JPH06216253A - トリミング装置 - Google Patents
トリミング装置Info
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- JPH06216253A JPH06216253A JP2380793A JP2380793A JPH06216253A JP H06216253 A JPH06216253 A JP H06216253A JP 2380793 A JP2380793 A JP 2380793A JP 2380793 A JP2380793 A JP 2380793A JP H06216253 A JPH06216253 A JP H06216253A
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- Japan
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- trimming
- state
- circuit
- target circuit
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、半導体集積回路に利用されるトリ
ミング装置において、トリミングを行った後、再びトリ
ミングして、トリミング対象回路を初期状態で動作させ
ることを可能にする。 【構成】 両端を短絡状態より開放状態に移行させる第
１のトリミング手段（ヒューズ12）と、両端を開放状態
より短絡状態に移行させるものであってヒューズ12に対
して直列に接続した第２のトリミング手段（アンチヒュ
ーズ13）とよりなるトリミング回路11を、トリミング対
象回路51に対して並列に接続したものである。図示しな
いが、あるいは複数のトリミング回路11を、トリミング
対象回路51に対してそれぞれに並列に接続したものであ
る。または、上記第１のトリミング手段と上記第２のト
リミング手段とを並列に接続したトリミング回路をトリ
ミング対象回路に対して直列に接続したものである。
ミング装置において、トリミングを行った後、再びトリ
ミングして、トリミング対象回路を初期状態で動作させ
ることを可能にする。 【構成】 両端を短絡状態より開放状態に移行させる第
１のトリミング手段（ヒューズ12）と、両端を開放状態
より短絡状態に移行させるものであってヒューズ12に対
して直列に接続した第２のトリミング手段（アンチヒュ
ーズ13）とよりなるトリミング回路11を、トリミング対
象回路51に対して並列に接続したものである。図示しな
いが、あるいは複数のトリミング回路11を、トリミング
対象回路51に対してそれぞれに並列に接続したものであ
る。または、上記第１のトリミング手段と上記第２のト
リミング手段とを並列に接続したトリミング回路をトリ
ミング対象回路に対して直列に接続したものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体集積回路に利用
されるトリミング装置に関するものである。
されるトリミング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体集積回路では、抵抗やキャパシタ
のトリミングを行うことによって、回路特性値が所定の
範囲内に収まるようにしている。そのトリミング方法と
しては、短絡状態より開放状態に移行させる手段として
用いられる金属ヒューズまたはポリシリコンヒューズ
を、電気的に飛ばす方法、あるいはレーザ光を照射する
ことによりヒューズを飛ばす方法等がある。
のトリミングを行うことによって、回路特性値が所定の
範囲内に収まるようにしている。そのトリミング方法と
しては、短絡状態より開放状態に移行させる手段として
用いられる金属ヒューズまたはポリシリコンヒューズ
を、電気的に飛ばす方法、あるいはレーザ光を照射する
ことによりヒューズを飛ばす方法等がある。
【０００３】一方、開放状態より短絡状態に移行させる
手段として、レーザ光を用いるものがある。この手段
は、絶縁膜で分離されている２層の金属層が接続されて
いる部分にレーザ光を照射して短絡させるものである。
または、狭い間隔を設けて形成した金属配線間にレーザ
光を照射して、互いに短絡させる方法、あるいは、短い
区間を真性状態または高抵抗状態にし、他の領域に高濃
度の不純物を導入して形成したポリシリコンの真性領域
または高抵抗領域にレーザ光を照射して、高濃度領域か
ら真性領域に不純物を拡散させて短絡する方法等が提案
されている。
手段として、レーザ光を用いるものがある。この手段
は、絶縁膜で分離されている２層の金属層が接続されて
いる部分にレーザ光を照射して短絡させるものである。
または、狭い間隔を設けて形成した金属配線間にレーザ
光を照射して、互いに短絡させる方法、あるいは、短い
区間を真性状態または高抵抗状態にし、他の領域に高濃
度の不純物を導入して形成したポリシリコンの真性領域
または高抵抗領域にレーザ光を照射して、高濃度領域か
ら真性領域に不純物を拡散させて短絡する方法等が提案
されている。
【０００４】またツェナーダイオードを用いた方法も提
案されている。この方法では、通常時にはツェナーダイ
オードに降伏電圧以下の逆方向電圧を印加して開放状態
にする。そしてトリミングが必要な場合には、逆方向に
過電流を印加してツェナーダイオードを破壊させる、い
わゆるツェナーザップを行う。
案されている。この方法では、通常時にはツェナーダイ
オードに降伏電圧以下の逆方向電圧を印加して開放状態
にする。そしてトリミングが必要な場合には、逆方向に
過電流を印加してツェナーダイオードを破壊させる、い
わゆるツェナーザップを行う。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記説
明したいづれの方法も、ヒューズまたはツェナーダイオ
ード等の破壊によりトリミングを行う。このため、トリ
ミング対象回路に対してトリミングを行ってしまうと、
トリミングした素子を再び初期状態に戻すことはできな
い。したがって、トリミング対象回路を再度動作させる
ことはできない。このように、回路内容をトリミングに
よって修正できるのは、１度だけであった。
明したいづれの方法も、ヒューズまたはツェナーダイオ
ード等の破壊によりトリミングを行う。このため、トリ
ミング対象回路に対してトリミングを行ってしまうと、
トリミングした素子を再び初期状態に戻すことはできな
い。したがって、トリミング対象回路を再度動作させる
ことはできない。このように、回路内容をトリミングに
よって修正できるのは、１度だけであった。
【０００６】本発明は、トリミング対象回路をトリミン
グした後、初期状態に復帰させることが可能なトリミン
グ装置を提供することを目的とする。
グした後、初期状態に復帰させることが可能なトリミン
グ装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされたトリミング装置である。すまわ
ち、第１のトリミング装置としては、両端を短絡状態よ
り開放状態に移行させる第１のトリミング手段と、両端
を開放状態より短絡状態に移行させるものであって第１
のトリミング手段に対して直列に接続した第２のトリミ
ング手段とよりなるトリミング回路を、トリミング対象
回路に対して並列に接続したものである。あるいは複数
の上記トリミング回路をトリミング対象回路に対してそ
れぞれに並列に接続したものである。
成するためになされたトリミング装置である。すまわ
ち、第１のトリミング装置としては、両端を短絡状態よ
り開放状態に移行させる第１のトリミング手段と、両端
を開放状態より短絡状態に移行させるものであって第１
のトリミング手段に対して直列に接続した第２のトリミ
ング手段とよりなるトリミング回路を、トリミング対象
回路に対して並列に接続したものである。あるいは複数
の上記トリミング回路をトリミング対象回路に対してそ
れぞれに並列に接続したものである。
【０００８】または、第２のトリミング装置としては、
上記両端を短絡状態より開放状態に移行させる第１のト
リミング手段と上記両端を開放状態より短絡状態に移行
させる第２のトリミング手段とを並列に接続してトリミ
ング回路を構成し、それをトリミング対象回路に対して
直列に接続したものである。あるいは複数の上記トリミ
ング回路同士を直列に接続するとともに、トリミング対
象回路に対して直列に接続したものである。
上記両端を短絡状態より開放状態に移行させる第１のト
リミング手段と上記両端を開放状態より短絡状態に移行
させる第２のトリミング手段とを並列に接続してトリミ
ング回路を構成し、それをトリミング対象回路に対して
直列に接続したものである。あるいは複数の上記トリミ
ング回路同士を直列に接続するとともに、トリミング対
象回路に対して直列に接続したものである。
【０００９】
【作用】第１のトリミング装置では、両端を開放状態よ
り短絡状態に移行させる第２のトリミング手段をＯＮ状
態に移行することによりトリミングを行う。そして両端
を短絡状態より開放状態に移行させる第１のトリミング
手段をＯＦＦ状態に移行することによりトリミング対象
回路を初期状態に戻せる。また複数のトリミング回路
を、トリミング対象回路に対してそれぞれに並列に設け
たことにより、トリミング対象回路のトリミングと初期
状態への移行とを繰り返し行える。
り短絡状態に移行させる第２のトリミング手段をＯＮ状
態に移行することによりトリミングを行う。そして両端
を短絡状態より開放状態に移行させる第１のトリミング
手段をＯＦＦ状態に移行することによりトリミング対象
回路を初期状態に戻せる。また複数のトリミング回路
を、トリミング対象回路に対してそれぞれに並列に設け
たことにより、トリミング対象回路のトリミングと初期
状態への移行とを繰り返し行える。
【００１０】第２のトリミング装置では、両端を短絡状
態より開放状態に移行させる第１のトリミング手段をＯ
ＦＦ状態に移行することによりトリミングを行う。そし
て両端を開放状態より短絡状態に移行させる第２のトリ
ミング手段をＯＮ状態に移行することによりトリミング
対象回路を初期状態に戻せる。また複数のトリミング回
路を直列に接続するとともに、トリミング対象回路に対
して直列に接続したことにより、トリミング対象回路の
トリミングと初期状態への移行とを繰り返し行える。
態より開放状態に移行させる第１のトリミング手段をＯ
ＦＦ状態に移行することによりトリミングを行う。そし
て両端を開放状態より短絡状態に移行させる第２のトリ
ミング手段をＯＮ状態に移行することによりトリミング
対象回路を初期状態に戻せる。また複数のトリミング回
路を直列に接続するとともに、トリミング対象回路に対
して直列に接続したことにより、トリミング対象回路の
トリミングと初期状態への移行とを繰り返し行える。
【００１１】
【実施例】第１の発明の実施例を図１の回路構成図によ
り説明する。図に示すように、トリミング回路１１は、
両端を短絡状態より開放状態に移行させる第１のトリミ
ング手段（以下ヒューズ１２と記す）と、両端を開放状
態より短絡状態に移行させる第２のトリミング手段（以
下アンチヒューズ１３と記す）とが直列に接続されて構
成されている。また上記トリミング回路１１は、トリミ
ング対象回路５１に対して並列に接続されている。ここ
では、上記トリミング対象回路５１には、抵抗やキャパ
シタ等の素子も含むものとする。上記の如くに、トリミ
ング装置１０は構成されている。
り説明する。図に示すように、トリミング回路１１は、
両端を短絡状態より開放状態に移行させる第１のトリミ
ング手段（以下ヒューズ１２と記す）と、両端を開放状
態より短絡状態に移行させる第２のトリミング手段（以
下アンチヒューズ１３と記す）とが直列に接続されて構
成されている。また上記トリミング回路１１は、トリミ
ング対象回路５１に対して並列に接続されている。ここ
では、上記トリミング対象回路５１には、抵抗やキャパ
シタ等の素子も含むものとする。上記の如くに、トリミ
ング装置１０は構成されている。
【００１２】上記構成のトリミング装置１０の動作を説
明する。トリミング対象回路５１の初期状態は、トリミ
ング部分のアンチヒューズ１３がＯＦＦ状態になってい
るので、同トリミング対象回路５１は動作する。次に、
トリミングを行う場合を説明する。まずアンチヒューズ
１３をＯＮ状態（短絡状態）に移行する。その結果、ト
リミング素子部分であるアンチヒューズ１３はＯＮ状態
になるので、トリミング対象回路５１は非動作状態にな
る。そしてトリミング対象回路５１を初期状態に戻すに
は、上記アンチヒューズ１３がヒューズ１２に対して直
列に接続されているので、ヒューズ１２をＯＮ状態（短
絡状態）よりＯＦＦ状態（開放状態）に移行することに
より、トリミング素子部分が初期状態と同じＯＦＦ状態
に戻る。この結果、トリミング対象回路５１を再び動作
させることが可能になる。
明する。トリミング対象回路５１の初期状態は、トリミ
ング部分のアンチヒューズ１３がＯＦＦ状態になってい
るので、同トリミング対象回路５１は動作する。次に、
トリミングを行う場合を説明する。まずアンチヒューズ
１３をＯＮ状態（短絡状態）に移行する。その結果、ト
リミング素子部分であるアンチヒューズ１３はＯＮ状態
になるので、トリミング対象回路５１は非動作状態にな
る。そしてトリミング対象回路５１を初期状態に戻すに
は、上記アンチヒューズ１３がヒューズ１２に対して直
列に接続されているので、ヒューズ１２をＯＮ状態（短
絡状態）よりＯＦＦ状態（開放状態）に移行することに
より、トリミング素子部分が初期状態と同じＯＦＦ状態
に戻る。この結果、トリミング対象回路５１を再び動作
させることが可能になる。
【００１３】したがって、上記実施例で説明したトリミ
ングによって、回路特性を所定の範囲内に収まるように
修正した後、例えば、経時変化または製造工程における
条件変動等によって回路特性が変化した場合には、例え
ばヒューズ１２をＯＦＦすることにより、トリミング対
象回路５１を容易に初期状態に戻せる。
ングによって、回路特性を所定の範囲内に収まるように
修正した後、例えば、経時変化または製造工程における
条件変動等によって回路特性が変化した場合には、例え
ばヒューズ１２をＯＦＦすることにより、トリミング対
象回路５１を容易に初期状態に戻せる。
【００１４】次に第１の発明における別の実施例を図２
の回路構成図により説明する。なお、上記図１で説明し
たと同様の構成部品には同一符号を付す。図に示すよう
に、トリミング装置２０は、トリミング対象回路５１と
このトリミング対象回路５１に対して並列に接続したト
リミング回路群２１とよりなる。上記トリミング回路群
２１は、上記第１の発明の実施例で説明したと同様のト
リミング回路１１を並列に複数個（例えばｎ個）接続し
たものより構成されている。各トリミング回路１１は、
両端を短絡状態より開放状態に移行させる第１のトリミ
ング手段（以下ヒューズ１２と記す）と、両端を開放状
態より短絡状態に移行させる第２のトリミング手段（以
下アンチヒューズ１３と記す）とが直列に接続されてい
る。なお上記トリミング対象回路５１には、抵抗やキャ
パシタ等の素子も含むものとする。
の回路構成図により説明する。なお、上記図１で説明し
たと同様の構成部品には同一符号を付す。図に示すよう
に、トリミング装置２０は、トリミング対象回路５１と
このトリミング対象回路５１に対して並列に接続したト
リミング回路群２１とよりなる。上記トリミング回路群
２１は、上記第１の発明の実施例で説明したと同様のト
リミング回路１１を並列に複数個（例えばｎ個）接続し
たものより構成されている。各トリミング回路１１は、
両端を短絡状態より開放状態に移行させる第１のトリミ
ング手段（以下ヒューズ１２と記す）と、両端を開放状
態より短絡状態に移行させる第２のトリミング手段（以
下アンチヒューズ１３と記す）とが直列に接続されてい
る。なお上記トリミング対象回路５１には、抵抗やキャ
パシタ等の素子も含むものとする。
【００１５】上記構成のトリミング装置２０の動作を説
明する。トリミング対象回路５１の初期状態は、トリミ
ング部分の各アンチヒューズ１３がＯＦＦ状態（開放状
態）になっているので、同トリミング対象回路５１は動
作する。次に、トリミングを行う場合を説明する。まず
アンチヒューズ１３のうちの一つのアンチヒューズ１３
（１３ａ）をＯＮ状態（短絡状態）に移行する。その結
果、トリミング素子部分であるアンチヒューズ１３ａは
ＯＮ状態になるので、トリミング対象回路５１は非動作
状態になる。そして初期状態に戻すには、上記アンチヒ
ューズ１３ａがトリミング回路１１（１１ａ）のヒュー
ズ１２（１２ａ）に対して直列に接続されているので、
ヒューズ１２ａをＯＮ状態（短絡状態）よりＯＦＦ状態
（開放状態）に移行することにより、トリミング素子部
分が初期状態と同じＯＦＦ状態に戻る。この結果、トリ
ミング対象回路５１を再び動作させることが可能にな
る。
明する。トリミング対象回路５１の初期状態は、トリミ
ング部分の各アンチヒューズ１３がＯＦＦ状態（開放状
態）になっているので、同トリミング対象回路５１は動
作する。次に、トリミングを行う場合を説明する。まず
アンチヒューズ１３のうちの一つのアンチヒューズ１３
（１３ａ）をＯＮ状態（短絡状態）に移行する。その結
果、トリミング素子部分であるアンチヒューズ１３ａは
ＯＮ状態になるので、トリミング対象回路５１は非動作
状態になる。そして初期状態に戻すには、上記アンチヒ
ューズ１３ａがトリミング回路１１（１１ａ）のヒュー
ズ１２（１２ａ）に対して直列に接続されているので、
ヒューズ１２ａをＯＮ状態（短絡状態）よりＯＦＦ状態
（開放状態）に移行することにより、トリミング素子部
分が初期状態と同じＯＦＦ状態に戻る。この結果、トリ
ミング対象回路５１を再び動作させることが可能にな
る。
【００１６】再度トリミングを行う場合には、上記トリ
ミングを行ったアンチヒューズ１３ａ以外のうちの一つ
のアンチヒューズ１３（１３ｂ）をＯＮ状態に移行す
る。その結果、トリミング素子部分であるアンチヒュー
ズ１３ｂはＯＮ状態になるので、トリミング対象回路５
１は非動作状態になる。そして初期状態に戻すには、上
記アンチヒューズ１３ｂがトリミング回路１１（１１
ｂ）のヒューズ１２（１２ｂ）に対して直列に接続され
ているので、ヒューズ１２ｂをＯＮ状態よりＯＦＦ状態
に移行することにより、トリミング素子部分が初期状態
と同じＯＦＦ状態に戻る。この結果、トリミング対象回
路５１を再び動作させることが可能になる。
ミングを行ったアンチヒューズ１３ａ以外のうちの一つ
のアンチヒューズ１３（１３ｂ）をＯＮ状態に移行す
る。その結果、トリミング素子部分であるアンチヒュー
ズ１３ｂはＯＮ状態になるので、トリミング対象回路５
１は非動作状態になる。そして初期状態に戻すには、上
記アンチヒューズ１３ｂがトリミング回路１１（１１
ｂ）のヒューズ１２（１２ｂ）に対して直列に接続され
ているので、ヒューズ１２ｂをＯＮ状態よりＯＦＦ状態
に移行することにより、トリミング素子部分が初期状態
と同じＯＦＦ状態に戻る。この結果、トリミング対象回
路５１を再び動作させることが可能になる。
【００１７】したがって、トリミング回路１１を設けた
個数分（例えば上記別の実施例の場合にはｎ個）だけ、
トリミングを行うことが可能になり、そしてトリミング
対象回路５１を初期状態に戻すことも可能になる。すな
わち、トリミング対象回路５１を非動作状態にする、ま
たは動作状態にすることをｎ回繰り返すことが可能にな
る。
個数分（例えば上記別の実施例の場合にはｎ個）だけ、
トリミングを行うことが可能になり、そしてトリミング
対象回路５１を初期状態に戻すことも可能になる。すな
わち、トリミング対象回路５１を非動作状態にする、ま
たは動作状態にすることをｎ回繰り返すことが可能にな
る。
【００１８】次に第２の発明の実施例を図３の回路構成
図により説明する。なお、上記図１で説明したと同様の
構成部品には同一符号を付す。図に示すように、トリミ
ング回路３１は、両端を短絡状態より開放状態に移行さ
せる第１のトリミング手段（以下ヒューズ１２と記す）
と、両端を開放状態より短絡状態に移行させる第２のト
リミング手段（以下アンチヒューズ１３と記す）とが並
列に接続されて構成されている。上記トリミング回路３
１は、トリミング対象回路５１に対して直列に接続され
ている。ここでは、上記トリミング対象回路５１には、
抵抗やキャパシタ等の素子も含むものとする。上記の如
くに、トリミング装置３０は構成されている。
図により説明する。なお、上記図１で説明したと同様の
構成部品には同一符号を付す。図に示すように、トリミ
ング回路３１は、両端を短絡状態より開放状態に移行さ
せる第１のトリミング手段（以下ヒューズ１２と記す）
と、両端を開放状態より短絡状態に移行させる第２のト
リミング手段（以下アンチヒューズ１３と記す）とが並
列に接続されて構成されている。上記トリミング回路３
１は、トリミング対象回路５１に対して直列に接続され
ている。ここでは、上記トリミング対象回路５１には、
抵抗やキャパシタ等の素子も含むものとする。上記の如
くに、トリミング装置３０は構成されている。
【００１９】上記構成のトリミング装置３０の動作を説
明する。トリミング対象回路５１の初期状態では、トリ
ミング部分のヒューズ１２がＯＮ状態（短絡状態）にな
っているので、同トリミング対象回路５１は動作する。
次に、トリミングを行う場合を説明する。まずヒューズ
１２をＯＦＦ状態（開放状態）に移行する。このとき上
記アンチヒューズ１３はヒューズ１２に対して並列に接
続されていてしかもＯＦＦ状態（開放状態）になってい
るので、トリミング対象回路５１は非動作状態になる。
次いでトリミング対象回路５１を動作状態に復帰させる
方法を説明する。まず上記アンチヒューズ１３をＯＦＦ
状態（開放状態）よりＯＮ状態（短絡状態）に移行す
る。この結果、トリミング素子部分が初期状態と同じＯ
Ｎ状態に戻るので、トリミング対象回路５１を再び動作
させることが可能になる。
明する。トリミング対象回路５１の初期状態では、トリ
ミング部分のヒューズ１２がＯＮ状態（短絡状態）にな
っているので、同トリミング対象回路５１は動作する。
次に、トリミングを行う場合を説明する。まずヒューズ
１２をＯＦＦ状態（開放状態）に移行する。このとき上
記アンチヒューズ１３はヒューズ１２に対して並列に接
続されていてしかもＯＦＦ状態（開放状態）になってい
るので、トリミング対象回路５１は非動作状態になる。
次いでトリミング対象回路５１を動作状態に復帰させる
方法を説明する。まず上記アンチヒューズ１３をＯＦＦ
状態（開放状態）よりＯＮ状態（短絡状態）に移行す
る。この結果、トリミング素子部分が初期状態と同じＯ
Ｎ状態に戻るので、トリミング対象回路５１を再び動作
させることが可能になる。
【００２０】したがって、上記第２の発明の実施例で説
明したトリミングによっても、回路特性を所定の範囲内
に収まるように修正した後、例えば、経時変化または製
造工程における条件変動等によって回路特性が変化した
場合には、アンチヒューズ１３をＯＮ状態にすることに
より、トリミング対象回路５１を容易に初期状態に戻す
ことが可能になる。
明したトリミングによっても、回路特性を所定の範囲内
に収まるように修正した後、例えば、経時変化または製
造工程における条件変動等によって回路特性が変化した
場合には、アンチヒューズ１３をＯＮ状態にすることに
より、トリミング対象回路５１を容易に初期状態に戻す
ことが可能になる。
【００２１】次に第２の発明における別の実施例を図４
の回路構成図により説明する。なお、上記図１で説明し
たと同様の構成部品には同一符号を付す。図に示すよう
に、トリミング装置４０は、トリミング対象回路５１と
このトリミング対象回路５１に対して直列に接続したト
リミング回路群４１よりなる。上記トリミング回路群４
１は、上記第２の発明の実施例で説明したと同様のトリ
ミング回路３１を直列に複数個（例えばｎ個）接続した
ものより構成されている。各トリミング回路３１は、両
端を短絡状態より開放状態に移行させる第１のトリミン
グ手段（以下ヒューズ１２と記す）と、両端を開放状態
より短絡状態に移行させる第２のトリミング手段（以下
アンチヒューズ１３と記す）とが並列に接続されてい
る。なお上記トリミング対象回路５１には、抵抗やキャ
パシタ等の素子も含むものとする。
の回路構成図により説明する。なお、上記図１で説明し
たと同様の構成部品には同一符号を付す。図に示すよう
に、トリミング装置４０は、トリミング対象回路５１と
このトリミング対象回路５１に対して直列に接続したト
リミング回路群４１よりなる。上記トリミング回路群４
１は、上記第２の発明の実施例で説明したと同様のトリ
ミング回路３１を直列に複数個（例えばｎ個）接続した
ものより構成されている。各トリミング回路３１は、両
端を短絡状態より開放状態に移行させる第１のトリミン
グ手段（以下ヒューズ１２と記す）と、両端を開放状態
より短絡状態に移行させる第２のトリミング手段（以下
アンチヒューズ１３と記す）とが並列に接続されてい
る。なお上記トリミング対象回路５１には、抵抗やキャ
パシタ等の素子も含むものとする。
【００２２】上記構成のトリミング装置４０の動作を説
明する。トリミング対象回路５１の初期状態は、トリミ
ング部分のヒューズ１２がＯＮ状態（短絡状態）になっ
ているので、同トリミング対象回路５１は動作する。次
に、トリミングを行う場合を説明する。まず複数のヒュ
ーズ１２のうちの一つのヒューズ１２（１２ａ）をＯＦ
Ｆ状態（開放状態）に移行する。このとき、上記トリミ
ング回路３１（３１ａ）を構成するアンチヒューズ１３
（１３ａ）はヒューズ１２ａに対して並列に接続されて
いて、しかもＯＦＦ状態（開放状態）になっているの
で、トリミング対象回路５１は非動作状態になる。次い
でトリミング対象回路５１を動作状態に復帰させる方法
を説明する。まず上記アンチヒューズ１３ａをＯＦＦ状
態（開放状態）よりＯＮ状態（短絡状態）に移行する。
この結果、トリミング素子部分が初期状態と同じＯＮ状
態に戻るので、トリミング対象回路５１を再び動作させ
ることが可能になる。
明する。トリミング対象回路５１の初期状態は、トリミ
ング部分のヒューズ１２がＯＮ状態（短絡状態）になっ
ているので、同トリミング対象回路５１は動作する。次
に、トリミングを行う場合を説明する。まず複数のヒュ
ーズ１２のうちの一つのヒューズ１２（１２ａ）をＯＦ
Ｆ状態（開放状態）に移行する。このとき、上記トリミ
ング回路３１（３１ａ）を構成するアンチヒューズ１３
（１３ａ）はヒューズ１２ａに対して並列に接続されて
いて、しかもＯＦＦ状態（開放状態）になっているの
で、トリミング対象回路５１は非動作状態になる。次い
でトリミング対象回路５１を動作状態に復帰させる方法
を説明する。まず上記アンチヒューズ１３ａをＯＦＦ状
態（開放状態）よりＯＮ状態（短絡状態）に移行する。
この結果、トリミング素子部分が初期状態と同じＯＮ状
態に戻るので、トリミング対象回路５１を再び動作させ
ることが可能になる。
【００２３】再度トリミングを行う場合には、例えば上
記トリミングを行ったヒューズ１２ａ以外のうちの一つ
のヒューズ１２（１２ｂ）をＯＦＦ状態に移行する。こ
のとき、上記トリミング回路３１（３１ｂ）を構成する
アンチヒューズ１３（１３ｂ）はヒューズ１２ｂに対し
て並列に接続されていて、ＯＦＦ状態になっているの
で、トリミング対象回路５１は非動作状態になる。そし
てトリミング対象回路５１を初期状態に戻すには、上記
アンチヒューズ１３ｂをＯＦＦ状態よりＯＮ状態に移行
する。この結果、トリミング素子部分が初期状態と同じ
ＯＮ状態に戻るので、トリミング対象回路５１を再び動
作させることが可能になる。
記トリミングを行ったヒューズ１２ａ以外のうちの一つ
のヒューズ１２（１２ｂ）をＯＦＦ状態に移行する。こ
のとき、上記トリミング回路３１（３１ｂ）を構成する
アンチヒューズ１３（１３ｂ）はヒューズ１２ｂに対し
て並列に接続されていて、ＯＦＦ状態になっているの
で、トリミング対象回路５１は非動作状態になる。そし
てトリミング対象回路５１を初期状態に戻すには、上記
アンチヒューズ１３ｂをＯＦＦ状態よりＯＮ状態に移行
する。この結果、トリミング素子部分が初期状態と同じ
ＯＮ状態に戻るので、トリミング対象回路５１を再び動
作させることが可能になる。
【００２４】したがって、トリミング回路３１を設けた
個数分（例えば上記第２の発明における別の実施例の場
合にはｎ回）だけ、トリミングを行うことが可能にな
り、その後トリミング対象回路５１を初期状態に戻すこ
とも可能になる。すなわち、トリミング対象回路５１を
非動作状態にする、または動作状態にすることをｎ回繰
り返すことが可能になる。
個数分（例えば上記第２の発明における別の実施例の場
合にはｎ回）だけ、トリミングを行うことが可能にな
り、その後トリミング対象回路５１を初期状態に戻すこ
とも可能になる。すなわち、トリミング対象回路５１を
非動作状態にする、または動作状態にすることをｎ回繰
り返すことが可能になる。
【００２５】
【発明の効果】以上、説明したように請求項１，請求項
２の発明によれば、両端を開放状態より短絡状態に移行
させる第２のトリミング手段（アンチヒューズ）をＯＮ
状態に移行することでトリミングを行うことができる。
そして、両端を短絡状態より開放状態に移行させる第１
のトリミング手段（ヒューズ）をＯＦＦ状態に移行する
ことで初期状態に戻すことができる。また請求項３，請
求項４の発明によれば、両端を短絡状態より開放状態に
移行させる第１のトリミング手段（ヒューズ）をＯＦＦ
状態に移行することでトリミングを行うことができる。
そして、両端を開放状態より短絡状態に移行させる第２
のトリミング手段（アンチヒューズ）をＯＮ状態に移行
することで初期状態に戻すことができる。したがって、
従来は不可能であったトリミング後の初期状態への復帰
が可能になるので、半導体集積回路の歩留りの向上が図
れる。また半導体集積回路の応用分野の拡大を図ること
ができる。
２の発明によれば、両端を開放状態より短絡状態に移行
させる第２のトリミング手段（アンチヒューズ）をＯＮ
状態に移行することでトリミングを行うことができる。
そして、両端を短絡状態より開放状態に移行させる第１
のトリミング手段（ヒューズ）をＯＦＦ状態に移行する
ことで初期状態に戻すことができる。また請求項３，請
求項４の発明によれば、両端を短絡状態より開放状態に
移行させる第１のトリミング手段（ヒューズ）をＯＦＦ
状態に移行することでトリミングを行うことができる。
そして、両端を開放状態より短絡状態に移行させる第２
のトリミング手段（アンチヒューズ）をＯＮ状態に移行
することで初期状態に戻すことができる。したがって、
従来は不可能であったトリミング後の初期状態への復帰
が可能になるので、半導体集積回路の歩留りの向上が図
れる。また半導体集積回路の応用分野の拡大を図ること
ができる。
【図１】第１の発明の実施例の回路構成図である。
【図２】第１の発明における別の実施例の回路構成図で
ある。
ある。
【図３】第２の発明の実施例の回路構成図である。
【図４】第２の発明における別の実施例の回路構成図で
ある。
ある。
１０ トリミング装置 １１ トリミング回路 １２ ヒューズ（両端を短絡状態より開放状態に移行さ
せる第１のトリミング手段） １３ アンチヒューズ（両端を開放状態より短絡状態に
移行させる第２のトリミング手段） ２０ トリミング装置 ２１ トリミング回路群 ３０ トリミング装置 ３１ トリミング回路 ４０ トリミング装置 ４１ トリミング回路群 ５１ トリミング対象回路
せる第１のトリミング手段） １３ アンチヒューズ（両端を開放状態より短絡状態に
移行させる第２のトリミング手段） ２０ トリミング装置 ２１ トリミング回路群 ３０ トリミング装置 ３１ トリミング回路 ４０ トリミング装置 ４１ トリミング回路群 ５１ トリミング対象回路
Claims (4)
- 【請求項１】 両端を短絡状態より開放状態に移行させ
る第１のトリミング手段と、両端を開放状態より短絡状
態に移行させるものであって前記第１のトリミング手段
に対して直列に接続した第２のトリミング手段とよりな
るトリミング回路を、トリミング対象回路に対して並列
に接続したことを特徴とするトリミング装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のトリミング装置におい
て、 前記トリミング対象回路に対して、前記トリミング回路
を並列に複数接続したことを特徴とするトリミング装
置。 - 【請求項３】 両端を短絡状態より開放状態に移行させ
る第１のトリミング手段と、両端を開放状態より短絡状
態に移行させるものであって前記第１のトリミング手段
に対して並列に接続した第２のトリミング手段とよりな
るトリミング回路を、トリミング対象回路に対して直列
に接続したことを特徴とするトリミング装置。 - 【請求項４】 請求項３記載のトリミング装置におい
て、 前記トリミング対象回路に対して、前記トリミング回路
を直列に複数接続したことを特徴とするトリミング装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2380793A JPH06216253A (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | トリミング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2380793A JPH06216253A (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | トリミング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06216253A true JPH06216253A (ja) | 1994-08-05 |
Family
ID=12120603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2380793A Pending JPH06216253A (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | トリミング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06216253A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6002261A (en) * | 1996-10-09 | 1999-12-14 | Telefonaktiebolaget Lm Ericsson | Trimming circuit |
| US6469943B2 (en) | 2001-01-23 | 2002-10-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Switching circuit and semiconductor device |
| WO2010143336A1 (ja) * | 2009-06-09 | 2010-12-16 | シャープ株式会社 | 電子装置 |
-
1993
- 1993-01-19 JP JP2380793A patent/JPH06216253A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6002261A (en) * | 1996-10-09 | 1999-12-14 | Telefonaktiebolaget Lm Ericsson | Trimming circuit |
| US6469943B2 (en) | 2001-01-23 | 2002-10-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Switching circuit and semiconductor device |
| WO2010143336A1 (ja) * | 2009-06-09 | 2010-12-16 | シャープ株式会社 | 電子装置 |
| CN102460680A (zh) * | 2009-06-09 | 2012-05-16 | 夏普株式会社 | 电子装置 |
| JP5350475B2 (ja) * | 2009-06-09 | 2013-11-27 | シャープ株式会社 | 電子装置 |
| US9177521B2 (en) | 2009-06-09 | 2015-11-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Electronic device |
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