JPH06215414A - 光ピックアップ検査装置および検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光ピックアップのスポット検査工程におい
て、その光軸と傾きの検出と補正、およびスポットの形
状の検査とが自動的に行えるようにして、作業者の負担
を軽減すると共に、品質のバラつきを防止する。 【構成】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像させ
て、該素子上の点（ｉ，ｊ）における基準規格化強度Ａ
（ｉ，ｊ）と、検査規格化強度Ｂ（ｉ，ｊ）とを用いて
演算処理を行う光ピックアップ検査装置において、演算
手段として、 【数１】 を演算し、値Ｓと、所定の値との大小を比較する手段を
設ける。 【効果】 個人の主観による判断のあいまいさを排除す
ることができると共に、迅速な検査も可能になる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、光ピックアップの組
み立て工程における対物レンズアクチュエータの傾き調
整で使用する光ピックアップのスポット検査装置に係
り、特に、スポット検査工程において、その光軸と傾き
の検出と補正、および、スポットの形状の検査とが自動
的に行えるようにして、作業者の負担を軽減すると共
に、品質のバラつきを防止した光ピックアップ検査装置
および検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】光ピックアップの組み立て工程では、対
物レンズアクチュエータの傾き調整が必要である。従来
から、対物レンズアクチュエータの傾きの調整方法とし
ては、顕微鏡とカメラ、モニターを使用し、光ディスク
の代りに、同じ厚さを有するカバーガラスを基準面と平
行に設置して、対物レンズのスポットを顕微鏡で拡大し
て観察する光学ヘッド調整方法が用いられている（特開
昭６３−２５３５３８号公報）。

【０００３】図５は、従来の光学ヘッド調整工程を行う
調整装置について、その要部構成の一例を示す図であ
る。図において、１はＸ−Ｙステージ、２は光ピックア
ップのハウジング、３は偏向プリズム、４はアクチュエ
ータ、５はネジ、６は対物レンズ、７はカバーガラス、
８は顕微鏡、９はカメラコントローラ、１０はＴＶモニ
ター、ＬＢはレーザ光を示す。

【０００４】この図５に示すように、光ピックアップの
ハウジング２には、偏向プリズム３が設けられている。
また、ハウジング２の上部に、アクチュエータ４があ
り、その中に、対物レンズ６が設けられている。

【０００５】アクチュエータ４は、ネジ５によってハウ
ジング２に固定されているが、ネジ５の締め方を調整す
ることにより、アクチュエータ４の傾きを調整すること
ができる。また、光ディスクと同じ厚みを有するカバー
ガラス７が、アクチュエータ４の上部に、光ピックアッ
プのハウジング２と平行に設置されている。

【０００６】従来の対物レンズアクチュエータの傾きの
調整工程は、次のように行う。偏向プリズム３に、レー
ザ光ＬＢを入射し、対物レンズ６によって形成されるス
ポットを顕微鏡８で観察する。顕微鏡８には、図示され
ないカメラが接続されており、カメラコントローラ９を
通して、ＴＶモニター１０の画面上にスポットが表示さ
れる。

【０００７】作業者は、このスポットの表示を見なが
ら、１次のサイドローブが対称となるように、アクチュ
エータ４の傾きを調整する。以上のような工程によっ
て、対物レンズアクチュエータの傾きの調整が行われ
る。

【０００８】この調整工程は、アクチュエータに組み込
まれている対物レンズの傾きを光ディスクと並行に調整
することにより、スポット形状を良好にする目的で行わ
れるものである。そのために、図５に関連して説明した
ように、スポット像をＴＶモニターで観察しながら行う
が、この工程は、スポット形状を良好にすると同時に、
異常な形状のスポットを除去する工程（換言すれば、ス
ポットの形状を検査する工程）も兼ねている場合が多
い。

【０００９】このスポット検査工程は、通常、経験的な
許容限度見本を用いて、作業者の目視によって行われ
る。そのため、作業者の負担が大きいばかりでなく、そ
の主観が入りやすいので、品質にバラツキが生じる要因
にもなる、という不都合があった。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】この発明では、従来の
光学的情報記録再生装置のスポット検査時に生じるこの
ような不都合を解決し、スポット検査工程、特に、スポ
ットの光軸と傾きの検出と補正、およびスポットの形状
の検査とが自動的に行えるようにして、作業者の負担を
軽減すると共に、品質のバラツキを防止した光ピックア
ップ検査装置および検査方法を提供することを目的とす
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明では、第１に、
レンズからの出射光を撮像素子上に結像させて、該素子
上の点（ｉ，ｊ）における基準規格化強度Ａ（ｉ，ｊ）
と、検査規格化強度Ｂ（ｉ，ｊ）とを用いて演算処理を
行う光ピックアップ検査装置において、演算手段とし
て、

【数３】 を演算し、値Ｓと、所定の値との大小を比較する手段、
を備えた構成である。

【００１２】第２に、上記第１の光ピックアップ検査装
置において、コントローラ内部の画素メモリにおいて、
検査画素を（Ｍ，Ｎ）、基準画素を（ｍ，ｎ）としたと
き、Ｍ＞ｍ、かつ、Ｎ＞ｎの関係に設定し、記憶した基
準画素を検査画素上で平行移動し、各々のピーク位置を
一致させた後、上記第１の演算処理を行う検査方法であ
る。

【００１３】第３に、上記第１の光ピックアップ検査装
置において、演算手段として、 ｐ＝ｉｎｔ（ｎ／２），ｑ＝ｉｎｔ（ｍ／２）とすると
き、

【数４】 を演算し、値Ｓと、所定の値との大小を比較する手段、
を備えた構成である。

【００１４】第４に、上記第３の光ピックアップ検査装
置において、コントローラ内部の画素メモリにおいて、
検査画素を（Ｍ，Ｎ）、基準画素を（ｍ，ｎ）としたと
き、Ｍ＞ｍ、かつ、Ｎ＞ｎの関係に設定し、記憶した基
準画素を検査画素上で平行移動し、各々のピーク位置を
一致させた後、上記第３の演算処理を行う検査方法であ
る。

【００１５】

【作用】この発明では、カメラコントローラからのスポ
ット画像を一旦フレームメモリに取り込み、この画像に
演算処理を行うことによって、スポットの良否が自動的
に判定できるようにしている。まず、アクチュエータに
組み込まれている対物レンズの傾きが良好に調整された
場合のスポットの強度分布について説明する。

【００１６】図２は、対物レンズの傾きが良好に調整さ
れ、かつ、歪みがない場合のスポットの光強度の分布
（等光エネルギー密度線）の一例を示す斜視図である。
図において、ｘ，ｙはそれぞれｘ軸とｙ軸、Ｉ（ｘ，
ｙ）はスポットの光軸、Ｇは強度がピークとなる点、１
１はスポットの強度分布曲線、１２と１３はそれぞれ点
Ｇを通る垂直面、１４は強度Ｉ１を通る水平面を示す。

【００１７】ここで、このスポットの像が結ばれる撮像
素子の面（一般に撮像素子は平面状である）を想定し
て、この面上に、ｘ軸およびｙ軸を取る。そして、撮像
素子上の点（ｘ，ｙ）におけるスポットの強度をＩ
（ｘ，ｙ）、強度がピークとなる点をＧとする。なお、
この図２では、理解を容易にするために、点Ｇと座標原
点とを一致させて図示している。

【００１８】この図２に示すように、対物レンズの傾き
が良好に調整され、かつ、歪みがない場合、スポットの
強度分布は釣鐘状の形状１１になる。すなわち、光軸Ｉ
（ｘ，ｙ）の周りに同心円状に分布されるので、ｘ−ｙ
平面に平行な任意の平面１４で切断した断面の強度分布
は、円状の等強度線となり、かつ、断面（例えばｘ軸）
の分布は、ガウス分布となる。

【００１９】したがって、その光軸Ｉ（ｘ，ｙ）の傾き
や、強度分布の値を知るためには、全ての強度分布を調
べる必要はなく、互いに直交し、かつ光軸Ｉ（ｘ，ｙ）
を通る二つの平面、図２では、点Ｇを通る垂直面１２，
１３の断面について、その強度分布を調べれば十分であ
る。この発明では、このような点に着目し、基準となる
光ピックアップのスポットと、検査対象のスポットとを
比較する。

【００２０】具体的にいえば、撮像素子上のスポット画
像がフレームメモリ上に投影されるため、撮像素子上の
想定したｘ，ｙ座標を、フレームメモリのｘ，ｙ座標と
して取り扱うことが可能となり、スポットの各部分の強
度Ｉは、フレームメモリの座標（ｘ，ｙ）の関数Ｉ
（ｘ，ｙ）として処理することができる。

【００２１】

【実施例１】次に、この発明の光ピックアップ検査装置
について、図面を参照しながら、その実施例を詳細に説
明する。この実施例は、主として、請求項１の発明に関
連しているが、ハード構成やスポットの正常異常の判断
の基本原理は、請求項２から請求項４の発明とも関連し
ている。

【００２２】図１は、この発明の光ピックアップ検査装
置について、そのハードウエアの要部構成の一実施例を
示す機能ブロック図である。図における符号は図５と同
様であり、また、２１はＣＣＤカメラ、２２はモノクロ
ＣＲＴモニター、２３は画像処理ボード、２４はパーソ
ナルコンピュータを示す。

【００２３】この図１において、符号１〜６で構成され
る被試験ピックアップ、すなわち、Ｘ−Ｙステージ１か
ら対物レンズ６までの構成、および、カバーガラス７と
顕微鏡８の構成と動作は、先の図５と同様である。そし
て、被試験ピックアップから出射したレーザ光ＬＢのス
ポットは、ＣＣＤカメラ２１の撮像面にそのスポットを
結像する。

【００２４】その像は、順次画素に対応した順序で、そ
の光強度に応じた電気信号に変換されて、画像処理ボー
ド２３に入力される。また、このスポットの像は、コン
ピュータからのコマンドによって、画像処理ボード２３
を通して、フレームメモリに取り込まれ、その生画像が
モノクロＣＲＴモニター２２の画面上に表示される。画
像処理ボード２３は、次の図３に示すような構成であ
る。

【００２５】図３は、図１に示したこの発明の光ピック
アップ検査装置の画像処理ボード２３について、その詳
細な内部構成の一実施例を示す機能ブロック図である。
図における符号は図１と同様であり、また、３１はＡ／
ＤＣ（アナログ−デジタル変換器）、３２はＳＹＮＣ
（同期信号検出部）、３３はＤ／ＡＣ（デジタル−アナ
ログ変換器）、３４はＶＲＡＭ、３５はシステムＲＡ
Ｍ、３６はＧＳＰ（画像処理プロセッサ）を示す。

【００２６】この図３に示すように、図１のＣＣＤカメ
ラ２３からの信号は、アナログ−デジタル変換器３１に
よってデジタル信号のコードに変換され、変換されたコ
ードが、ＶＲＡＭ３４に格納される。また、このＶＲＡ
Ｍ３４に格納されたコードは、デジタル−アナログ変換
器３３によって、光強度に応じたアナログ信号に変換さ
れて、光強度の信号が復元される。

【００２７】この復元された光強度の信号が、モノクロ
ＣＲＴ２２へ出力されて、画面上に表示される。一方、
ＶＲＡＭ３４のコードは、システムＲＡＭ３５によって
画像処理プロセッサ３６と接続されており、取り込まれ
た画像データの処理が、この画像処理プロセッサ３６に
よって行われる。

【００２８】画像データの処理としては、例えば、光強
度に応じた色分けを行い、その結果をパーソナルコンピ
ュータ２４の画面上に表示したり、また、輪郭を強調し
たりすることができる。この発明の光ピックアップ検査
装置では、スポットの検査に必要な演算（請求項１また
は請求項３の演算）や、強度分布のピーク位置の検出、
および画面内部における画素の移動等の動作は、パーソ
ナルコンピュータ２４からのコマンドに従って、この画
像処理プロセッサ３６が全て行い、その結果は、パーソ
ナルコンピュータ２４に通知される。

【００２９】次に、図１と図３に示したこの発明の光ピ
ックアップ検査装置について、請求項１の発明による検
査時の具体的な動作を説明する。対物レンズから出射さ
れたレーザ光ＬＢは、ＣＣＤカメラ２３の撮像面にスポ
ットの形状の像を結ぶ。

【００３０】この像は、ＣＣＤカメラ２３内のフォトダ
イオードによって、画素ごとにその光の強弱に応じた電
荷に変換される。この電荷は、シフトクロックによって
電極に転送され、目的とする画素の光の強さとして検出
される。

【００３１】この動作は二次元で行われるので、撮像面
の光の強さの二次元分布図が得られる。この信号は、ア
ナログ−デジタル変換器３１によって、強さに応じたコ
ードデータとして変換され、装置内のＶＲＡＭ３４に格
納される。

【００３２】この装置は、少なくとも２画面分のコード
データを格納することができるＶＲＡＭ３４を備えてお
り、一方のメモリエリアには、基準となるスポットの光
の強度分布が格納され、他方のメモリエリアには、検査
されるスポットの強度分布のデータが格納される。

【００３３】すでに述べたように、この検査は、２つの
目的をもっている。第１の目的は、光軸の傾きの検出と
補正であり、第２の目的は、スポットの形状そのものの
検査である。

【００３４】この２つの目的の検査を行うために、検査
手段として、最小自乗法を用い、２つの画面の対応する
画素の強度のデータの差の絶対値の積分値が小さい程似
ていると判断する。もし、両者が全く同一であれば、積
分値は“０”となる。

【００３５】この検査の手順としては、まず、光軸の傾
きが“０”の状態で、かつ形状も良好なスポットの状態
を、基準画面に格納する。これが基準スポットのデータ
となる。次に、ピーク位置を合わせて、そのピークの値
を一定値にして規格化し、光軸を動かして、積分値が最
も小さくなる状態を探す。

【００３６】この状態で、積分値はある値をもつが、こ
の値が、基準のスポットに対して、検査スポットがどの
程度異なっているか、を示す値になる。そして、この値
が、ある値以下であれば、基準スポットの値と検査対象
のスポットとは許容範囲内である、と判断して合格とす
る。

【００３７】ここで、素子上の点（ｉ，ｊ）における基
準規格化強度をＡ（ｉ，ｊ）、検査規格化強度をＢ
（ｉ，ｊ）、とすれば、演算値Ｓは、次の式(1) によっ
て求められる。

【数５】

【００３８】この式(1) による演算結果によって求めら
れる値Ｓを、所定の値と比較して、その大小によって、
スポットの形状の良否、および光軸の傾きの調整を行う
ことにより、作業者の主観によるあいまいな判定が排除
され、しかも、迅速な検査が可能になる。次に、この発
明の光ピックアップ検査装置について、スポット検査の
手順を説明する。

【００３９】(１) 基準となるピックアップを傾きが
“０”となるように設置し、そのスポットを測定し、そ
の強度分布をコントローラ内部のメモリに格納する。そ
の際、ピークがなるべく画面の中心になるようにする。 (２) ピークの強度が“１”となるように規格化する。

【００４０】(３) 基準スポットのピーク（強度が最大
となる点）を探し、ＣＲＴ上に点として表示する。 (４) 検査対象のピックアップを設置し、ＣＲＴにスポ
ットのピークを表示する。

【００４１】(５) 基準スポットのピークと検査スポッ
トのピークが一致するようにＸ−Ｙステージを移動す
る。 (６) 検査スポットの強度分布を測定しピーク値で規格
化する。

【００４２】(７) 検査値と基準値を次の演算式に従っ
て計算する。

【数６】 ここで、Ａ（ｉ，ｊ）は基準のピックアップの画素の光
強度、Ｂ（ｉ，ｊ）は検査されるピックアップの画素の
光強度、ｍ，ｎは縦横の画素数である。 (８) この演算結果がある決められた値以下であれば、
検査されたピックアップの傾きは合格とする。

【００４３】(９) 基準値以上であれば、傾きの調整を
行う。 (１０) 傾き調整を行っても基準値以下にならない場合
は不合格とする。 以上の(１)〜(１０)の手順によって、この第１の実施例
による光ピックアップ検査装置のスポット検査が行われ
る。

【００４４】図４は、この発明の光ピックアップ検査装
置について、スポット検査時の主要な処理の流れを示す
フローチャートである。図において、＃１〜＃１２はス
テップを示す。

【００４５】ステップ＃１で、ピックアップを傾きが
“０”となるように設置してスポットを測定し、その強
度分布をコントローラ内部のメモリに格納する。ステッ
プ＃２で、ピークの強度が“１”となるように規格化す
る。

【００４６】ステップ＃３で、基準スポットのピーク
（強度が最大となる点）を探し、ＣＲＴ上に表示する。
ステップ＃４で、検査対象のピックアップを設置し、Ｃ
ＲＴにスポットのピークを表示する。

【００４７】ステップ＃５で、基準スポットのピークと
検査スポットのピークが一致するようにＸ−Ｙステージ
を移動する。ステップ＃６で、検査スポットの強度分布
を測定しピーク値で規格化する。

【００４８】ステップ＃７で、演算式(1) に従って、検
査値と基準値とを計算する。ステップ＃８で、式(1) の
演算結果が、ある決められた値以下であるか否かチェッ
クする。

【００４９】もし、ある決められた値以下であれば、ス
テップ＃９で、検査されたピックアップの傾きは合格と
する。また、ステップ＃８でチェックした結果、ある決
められた値以下でなければ、ステップ＃１０へ進み演算
回数をチェックし、次のステップ＃１１で傾きの調整を
行う。

【００５０】傾き調整を所定回数行ってもある決められ
た値以下にならないときは、ステップ＃１２で、不合格
とする。以上のステップ＃１〜＃１２の処理によって、
スポットの検査が行われる。

【００５１】

【実施例２】次に、この発明について、第２の実施例を
説明する。この実施例は、主として、請求項２の発明に
対応するが、請求項１の発明とも関連している。

【００５２】先の第１の実施例では、検査対象のスポッ
トと基準にするスポットの光軸は、図１のＸ−Ｙステー
ジ１などで機械的に調整を行うことを前提としている。
しかしながら、画面を見ながらの調整操作には、時間が
かかるとともに精度がばらつく、という問題がある。

【００５３】この第２の実施例では、画素メモリ上でピ
ーク位置を合致させる方法を採用する。すなわち、基準
の画面（Ｍ，Ｎ）を大きくとり、検査対象の画面（ｍ，
ｎ）をそれより小さくとることによって、両者のピーク
位置の検出後、その位置が異なっていても、Ｘ方向にＭ
−ｍ、Ｙ方向にＮ−ｎだけ、検査画面を移動させること
が可能である。

【００５４】したがって、スポットのピークの位置のず
れの距離が、それぞれの可動範囲内であれば、機械的な
移動手段を用いる必要なしに、光軸合わせを行うことが
できる。このような光軸合わせを行った後、所定の演算
を行い、検査と判定を行えば、機械的な光軸合わせの必
要なしに、スポットの検査が可能となる。以上の動作
が、請求項２の発明の実施例である。

【００５５】

【実施例３】次に、この発明について、第３の実施例を
説明する。この実施例は、主として、請求項３の発明に
対応するが、請求項１と請求項４の発明とも関連してい
る。

【００５６】先に述べた第１の実施例では、式(1) によ
って積分値Ｓを求めたが、この演算処理では、多くの計
算回数が必要である。例えば、画素数が、縦２０４８、
横４０９６の場合、その計算回数は、合計８３８万８６
０８回になる。

【００５７】ここで、引き算とその積分の１画素当りの
計算時間を１０μ秒とすると、約８４秒かかる。このよ
うに、演算処理に多くの時間がかかると、検査スポット
を移動させながら、その傾きをリアルタイムで見ること
はできないので、計算時間の短縮が課題となる。

【００５８】この第３の実施例では、この演算処理が迅
速に行えるようにしている。そのために、先の図２に示
したように、スポットは軸対称である、という点に着目
し、この軸対称性を利用する。具体的にいえば、図２の
光軸Ｉを通り、互いに直交する２つの平面１１，１２で
切断される断面１４の強度分布を調べれば十分である。
この場合の演算は、次の式(2) に従って行う。

【数７】

【００５９】この式(2) によれば、縦、横の画素数が、
先の例の場合に、演算回数は、２０４８＋４０９６＝６
１４２となり、演算時間は、０．０６秒である。したが
って、十分にリアルタイムの検査が可能である。すなわ
ち、請求項１の光ピックアップ検査装置に比べて、迅速
な演算が可能になり、一層迅速な検査が行える。

【００６０】

【実施例４】次に、この発明について、第４の実施例を
説明する。この実施例は、主として、請求項４の発明に
対応するが、請求項２と請求項３の発明とも関連してい
る。

【００６１】この第４の実施例でも、先の第２の実施例
と同様に、画素メモリ上でピーク位置を合致させる方法
を採用する。そして、その演算処理は、先の第３の実施
例で説明した式(2) を使用する。

【００６２】したがって、請求項２の光ピックアップの
検査方法と同様に、Ｘ−Ｙテーブルなどの機械的な移動
によってピーク位置を合わせる操作が不要になると共
に、請求項２の光ピックアップの検査装置の場合と同様
に、迅速な演算も可能になると共に、より一層迅速な検
査を行うことができる。

【００６３】

【発明の効果】請求項１の光ピックアップ検査装置で
は、演算処理によって算出される演算結果の値の大小に
より、スポットの合格、不合格、および傾きの調整が行
えるようにしている。したがって、従来のように、個人
の主観による判断のあいまいさを排除することができる
と共に、迅速な検査も可能になる。

【００６４】請求項２の光ピックアップの検査方法で
は、Ｘ−Ｙテーブルなどの機械的な移動によってピーク
位置を合わせる操作が不要になる。したがって、迅速な
位置合わせが可能になる。

【００６５】請求項３の光ピックアップ検査装置では、
請求項１の演算処理に比べて、より迅速な演算を行うこ
とができる。したがって、請求項１の光ピックアップ検
査装置に比べて、演算時間が大幅に短縮され、より迅速
な検査が可能になる。

【００６６】請求項４の光ピックアップの検査方法で
は、請求項２の光ピックアップの検査方法と同様に、Ｘ
−Ｙテーブルなどの機械的な移動によってピーク位置を
合わせる操作が不要になると共に、請求項１の光ピック
アップ検査装置に比べて、演算時間が大幅に短縮される
ので、迅速な演算も可能になる。したがって、一層迅速
な検査が行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の光ピックアップ検査装置について、
そのハードウエアの要部構成の一実施例を示す機能ブロ
ック図である。

【図２】対物レンズの傾きが良好に調整され、かつ、歪
みがない場合のスポットの光強度の分布（等光エネルギ
ー密度線）の一例を示す斜視図である。

【図３】図１に示したこの発明の光ピックアップ検査装
置の画像処理ボード２３について、その詳細な内部構成
の一実施例を示す機能ブロック図である。

【図４】この発明の光ピックアップ検査装置について、
スポット検査時の主要な処理の流れを示すフローチャー
トである。

【図５】従来の光学ヘッド調整工程を行う調整装置につ
いて、その要部構成の一例を示す図である。

【符号の説明】

１ Ｘ−Ｙステージ ２ 光ピックアップのハウジング ３ 偏向プリズム ４ アクチュエータ ５ ネジ ６ 対物レンズ ７ カバーガラス ８ 顕微鏡 ９ カメラコントローラ １０ ＴＶモニター ２１ ＣＣＤカメラ ２２ モノクロＣＲＴモニター ２３ 画像処理ボード ２４ パーソナルコンピュータ ３１ アナログ−デジタル変換器 ３２ ＳＹＮＣ ３３ デジタル−アナログ変換器 ３４ ＶＲＡＭ ３５ システムＲＡＭ ３６ 画像処理プロセッサ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像
   させて、該素子上の点（ｉ，ｊ）における基準規格化強
   度Ａ（ｉ，ｊ）と、検査規格化強度Ｂ（ｉ，ｊ）とを用
   いて演算処理を行う光ピックアップ検査装置において、
   演算手段として、 【数１】 を演算し、値Ｓと、所定の値との大小を比較する手段、
   を備えたことを特徴とする光ピックアップ検査装置。
2. 【請求項２】 請求項１の光ピックアップ検査装置にお
   いて、 コントローラ内部の画素メモリにおいて、検査画素を
   （Ｍ，Ｎ）、基準画素を（ｍ，ｎ）としたとき、Ｍ＞
   ｍ、かつ、Ｎ＞ｎの関係に設定し、記憶した基準画素を
   検査画素上で平行移動し、各々のピーク位置を一致させ
   た後、上記請求項１の演算処理を行うことを特徴とする
   光ピックアップの検査方法。
3. 【請求項３】 請求項１の光ピックアップ検査装置にお
   いて、 演算手段として、 ｐ＝ｉｎｔ（ｎ／２），ｑ＝ｉｎｔ（ｍ／２）とすると
   き、 【数２】 を演算し、値Ｓと、所定の値との大小を比較する手段、
   を備えたことを特徴とする光ピックアップ検査装置。
4. 【請求項４】 請求項３の光ピックアップ検査装置にお
   いて、 コントローラ内部の画素メモリにおいて、検査画素を
   （Ｍ，Ｎ）、基準画素を（ｍ，ｎ）としたとき、Ｍ＞
   ｍ、かつ、Ｎ＞ｎの関係に設定し、記憶した基準画素を
   検査画素上で平行移動し、各々のピーク位置を一致させ
   た後、上記請求項３の演算処理を行うことを特徴とする
   光ピックアップ検査方法。