JPH0621863B2 - デンシトメ−タ - Google Patents
デンシトメ−タInfo
- Publication number
- JPH0621863B2 JPH0621863B2 JP59177117A JP17711784A JPH0621863B2 JP H0621863 B2 JPH0621863 B2 JP H0621863B2 JP 59177117 A JP59177117 A JP 59177117A JP 17711784 A JP17711784 A JP 17711784A JP H0621863 B2 JPH0621863 B2 JP H0621863B2
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- JP
- Japan
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- scanning
- sample
- photodetector
- output
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/59—Transmissivity
- G01N21/5907—Densitometers
- G01N21/5911—Densitometers of the scanning type
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 イ．産業上の利用分野 本発明は光束走査型デンシトメータに関し、特にその走
査機構に関するものである。デンシトメータには試料の
方をジグザグに移動させて走査を行う型と、光束を動か
して走査する型とがあるが、試料を動かす型では移動部
分の慣性が大きくて高速走査が困難であり、高速走査を
行うには光束走査型が適している。
査機構に関するものである。デンシトメータには試料の
方をジグザグに移動させて走査を行う型と、光束を動か
して走査する型とがあるが、試料を動かす型では移動部
分の慣性が大きくて高速走査が困難であり、高速走査を
行うには光束走査型が適している。
ロ．従来の技術 デンシトメータにおいて、測定対象の試料スポツトを微
小部分に分割して測定する方法は、バツクグランド補正
とか散乱補正等が可能となり、定量性が向上する。この
ため細い光束で試料を照射し、試料と光束とを相対的に
移動させて試料を走査するが、その走査方式として光束
を動かす方式は高速の往復運動を行う機械的部分が小さ
く高速走査が可能である。しかしこの方式では分光器の
出射光束が局部的に見た場合、エネルギーが不均一であ
り、走査に伴つて、試料照射光束の方向、光検出器から
みた試料スポツトの光束照射点の方向が変化するから、
見掛上の感度が変動する、いわゆるローカリテイが存在
するため、光束走査方式のデンシトメータは原理上の提
案にとどまり、定量測定用の装置として実用に耐え得る
装置は未だ知られていない。
小部分に分割して測定する方法は、バツクグランド補正
とか散乱補正等が可能となり、定量性が向上する。この
ため細い光束で試料を照射し、試料と光束とを相対的に
移動させて試料を走査するが、その走査方式として光束
を動かす方式は高速の往復運動を行う機械的部分が小さ
く高速走査が可能である。しかしこの方式では分光器の
出射光束が局部的に見た場合、エネルギーが不均一であ
り、走査に伴つて、試料照射光束の方向、光検出器から
みた試料スポツトの光束照射点の方向が変化するから、
見掛上の感度が変動する、いわゆるローカリテイが存在
するため、光束走査方式のデンシトメータは原理上の提
案にとどまり、定量測定用の装置として実用に耐え得る
装置は未だ知られていない。
ハ．発明が解決しようとする問題点 本発明は光束走査型デンシトメータにおける上述したロ
ーカリテイを解消しようとするものである。
ーカリテイを解消しようとするものである。
ニ．問題点を解決するための手段 光束を走査のために動かす機構の位置と試料光検出器の
測光出力との対応関係を記憶する手段と、上記光検出器
の測光出力に対して上記記憶手段に記憶されたデータを
用いてローカリテイ補正演算を行う手段とを備え、均一
な試料プレートを用いて光束走査を行つて上記記憶手段
にローカリテイ補正データを記憶させるようにした。
測光出力との対応関係を記憶する手段と、上記光検出器
の測光出力に対して上記記憶手段に記憶されたデータを
用いてローカリテイ補正演算を行う手段とを備え、均一
な試料プレートを用いて光束走査を行つて上記記憶手段
にローカリテイ補正データを記憶させるようにした。
ホ．作 用 均一な試料プレートを用いて光束走査を行い、そのとき
の光走査機構の各位置のデータとその位置に対応する光
検出器の測光出力を記憶手段に記憶させておくと、これ
らのデータは相手が均一なプレートであるから、ローカ
リテイがなければ全ての位置に対して同一測光値が対応
することになるが、ローカリテイが存在するので、測光
値は光走査機構の位置の関数となつており、この関数が
ローカリテイ補正データとなる。実試料の測定時、光束
走査機構の各位置毎にそのときの測光出力を上記記憶手
段の中にあるその位置に対応する測光データつまりロー
カリテイ補正データで割算することでローカリテイを補
正した測定信号が得られる。
の光走査機構の各位置のデータとその位置に対応する光
検出器の測光出力を記憶手段に記憶させておくと、これ
らのデータは相手が均一なプレートであるから、ローカ
リテイがなければ全ての位置に対して同一測光値が対応
することになるが、ローカリテイが存在するので、測光
値は光走査機構の位置の関数となつており、この関数が
ローカリテイ補正データとなる。実試料の測定時、光束
走査機構の各位置毎にそのときの測光出力を上記記憶手
段の中にあるその位置に対応する測光データつまりロー
カリテイ補正データで割算することでローカリテイを補
正した測定信号が得られる。
ヘ．実 施 例 第１図は本発明の一実施例を示す。鎖線Ｍで囲まれた部
分は分光器で、図では光源部は省略してある。１は回折
格子、２は凹面鏡で回折格子１で回折された光を分光器
の出口スリツト面に集光させスペクトル像を形成する。
出口スリツトは図で上下方向に延びており、この出口ス
リツトに沿つて走査スリツト３が配置されている。走査
スリツト３は図で上下方向に可動でモータ４によつて上
下に往復駆動される。この構造によつて走査スリツト３
の光出口開口ｈはスペクトル像の或る波長位置を上下方
向に走査する。開口ｈから出射した単色光は鏡７，８に
よつて反射され、試料ステージＳのステージ面を照射す
る。鏡７は凹面鏡で開口ｈの像の上記ステージ面に形成
するようになつており、開口ｈの図で上下方向の往復移
動により、ステージ面の像はｘ軸方向に往復移動する。
他方ステージＳはｙ方向送りモータＹによつてｙ方向に
駆動されるので、試料ステージＳ上にセツトされた試料
プレート９に対して光束照射点はｘ方向に往復しながら
ｙ方向に移動してジグザグ走査を行うことになる。
分は分光器で、図では光源部は省略してある。１は回折
格子、２は凹面鏡で回折格子１で回折された光を分光器
の出口スリツト面に集光させスペクトル像を形成する。
出口スリツトは図で上下方向に延びており、この出口ス
リツトに沿つて走査スリツト３が配置されている。走査
スリツト３は図で上下方向に可動でモータ４によつて上
下に往復駆動される。この構造によつて走査スリツト３
の光出口開口ｈはスペクトル像の或る波長位置を上下方
向に走査する。開口ｈから出射した単色光は鏡７，８に
よつて反射され、試料ステージＳのステージ面を照射す
る。鏡７は凹面鏡で開口ｈの像の上記ステージ面に形成
するようになつており、開口ｈの図で上下方向の往復移
動により、ステージ面の像はｘ軸方向に往復移動する。
他方ステージＳはｙ方向送りモータＹによつてｙ方向に
駆動されるので、試料ステージＳ上にセツトされた試料
プレート９に対して光束照射点はｘ方向に往復しながら
ｙ方向に移動してジグザグ走査を行うことになる。
第２図は走査スリツト３を拡大して示す。開口ｈの片側
には位置検出用孔列ａが設けられ、反対側には走査端検
出孔列ｂが設けられている。第１図に戻つて走査スリツ
ト３の両側には孔列ａをはさんで光電検出器５及び孔列
ｂをはさんで光電検出器６が配置されている。第３図Ａ
は光電検出器５の出力信号で孔列ａの一つの孔が光電検
出器５を過ぎる度に一個のパルスが出力される。同図Ｂ
は光検出器６の出力信号で走査スリツト３の開口ｈが走
査範囲の端に来たとき孔列ｂの一方が光電検出器６の位
置に来るので、Ｂの信号におけるパルスによつて走査ス
リツトの開口ｈが走査範囲の端に来たことが検知され
る。これらの信号を用い、Ｂのパルスが検出されてから
Ａのパルスを計数すると、その計数値は走査スリツトの
開口ｈの位置のデータとなる。
には位置検出用孔列ａが設けられ、反対側には走査端検
出孔列ｂが設けられている。第１図に戻つて走査スリツ
ト３の両側には孔列ａをはさんで光電検出器５及び孔列
ｂをはさんで光電検出器６が配置されている。第３図Ａ
は光電検出器５の出力信号で孔列ａの一つの孔が光電検
出器５を過ぎる度に一個のパルスが出力される。同図Ｂ
は光検出器６の出力信号で走査スリツト３の開口ｈが走
査範囲の端に来たとき孔列ｂの一方が光電検出器６の位
置に来るので、Ｂの信号におけるパルスによつて走査ス
リツトの開口ｈが走査範囲の端に来たことが検知され
る。これらの信号を用い、Ｂのパルスが検出されてから
Ａのパルスを計数すると、その計数値は走査スリツトの
開口ｈの位置のデータとなる。
第１図において、１１，１４は光電子増倍管である。鏡
８から試料９に入射する光束の光路中に水晶板１０が斜
めに挿入されており、試料照射光の一部が反射され光源
モニタ用として光電子増倍管１１に入射せしめられる。
光電子増倍管１４は試料プレート９からの反射光を受光
するようになつている。光源モニタ光を受光する光電子
増倍管１１の出力はプリアンプ１２を介して高圧発生回
路１３に印加され、高圧発生回路１３の出力が光電子増
倍管１１の出力が一定となるように両方の光電子増倍管
１１，１４のダイノードにフイードバツクされ、これに
よつて試料照射光の変動が補償される。
８から試料９に入射する光束の光路中に水晶板１０が斜
めに挿入されており、試料照射光の一部が反射され光源
モニタ用として光電子増倍管１１に入射せしめられる。
光電子増倍管１４は試料プレート９からの反射光を受光
するようになつている。光源モニタ光を受光する光電子
増倍管１１の出力はプリアンプ１２を介して高圧発生回
路１３に印加され、高圧発生回路１３の出力が光電子増
倍管１１の出力が一定となるように両方の光電子増倍管
１１，１４のダイノードにフイードバツクされ、これに
よつて試料照射光の変動が補償される。
試料プレート９からの反射光を受光する光電子増倍管１
４の出力はプリアンプ１５，スイツチ１６，Ａ／Ｄ変換
器１７を経てコンピユータ１８に取込まれるようになつ
ている。１９はモータ駆動回路でモータ４及びモータＹ
を駆動する。モータＹはパルスモータで、その駆動パル
スはコンピユータ１８に送られ、試料プレートのｙ軸方
向の位置の情報を与える。２０はコンピユータ１８のデ
ータバスで光電検出器５，６の出力パルスもこのデータ
バスを通してコンピユータ１８に入力される。
４の出力はプリアンプ１５，スイツチ１６，Ａ／Ｄ変換
器１７を経てコンピユータ１８に取込まれるようになつ
ている。１９はモータ駆動回路でモータ４及びモータＹ
を駆動する。モータＹはパルスモータで、その駆動パル
スはコンピユータ１８に送られ、試料プレートのｙ軸方
向の位置の情報を与える。２０はコンピユータ１８のデ
ータバスで光電検出器５，６の出力パルスもこのデータ
バスを通してコンピユータ１８に入力される。
第４図は上述した装置の動作のフローチヤートである。
第４図Ａはローカリテイ補正データを得る動作のフロー
で、スタートによりまずモータ４を正方向に駆動(イ)
し、第２図の信号Ｂ即ち検出器６による孔列ｂの一方の
孔の検出信号（Ｂ＝１）の有無をチエツク(ロ)し、Ｂ＝
１が検出されるまでモータ４を駆動し、(ロ)のステツプ
がＹＥＳになつたら、モータ４の回転方向を反転(ハ)し
て、その方向に駆動を続ける(ニ)。この動作により、光
束の走査は走査範囲の一方の端から開始されることにな
り、ステツプ(ホ)で第２図の信号Ａ即ち孔列ａの孔の検
出信号（Ａ＝１）の有無をチエツクし、次いでステツプ
(ヘ)でＡ＝０を検出したら、即ち孔列ａの孔の検出信号
の立下りが検出されたら、スイツチ１６（第１図）をＯ
Ｎ(ト)し、光電子増倍管14の出力をコンピユータ１８に
取込み、同コンピユータ内のメモリに格納(チ)する。次
いでステツプ(リ)でＢ＝１か否かチエツクし、Ｂ＝０な
ら動作は(ニ)のステツプに戻つてＢ＝１になるまで上述
した動作が繰返される。このようにして孔列ａの孔が一
方の端から一つずつ検出されてはその検出信号の立下り
で測光出力のデータが採取され、メモリに格納されて行
く。第５図はこのメモリの内部を示し、採取されたデー
タは１番目の測光値から順にＭ１，Ｍ２，…の場所に格
納されて行き、(リ)のステツプがＹＥＳになると一回の
走査が終了する。次いでメモリから上記Ｍ１，Ｍ２のデ
ータを読出し、それらの中の最大値Ｍｘを検索(ヌ)し、
Ｍｘを各データＭ１，Ｍ２，…で割算した値をメモリの
Ｍ１，Ｍ２，…の場所に入れ替える(ル)。かくして上記
メモリに格納されたデータ（Ｍｘ／Ｍ１），（Ｍｘ／Ｍ
２），…等がローカリテイ補正データとなる。
第４図Ａはローカリテイ補正データを得る動作のフロー
で、スタートによりまずモータ４を正方向に駆動(イ)
し、第２図の信号Ｂ即ち検出器６による孔列ｂの一方の
孔の検出信号（Ｂ＝１）の有無をチエツク(ロ)し、Ｂ＝
１が検出されるまでモータ４を駆動し、(ロ)のステツプ
がＹＥＳになつたら、モータ４の回転方向を反転(ハ)し
て、その方向に駆動を続ける(ニ)。この動作により、光
束の走査は走査範囲の一方の端から開始されることにな
り、ステツプ(ホ)で第２図の信号Ａ即ち孔列ａの孔の検
出信号（Ａ＝１）の有無をチエツクし、次いでステツプ
(ヘ)でＡ＝０を検出したら、即ち孔列ａの孔の検出信号
の立下りが検出されたら、スイツチ１６（第１図）をＯ
Ｎ(ト)し、光電子増倍管14の出力をコンピユータ１８に
取込み、同コンピユータ内のメモリに格納(チ)する。次
いでステツプ(リ)でＢ＝１か否かチエツクし、Ｂ＝０な
ら動作は(ニ)のステツプに戻つてＢ＝１になるまで上述
した動作が繰返される。このようにして孔列ａの孔が一
方の端から一つずつ検出されてはその検出信号の立下り
で測光出力のデータが採取され、メモリに格納されて行
く。第５図はこのメモリの内部を示し、採取されたデー
タは１番目の測光値から順にＭ１，Ｍ２，…の場所に格
納されて行き、(リ)のステツプがＹＥＳになると一回の
走査が終了する。次いでメモリから上記Ｍ１，Ｍ２のデ
ータを読出し、それらの中の最大値Ｍｘを検索(ヌ)し、
Ｍｘを各データＭ１，Ｍ２，…で割算した値をメモリの
Ｍ１，Ｍ２，…の場所に入れ替える(ル)。かくして上記
メモリに格納されたデータ（Ｍｘ／Ｍ１），（Ｍｘ／Ｍ
２），…等がローカリテイ補正データとなる。
第４図Ｂは試料測定動作のフローである。動作をスター
トさせると第４図Ａの場合と同様モータ４を正転させ
(イ)、Ｂ＝１になるまで走査スリツト３を駆動して走査
始端に達したら、当初(リ)のステツプはＮＯ（後述）で
モータ４を反転し、Ａ＝１の検出に次いでＡ＝０が検出
(ロ)されたらスイツチ１６をＯＮして光電子増倍管１４
の測光出力をコンピユータ１８に取込み、上記メモリか
らデータＭｘ／Ｍ１を読出して今取込んだ測光出力のデ
ータに掛算してメモリの試料測定データ記憶エリヤに格
納(ハ)し、上述動作をステツプ(ニ)でＢ＝１が検出される
まで繰返し、動作を一回繰返す度に補正データを順次Ｍ
ｘ／Ｍ１，Ｍｘ／Ｍ２，…と変えて行く。かくしてステ
ツプ(ニ)がＹＥＳになつたらモータＹを一定量回転させ
て試料ステージをｙ方向に一定量移動(ホ)させ、モータ
４を正転(ヘ)し、今度は信号Ａ＝１即ち孔列ａの孔の検
出信号の立上りによつて測光データの取込みを行い、補
正データをＭｘ／Ｍｎから逆順に取出しては今取込んだ
データに掛算してメモリの試料測定データのエリヤに格
納する。この動作がＢ＝１が検出(ト)されるまで繰返さ
れる。こゝで信号Ａの立上りで測定値の取込みを行うの
は、先の行程ではＡの立下りでデータ取込みを行つたの
で、逆方向の走査ではＡの立上りが位置的に先の行程と
一致するからである。ステツプ(ト)でＢ＝１が検出され
たら、走査の一往復が終つたので、ステージＳをｙ方向
に一定量駆動(チ)して動作はＸ点に戻る。こうしてステ
ージＳのｙ方向移動が一定距離に達したら(リ)のステツ
プがＹＥＳとなり、一回の測定動作が完了する。
トさせると第４図Ａの場合と同様モータ４を正転させ
(イ)、Ｂ＝１になるまで走査スリツト３を駆動して走査
始端に達したら、当初(リ)のステツプはＮＯ（後述）で
モータ４を反転し、Ａ＝１の検出に次いでＡ＝０が検出
(ロ)されたらスイツチ１６をＯＮして光電子増倍管１４
の測光出力をコンピユータ１８に取込み、上記メモリか
らデータＭｘ／Ｍ１を読出して今取込んだ測光出力のデ
ータに掛算してメモリの試料測定データ記憶エリヤに格
納(ハ)し、上述動作をステツプ(ニ)でＢ＝１が検出される
まで繰返し、動作を一回繰返す度に補正データを順次Ｍ
ｘ／Ｍ１，Ｍｘ／Ｍ２，…と変えて行く。かくしてステ
ツプ(ニ)がＹＥＳになつたらモータＹを一定量回転させ
て試料ステージをｙ方向に一定量移動(ホ)させ、モータ
４を正転(ヘ)し、今度は信号Ａ＝１即ち孔列ａの孔の検
出信号の立上りによつて測光データの取込みを行い、補
正データをＭｘ／Ｍｎから逆順に取出しては今取込んだ
データに掛算してメモリの試料測定データのエリヤに格
納する。この動作がＢ＝１が検出(ト)されるまで繰返さ
れる。こゝで信号Ａの立上りで測定値の取込みを行うの
は、先の行程ではＡの立下りでデータ取込みを行つたの
で、逆方向の走査ではＡの立上りが位置的に先の行程と
一致するからである。ステツプ(ト)でＢ＝１が検出され
たら、走査の一往復が終つたので、ステージＳをｙ方向
に一定量駆動(チ)して動作はＸ点に戻る。こうしてステ
ージＳのｙ方向移動が一定距離に達したら(リ)のステツ
プがＹＥＳとなり、一回の測定動作が完了する。
以上の実施例では走査スリツト３は往復移動を行つてい
るが、走査スリツトをエンドレスにして一方向走査のみ
にすることも可能である。
るが、走査スリツトをエンドレスにして一方向走査のみ
にすることも可能である。
ト．効 果 本発明デンシトメータは上述したような構成で、光束走
査型であるから高速走査が可能であり、試料照射光束の
移動による試料光検出器の受光効率の変化によるローカ
リテイが補正されるので、定量性が向上でき、そのため
バツクグラウンド補正等も可能となつて、一層定量性が
向上できる。
査型であるから高速走査が可能であり、試料照射光束の
移動による試料光検出器の受光効率の変化によるローカ
リテイが補正されるので、定量性が向上でき、そのため
バツクグラウンド補正等も可能となつて、一層定量性が
向上できる。
第１図は本発明の一実施例装置の構成を示すブロツク
図、第２図は走査スリツトの拡大正面図、第３図は信号
波形図、第４図Ａ，Ｂは夫々上記実施例装置の動作のフ
ローチヤート、第５図は上記実施例におけるメモリの一
部の内部構成を示すメモリマツプである。 Ｍ……分光器、１……回折格子、３……走査スリツト、
４……走査スリツト駆動用のモータ、５，６……光電検
出器、９……試料プレート、１１，１４……光電子増倍
管、Ｓ……試料ステージ、ｈ……走査スリツトの開口、
ａ……走査スリツトの位置検出用の孔列、ｂ……走査端
検出用の孔列。
図、第２図は走査スリツトの拡大正面図、第３図は信号
波形図、第４図Ａ，Ｂは夫々上記実施例装置の動作のフ
ローチヤート、第５図は上記実施例におけるメモリの一
部の内部構成を示すメモリマツプである。 Ｍ……分光器、１……回折格子、３……走査スリツト、
４……走査スリツト駆動用のモータ、５，６……光電検
出器、９……試料プレート、１１，１４……光電子増倍
管、Ｓ……試料ステージ、ｈ……走査スリツトの開口、
ａ……走査スリツトの位置検出用の孔列、ｂ……走査端
検出用の孔列。
Claims (1)
- 【請求項１】試料走査のために光束を動かす機構と、同
機構の走査動作中の各位置を検出する手段と、試料光検
出器の出力を上記機構の位置と関係づけて記憶する手段
と、試料の前面で上記光束を分割して直接光検出器に入
射させる手段と、この光検出器の出力が一定になるよう
にこの光検出器および前記試料光検出器の感度を制御す
る手段と、上記試料光検出器の測光出力に対して上記記
憶手段に記憶されたデータを用いてローカリティ補正演
算を行う手段を備えたデンシトメータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59177117A JPH0621863B2 (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | デンシトメ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59177117A JPH0621863B2 (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | デンシトメ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6154428A JPS6154428A (ja) | 1986-03-18 |
| JPH0621863B2 true JPH0621863B2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
ID=16025459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59177117A Expired - Fee Related JPH0621863B2 (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | デンシトメ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0621863B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5113298A (en) * | 1974-07-23 | 1976-02-02 | Joko Sangyo Kk | Reezaaokogentosuru takentainodosokuteihohoto sochi |
| JPS5942681Y2 (ja) * | 1979-04-10 | 1984-12-14 | 株式会社島津製作所 | デンシトメ−タ |
| JPS55146040A (en) * | 1979-05-01 | 1980-11-14 | Shimadzu Corp | Measuring method of concentration |
| JPS58225344A (ja) * | 1982-06-25 | 1983-12-27 | Toa Medical Electronics Co Ltd | 濃度自動分析装置 |
-
1984
- 1984-08-24 JP JP59177117A patent/JPH0621863B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6154428A (ja) | 1986-03-18 |
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