JPH06213966A

JPH06213966A - 回路基板の検査方法および装置

Info

Publication number: JPH06213966A
Application number: JP5309621A
Authority: JP
Inventors: James R Grace; アールグレイスジェームズ
Original assignee: Probot Inc
Current assignee: Probot Inc
Priority date: 1992-11-09
Filing date: 1993-11-05
Publication date: 1994-08-05
Also published as: US5357191A

Abstract

(57)【要約】【目的】裸の回路基板の検査方法と装置を提供する。【構成】本発明は回路基板の両側の回路網の点に接触
し、充電回路網の放電時間を測定する、それぞれＸＹ面
を動くことのできる複数のプローブを使用することから
なる。また本発明は、複数のプローブのうちのいずれに
対しても端子点を与えるため、導電基準面への共通のコ
ネクターも使う。各プローブは２つの目的をもってお
り、その１つは各回路網の放電検査をすることであり、
もう１つは他のプローブと共にある回路網の抵抗値を測
定することである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電気的相互接続ネット
ワークと呼ばれ得るがより一般には回路基板と呼ばれる
ものを、多層基板上でさまざまな回路（一般にはネット
ワークまたは「網」と呼ばれる）の働きの完全性または
有効性（ｉｎｔｅｇｒｉｔｙ又はＶａｌｉｄｉｔｙ）を
決定するため、および回路を使用中にネットワークが互
いに短絡しないことを決定するための検査に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術とその問題点】回路基板はたいていの電子
装置内に電子部品を装着し相互接続するために使われ
る。このような回路基板は、メッキやエッチング工程ま
たはそれらの組合せ工程によってさまざまな導電路を作
りながら、所望の基板のイメージを設計した後で作られ
る。

【０００３】何枚かの基板が貼り合わされ、各基板上の
回路網は他の基板の回路網に接続される。

【０００４】このような基板はその大きさ、回路網の
数、および貼り合わされる基板の数に応じて高価にな
る。さらに重要なのは、さらに高価な装置内において使
われるときの、基板全体の完全性である。このような基
板は、回路網の断線や短絡などを含む欠点を持ちやす
い。

【０００５】さまざまな検査が、電気部品を装着する前
の基板（生（なま）基板）を使って行われる。

【０００６】当業者に公知の検査装置の１つは、いわゆ
る「釘のベッド」（ｂｅｄｏｆｎａｉｌｓ）である。
それは、プローブが各回路網に接触し、コンピューター
・プログラムの制御の下で、基板の回路網の各端子対の
間の抵抗値を測定し、回路網間に短絡や不適切に低い抵
抗路がないように、適切な導電路の存在を確かめるもの
である。この「釘のベッド」検査法は、プローブのあつ
らえと位置決めを調整しながら、検査する基板の数が多
いときには効果的である。

【０００７】また、それ以外にも、可動プローブを使っ
て回路網間の連続性や、回路網またはその一部の間の短
絡を測定する検査法が提案されてきている。

【０００８】また、アランＲ．ゲルハルト他「薄膜回
路導体のコンピューターを使った検査」（「Ｓｏｌｉｄ
ＳｔａｔｅＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ」１９７１年９月
号）に記載されているように、可動プローブを使って導
体パターンが仕様に合っているかどうかを決定する方法
も提案されている。

【０００９】また米国特許第３，９７５，６８０号に
は、アース面に対する各回路基板網の容量を測定して、
回路網の完全性を検査する方法が記載されている。さら
にロバートＷ．ウェドウィック「容量によるＭＬＢ連
続性検査」１９７４年１１月、６０〜６１頁には、その
ような容量検査が記載されている。

【００１０】米国特許第４，５６５，９６６号は、容量
検査と抵抗検査を組み合わせて行う方法と装置を開示し
ている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、基板上の端
子に接触するプローブが、まず回路網を充電し、次に基
板上の回路網と導電参照面との間の放電時間を測定す
る。回路基板の検査方法と装置に関するものである。そ
の放電時間がある制限時間を越えていれば、抵抗チェッ
クをして回路網の連続性を決定する。

【００１２】各回路網の初めのチェックは、参照導体に
対する回路網の容量の測定ではなく、所定電圧まで充電
された後、参照導電面に対し充電回路網が放電する時間
の測定である。

【００１３】本発明の目的は、裸の回路基板の新規で改
善された検査方法と装置を提供することにある。

【００１４】本発明の他の目的は、各回路網が参照導電
面に対し所定電圧まで充電された回路基板上の回路網の
完全性を検査するための方法と装置を提供することにあ
り、放電時間を測って回路網の完全性を決定する。

【００１５】さらに本発明の目的は、充電回路網の放電
時間を測定し、また、回路網またはその一部の抵抗を測
定する（これは放電検査とは一致しない）ためのムービ
ング・プローブ装置を提供することにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明の一態様は基板両
面の回路網の各点に接触するＸ−Ｙ面に個々に可動な複
数のプローブを使用することからなる。また本発明の装
置と方法は、それらのプローブのいずれに対しても端子
点を与えるため、導電基準面への共通コネクターを使
う。

【００１７】各プローブは多目的プローブであり、各回
路網の放電検査に使われ、あるいは回路網の抵抗を測定
するため他のプローブと結合して使われる。

【００１８】たいていの例では、検査中の回路基板は、
検査源の一面と使われる共通の導電基準面を含んでい
る。

【００１９】各回路網は先に決定された規準（ノルム）
に照らして放電時間を検査される。もし、放電時間が規
準以上に長すぎるなら、それは短絡を示している。もし
放電時間が短すぎるなら、それは回路網の断線を示して
いる。

【００２０】プローブは放電回路から、連続性をチェッ
クするため回路網の抵抗を測定し、または短絡をチェッ
クするため２つの回路網間の抵抗を測定する抵抗測定回
路と電源につながれている２つのプローブのモードルに
切り換えられ得る。

【００２１】本発明の新規な特徴を以下に示す。

【００２２】本発明は（１）回路網に接触するための少
なくとも２つの可動プローブ、該プローブを通して導電
基準に関し所定電圧まで回路網を充電するための電源を
含む部材、プローブと接触している回路網の充電電圧を
放電するための放電回路、高スレッショールド（ｔｈｒ
ｅｓｈｏｌｄｓ）と低スレッショールドの間の基準に関
し、充電回路網の放電時間を測定するための部材、およ
び該放電時間を記録するための部材からなることを特徴
とする裸の回路基板上の回路網の完全性を測定するため
の装置（システム）にある。上記発明の好ましい態様は
次のとおりである。

【００２３】（２）前記プローブの各々が所定電圧まで
充電可能で、かつ回路網の１つと接触可能である上記１
のシステム。

【００２４】（３）前記充電部材が、各プローブと接続
可能な電源プローブの１つとの接触を通して所定電圧ま
で充電される回路網、およびプローブから電源を外し、
プローブと放電回路を通して回路網の放電時間を測定す
るための部材からなる上記１のシステム。

【００２５】（４）さらに、回路網の放電時間を検出す
るための高スレッショールド・コンパレーターと低スレ
ッショールド・コンパレーター、該コンパレーターの出
力に接続され回路網の放電時間を示す時間幅の出力パル
スを供給するためのゲート部材、カウンター、およびク
ロックを有し、該ゲート部材の出力が出力パルスの出て
いる間クロックからのパルスをカウンターに数えさせ、
該カウンターのクロック・パルスのカウントが検査中の
回路基板の放電時間を示す、上記３のシステム。

【００２６】（５）さらに、抵抗値測定回路、および、
プローブを放電回路から切り離し、プローブの１つを電
源に接続し、他のプローブを抵抗値測定回路に接続する
ためのスイッチング部材を含む、上記１のシステム。

【００２７】（６）前記放電回路が定電流源からなり、
プローブが該定電流源を通して放電する、上記１のシス
テム。

【００２８】（７）さらに、プローブと接触している充
電回路網の放電を表す電圧信号を供給するため、各プロ
ーブに接続された電圧フォロワーを含む上記６のシステ
ム。

【００２９】（８）さらに、回路網の放電時間を検出す
るための高スレッショールド・コンパレーターと低スレ
ッショールド・コンパレーター、回路網の放電時間を示
す時間幅の出力パルスを供給するため該コンパレーター
の出力に接続されたゲート部材、カウンター、およびク
ロックを含み、該ゲート部材の出力が出力パルスの出て
いる間、クロックからのパルスをカウンターに数えさ
せ、該カウンターのクロック・パルスのカウントが検査
中の回路網の放電時間を示す上記７のシステム。

【００３０】（９）前記電源がスイッチを通して放電回
路に接続でき、該スイッチが、プローブが回路網に接触
するとき、放電回路を通して回路網を放電させるために
開かれる、上記１のシステム。

【００３１】（１０）回路網が前記スイッチの回路に先
立ってプローブの１つを通して充電される上記７のシス
テム。

【００３２】本発明は第２に、（１１）ＸＹ面内で各々
動かす部材をもち且つ各々が放電回路に接続可能な一対
のプローブを用意し、該プローブの各々を選択的に回路
基板の回路網と接触させ、該回路網を導電基準面に関し
所定電圧まで充電し、該回路網の放電時間を測定する工
程からなることを特徴とする回路基板上の回路網の完全
性の検査方法にある。

【００３３】上記発明の好ましい態様は次のとおりであ
る。

【００３４】（１２）さらに、前記プローブを放電回路
から、１つは電源へ、もう１つは抵抗値測定回路へ切り
換え、および回路網またはその一部の端部を接触回路網
の抵抗値を決定するためプローブ間に接触させるステッ
プを含む、上記１１の方法。

【００３５】（１３）本発明の装置は、別の態様におい
て、回路基板を支持するための取付具、回路網と接触す
るためそれぞれＸＹ面内を動くことができる一対のプロ
ーブ、回路網に対し導電基準面を与える回路基板内また
は基板外の部材、プローブを所定電圧まで充電するため
の部材、該充電部材がプローブから切り離されたときプ
ローブとそれに接触している回路網が放電するための各
プローブに接続される放電回路、放電時間を測定するた
めの部材、抵抗値測定回路、電源、およびプローブを各
放電回路から切り離し電源に対するプローブの１つと他
のプローブを抵抗値測定回路につなぐことによりプロー
ブが回路基板上の回路網またはその一部に接触して抵抗
値測定を行うためのスイッチング部材からなる、少なく
とも一方の側に回路網をもつ回路基板の完全性をチェッ
クするため、回路基板上の回路網を検査するための装置
（システム）と表現しうる。

【００３６】（１４）上記の好ましい態様として次のも
のがある。前記回路基板が第２面上に回路網を有し、該
第２面上の回路網に接触するためＸＹ面内をそれぞれ動
くことができる第２の一対のプローブをもつ上記１３の
システムである。

【００３７】（１５）前記充電部材が各プローブに接続
可能な電源、プローブの１つとの接触を通して所定電圧
まで充電される回路網、および電源をプローブから切り
離した後、プローブと定放電回路を通して回路網の放電
時間を測定するための部材からなる、請求項１３のシス
テム。

【００３８】（１６）さらに、回路網の放電時間を検出
するための高スレッショールド・コンパレーターと低ス
レッショールド・コンパレーター、回路網の放電時間を
示す時間幅の出力パルスを供給するためコンパレーター
の出力につながれたゲート部材、カウンター、クロック
を含み、該ゲート部材の出力が出力パルスが出ている間
クロックからのパルスをカウンターに数えさせ、カウン
ターのクロックパルスのカウントが検査中の回路網の放
電時間を示す上記１５のシステム。

【００３９】（１７）前記放電回路が定電流源からな
り、プローブが該定電流源を通じて放電する上記１３の
システム。

【００４０】（１８）さらに、プローブと接触している
回路網の充電電圧の放電を示す電圧信号を与えるため、
各プローブにつながれた電圧フォロワーを含む上記１７
のシステム。

【００４１】（１９）さらに、回路網の放電時間を検出
するための高スレッショールド・コンパレーターと低ス
レッショールド・コンパレーター、回路網の放電時間を
示す時間幅の出力パルスを供給するためコンパレーター
の出力につながれたゲート部材、カウンター、クロック
を含み、ゲート部材の出力が出力パルスが出ている間ク
ロックからのパルスをカウンターに数えさせ、カウンタ
ーのクロックパルスのカウントが検査中の回路網の放電
時間を示す上記１８のシステム。

【００４２】（２０）前記電源がスイッチを通して放電
回路に接続でき、プローブが回路網に接触するとき放電
回路を通して回路網を放電させるためスイッチが開く、
上記１３のシステム。

【００４３】（２１）前記スイッチの開路に先立って、
プローブの１つを通して回路網が充電される上記２０の
システム。

【００４４】本発明のさらなる目的と利点を、図面を参
照しながら、以下説明する。

【００４５】図１は、両側に回路網を有し、能動部品が
装着されたとき基板の各セグメントの回路が基板の他の
セグメントに接続される２層貼り合わせ基板１１、１２
を含む回路基板１０を例示している。基板１０は破線で
示す取付具１３に固定・支持されている。いくつかの例
において、回路基板が内側に導電基準面をもたないな
ら、米国特許第４，５６５，９６６号のように基板の片
側に導電基準面をもつ。

【００４６】基板の両側にそれぞれ一対のプローブ（Ｐ
１、Ｐ２とＰ３、Ｐ４）があり、それらはＸＹポジショ
ナー（位置決め器）ＸＹ１〜ＸＹ４によってそれぞれ駆
動される。基板１０内部に通常、導電アース面が含ま
れ、それは基準面１４として示されている。すべてのプ
ローブは回路基板上のさまさまな点に向かって、ＸＹ面
内を動くことができる。プローブはＸＹ面内で移送し、
その後で検査中の回路網と結合させ得るように、Ｚ方向
に短い距離だけ動くことができる。

【００４７】図２は、回路網１５〜２３と、一つの層を
通って他の層の回路網に接続するための相互接続２４を
有する回路基板１０の片側を略示している。各回路網
は、回路部品を選択的に装着させる１以上の接続点２５
（ただし、回路網２３についてのみ示している）を有す
る。後述するように、検査すべき点であり、プローブに
選択的に電気接続されるのは相互接続２４と、接続点２
５である。

【００４８】本発明において、回路の完全性を検査する
２つのモードが使われる。第１のモードにおいて、回路
網は所定電圧まで充電された後、放電時間が測定され
て、その回路網の完全性が決定される。測定された放電
時間がある限度内なら、検査された回路網は良好と決定
される。放電時間が長すぎれば、他の回路網と短絡して
いることになる。放電時間が一定時間よりも短ければ、
その回路網は開放、すなわちどこかで断線していること
になる。

【００４９】短絡か開放が示されたら、プローブを使っ
て第２のモードである抵抗値検査を行い、それらの原因
を決定する。

【００５０】本発明は、まず回路網の完全性を決定する
ために放電検査を行い、その結果、短絡や開放の疑いが
あれば、次に抵抗値測定を行って、回路網間の短絡かあ
る特定回路網の断線かを決定する、新規で改善された方
法と装置を提供する。放電検査の結果、すべて所定時間
内であれば、抵抗値検査は必要ない。

【００５１】図３はプローブＰ１〜Ｐ４の各々に接続さ
れた回路を例示している（Ｐ１、Ｐ２の代わりにＰ３、
Ｐ４でも可）。プローブＰ１、Ｐ２は、放電モード
（Ｄ）または抵抗値モード（Ｒ）のいずれかにおかれ
る。

【００５２】各プローブは定電流源を有する放電回路２
６に接続されている。定電流源はアンプ２７を有し、そ
の入力は分圧器２９として示されている電源によって制
御される。アンプ２７は、メガオーム（ＭΩ）のオーダ
ーの高エミッター抵抗３１をもつエミッターフォロワー
型のトランジスター３０のベースに出力する。アンプ２
７は、抵抗３１からライン３２を通してフィードバック
される。スイッチ３３を通してトランジスター３０のコ
レクターに電源が接続される。

【００５３】スイッチ３３はリレー３４によって制御さ
れる。しかし、スイッチ３３は他のトランジスターを使
ってもよい。どちらの場合も、スイッチ３３は後述する
ようにして制御される。スイッチ３３はトランジスター
３０のコレクターを電源３５に接続し、あるいは切った
りするように使われる。

【００５４】Ｐ１として例示されているプローブは、ま
たスイッチ３６、３７を通してトランジスター３０のコ
レクターに接続される。スイッチ３６、３７は接点Ｄ、
Ｒを有している。スイッチがＤ接点にあるときには、シ
ステムは放電検査をすることができる。スイッチがＲ接
点にあるときには、プローブＰ１は抵抗検査をすること
ができる。抵抗検査モードにおいて、プローブＰ１は抵
抗値測定回路３８（図５を用いて後述）に接続される。
図３にはまた、プローブＰ２と放電回路網ＤＮ２が示さ
れており、これらはプローブＰ１と放電回路網ＤＮ１と
同一である。スイッチ３６ａ、３６ｂが接点Ｒにあれ
ば、プローブＰ２は回路網ＤＮ２から切り離され、電源
３９に接続される。

【００５５】スイッチ３３が閉じられると、プローブＰ
１は電源３５によって所定電圧まで充電される。このと
き、プローブＰ１は基板１０の回路網の１つと接触し、
その回路網を電源３５の電圧まで充電する。その後、ス
イッチ３３が開けられる。検査されている回路網の充電
電圧は、トランジスター３０を通して実質的にリニアー
に減少し、負傾斜電圧となる。

【００５６】この傾斜電圧の高レベルと低レベルは、後
述するように、検査中の回路網の放電時間を決定するた
めに検出される。

【００５７】バッファーアンプでもある電圧フォロワー
４０の出力がトランジスター３０のコレクターの電圧を
フォローし、高レベル電圧コンパレーター４１と低レベ
ル電圧コンパレーター４２にそれぞれ入力を供給する。
低レベル電圧コンパレーター４２はロジック・インバー
ター４３とナンド・ゲート４４に出力する。高レベル電
圧コンパレーター４１の出力もナンド・ゲート４４に供
給される。

【００５８】ナンド・ゲート４４が作動すると、カウン
ター４６へのライン４５に活性化信号を送る。カウンタ
ー４６は８ＭＨｚオーダーの高周波クロックパルスを受
ける。ナンド・ゲート４４はまた後述する目的でフリッ
プフロップ４７に入力を供給する。このようにして、カ
ウンター４６はナンド・ゲート４４が開いているかぎり
クロックパルスを数える。コンピューター４９はカウン
ター４６のカウントを利用し、スイッチ３３の開閉を制
御するため、ライン４８を通してリレー３４にオン・オ
フ信号を送る。

【００５９】図３と関連して図４を説明する。図４は図
３のプローブ回路の動作のタイミング・チャートであ
る。スイッチ３６・３７がＤ接点にあると、システムは
放電モードの動作状態にある。

【００６０】時刻ｔ。からｔ_１の間、スイッチ３３は閉
じられ、プローブＰ１は所定電圧まで充電される。時刻
ｔ_１でプローブＰ１が回路網に接触し、スイッチ３３が
開かれ、プローブＰ１とそれが接触している回路網の充
電電圧は図４のＢのようにリニアーに減少し始める。時
刻ｔ_２で高レベル電圧コンパレーターは図４のＥのよう
に作動し、Ｂの波形の高レベル電圧Ｈになる。これはコ
ンパレーター４１の出力波形である。プローブＰ１とそ
れが接触している回路網の充電電圧は実質的にリニアー
に減少し、時刻ｔ_３で、それまで低レベルにあった低レ
ベル電圧コンパレーター４２が図４のＤ波形のように作
動する。これによりナンド・ゲート４４が閉じられる。
これに先立ち、インバーター４３の出力はＦ波形のよう
に高レベルであった。Ｆ波形はインバーター４３の出力
波形である。時刻ｔ_２からｔ_３の間、ゲート４４はＣ波
形のように作動している。したがって、ゲート４４はカ
ウンター４６を作動させて、クロックパルスを数えさせ
ている。

【００６１】ゲート４４はまた、フリップフロップ４７
をセットし、フリップフロップはウイレ５１を通してコ
ンピューター４９に読出し信号を送り、コンピューター
４９は時刻ｔ_２からｔ_３の間に集積されたカウンター４
６の内容をバス−ライン５０を通して読み出す。

【００６２】時刻ｔ_１で、コンピューター４９はライン
４８を通してスイッチ３３を開かせ、プローブＰ１とそ
れが接触している回路網の充電電圧を減少させ始める。
フリップフロップ４７はコンピューターによってライン
４８を通してリセットされる。コンピューターはまたス
イッチ３３を閉じさせ、時刻ｔ_４でプローブＰ１を再充
電させる。

【００６３】高レベル電圧コンパレーター４１の出力は
時刻ｔ_２まで低レベルにあり（図４のＥ）、時刻ｔ_２で
放電電圧はＢ波形の前にスレッショールドＨに達し、ナ
ンド・ゲート４４からのゲート信号のＣ波形がトレール
端にくるまで、インバーター４３の出力は高いままであ
ることに注目すべきである。時刻ｔ_３でＣ波形のように
ナンド・ゲート４４の出力電圧が高くなると、カウンタ
ー４５はもはや作動せず、フリップフロップ４７はライ
ン５１を通してコンピューター４９に信号を送り、コン
ピューター４９はカウンター４６内でカウントされるク
ロックパルスを受けてる。

【００６４】Ｄ波形のように時刻ｔ_４からｔ_５の間、コ
ンピューター４９はカウンター４６の内容を読み出して
おり、プローブＰ１はＸＹポジショナーによって次に検
査すべき回路網に移される。このとき、システムはプロ
ーブＰ２〜Ｐ４のうちの他のプローブからの測定を始め
る。プローブＰ１が他の回路網と接触するために動かさ
れている間、時刻ｔ_４からｔ_５（時刻ｔ_０からｔ_１のく
り返し）の間、再充電されている。時間（ｔ_１〜ｔ_４）
は放電時間の関数として変わり得る周期である。

【００６５】時間（ｔ_２〜ｔ_３）が正常範囲よりも長い
と仮定してみる。これは２つの回路網が短絡しているこ
とを示している。この情報はコンピューター４９内のメ
モリーに記録される。２以上の回路網が所定時間よりも
長い同一の、または実質的に同一の放電時間を示すな
ら、これらの回路網の間に抵抗検査がなされる。この検
査は直ちに、あるいはすべての放電検査がすんでから行
われる。

【００６６】図５は抵抗検査モードにあるプローブＰ
１、Ｐ２を表している。これはまた、Ｐ１、Ｐ２のみな
らず、あらゆる２つのプローブが抵抗検査モードにある
ことを表している。すなわち、基板の反対側の面にある
プローブＰ３、Ｐ４をも表している。抵抗検査モードに
おいて、スイッチ３６、３７、３６ａ、３７ａはＲ接点
に倒され、プローブは放電回路から切り離され、電源３
９と抵抗値測定回路３８の間に接続されるので、この２
つの回路網間の抵抗値がチェックされて短絡しているか
どうか決定される。

【００６７】回路網の放電時間が短すぎると、これは回
路網の断線を意味し、その断線がどの回路で生じたかを
決定するため、２つのプローブを抵抗検査モードにして
回路網の各点をチェックする。

【００６８】回路網間の短絡検査は隣接ベース上で行わ
れる。すなわち、近接している回路網同士の間でのみ、
短絡検査が必要で、たとえば回路網１５と回路網２２の
ように離れた回路網の間の短絡検査は必要ない。図２に
おいて、回路網１５、２２の放電検査の結果、同様の放
電時間を示したなら、これら２つの回路網間の抵抗検査
をする必要はほとんどない。しかし、回路網１５、１６
の放電検査の結果、同一の放電時間になったとしたら、
これら２つの回路網間の抵抗検査がなされる。

【００６９】ある回路網の放電時間が所定時間よりも短
ければ、断線位置を決定するため、接続点２４または２
５の間で抵抗検査が行われる・ある特定の基板の各回路
網の基準放電時間を確立するため、コンピューター４９
のメモリーにストアーされている設計データを使って、
基板をまず検査して、各回路網およびその端子点につい
てのＸＹデータを得る。次にコンピューター４９はプロ
ーブＰ１〜Ｐ４に対しすべてのＸＹポジショナーＸＹ１
−ＸＹ４を制御して、コンピューター内にプログラムさ
せる。

【００７０】前記したように、放電検査の後、回路の短
絡検査をするかしないかの決定は、隣接ベースすなわち
確率にもとづき、すべての回路網間の検査をするもので
はない。

【００７１】放電基準すなわち標準放電時間が基板の各
回路網に対し決定されると、基準面が決定されたことに
なる。このデータはコンピューターのメモリーにストア
ーされ、他のすべての共通基板の放電検査において比較
される。

【００７２】基準基板を決定した後、コンピューター内
にストアーされる情報は、あらゆる点における所定の放電時間各回路網における接続点の同一性各回路網のあらゆる接続点のＸＹ位置基板のあらゆる検査点のＸＹ位置

【００７３】これらの情報を使って、コンピューターは
すべてのプローブのＸＹ位置を制御できる。

【００７４】回路基板の検査に関する情報をシステムの
オペレーターに与えるため、ブラウン管ディスプレーや
プリンターのような読出し装置５３が使われる。

【００７５】以上説明したことから、本発明の目的が効
率的に達成されることが明らかになったであろう。本発
明の好ましい実施例について説明したが、その変形も当
業者には容易であろう。したがって、本発明の特許請求
の範囲が本発明の実施例と、本発明の範囲を逸脱してい
ないその変形をすべて包含している。

【図面の簡単な説明】

【図１】検査中の回路基板の側面図である。

【図２】回路基板の平面図である。

【図３】本発明のシステムを示す一部回路ブロック図で
ある。

【図４】Ａ〜Ｆ波形を示すタイミング・チャートであ
る。

【図５】図３の一部を示す一部回路図・一部ブロック図
である。

【符号の説明】

Ｐ１〜Ｐ４：プローブＤＮ１〜ＤＮ４：放電回路
網ＸＹ１−ＸＹ４：ＸＹポジショナー１０：回路基
板１４：基準面１５〜２３：回路網２４：相
互接続２５：接続点３６、３７、３６ａ、３７ａ：スイ
ッチ４１：高レベル電圧コンパレーター４２：低レベ
ル電圧コンパレーター４９：コンピューター

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回路網に接触するための少なくとも２つ
の可動プローブ、該プローブを通して導電基準に関し所
定電圧まで回路網を充電するための電源を含む部材、プ
ローブと接触している回路網の充電電圧を放電するため
の放電回路、高スレッショールドと低スレッショールド
の間の基準に関し、充電回路網の放電時間を測定するた
めの部材、および該放電時間を記録するための部材から
なることを特徴とする裸の回路基板上の回路網の完全性
を測定するための装置。
【請求項２】ＸＹ面内で各々を動かす部材をもち且つ
各々が放電回路に接続可能な一対のプローブを用意し、
該プローブの各々を選択的に回路基板の回路網と接触さ
せ、該回路網を導電基準面に関し所定電圧まで充電し、
該回路網の放電時間を測定する工程からなることを特徴
とする回路基板上の回路網の完全性の検査方法。