縮し、液化して落
下する。この潜熱のやりとりを通して熱が伝熱管9に吸
収される。その後、熱は、伝熱管9の一端に設けられた
放熱フィン11から、放熱される。このような熱交換を
繰り返すことにより、被冷却体10が冷却される。
【0024】冷媒バッグ3は、保護用金属容器1の内面
と、伝熱管9とに密着するように収納されているが、被
冷却体10の発熱により、軟質ヒートパイプ3の温度が
上昇して、その内圧が高まると、更に密着度が高まる。
と、伝熱管9とに密着するように収納されているが、被
冷却体10の発熱により、軟質ヒートパイプ3の温度が
上昇して、その内圧が高まると、更に密着度が高まる。
【0025】また、冷媒バッグ3の上部空間6に、ガス
成分を封入するのは、冷媒バッグ3内の内圧を大気圧よ
りわずかに高くするためである。例えば、作動液3に飽
和蒸気圧が20℃で0.025MPa、60℃で0.1
1MPaであるパーフロロカーボン(C6 F14)を使用
し、これに、20℃で0.085MPaのガス成分を加
える。この場合、内圧は、大気圧よりわずかに高い0.
011MPaとなり、冷媒バッグ3は、膨らんだ状態に
保たれる。更に、ガス成分を加えた場合、60℃におけ
る内圧は、単一の作動液の場合に比べて約半分の0.2
1MPaに抑えることができる(ゲージ圧力換算)。
成分を封入するのは、冷媒バッグ3内の内圧を大気圧よ
りわずかに高くするためである。例えば、作動液3に飽
和蒸気圧が20℃で0.025MPa、60℃で0.1
1MPaであるパーフロロカーボン(C6 F14)を使用
し、これに、20℃で0.085MPaのガス成分を加
える。この場合、内圧は、大気圧よりわずかに高い0.
011MPaとなり、冷媒バッグ3は、膨らんだ状態に
保たれる。更に、ガス成分を加えた場合、60℃におけ
る内圧は、単一の作動液の場合に比べて約半分の0.2
1MPaに抑えることができる(ゲージ圧力換算)。
【0026】なお、ガス成分を上部空間6に封入した結
果、可変コンダクタンスヒートパイプと同一原理より、
冷媒バッグ3内の温度が上昇するにしたがって、ガス成
分が上部の空間部分に押しやられ、伝熱管9と蒸気の接
触面積が増大してより多くの熱が伝えられるようにな
る。
果、可変コンダクタンスヒートパイプと同一原理より、
冷媒バッグ3内の温度が上昇するにしたがって、ガス成
分が上部の空間部分に押しやられ、伝熱管9と蒸気の接
触面積が増大してより多くの熱が伝えられるようにな
る。
【0027】以上のように、第1実施例に係る伝熱装置
によれば、冷媒バッグ3が、保護用金属容器1の内面に
密着するような大きさに形成されているため、伝熱管9
による放熱以外に、この保護用金属容器自体の外表面も
放熱体となり、熱交換に有利である。
によれば、冷媒バッグ3が、保護用金属容器1の内面に
密着するような大きさに形成されているため、伝熱管9
による放熱以外に、この保護用金属容器自体の外表面も
放熱体となり、熱交換に有利である。
【0028】また、被冷却体10に対する押しつけ力
は、内圧と接触部7の接触面積の積で求められるため、
予め押しつけ力を求めておけば、機械的強度の弱いLS
I等の電子素子の損傷を防止することができる。
は、内圧と接触部7の接触面積の積で求められるため、
予め押しつけ力を求めておけば、機械的強度の弱いLS
I等の電子素子の損傷を防止することができる。
【0029】
【実施例2】次に、本発明に係る第2実施例について説
明する。なお、以下に説明する第2実施例においては、
上記第1実施例と共通する構成及び作用の説明は省略
し、相違する点のみについて説明する。
明する。なお、以下に説明する第2実施例においては、
上記第1実施例と共通する構成及び作用の説明は省略
し、相違する点のみについて説明する。
【0030】図5には、第2実施例に係る伝熱装置の構
造が示され、図6には、図5のC−C’断面が示されて
いる。この第2実施例は、上記第1実施例の構成に、ピ
ストン8が加えられている。このピストン8は、高熱伝
導性物質からなり、保護用金属容器1の開孔部2へ、図
6の実線矢印が示すように上下可能に取りつけられてい
る。
造が示され、図6には、図5のC−C’断面が示されて
いる。この第2実施例は、上記第1実施例の構成に、ピ
ストン8が加えられている。このピストン8は、高熱伝
導性物質からなり、保護用金属容器1の開孔部2へ、図
6の実線矢印が示すように上下可能に取りつけられてい
る。
【0031】この第2実施例に係る伝熱装置は、ピスト
ン8が、被冷却体10に直接触れるように設置する。そ
して、熱は、ピストン8から作動液に伝えられ、上記第
1実施例と同様の作用を通じて、被冷却体10が冷却さ
れる。
ン8が、被冷却体10に直接触れるように設置する。そ
して、熱は、ピストン8から作動液に伝えられ、上記第
1実施例と同様の作用を通じて、被冷却体10が冷却さ
れる。
【0032】以上のように、第2実施例に係る伝熱装置
によれば、ピストン8を被冷却体10に接触させて冷却
を行うため、冷媒バッグ3が直接被冷却体10に触れる
ことがなく、伝熱装置自体の損傷を防止することができ
る。
によれば、ピストン8を被冷却体10に接触させて冷却
を行うため、冷媒バッグ3が直接被冷却体10に触れる
ことがなく、伝熱装置自体の損傷を防止することができ
る。
【0033】なお、被冷却体10に対する押しつけ力
は、内圧とピストン8の直径で決まり、直径は、許容熱
抵抗と押しつけ力とのバランスから決められる。したが
って、上記第1実施例と同様に、予め押しつけ力を決定
しておけば、LSI等の損傷を防止することができる。
は、内圧とピストン8の直径で決まり、直径は、許容熱
抵抗と押しつけ力とのバランスから決められる。したが
って、上記第1実施例と同様に、予め押しつけ力を決定
しておけば、LSI等の損傷を防止することができる。
【0034】
【実施例3】図5には、第3実施例に係る伝熱装置にお
ける冷媒バッグ3の断面が示されている。この第3実施
例は、上記第1第2実施例における冷媒バッグ3の内面
に、不織布等よりなるウィック12が取り付けられてい
る。
ける冷媒バッグ3の断面が示されている。この第3実施
例は、上記第1第2実施例における冷媒バッグ3の内面
に、不織布等よりなるウィック12が取り付けられてい
る。
【0035】この第3実施例に係る伝熱装置は、ウィッ
ク12が、冷媒バッグ3の内面全体に取り付けられてい
るため、毛管現象により、液面の高さにかかわらず、作
動液5がウィック12に存在することになる。
ク12が、冷媒バッグ3の内面全体に取り付けられてい
るため、毛管現象により、液面の高さにかかわらず、作
動液5がウィック12に存在することになる。
【0036】以上のように、第3実施例に係る伝熱装置
によれば、ウィック12の存在により、接触部7やピス
トン8と被冷却体10との相対的位置関係や、全体の設
置姿勢に無関係に作動可能な熱伝導体を得ることができ
る。
によれば、ウィック12の存在により、接触部7やピス
トン8と被冷却体10との相対的位置関係や、全体の設
置姿勢に無関係に作動可能な熱伝導体を得ることができ
る。
【0037】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明に係る伝熱装
置によれば、以下の効果を奏する。 (1) 冷媒バッグは、被冷却体の温度が上昇し、内圧
が高まるとともに、伝熱管に対する密着度が高くなるた
め、熱抵抗が低下し、十分な冷却効果が得られる。
置によれば、以下の効果を奏する。 (1) 冷媒バッグは、被冷却体の温度が上昇し、内圧
が高まるとともに、伝熱管に対する密着度が高くなるた
め、熱抵抗が低下し、十分な冷却効果が得られる。
【0038】(2) 冷媒バッグ内の温度が上昇するに
伴い、気体成分が膨張して、冷媒バッグと、装置各部と
の接触面積が増大してより多くの熱が伝えられるように
なるため、温度が上昇する程熱伝達率が高くなり、十分
な冷却効果を得ることができる。したがって、各部材間
の温度変動を抑えることが可能となる。
伴い、気体成分が膨張して、冷媒バッグと、装置各部と
の接触面積が増大してより多くの熱が伝えられるように
なるため、温度が上昇する程熱伝達率が高くなり、十分
な冷却効果を得ることができる。したがって、各部材間
の温度変動を抑えることが可能となる。
【0039】(3) 冷媒バッグ内に気体成分を封入し
て、内圧を大気圧よりわずかに高くしたため、温度が低
く、内圧が上がらない状態であっても、冷媒バッグが常
に被冷却体に接触し、十分な冷却が可能である。
て、内圧を大気圧よりわずかに高くしたため、温度が低
く、内圧が上がらない状態であっても、冷媒バッグが常
に被冷却体に接触し、十分な冷却が可能である。
【0040】(4) 冷媒バッグの接触部が自由に動
き、かつ、変形し、しかもどの部分をとっても一定の押
しつけ力が得られるため、LSI等による基板上の凹凸
にかかわらず熱伝達が可能となる。これに加えて、LS
I等の温度変化による膨張、収縮に対しても対応するこ
とができる。
き、かつ、変形し、しかもどの部分をとっても一定の押
しつけ力が得られるため、LSI等による基板上の凹凸
にかかわらず熱伝達が可能となる。これに加えて、LS
I等の温度変化による膨張、収縮に対しても対応するこ
とができる。
【0041】(5) 冷媒バッグ内に気体成分を封入す
ることにより、温度上昇に伴う内圧の変化を、飽和蒸気
圧の制限により、約半分に抑えることが可能となり、冷
媒バッグび被冷却体であるLSI等の電子素子の損傷を
防止することができる。
ることにより、温度上昇に伴う内圧の変化を、飽和蒸気
圧の制限により、約半分に抑えることが可能となり、冷
媒バッグび被冷却体であるLSI等の電子素子の損傷を
防止することができる。
【図1】本発明の第1実施例に係る伝熱装置の構成を示
す図である。
す図である。
【図2】本発明の第1実施例に係る伝熱装置の構成を示
す図1のA−A’断面図である。
す図1のA−A’断面図である。
【図3】本発明の第1、第2、第3実施例に係る伝熱装
置における冷媒バッグの構成を示す図である。
置における冷媒バッグの構成を示す図である。
【図4】本発明の第1、第2、第3実施例に係る伝熱装
置における冷媒バッグの構成を示す図3のB−B’断面
図である。
置における冷媒バッグの構成を示す図3のB−B’断面
図である。
【図5】本発明の第2実施例に係る伝熱装置の構成を示
す図である。
す図である。
【図6】本発明の第2実施例に係る伝熱装置の構成を示
す図5のC−C’断面図である。
す図5のC−C’断面図である。
【図7】本発明の第3実施例に係る伝熱装置における冷
媒バッグの構成を示す断面図である。
媒バッグの構成を示す断面図である。
【図8】本発明に係る伝熱装置に注入される作動液の飽
和蒸気圧特性を示す図である。
和蒸気圧特性を示す図である。
1 保護用金属容器 2 開孔部 3 冷媒バッグ 4 注入ノズル 5 作動液 6 上部空間 7 接触部 8 ピストン 9 伝熱管 10 被冷却体 11 放熱フィン 12 ウィック
Claims (3)
- 【請求項1】 LSI等の発熱部品を液状の冷媒によっ
て、冷却する伝熱装置において、 前記冷媒を収容し、前記発熱部品の表面形状に順応し
て、直接的あるいは間接的に接触する変形可能な冷媒バ
ッグと、 前記変形可能な冷媒バッグに接触して吸収した熱を、放
熱部へ伝熱する伝熱手段と、 前記変形可能な冷媒バッグを収容して、所定の形状に保
持する容器より構成されることを特徴とする伝熱装置。 - 【請求項2】 前記伝熱手段は、一端が前記変形可能な
冷媒バッグに接し、他端にラジエターを有する伝熱管に
よって構成され、 前記容器は、前記変形可能な冷媒バッグと、前記発熱部
品を接触させる開孔部を有する金属容器によって構成さ
れる請求項第1記載の伝熱装置。 - 【請求項3】 前記変形可能な冷媒バッグは、使用温度
範囲における内圧を大気圧より大なる圧力に設定する封
入ガス及び冷媒を収容した構成の請求項第1記載の熱伝
導体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4200625A JPH0621279A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | 伝熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4200625A JPH0621279A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | 伝熱装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0621279A true JPH0621279A (ja) | 1994-01-28 |
Family
ID=16427492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4200625A Pending JPH0621279A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | 伝熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0621279A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997039294A1 (en) | 1996-04-15 | 1997-10-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Water evaporation type cooling apparatus by means of electrolytic reaction |
| FR2794851A1 (fr) | 1999-06-11 | 2000-12-15 | Mitsubishi Electric Corp | Dispositif de refroidissement du type a evaporation d'eau pour une unite de production de chaleur |
| US6176098B1 (en) | 1997-06-23 | 2001-01-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Water vaporization type cooler for heat-generating element |
| CN104212314A (zh) * | 2014-09-26 | 2014-12-17 | 河南科技大学 | 抗磨损环氧树脂/碳纤维复合涂层及其制备、涂覆方法 |
| US12501581B2 (en) | 2021-04-01 | 2025-12-16 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Cooling system |
-
1992
- 1992-07-03 JP JP4200625A patent/JPH0621279A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997039294A1 (en) | 1996-04-15 | 1997-10-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Water evaporation type cooling apparatus by means of electrolytic reaction |
| US5985111A (en) * | 1996-04-15 | 1999-11-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Water evaporation type cooling apparatus by means of electrolytic reaction |
| US6176098B1 (en) | 1997-06-23 | 2001-01-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Water vaporization type cooler for heat-generating element |
| FR2794851A1 (fr) | 1999-06-11 | 2000-12-15 | Mitsubishi Electric Corp | Dispositif de refroidissement du type a evaporation d'eau pour une unite de production de chaleur |
| US6282913B1 (en) | 1999-06-11 | 2001-09-04 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Water vaporization type cooling apparatus for heat-generating unit |
| CN104212314A (zh) * | 2014-09-26 | 2014-12-17 | 河南科技大学 | 抗磨损环氧树脂/碳纤维复合涂层及其制备、涂覆方法 |
| US12501581B2 (en) | 2021-04-01 | 2025-12-16 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Cooling system |
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