JPH06213832A - 回折電子検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 蛍光スクリーンの観察範囲を広げて、回折斑
点の正確で容易な選択操作を可能とし、また、回折斑点
の明るさ信号の連続的な検出を可能として、電子線の走
査速度を高めた回折電子検出装置を提供する。 【構成】 試料に電子線を照射し、該試料により回折さ
れる回折電子線を検出する回折電子検出装置において、
回折電子線を光信号に変換する蛍光スクリーン１と、そ
の蛍光スクリーン１を撮像するＴＶカメラ５と、蛍光ス
クリーン１上の明るさを検出する光電変換器２と、光電
変換器２が検出する蛍光スクリーン１の検出位置を移動
するＸ，Ｙステージ４と、ＴＶカメラ５の画像信号に基
づいて蛍光スクリーン１上の位置を指定する位置指定手
段６と、位置指定手段６の指定する座標データに基づい
てＸ，Ｙステージ４を制御する位置制御手段７とを設け
たものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子線を用いた回折検
出装置において、特定の回折斑点の信号強度を継続的に
観察する場合に使用される回折電子検出装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、結晶表面に電子線を照射する
と、電子線は試料表面で回折され回折電子が発生する。
この回折電子は回折像を形成し、この回折像は試料の物
質が同じであっても、結晶の方向が入射電子線に対して
異なっていれば違ったものになる。

【０００３】この回折像を構成している回折斑点の位置
が、電子線の走査によって変化するのは、試料面各部に
おける結晶粒の方向が異なっていることを示している。
したがって、試料面の各部についてある位置に回折斑点
が現れるか否かを観察することによって、その回折条件
を満たすような方向を向いた結晶粒の形状や分布状態等
を検出することが可能となる。

【０００４】従来、この現象を利用して、試料を構成し
ている結晶粒の形状や分布状態等を検出する回折電子検
出装置が知られている。図３は、回折電子検出装置の第
１の従来例である。同図において、電子銃３１から放出
された電子線は試料３６に照射され、試料３６の表面で
回折された電子線は蛍光スクリーン３２上に回折像を形
成する。試料面各部における回折像の違いを観察するた
めの電子線の走査は、走査制御回路３３により電子銃３
１を駆動することによって行われる。

【０００５】蛍光スクリーン３２上に形成された回折像
を、直接あるいはＴＶカメラ等で観察しながら、検出器
３４を移動させて選択した回折斑点の明るさを信号とし
て、電子線の走査に同期した画像をＣＲＴ３５上に表示
することにより、結晶粒の分布を示す画像が得られる。
次に、図４により、回折電子検出装置の第２の従来例に
ついて説明する。この従来例は例えば、特開平４−２０
４３６１号公報に開示されている。同図において、試料
４６の表面すれすれに対して電子銃４１により細く絞っ
た電子線を照射し、その電子線により回折した電子を蛍
光スクリーン４２上に衝突させる。蛍光スクリーン４２
上においては、電子線は光信号に変換され回折像を形成
する。撮像管４４は、走査信号回路４７からの走査信号
により前記回折像を走査し、得られた映像信号をＣＲＴ
４５に画像表示する。

【０００６】そして、回折斑点の位置を設定するため
に、前記ＣＲＴ４５上の表示画像を参照しながら、マウ
ス４９及びＣＰＵ４８により回折電子像上の任意の画素
の位置を指定する。そして、ＣＰＵ４８により指定され
た位置の画素に対応する映像信号の走査タイミングを求
め、この走査タイミングでゲート５０を開いて、撮像管
４４の映像信号から指定された回折斑点の輝度信号を抽
出し、ＣＲＴ５１上に送る。ＣＲＴ５１ではこの輝度信
号を用い、走査制御回路４３の走査信号に同期した走査
で画像を表示することにより、結晶粒の分布を示す画像
が得られる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
従来の回折電子検出装置においては、以下の問題点を有
している。 （１）前記従来の回折電子検出装置の第１の実施例にお
いては、検出器を回折斑点の位置に正確に合わせること
が困難である。

【０００８】つまり、図３において、目的とする回折斑
点をとらえるために、検出器３４を蛍光スクリーン３２
の前面において移動させている。この移動において、そ
の検出器３４自体や検出器３４を移動させる機構（図示
されていない）が、蛍光スクリーン３２上を覆うように
なる。そのため、この蛍光スクリーン３２上の形成され
る回折像は、検出器３４自体や検出器３４を移動させる
機構により隠され、直接あるいは図示しないＴＶカメラ
等により回折像を観察する際の障害となり、検出器３４
を回折斑点の位置に合わせることや、位置合わせの確認
が困難である。 （２）前記従来の回折電子検出装置の第２の実施例にお
いては、電子線の１画素当たりの走査時間は撮像管の１
画面走査時間に制限される。

【０００９】つまり、撮像管から出力される映像信号か
ら指定画素位置に対応するタイミングにおける映像信号
を抽出し、この抽出された信号を試料面の電子線の走査
に同期させることにより、目的の回折斑点の明るさに対
応した信号の画像表示を行っているため、試料を走査す
る電子線の走査速度は映像信号を抽出するタイミングに
従って設定されることになる。

【００１０】そして、この映像信号を抽出するタイミン
グ間隔は撮像管の１画面走査時間毎であり、通常のＴＶ
カメラでは１／３０秒毎であるため、電子線の１画素当
たりの走査時間は撮像管の１画面走査時間に制限され、
電子線の走査速度を高めることが困難である。したがっ
て、本発明は前記従来の装置の問題点を解決し、回折斑
点の正確で容易な選択操作を可能とし、また、回折斑点
の明るさに関する信号を連続的に検出することにより、
電子線の高速走査を可能とした回折電子検出装置を提供
することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記の目的を
達成するために、試料に電子線を照射し、該試料により
回折される回折電子線を検出する回折電子検出装置にお
いて、回折電子線を光信号に変換する蛍光スクリーン
と、その蛍光スクリーンを撮像する撮像手段と、蛍光ス
クリーン上の明るさを検出する検出手段と、検出手段が
検出する前記蛍光スクリーンの検出位置を移動する移動
手段と、撮像手段の画像信号に基づいて蛍光スクリーン
上の位置を指定する位置指定手段と、位置指定手段の指
定する座標データに基づいて移動手段を制御する位置制
御手段とを設けたものである。

【００１２】また、蛍光スクリーン上の明るさを検出す
る検出手段は、光電変換器や、光電変換器に接続された
光ファイバとすることができる。また、位置指定手段の
指定する座標データを記憶する座標データ記憶手段を設
けることができるものである。

【００１３】

【作用】本発明によれば、Ｘ，Ｙステージ等の移動手段
により光電変換器等の検出手段を蛍光スクリーンを隠さ
ないような位置に移動させることができ、ＴＶカメラ等
の撮像手段の画像を見ながら位置指定手段により目的の
回折斑点を選び、さらにその回折斑点の位置を位置指定
手段から座標データとして出力し、この座標データによ
り位置制御手段が光電変換器等の検出手段を目的とする
回線斑点の明るさを捉えるような位置に移動させること
ができる。これにより、光電変換器から目的の回折斑点
の明るさに対応した信号が出力される。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の実施例について図を参照しな
がら詳細に説明する。図１は本発明の回折電子検出装置
のブロック構成図であり、図２は本発明の回折電子検出
装置を適用した走査型反射電子顕微鏡のブロック構成図
である。図１及び図２において、１は蛍光スクリーン、
２は光電変換器、４はＸ，Ｙステージ、５はＴＶカメ
ラ、６は位置指定手段、７は位置制御手段、２０は回折
電子検出装置、２１は電子銃、２２は走査コイル、２３
は試料、２４は真空ポンプ、２５は真空チャンバ、２６
は走査信号発生回路、２７はＣＲＴ、２８は蛍光スクリ
ーンである。

【００１５】はじめに、図２の走査型反射電子顕微鏡に
おける本発明の回折電子検出装置の設置関係について説
明する。図２に示す走査型反射電子顕微鏡において、真
空チャンバ２５内には試料２３が設置され、電子銃２１
から放出された電子ビームを照射する。照射された電子
ビームは、試料２３の表面において回折され、その回折
像を蛍光スクリーン２８に形成する。

【００１６】前記真空チャンバ２５は真空ポンプ２４に
より減圧され、また前記電子銃２１から放出される電子
ビームは、走査信号発生回路２６からの走査信号により
走査コイル２２を駆動して走査される。前記蛍光スクリ
ーン２８に形成された電子回折像は、本発明の回折電子
検出装置２０により検出され、その検出信号をＣＲＴ２
７の輝度信号として用いる。また、このＣＲＴ２７に
は、前記走査信号発生回路２６からの信号が入力されて
いる。

【００１７】次に、図１を用いて本発明の回折電子検出
装置の第１の実施例について説明する。蛍光スクリーン
１上には、図示しない試料から得られる回折像が形成さ
れ、この回折像は２つの検出手段により検出される。第
１の検出手段は、蛍光スクリーン１上の回折像の全体像
を検出するものであり、ＴＶカメラ５等により構成され
る。また、第２の検出手段は、蛍光スクリーン１上の回
折斑点の明るさを検出するものであり、光電変換器２等
により構成される。

【００１８】第１の検出手段であるＴＶカメラ５は、蛍
光スクリーン１の後方に配置され、蛍光スクリーン１上
の回折像の全体像を画像信号に変換し、位置指定手段６
に入力する。位置指定手段６はＴＶカメラ５の画像上の
任意の位置を指定し、その指定位置の座標データを出力
するものである。そして、ＴＶカメラ５に映し出された
蛍光スクリーン１上の回折像を観察して検出を行う回折
斑点を選択し、この位置指定手段６によりその目的とす
る回折斑点を指定する。この指定された回折斑点の座標
データは、後に説明する位置制御手段７による前記第２
の検出手段の位置設定に用いられる。

【００１９】一方、第２の検出手段である光電変換器２
は、蛍光スクリーン１の後方であって前記第１の検出手
段のＴＶカメラ５の前方に配置され、蛍光スクリーン１
上の回折像の回折斑点等の明るさを電気信号に変換し、
図示しない出力装置に出力する。この電気信号により、
回折斑点等の明るさの強度を連続的に検出することがで
きる。

【００２０】この第２の検出手段である光電変換器２
は、蛍光スクリーン１上において、目的とする回折斑点
等の位置に位置決めされる必要があり、このためにＸ，
Ｙステージ４が設けられている。このＸ，Ｙステージ４
は、位置制御手段７により駆動されるものであり、光電
変換器２を蛍光スクリーン１に対して相対的に移動させ
る。そして、この位置制御手段７は、前記位置指定手段
６からの目標位置の位置データをもとにして移動を行う
ものである。

【００２１】この構成による本発明の回折電子検出装置
の第１の実施例においては、第１の検出手段のＴＶカメ
ラ５により検出すべき回折斑点を選択し、その回折斑点
の座標データを位置指定手段６により指定して出力し、
さらに位置制御手段７によりその座標データに基づいて
Ｘ，Ｙステージ４を駆動して第２の検出手段である光電
変換器２を指定位置に移動させる。

【００２２】なお、この第２の検出手段である光電変換
器２を指定位置に移動した後の回折電子検出装置の動作
は、従来の回折電子検出装置の動作と同様に行うことが
できる。したがって、この本発明の第１の実施例におい
ては、ＴＶカメラ５の画像による検出位置の選択及び座
標データの検出を行った後に光電変換器２の移動を行う
ことができるため、検出位置の選択及び座標データの検
出の工程において光電変換器２をＴＶカメラ５の撮像時
に障害とならない位置に配置する等の操作により、光電
変換器２により蛍光スクリーン１が隠れることを防止す
ることができ、蛍光スクリーン１の観察の障害を除くこ
とができる。

【００２３】また、本発明の第１の実施例においては、
蛍光スクリーン１上における検出すべき回折斑点の選択
と、該回折斑点における明るさの検出とをそれぞれ独立
した別箇の検出手段により行うことにより、回折斑点の
明るさに関する信号の連続的な検出を可能として、電子
線の走査速度を高めることができる。また、位置指定手
段６により指定した座標データに基づいて位置制御手段
７によりＸ，Ｙステージ４を駆動するため、操作の容易
化が可能となる。

【００２４】次に、図５により本発明の回折電子検出装
置の第２の実施例について説明する。図５において、３
は光ファイバであり、その他の符号は図１と同様であ
る。第２の実施例は、前記本発明の第１の実施例におけ
る光電変換器２に光ファイバ３を付加したものであり、
光ファイバ３の一方の端部は蛍光スクリーン１の後方に
配置され、光ファイバ３の他方の端部には光電変換器２
に接続されている。

【００２５】光ファイバ３の一方の端部は、前記本発明
の第１の実施例における光電変換器２に代わって、蛍光
スクリーン１上の回折斑点等の光信号の入力を行うもの
であり、その光信号を光ファイバ３の他端部の光電変換
器２に伝送する。光電変換器２においては、光ファイバ
３により送られてきた蛍光スクリーン１上の回折斑点等
の明るさの検出を行う。

【００２６】この光電変換器２は、ＴＶカメラ５による
蛍光スクリーン１の撮像に障害とならない位置に配置さ
れる。また、光ファイバ３は、座標データに基づく位置
制御手段７の制御によるＸ，Ｙステージ４の駆動によっ
て移動が行われる。そして、この第２の実施例の動作
は、前記第１の実施例と同様に行うことができる。

【００２７】つまり、この実施例によれば、Ｘ，Ｙステ
ージにより駆動する部分を光ファイバとすることによ
り、移動部分の軽量化及び小型化を行うことができる。
次に、図６により本発明の回折電子検出装置の第３の実
施例について説明する。図６において、８は座標データ
記憶手段であり、その他の符号は図１と同様である。

【００２８】第３の実施例は、前記本発明の第１の実施
例において位置指定手段６と位置制御手段７との間に座
標記憶手段８を接続するものであり、この構成により蛍
光スクリーン１における光電変換器２の指定位置を複数
個として、複数箇所の回折斑点の明るさの検出を行うこ
とができるものである。この構成による本発明の回折電
子検出装置の第３の実施例においては、前記第１の実施
例と同様に、ＴＶカメラ５により検出すべき回折斑点を
選択し、その回折斑点の座標データを位置指定手段６に
より指定して座標データを出力する。そして、この座標
データは座標記憶手段８に記憶される。このとき、位置
指定手段６により選択して指定する位置を複数箇所と
し、座標記憶手段８にその複数個の座標データを記憶可
能とする。

【００２９】座標記憶手段８に記憶された座標データ
は、読み出されて位置制御手段７に出力される。位置制
御手段７は、前記本発明の第１の実施例と同様にこの座
標データに基づいてＸ，Ｙステージ４を駆動して光電変
換器２を蛍光スクリーン１に対して移動させ、指定位置
に設定する。座標データ記憶手段８には、複数個の指定
位置が設定可能であるため、１回の指定操作で複数個の
検出すべき回折斑点を選択して設定し、電子線の１画面
走査の終了信号に応じて座標データを順次出力させるこ
とにより、自動的に複数個の結晶粒の分布を示す像を撮
像することができる。

【００３０】また、この構成においても、蛍光スクリー
ン１上における検出すべき回折斑点の選択と、該回折斑
点における明るさの検出とをそれぞれ独立した別箇の検
出手段により行うものであるため、前記第１の実施例と
同様に、回折斑点の明るさに関する信号の連続的な検出
を可能として、電子線の走査速度を高めることができ
る。

【００３１】次に、図７〜９により本発明の回折電子検
出装置の第４の実施例について説明する。図７は本発明
の回折電子検出装置の第４の実施例の構成ブロック図で
あり、図８は本発明の最小移動量手順演算手段のフロー
チャートであり、図９は本発明の回折電子検出装置の第
４の実施例の蛍光スクリーン像である。図７において、
１０は第１の座標データ記憶手段、１１は移動量演算手
段、１２は最小移動量手順演算手段、１３は第２の座標
データ記憶手段、その他の符号は図１と同様である。

【００３２】第４の実施例は、前記本発明の第３の実施
例において位置指定手段６と位置制御手段７との間に第
１の座標データ記憶手段１０と、移動量演算手段１１
と、最小移動量手順演算手段１２と、第２の座標データ
記憶手段１３を接続するものであり、この構成により、
光電変換器２のＸ，Ｙステージ４による移動量を最小に
するものである。

【００３３】前記第１〜第３の実施例と同様にして、Ｔ
Ｖカメラ５で撮像された蛍光スクリーン１の画像信号を
用いて回折斑点を選択し、その回折斑点の座標データを
位置指定手段６により指定して座標データを出力する。
この座標データは、第１の座標データ記憶手段１０に入
力され、一時記憶される。次に、この第１の座標データ
記憶手段１０に記憶された座標データは移動量演算手段
１１に出力され、各指定座標間の距離を演算する。さら
に、各指定座標間の距離から指定位置間の移動順に応じ
た移動距離を求め、最小移動量手順演算手段１２におい
てこの移動距離が最小となるような指定位置間の移動順
序を求める。そして、最小移動量手順演算手段１２にお
いて求めた移動順序とその座標データを第２の座標デー
タ記憶手段１３に記憶する。

【００３４】位置制御手段７は、第２の座標データ記憶
手段１３の制御信号に基づいてＸ，Ｙステージ４を駆動
し、光電変換器２を蛍光スクリーン１に対して移動さ
せ、各指定位置において画面走査を行い、回折斑点の検
出を行う。図７及び図８の最小移動量手順演算手段のフ
ローチャートにより、前記移動量演算手段１１と最小移
動量手順演算手段１２の動作について説明する。

【００３５】ステップＳ１：位置指定手段６により指定
された座標データ間の距離を求めるために、第１の座標
データ記憶手段１０に記憶されている座標データを移動
量演算手段１１に読み込む。 ステップＳ２：読み込んだ座標データを用いて、位置指
定手段６により指定された位置間の距離Ｌを演算する。

【００３６】ステップＳ３：位置指定手段６により指定
された位置の移動順序の組合せを求める。例えば、図９
の蛍光スクリーン像において、位置指定手段６によりＡ
１，Ａ２，Ａ３が指定されているとすると、Ａ１→Ａ２
→Ａ３、Ａ１→Ａ３→Ａ２、Ａ２→Ａ１→Ａ３、Ａ２→
Ａ３→Ａ１、Ａ３→Ａ１→Ａ２、Ａ３→Ａ２→Ａ１の移
動順序の可能性がある。

【００３７】ステップＳ４：前記ステップＳ３において
求めたそれぞれの移動順序に対する移動距離を求める。 ステップＳ５：ステップＳ４において求めた移動距離を
比較して、最小の移動距離を求める。

【００３８】ステップＳ６：ステップＳ５の最小の移動
距離となる移動順序を求める。この第４の実施例におい
ては、可能性のある移動順序の中から、移動距離が最小
である移動順序を選出することにより、Ｘ，Ｙステージ
４の駆動に伴う移動時間を短縮し、総合的な検出時間を
短縮する。

【００３９】次に、図１０により本発明の回折電子検出
装置の第５の実施例について説明する。図１０は本発明
の回折電子検出装置の第５の実施例の構成ブロック図で
ある。図１０において、１４は輝度検出手段、１５は比
較器、１６は設定手段、１７は選定手段、１８は入力装
置、１９は座標データ記憶手段、その他の符号は図１と
同様である。

【００４０】第５の実施例は、前記図６に示す本発明の
第３の実施例における位置指定手段６と位置制御手段７
との間に輝度検出手段１４、比較器１５、選定手段１
７、及び座標データ記憶手段１９を接続するものであ
り、比較器１５には設定手段１６が接続され、また選定
手段１７には入力装置１８が接続されている。この実施
例は回折斑点の候補を自動的に選出するものであり、前
記の構成により、蛍光スクリーン１上の画像において、
一定の明るさ以上のものを自動的に選びだし、その中か
ら目的とする回折斑点を選択するものである。

【００４１】同図において、前記第１〜第４の実施例と
同様にして、ＴＶカメラ５で撮像された蛍光スクリーン
１の画像信号を輝度検出手段１４に入力する。輝度検出
手段１４は、画像信号から明るさに関する情報を取り出
し比較器１５に出力する。比較器１５には設定手段１６
から比較値となる明るさの基準値が入力されており、前
記輝度検出手段１４からの出力信号との比較が行われ
る。

【００４２】輝度検出手段１４からの出力信号が比較値
以上の場合には、その点を回折斑点の候補とし、選定手
段１７に出力する。選定手段１７では、前記回折斑点の
候補の中から入力装置１８により回折斑点を選定する。
この選定において、蛍光スクリーン１上の候補点を図示
しない画面上のアイコン等を入力装置１８により指示し
たり、あるいは画面上に候補点とともにその候補点を特
定する符号を付し、その符号を入力装置１８により入力
して行うことができる。これにより、回折斑点の選定を
容易に行うことができる。

【００４３】選定手段１７により選定された回折斑点の
座標データは、座標データ記憶手段１９に入力される。
その後は前記実施例と同様にして位置制御手段７が、座
標データ記憶手段１９の制御信号に基づいてＸ，Ｙステ
ージ４を駆動し、光電変換器２を蛍光スクリーン１に対
して移動させ、各指定位置において画面走査を行い、回
折斑点の検出を行う。

【００４４】また、図１１により本発明の回折電子検出
装置の第６の実施例について説明する。図１１は本発明
の回折電子検出装置の第６の実施例の構成ブロック図で
ある。図１１において、符号は図１０と同様である。第
６の実施例は、前記本発明の第５の実施例において入力
装置１８を省略したものである。この実施例において
は、第６の実施例における選定手段１７は比較器１５に
おいて比較値以上の明るさを有する回折斑点をすべて選
定して、その座標データを座標データ記憶手段１９に記
憶するものである。

【００４５】なお、前記実施例においては、反射式の走
査方回折電子顕微鏡を例として説明しているが、本発明
の回折電子検出装置を透過式の走査方回折電子顕微鏡に
適用することも可能である。なお、本発明は上記実施例
に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々
の変形が可能であり、それらを本発明の範囲から排除す
るものではない。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、 （１）検出手段を蛍光スクリーンを隠さない位置に移動
させることにより、回折斑点の正確で容易な選択操作を
可能とする。 （２）回折斑点の明るさ信号の連続的な検出を可能とし
て、電子線の走査速度を高めることができる。 （３）Ｘ，Ｙステージにより駆動する部分を光ファイバ
とすることにより、移動部分の軽量化及び小型化を行う
ことができる。 （４）自動的に複数個の走査像の撮像を行うことができ
る。 （５）回折斑点の選択を自動的に行うことができる。 （６）移動距離が最小である移動順序を選出することに
より、Ｘ，Ｙステージの駆動に伴う移動時間を短縮し、
総合的な検出時間を短縮する。 という効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の回折電子検出装置のブロック構成図で
ある。

【図２】本発明の回折電子検出装置を適用した走査型反
射電子顕微鏡のブロック構成図である。

【図３】回折電子検出装置の第１の従来例のブロック構
成図である。

【図４】回折電子検出装置の第２の従来例のブロック構
成図である。

【図５】本発明の回折電子検出装置の第２の実施例のブ
ロック構成図である。

【図６】本発明の回折電子検出装置の第３の実施例のブ
ロック構成図である。

【図７】本発明の回折電子検出装置の第４の実施例のブ
ロック構成図である。

【図８】本発明の最小移動量手順演算手段のフローチャ
ートである。

【図９】本発明の回折電子検出装置の第４の実施例の蛍
光スクリーン像である。

【図１０】本発明の回折電子検出装置の第５の実施例の
構成ブロック図である。

【図１１】本発明の回折電子検出装置の第６の実施例の
構成ブロック図である。

【符号の説明】

１…蛍光スクリーン、２…光電変換器、３…光ファイ
バ、４…Ｘ，Ｙステージ、５…ＴＶカメラ、６…位置指
定手段、７…位置制御手段、８…座標記憶手段、１０…
第１の座標データ記憶手段、１１…移動量演算手段、１
２…最小移動量手順演算手段、１３…第２の座標データ
記憶手段、１４…輝度検出手段、１５…比較器、１６…
設定手段、１７…選定手段、１８…入力装置、１９…座
標データ記憶手段、２０…回折電子検出装置、２１…電
子銃、２２…走査コイル、２３…試料、２４…真空ポン
プ、２５…真空チャンバ、２６…走査信号発生回路、２
７…ＣＲＴ、２８…蛍光スクリーン

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料に電子線を照射し、該試料により回
   折される回折電子線を検出する回折電子検出装置におい
   て、（ａ）前記回折電子線を光信号に変換する蛍光スク
   リーンと、（ｂ）前記蛍光スクリーンを撮像する撮像手
   段と、（ｃ）前記蛍光スクリーン上の明るさを検出する
   検出手段と、（ｄ）前記検出手段が検出する前記蛍光ス
   クリーンの検出位置を移動する移動手段と、（ｅ）前記
   撮像手段の画像信号に基づいて前記蛍光スクリーン上の
   位置を指定する位置指定手段と、（ｆ）前記位置指定手
   段の指定する座標データに基づいて前記移動手段を制御
   する位置制御手段とを設けたことを特徴とする回折電子
   検出装置。