JPH0621640A - チッソリフロー装置 - Google Patents

チッソリフロー装置

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Publication number
JPH0621640A
JPH0621640A JP4173991A JP17399192A JPH0621640A JP H0621640 A JPH0621640 A JP H0621640A JP 4173991 A JP4173991 A JP 4173991A JP 17399192 A JP17399192 A JP 17399192A JP H0621640 A JPH0621640 A JP H0621640A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nitrogen gas
substrate
cooling chamber
heating chamber
ejector
Prior art date
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Pending
Application number
JP4173991A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiyuki Wada
義之 和田
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 加熱室で加熱された基板をチッソガスで効果
的に冷却できるチッソリフロー装置。 【構成】 加熱室1にチッソガスを供給し、還元雰囲気
中で半田付けを行った後、冷却室11で基板21を冷却
するチッソリフロー装置において、冷却室11から排出
されたチッソガスを、チッソガス供給部7から送り出さ
れたチッソガスとエジェクタ30において混合し、冷却
室11へ環流させる。 【効果】 冷却室11へ供給するチッソガスの風量を多
くでき、また保守管理が簡単で騒音もない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はチッソリフロー装置に係
り、詳しくは、加熱室で加熱された基板を効果的に冷却
できる手段を備えたチッソリフロー装置に関する。
【0002】
【従来の技術】抵抗、コンデンサ、ICなどの電子部品
を電子部品実装装置により基板に搭載した後、電子部品
の電極を基板の電極を半田付けするため、基板はリフロ
ー装置へ送られる。リフロー装置は、基板をコンベアに
より加熱室内を搬送しながら、ヒータにより基板を半田
の溶融温度(一般に約183℃)以上に加熱することに
より半田を溶融させた後、基板を冷却して溶融した半田
を固化させるようになっている。
【0003】このように基板を高温度に加熱すると、基
板に形成された回路パターンなどの金属部分が酸化され
やすいことから、近年は、加熱室に不活性ガスであるチ
ッソガスを供給し、不活性雰囲気中でリフローを行うこ
とが次第に普及してきている。
【0004】図5はチッソガスを使用する従来のチッソ
リフロー装置を示している。加熱室1の内部は、予熱ゾ
ーンT1、均熱ゾーンT2、リフローゾーンT3に区画
されており、各ゾーンT1,T2,T3にはヒータ2と
ファン3が配設されている。Mはファン3の駆動用モー
タである。また入口5から出口6へ電子部品20が搭載
された基板21を搬送するコンベア4が配設されてい
る。22は電子部品20を基板21に接着する半田であ
る。7はチッソガス供給部としての液体チッソボンベで
あって液体チッソが貯溜されており、管路8を通して上
記各ゾーンT1,T2,T3にチッソガスを供給する。
9は管路8に配設された蒸発器、10はバルブである。
なおチッソガス供給部としては、液体チッソボンベ以外
にも、空気中のチッソを酸素から分離するチッソガス発
生器なども用いられる。
【0005】加熱室1の出口側には冷却室11と、この
冷却室11にチッソガスを循環させる循環路12が設け
られている。この循環路12には、熱交換器13とポン
プ14が設けられている。15は入口5と冷却室11の
出口に設けられたフィンであり、外部の空気が加熱室1
内に侵入するのを防止する。次に、上記のように構成さ
れた従来のチッソリフロー装置の動作を説明する。
【0006】電子部品20が搭載された基板21は入口
5から加熱室1の内部へ入り、コンベア4により出口6
へ向かって搬送される。その間に、基板21は予熱ゾー
ンT1において約140℃〜160℃まで加熱され、均
熱ゾーンT2において約170℃まで加熱される。そし
てリフローゾーンT3において、基板21は220℃以
上まで急激に加熱され、半田22は速やかに溶融する。
次に基板21は冷却室11へ送られ、急速に冷却されて
半田22は固化し、電子部品20の電極は基板21の電
極に半田付けされる。
【0007】さて、上記のようにリフロー処理する間
中、チッソボンベ7から加熱室1へチッソガスが供給さ
れ、加熱室1は不活性雰囲気に維持される。またポンプ
14が駆動することにより、冷却室11内のチッソガス
は熱交換器13側へ吸い出され、熱交換器13により熱
を奪われて冷却された後、低温のチッソガスを冷却室1
1内へ吹き出すことにより基板21を冷却する。因み
に、冷却室11から吸い出されたチッソガスの温度は代
表的には約150℃〜160℃程度、熱交換器13によ
る熱交換後の温度は40℃〜50℃程度である。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】冷却室11における基
板21の冷却効果をあげるためには、冷却室11に吹き
出すチッソガスの風量を大きくする必要がある。このた
めにはポンプ14のポンプ容量を大きくすればよいので
あるが、ポンプ容量を大きくすると、ポンプ14の軸受
部などにエア洩れを生じて外部の空気が侵入しやすく、
かくなると冷却室11に空気が入り込み、酸素濃度が上
昇して回路パターンなどの金属部分が酸化されてしま
う。このため従来、ポンプ14はポンプ容量の小さなも
のが使用されており、したがって風量は少なく、基板2
1の冷却効果が十分にあがらないという問題点があっ
た。因みに、従来のチッソガスの風量は800リットル
/分程度であった。
【0009】また基板21には半田付けのためのフラッ
クスが塗布されており、加熱室1内で基板21が加熱さ
れることによりフラックスは気化し、チッソガス中を浮
遊する。一方、ポンプ14の内部には羽根や軸受などの
複雑な部品が組み付けられている。したがってチッソガ
ス中に浮遊するガス化したフラックスが羽根や軸受など
に付着し、ポンプ14の能力を次第に低下させるので、
定期的にポンプ14の保守点検や清掃を行わねばなら
ず、多大な手間を要するという問題点があった。
【0010】更には、この種チッソリフロー装置は室内
に設置されるものであるが、ポンプ14の運転にともな
う騒音が甚だしく、作業環境を劣悪化させる一因にもな
っていた。
【0011】そこで本発明は上記従来手段の問題点を解
消し、基板を効果的に冷却できる手段を備えたチッソリ
フロー装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、主
管とこの主管に通過する吸入孔とを有するエジェクタを
設け、この吸入孔をチッソガス供給部のチッソガスを加
熱室に供給する管路に接続するとともに、加熱室から排
出されたチッソガスを冷却室に循環させる循環路をこの
主管に接続したものである。
【0013】
【作用】上記構成によれば、チッソガス供給部から圧送
されて吸入孔から主管へ流れるチッソガスの負圧によ
り、冷却室内のチッソガスは主管内へ吸入され、更に管
路を通して冷却室に環流される。したがって冷却室から
排出された高温のチッソガスは、チッソガス供給部から
送られてきた低温のチッソガスと混合されることによ
り、常温に近い低温のチッソガスとなったうえで、冷却
室に環流されるので、基板を効果的に冷却できる。更に
はエジェクタによれば、従来のポンプ方式よりもはるか
に風量をあげて冷却効果を高めることができ、且つ構造
がきわめて単純であるので、ガス化したフラックスの付
着に対する保守管理の手間もほとんどかからず、また騒
音もほとんどない。
【0014】
【実施例】次に図面を参照しながら発明の実施例を説明
する。
【0015】図1はチッソリフロー装置の内部構造を示
す側面図である。図5に示す従来のものと同一の構成部
品には、同一符号を付すことにより詳細な説明は省略す
る。このチッソリフロー装置では、チッソガス供給部7
のチッソガスを加熱室1へ供給する管路25、26の途
中にエジェクタ30を配設している。管路26の先端部
26a,26b,26cは各ゾーンT1,T2,T3に
連結されており、各ゾーンT1,T2,T3にチッソガ
スを供給する。また冷却室11から排出されたチッソガ
スは、循環路28に設けられた熱交換器13を通過して
エジェクタ30に還流される。なお管路26から管路2
7が分岐しており、この管路27から冷却室11にチッ
ソガスが供給される。勿論、このようなチッソガスの管
路は自由に設計できる。
【0016】次にエジェクタ30の構造を説明する。図
2はエジェクタ30の斜視図、図3は縦断面図、図4は
横断面図である。このエジェクタ30は主管31と、こ
の主管31の中央部に形成された膨大部32に連結され
た吸入管33から成っており、吸入管33と膨大部32
には、主管31の内部に連通する吸入孔34が穿孔され
ている。図3に示すように、主管31の両端部は上記管
路26、28に接続されており、また吸入管33は上記
管路25に接続されている。
【0017】このチッソリフロー装置は上記のような構
成より成り、次に動作を説明する。電子部品20が搭載
された基板21は入口5から加熱室1の内部へ入り、コ
ンベア4により出口6へ向かって搬送される。その間
に、基板21は予熱ゾーンT1において約140℃〜1
60℃まで加熱され、均熱ゾーンT2において約170
℃まで加熱される。次にリフローゾーンT3において、
基板21は220℃以上まで急激に加熱され、半田22
は速やかに溶融する。次に基板21は冷却室11へ送ら
れ、急速に冷却されて半田22は固化し、電子部品の電
極は基板21の電極に半田付けされる。
【0018】さて、上記のようにリフロー処理する間
中、チッソボンベ7から加熱室1へチッソガスが供給さ
れ、加熱室1は不活性雰囲気に維持される。チッソボン
ベ7は液体チッソが貯溜されており、液体チッソを気化
させてチッソガスとしたうえで、管路25、26を圧送
する。すなわち図3において、チッソガスは、吸入孔3
4から主管31へ矢印N1方向へ例えば200リットル
/分程度で高速度で圧送される。その結果、主管31の
内部は負圧状態となり、冷却室11から排出されたチッ
ソガスは、矢印N2で示すように主管31の内部を14
00リットル/分程度で流れ、チッソボンベ7から送ら
れてきた低温のチッソガスと混合されて、合計1600
リットル/分程度の大量のチッソガスが管路26を通っ
て加熱室1へ供給され、またその一部は管路27を通っ
て冷却室11へ供給される。なお熱交換器13で熱が奪
われてエジェクタ30に吸入されるチッソガスの温度は
40℃〜50℃程度であり、主管31内でチッソボンベ
7から排出された低温のチッソガスと混合されることに
より、ほぼ常温にまで温度低下して冷却室11へ供給さ
れるので、基板20を効果的に冷却して半田22を固化
させる。
【0019】また均熱ゾーンT2の温度は、高温のリフ
ローゾーンT3からの伝熱により過度に温度上昇しやす
く、その結果、半田付状態が悪化しやすいものである。
ところが本手段では、エジェクタ30により大量のチッ
ソガスを加熱室1へ供給できるので、バルブ29を操作
して殊に均熱ゾーンT2への低温のチッソガスの供給量
を調整して、均熱ゾーンT2の温度の上りすぎを防止で
きる。
【0020】なおチッソガス供給部として、液体チッソ
ボンベに替えて空気中のチッソを酸素から分離するチッ
ソガス発生器を採用した場合、チッソガス発生器はコン
プレッサで空気を圧縮してチッソガスを発生させるもの
であり、したがってこのものもチッソガスは高速度で主
管31内へ圧送されるので、チッソガスボンベ7の場合
と同様のエジェクタ効果を得ることができる。また上記
実施例では、循環路28は冷却室11の下部に接続して
いるが、予熱ゾーンT1,均熱ゾーンT2,リフローゾ
ーンT3の下部に接続してもよいものであり、要は加熱
室1に接続してチッソガスを吸い出せればよい。
【0021】
【発明の効果】本発明は、エジェクタを利用して冷却室
へ低温のチッソガスを供給するようにしているので、大
風量のチッソガスを冷却室へ送って基板の冷却効果をあ
げることができる。しかもチッソガス供給部から高速度
で圧送されるチッソガスの負圧を利用してチッソガスを
冷却室に供給できるので、従来手段のようにポンプを不
要にでき、したがって騒音もなく、更にはエジェクタは
きわめて単純な構造であるので、チッソガス中に浮遊す
るガス化したフラックスが付着しにくく、また付着した
としても、その清掃などの保守管理を簡単に行える。更
には、エジェクタを通過した低温のチッソガスの一部を
均熱ゾーンに環流させることにより、均熱ゾーンの温度
が過度に上昇しないように温度管理することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係るチッソリフロー装置の
側面図
【図2】本発明の一実施例に係るエジェクタの斜視図
【図3】本発明の一実施例に係るエジェクタの縦断面図
【図4】本発明の一実施例に係るエジェクタの横断面図
【図5】従来のチッソリフロー装置の側面図
【符号の説明】
1 加熱室 2 ヒータ 3 ファン 4 コンベア 5 入口 6 出口 7 チッソガス供給部 11 冷却室 20 電子部品 21 基板 25 管路 26 管路 27 管路 28 循環路 30 エジェクタ 31 主管 34 吸入孔

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】加熱室と、この加熱室に配設されたヒータ
    及びファンと、この加熱室の入口から出口へ電子部品が
    搭載された基板を搬送するコンベアと、チッソガス供給
    部と、このチッソガス供給部のチッソガスを上記加熱室
    へ供給する管路とを備え、 主管とこの主管に連通する吸入孔とを有するエジェクタ
    を設け、この吸入孔を前記管路に接続するとともに、前
    記加熱室から排出されたチッソガスを冷却室に循環させ
    る循環路をこの主管に接続したことを特徴するチッソリ
    フロー装置。
JP4173991A 1992-07-01 1992-07-01 チッソリフロー装置 Pending JPH0621640A (ja)

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JP4173991A JPH0621640A (ja) 1992-07-01 1992-07-01 チッソリフロー装置

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