JPH0621875B2 - 自蔵式表面汚染センサ - Google Patents
自蔵式表面汚染センサInfo
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- JPH0621875B2 JPH0621875B2 JP62502316A JP50231687A JPH0621875B2 JP H0621875 B2 JPH0621875 B2 JP H0621875B2 JP 62502316 A JP62502316 A JP 62502316A JP 50231687 A JP50231687 A JP 50231687A JP H0621875 B2 JPH0621875 B2 JP H0621875B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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-
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- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
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Description
【発明の詳細な説明】 発明の背景 １．発明の分野 本発明は、表面不連続部および粒子状物質の形状をなす
光学素子の表面上または表面内汚染の検出に関する。前
記不連続部は、表面を湿潤しまたは表面に窪みを形成し
て点接触または表面不規則性よりも大きな点を形成する
分子状物質を意味する。前記粒子状物質は、本質的に表
面との点接触を意味する。この２つは素子の光学的品質
に悪影響を及ぼすものなので両者の違いが主としてその
検出能力の１つとなる。
光学素子の表面上または表面内汚染の検出に関する。前
記不連続部は、表面を湿潤しまたは表面に窪みを形成し
て点接触または表面不規則性よりも大きな点を形成する
分子状物質を意味する。前記粒子状物質は、本質的に表
面との点接触を意味する。この２つは素子の光学的品質
に悪影響を及ぼすものなので両者の違いが主としてその
検出能力の１つとなる。
２．関連技術の説明およびその背景 高品質で精密な光学素子装置は、その表面が汚染されて
いるならば最大限の能力を発揮できない。例えば、地球
や太陽などの強烈なアウトオブフィールドソースの存在
下において、低放射ターゲットを検出するLWIR(long wa
ve infrared)に対する要求が増大している。この要求
は、システムオフアクシスリジェクト能力に対する需要
を増大させ、非常に低い散乱面を光学系のクリティカル
エレメントに対して使用することが要求される。製造
中、センサによる検査中、保管中、発射中、配備中およ
び操作中にミラー、フィルタ、バッフルに付着した粒子
汚染物は焦平面に落下する散乱エネルギの量をかなり増
大させ不適格な信号が雑音となる。分子ガス発生、腐
蝕、点蝕による汚染物はセンサ光学系の内部により大き
な散乱を引起こす。分子汚染物がセンサの外部表面に付
着した時はサーマル制御特性が崩壊する。後者は動作温
度が上昇するために間接的に検出器の能率が低下しかつ
電子的機能不全によりセンサ能力に影響を与える。さら
に内部的分子汚染物は、大きな散乱損失、内部吸収、薄
膜障害により基本光学系の効率を低下させシステムスル
−プットに影響を及ぼすほど重大なものである。
いるならば最大限の能力を発揮できない。例えば、地球
や太陽などの強烈なアウトオブフィールドソースの存在
下において、低放射ターゲットを検出するLWIR(long wa
ve infrared)に対する要求が増大している。この要求
は、システムオフアクシスリジェクト能力に対する需要
を増大させ、非常に低い散乱面を光学系のクリティカル
エレメントに対して使用することが要求される。製造
中、センサによる検査中、保管中、発射中、配備中およ
び操作中にミラー、フィルタ、バッフルに付着した粒子
汚染物は焦平面に落下する散乱エネルギの量をかなり増
大させ不適格な信号が雑音となる。分子ガス発生、腐
蝕、点蝕による汚染物はセンサ光学系の内部により大き
な散乱を引起こす。分子汚染物がセンサの外部表面に付
着した時はサーマル制御特性が崩壊する。後者は動作温
度が上昇するために間接的に検出器の能率が低下しかつ
電子的機能不全によりセンサ能力に影響を与える。さら
に内部的分子汚染物は、大きな散乱損失、内部吸収、薄
膜障害により基本光学系の効率を低下させシステムスル
−プットに影響を及ぼすほど重大なものである。
既知のただ１つの汚染検出器として光度計がありSaab A
ktienbolaget製造によるものである。これは粒子状物質
のみを検出するのに役立つ。この装置は黒色ガラスのウ
イットネスサンプルを用い露出後、光度計の中に配置さ
れる。光度計は露出計を有する低パワーの顕微鏡を具備
する。黒色ガラスのウイットネスサンプルを要するので
サンプルプレ−トをサンプルが得られる環境から除外す
る必要があり、粒子状物質のレベルを記録すべく遠隔地
で読出す必要がある。さらに、前記光度計は窪みまたは
光学素子の表面を湿潤する分子付付着物等の表面不連続
部を検出するとができない。
ktienbolaget製造によるものである。これは粒子状物質
のみを検出するのに役立つ。この装置は黒色ガラスのウ
イットネスサンプルを用い露出後、光度計の中に配置さ
れる。光度計は露出計を有する低パワーの顕微鏡を具備
する。黒色ガラスのウイットネスサンプルを要するので
サンプルプレ−トをサンプルが得られる環境から除外す
る必要があり、粒子状物質のレベルを記録すべく遠隔地
で読出す必要がある。さらに、前記光度計は窪みまたは
光学素子の表面を湿潤する分子付付着物等の表面不連続
部を検出するとができない。
発明の摘要 本発明は、自蔵式パッケージ内でかつ汚染環境現場内で
粒子状物質と表面不規則部との両方を検知かつ検出する
ことによってこれらのあるいは他の問題を避けかつ克服
することができる。表面の不連続部は光学素子内から露
出面に光線を先導することによって検知される。粒子状
物質はある視射角で外部から表面に先導された光線によ
って検知される。表面の不連続部および粒子状物質から
の散乱は別々の検出器によって得られるが単一の検出器
を使用することが望ましい。粒子状物質の汚染と表面の
不連続物による汚染とを区別するために内部および外部
の光源が交互に適用される。外来光線による誤検出を無
くすために帯域フィルタが表面と検出器との間に配置さ
れる。
粒子状物質と表面不規則部との両方を検知かつ検出する
ことによってこれらのあるいは他の問題を避けかつ克服
することができる。表面の不連続部は光学素子内から露
出面に光線を先導することによって検知される。粒子状
物質はある視射角で外部から表面に先導された光線によ
って検知される。表面の不連続部および粒子状物質から
の散乱は別々の検出器によって得られるが単一の検出器
を使用することが望ましい。粒子状物質の汚染と表面の
不連続物による汚染とを区別するために内部および外部
の光源が交互に適用される。外来光線による誤検出を無
くすために帯域フィルタが表面と検出器との間に配置さ
れる。
いくつかの目的、利点、目標が本発明から得られる。粒
子状物質と表面の不連続部とを識別して検出することが
可能である。検知および検出が内蔵光または自蔵光源と
検出システムによって得られる。自蔵式なので到達困難
な表面や、宇宙用テレスコープまたは他のハードウエア
や宇宙船外部表面や摩耗性または腐蝕性の環境など広い
範囲の環境において検知および検出を得ることができ
る。他の環境には宇宙、地球を問わずどんな光学装置の
内部でも含まれる。粒子状物質または表面の不連続部の
モニタは累積的読取りを得るために時々応答指令信号を
送りながら連続的に行うことが必要である。全ての検知
および検出は装置を開放はおろか装置に接触することな
しに得ることができ、検知および検出が起こっている位
置から離れた場所で処理を待つ必要がない。
子状物質と表面の不連続部とを識別して検出することが
可能である。検知および検出が内蔵光または自蔵光源と
検出システムによって得られる。自蔵式なので到達困難
な表面や、宇宙用テレスコープまたは他のハードウエア
や宇宙船外部表面や摩耗性または腐蝕性の環境など広い
範囲の環境において検知および検出を得ることができ
る。他の環境には宇宙、地球を問わずどんな光学装置の
内部でも含まれる。粒子状物質または表面の不連続部の
モニタは累積的読取りを得るために時々応答指令信号を
送りながら連続的に行うことが必要である。全ての検知
および検出は装置を開放はおろか装置に接触することな
しに得ることができ、検知および検出が起こっている位
置から離れた場所で処理を待つ必要がない。
本発明のより完全な理解と他の目的、目標、利点は模範
的な実施例の次の説明と添附の図面とから明らかであ
る。
的な実施例の次の説明と添附の図面とから明らかであ
る。
図面の簡単な説明 第１図は、本発明の側面図である。
第２図は、本発明の平面図である。
第３図は、本発明を動作するのに有益な電子装置の略図
である。
である。
好ましい実施例の説明 よって、モニタ１０は、環境に露出された第１表面１４
と検出器１８に面した第２表面１６とを有するプレート
１２を具備する。前記プレート１２は照射用電磁放射線
を伝搬可能にするガラスなどの材料で形成されている。
前記検出器はカップリング２２によってプロセスディス
プレイ電子装置２０に接続される。バンドパスフィルタ
２４が前記検出器２０と表面１６との間に配置される。
と検出器１８に面した第２表面１６とを有するプレート
１２を具備する。前記プレート１２は照射用電磁放射線
を伝搬可能にするガラスなどの材料で形成されている。
前記検出器はカップリング２２によってプロセスディス
プレイ電子装置２０に接続される。バンドパスフィルタ
２４が前記検出器２０と表面１６との間に配置される。
前記プレート１２、バンドパスフィルタ２４、検出器１
８は適当な取付け装置２６内に取付けられている。一対
の光ファイバ束２８および３０に前記プレート１２が光
学的に結合される。前記両束の端部がレーザダイオード
２８および３０に接続され、さらに前記レーザダイオー
ド３２および３４は変調ダイオードパワーサプライ３６
に接続される。好ましい実施例においては、前記パワー
サプライ３６は一度に１つのレーザダイオードのみが駆
動されるように配置されレーザ光線としての電磁放射線
が一方または他方のウエーブガイド２８および３０に先
導される。前記ウエーブガイド２８および３０の端部は
前記プレート１２に接続される。前記ウエーブガイド２
８の端部３８は第２図に示すようにファンアウトされ、
前記プレート１２の表面１４に対して角度を持たせて外
方に先導されて、矢４０で示されるように光線が前記表
面１４に対して平行または他の便宜的な角度で先導され
る。前記ウエーブガイド３０の端部４２も同様に第２図
に示すように前記プレート１２に対してファンアウトさ
れ線４４が示すように光線が前記プレートの内部を通っ
て横切る。
８は適当な取付け装置２６内に取付けられている。一対
の光ファイバ束２８および３０に前記プレート１２が光
学的に結合される。前記両束の端部がレーザダイオード
２８および３０に接続され、さらに前記レーザダイオー
ド３２および３４は変調ダイオードパワーサプライ３６
に接続される。好ましい実施例においては、前記パワー
サプライ３６は一度に１つのレーザダイオードのみが駆
動されるように配置されレーザ光線としての電磁放射線
が一方または他方のウエーブガイド２８および３０に先
導される。前記ウエーブガイド２８および３０の端部は
前記プレート１２に接続される。前記ウエーブガイド２
８の端部３８は第２図に示すようにファンアウトされ、
前記プレート１２の表面１４に対して角度を持たせて外
方に先導されて、矢４０で示されるように光線が前記表
面１４に対して平行または他の便宜的な角度で先導され
る。前記ウエーブガイド３０の端部４２も同様に第２図
に示すように前記プレート１２に対してファンアウトさ
れ線４４が示すように光線が前記プレートの内部を通っ
て横切る。
光線４０および４４が異なる種類の汚染を検知すべく用
意される。図に示すように、様々な汚染は概して表示４
６によって表わされた粒子状物質と表示４８によって表
わされたような表面の不連続部を含む。前記粒子状物質
の例として、不規則表面を持つかまたは概して球状の液
滴を有する粒子としてそれぞれ例示されたダストや非湿
潤液体がある。また、前記表面の不連続部の例として、
前記表面の大きな領域を湿潤する平滑フィルムかまたは
クレータがある。前記表面に接触する液体は多かれ少な
かれ前記粒子状物質と前記表面の不連続部との両方の性
質をもつ液滴５０を含む。
意される。図に示すように、様々な汚染は概して表示４
６によって表わされた粒子状物質と表示４８によって表
わされたような表面の不連続部を含む。前記粒子状物質
の例として、不規則表面を持つかまたは概して球状の液
滴を有する粒子としてそれぞれ例示されたダストや非湿
潤液体がある。また、前記表面の不連続部の例として、
前記表面の大きな領域を湿潤する平滑フィルムかまたは
クレータがある。前記表面に接触する液体は多かれ少な
かれ前記粒子状物質と前記表面の不連続部との両方の性
質をもつ液滴５０を含む。
概して、外部光線は前記粒子状物質４６を照射するかま
たは前記粒子状物質４６から屈折するが、それによる内
部光線４４への影響は大きくない。他方、前記表面の不
連続部４８は概して表面に先導された光線４０に影響を
及ぼさないが前記内部光線４４に大きな影響を及ぼす。
すなわち、前記粒子状物質または前記表面の不連続部が
どのように前記光線４０および４４に影響を及ぼすかが
前記表面１４の状態の表面を提供する。そのような表示
は前記検出器１８によって検出される。しかしながら、
太陽光線などの擬似光線を避けるため、または誤った検
出を防ぐため、前記バンドパスフィルタ２４が使用さ
れ、これによって光線４０および４４を通し、他の光線
を排除する。前記検出器１８に当たる光線は前記電子装
置に伝達されて適切な処理がなされる。
たは前記粒子状物質４６から屈折するが、それによる内
部光線４４への影響は大きくない。他方、前記表面の不
連続部４８は概して表面に先導された光線４０に影響を
及ぼさないが前記内部光線４４に大きな影響を及ぼす。
すなわち、前記粒子状物質または前記表面の不連続部が
どのように前記光線４０および４４に影響を及ぼすかが
前記表面１４の状態の表面を提供する。そのような表示
は前記検出器１８によって検出される。しかしながら、
太陽光線などの擬似光線を避けるため、または誤った検
出を防ぐため、前記バンドパスフィルタ２４が使用さ
れ、これによって光線４０および４４を通し、他の光線
を排除する。前記検出器１８に当たる光線は前記電子装
置に伝達されて適切な処理がなされる。
第３図に上述の処理が略図的に例示されている。制御ユ
ニット５２によって制御されるとき前記パワーサプライ
３６は前記ダイオード３２の１つを駆動する。前記各ダ
イオードからのレーザ光線４０および４４は前記プレー
ト１２へ先導されて前記フィルタ２４を通過し、前記電
子装置２０に供給すべく前記検出器１８へと先導され
る。前記電子装置２０はフェーズロックアンプリファイ
アなどの検出器アンプリファイア５４を具備し、その信
号は信号状態調整および信号源診断回路５６に送られ、
前記回路５６は読出しまたは遠隔測定回路５８に接続さ
れる。
ニット５２によって制御されるとき前記パワーサプライ
３６は前記ダイオード３２の１つを駆動する。前記各ダ
イオードからのレーザ光線４０および４４は前記プレー
ト１２へ先導されて前記フィルタ２４を通過し、前記電
子装置２０に供給すべく前記検出器１８へと先導され
る。前記電子装置２０はフェーズロックアンプリファイ
アなどの検出器アンプリファイア５４を具備し、その信
号は信号状態調整および信号源診断回路５６に送られ、
前記回路５６は読出しまたは遠隔測定回路５８に接続さ
れる。
レーザ光線が好ましい光線であるが、励起源がすれすれ
の入射光を発生するなら他のどんな光学手段で前記プレ
ート１２を照射してもよい。さらに、前記電子装置は直
流でもよいし交流でもよい。ダイオード源の変調にはガ
リウムひ素レーザダイオード等を使用するのが適当であ
る。これによって前記検出器によるフェーズロック検出
が可能になる。通常の太陽電池によっても適当な検出が
可能である。
の入射光を発生するなら他のどんな光学手段で前記プレ
ート１２を照射してもよい。さらに、前記電子装置は直
流でもよいし交流でもよい。ダイオード源の変調にはガ
リウムひ素レーザダイオード等を使用するのが適当であ
る。これによって前記検出器によるフェーズロック検出
が可能になる。通常の太陽電池によっても適当な検出が
可能である。
また、前記プレート１２には可視域から少し先の赤外域
である８５０ナノメートルにおいてレーザダイオードと
シリコンとの対とよく適合するガラスが使用されている
がそうでなくとも良い。前記源と検出器との対と適当な
プレートおよびバンドパスフィルタとの組合わせはいか
なるものであってもよい。ここに例示されたのは赤外ダ
イオード源、シリコンまたはゲルマニウムプレート、そ
して赤外線検出器である。
である８５０ナノメートルにおいてレーザダイオードと
シリコンとの対とよく適合するガラスが使用されている
がそうでなくとも良い。前記源と検出器との対と適当な
プレートおよびバンドパスフィルタとの組合わせはいか
なるものであってもよい。ここに例示されたのは赤外ダ
イオード源、シリコンまたはゲルマニウムプレート、そ
して赤外線検出器である。
本発明は、特定された実施例に関して記載されたが、本
発明の範囲および意図から離脱せずに様々な変化および
変更がなされる。
発明の範囲および意図から離脱せずに様々な変化および
変更がなされる。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−154443（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−12351（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−179150（ＪＰ，Ｕ) 英国特許898828（ＧＢ，Ａ) ＩＢＭ Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ Ｄｉｓｃ ｌｏｓｕｒｅ Ｂｕｌｌｅｔｉｎ，ｖｏ ｌ．27，Ｎｏ．12，Ｍａｙ 1985（Ｎｅｗ Ｙｏｒｋ，ＵＳ）“Ａｄｖａｎｃｅｄ ｄｅｆｅｃｔ ｄｅｆｅｃｔｉｏｎ ｓｙ ｓｔｅｍ”，ｐａｇｅｓ 6999〜7001
Claims (11)
- 【請求項１】光学素子と共に自蔵され、前記光学素子に
関連した表面の不連続部と、前記光学素子の表面上の粒
子状物質とを検出する装置であって、 前記光学素子に隣接して配置され、電磁放射線を発生す
る発生手段と、 一対の光学ウェーブカイドであって、前記電磁放射線を
受けるべく前記発生手段に結合され、各々のウエーブガ
イドがそれぞれ前記電磁放射線をその内部へと先導する
と共にその表面へある角度で先導して前記不連続部と前
記粒子状物質とを個々に検知し、各々の表示を提供する
一対の光学ウエーブガイドと、 前記各々の表示を検出する検出手段とを具備したことを
特徴とする装置。 - 【請求項２】前記発生手段が前記光学ウエーブガイドに
結合された電磁放射線としてのレーザ放射源を具備した
ことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の装置。 - 【請求項３】前記光学素子と前記検出手段との間に配置
され、検出を前記表示に制限するバンドパスフィルタを
さらに具備することを特徴とする請求の範囲第１項に記
載の装置。 - 【請求項４】前記ウエーブガイドが前記光学素子に結合
された光ファイバ束を具備することを特徴とする請求の
範囲第１項に記載の装置。 - 【請求項５】前記発生手段が、前記粒子状物質の表示と
前記不連続部の表示を識別すべく、前記ウエーブガイド
に交互に結合される放射源を具備することを特徴とする
請求の範囲第１項に記載の装置。 - 【請求項６】前記放射源がレーザダイオードと、このレ
ーザダイオードに結合された変調ダイオードパワーサプ
ライとを具備することを特徴とする請求の範囲第２項に
記載の装置。 - 【請求項７】検出を前記放射線に制限すべく、前記光学
素子と前記検出手段との間に配置されたバンドパスフィ
ルタをさらに具備することを特徴とする請求の範囲第６
項に記載の装置。 - 【請求項８】前記放射源が前記電磁放射線としてのレー
ザ放射線を供給すべく、前記ウエーブガイドに結合され
たレーザダイオードと、このレーザダイオードに結合さ
れた変調ダイオードパワーサプライとを具備することを
特徴とする請求の範囲第５項に記載の装置。 - 【請求項９】検出を前記放射線に制限すべく、前記光学
素子と前記検出手段との間に配置されたバンドパスフィ
ルタをさらに具備することを特徴とする請求の範囲第８
項に記載の装置。 - 【請求項１０】光学素子と共に自蔵され、前記光学素子
の表面上の粒子状物質及びこの表面に関連した不連続部
を検出する装置であって、 前記粒子状物質及び不連続部の表示を提供すべく、前記
光学素子の外部及び内部の両面から前記粒子状物質と前
記不連続部とを個々に検出する検出手段と、 前記表示を検出する検出手段とを具備することを特徴と
する装置。 - 【請求項１１】光学素子と共に自蔵され、前記光学素子
の表面に関連した汚染物質を検出する装置であって、 前記汚染物質を検出し、所定の周波数の電磁放射線を含
む汚染物質の存在に関する表示を提供する検出手段と、 前記表示を検出すべく前記表面に物理的に結合された手
段と、 通路を前記放射線に制限すべく前記検出手段と、前記光
学素子表面との間に配置されたバンドパスフィルタとを
具備することを特徴とする装置。
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|---|---|---|---|
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| US06/859,563 US4808813A (en) | 1986-05-05 | 1986-05-05 | Self contained surface contamination sensor for detecting external particulates and surface discontinuities |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63503244A JPS63503244A (ja) | 1988-11-24 |
| JPH0621875B2 true JPH0621875B2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
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|---|---|---|---|
| JP62502316A Expired - Lifetime JPH0621875B2 (ja) | 1986-05-05 | 1987-03-27 | 自蔵式表面汚染センサ |
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Families Citing this family (38)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IL85851A0 (en) * | 1988-03-24 | 1988-09-30 | Israel Atomic Energy Comm | Method and apparatus for detecting flaws in transparent bodies |
| IT1216609B (it) * | 1988-04-21 | 1990-03-08 | Pirelli Cavi Spa | Sensore ottico di posizione. |
| US5177064A (en) * | 1990-07-13 | 1993-01-05 | University Of Florida | Targeted drug delivery via phosphonate derivatives |
| FR2672124A1 (fr) * | 1991-01-25 | 1992-07-31 | Thomson Csf | Procede et dispositif de controle de l'etat de surface d'un element optique de transmission lumineuse. |
| US5196901A (en) * | 1991-08-22 | 1993-03-23 | Eos Technologies, Inc. | Discriminating surface contamination monitor |
| IL100443A (en) * | 1991-12-20 | 1995-03-30 | Dotan Gideon | Inspection system for detecting surface flaws |
| US5517301A (en) * | 1993-07-27 | 1996-05-14 | Hughes Aircraft Company | Apparatus for characterizing an optic |
| US5637864A (en) * | 1994-09-17 | 1997-06-10 | Owens-Brockway Glass Container Inc. | Optical inspection of translucent containers for vertical checks and split seams in the container sidewalls |
| US5790247A (en) * | 1995-10-06 | 1998-08-04 | Photon Dynamics, Inc. | Technique for determining defect positions in three dimensions in a transparent structure |
| US5929981A (en) * | 1996-06-18 | 1999-07-27 | Ohmeda Inc. | System for monitoring contamination of optical elements in a Raman gas analyzer |
| SE508426C2 (sv) * | 1997-01-24 | 1998-10-05 | Permanova Lasersystem Ab | Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetning |
| US5812270A (en) * | 1997-09-17 | 1998-09-22 | Ircon, Inc. | Window contamination detector |
| JPH11337496A (ja) * | 1998-03-24 | 1999-12-10 | Ngk Insulators Ltd | 透明体の欠陥検出方法及び透明体の製造方法 |
| US6404489B1 (en) * | 2000-03-29 | 2002-06-11 | Corning Incorporated | Inclusion detection |
| WO2003102677A1 (de) * | 2002-05-28 | 2003-12-11 | Schleifring Und Apparatebau Gmbh | Vorrichtung zur optischen signalübertragung zwischen zwei gegeneinander beweglichen einheiten |
| US7208123B2 (en) * | 2002-06-24 | 2007-04-24 | Particle Measuring Systems, Inc. | Molecular contamination monitoring system and method |
| US6784988B2 (en) * | 2002-07-17 | 2004-08-31 | Hamilton Associates, Inc. | Apparatus and process for analyzing a stream of fluid |
| US20040196454A1 (en) * | 2003-04-03 | 2004-10-07 | Takayuki Ishiguro | Optical system, detector and method for detecting peripheral surface defect of translucent disk |
| DE10316707B4 (de) * | 2003-04-04 | 2006-04-27 | Schott Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung von Fehlern in transparentem Material |
| DE10339696B4 (de) * | 2003-08-28 | 2007-12-27 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Erfassung von Objekten auf einer transparenten Wand, insbesondere von Regentropfen auf einer Windschutzscheibe |
| DE10351254A1 (de) * | 2003-11-03 | 2005-06-02 | Adc Automotive Distance Control Systems Gmbh | Vorrichtung zur Erfassung von Verschmutzungen auf einer lichtdurchlässigen Abdeckscheibe vor einem optischen Einheit |
| DE10358199B3 (de) * | 2003-12-12 | 2005-05-25 | Leoni Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Detektion einer Verunreinigung auf einer Oberfläche eines Gegenstands |
| AU2003290503A1 (en) | 2003-12-30 | 2005-07-21 | Agency For Science, Technology And Research | Method and apparatus for detection of inclusions in glass |
| GB2415776B (en) * | 2004-06-28 | 2009-01-28 | Carglass Luxembourg Sarl Zug | Investigation of vehicle glazing panels |
| US20070076780A1 (en) * | 2005-09-30 | 2007-04-05 | Champetier Robert J | Devices, systems and methods for determining temperature and/or optical characteristics of a substrate |
| DE102008048090B3 (de) * | 2008-09-19 | 2010-02-04 | Kornack-Cielewicz, Katja | Kanalsystem für Küchenabluft |
| RU2502954C1 (ru) * | 2012-07-17 | 2013-12-27 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук (ФИАН) | Способ визуально-оптического контроля поверхности |
| DE102013216571A1 (de) * | 2013-08-21 | 2015-02-26 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Verfahren zum Detektieren von Flüssigkeiten auf einer Scheibe eines Fahrzeugs |
| KR102200691B1 (ko) * | 2014-06-02 | 2021-01-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 검사장치 |
| EP3073249B1 (en) * | 2015-03-26 | 2019-11-20 | Goodrich Lighting Systems GmbH | Erosion detector for an exterior aircraft lighting device and exterior aircraft lighting device comprising the same |
| DE102016213059A1 (de) * | 2016-07-18 | 2018-01-18 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und Steuergerät zum Verarbeiten eines zumindest einen Lichthof repräsentierenden Bildes sowie Bildaufnahmesystem |
| US10175167B2 (en) * | 2017-03-28 | 2019-01-08 | Te Connectivity Corporation | Optical sensor for detecting accumulation of a material |
| US10171029B2 (en) | 2017-05-12 | 2019-01-01 | Michael Gostein | Soiling measurement device for photovoltaic arrays employing microscopic imaging |
| DE102018206548A1 (de) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Detektion von Beschädigungen und/oder Verunreinigungen auf einem transparenten Abdeckmaterial eines optoelektronischen Sensors, System, optoelektronischer Sensor und Fortbewegungsmittel |
| US11156192B2 (en) * | 2019-04-04 | 2021-10-26 | Deere & Company | Air intake screen debris sensing |
| US11965991B1 (en) | 2020-09-23 | 2024-04-23 | Waymo Llc | Surface fouling detection |
| US11457204B1 (en) | 2020-11-06 | 2022-09-27 | Waymo Llc | Localized window contaminant detection |
| NL2034855B1 (en) * | 2023-05-17 | 2024-12-03 | Morphotonics Holding Bv | Device and method for inspection of a substantially transparent substrate |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB898828A (en) | 1959-06-26 | 1962-06-14 | Gen Electric Co Ltd | Improvements in or relating to the examination of transparent sheet material |
| JPS55154443A (en) * | 1979-05-21 | 1980-12-02 | Agency Of Ind Science & Technol | Laser induced damage evaluating apparatus |
| JPS5712351A (en) * | 1980-06-26 | 1982-01-22 | Hitachi Metals Ltd | Detector for surface fault |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3328000A (en) * | 1964-12-17 | 1967-06-27 | Owens Illinois Inc | Bottle inspector including a rotating photocell for scanning |
| US3394263A (en) * | 1964-12-28 | 1968-07-23 | Owens Illinois Inc | Method and apparatus for inspecting transparent articles for defects by fluorescent radiation |
| GB1437104A (en) * | 1972-10-31 | 1976-05-26 | Remy E | Method and apparatus for testing transparent containers |
| US3947131A (en) * | 1974-11-04 | 1976-03-30 | Gerhard Karl | Windshield soil detector |
| US4297032A (en) * | 1980-02-14 | 1981-10-27 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Dark field surface inspection illumination technique |
| US4402607A (en) * | 1980-05-16 | 1983-09-06 | Gca Corporation | Automatic detector for microscopic dust on large-area, optically unpolished surfaces |
| US4468120A (en) * | 1981-02-04 | 1984-08-28 | Nippon Kogaku K.K. | Foreign substance inspecting apparatus |
| DE3235590C2 (de) * | 1982-09-25 | 1984-11-22 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München | Vorrichtung zum optischen Erfassen von Fremdkörpern |
| US4652745A (en) * | 1985-12-06 | 1987-03-24 | Ford Motor Company | Optical moisture sensor for a window or windshield |
| JPH0613247A (ja) * | 1992-06-26 | 1994-01-21 | Fujitsu Ltd | プレーナトランス用巻線 |
-
1986
- 1986-05-05 US US06/859,563 patent/US4808813A/en not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-03-27 JP JP62502316A patent/JPH0621875B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1987-03-27 WO PCT/US1987/000650 patent/WO1987007023A1/en not_active Ceased
- 1987-03-27 EP EP87902949A patent/EP0264426B1/en not_active Expired
- 1987-04-16 IL IL82224A patent/IL82224A0/xx not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB898828A (en) | 1959-06-26 | 1962-06-14 | Gen Electric Co Ltd | Improvements in or relating to the examination of transparent sheet material |
| JPS55154443A (en) * | 1979-05-21 | 1980-12-02 | Agency Of Ind Science & Technol | Laser induced damage evaluating apparatus |
| JPS5712351A (en) * | 1980-06-26 | 1982-01-22 | Hitachi Metals Ltd | Detector for surface fault |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ＩＢＭＴｅｃｈｎｉｃａｌＤｉｓｃｌｏｓｕｒｅＢｕｌｌｅｔｉｎ，ｖｏｌ．２７，Ｎｏ．１２，Ｍａｙ１９８５（ＮｅｗＹｏｒｋ，ＵＳ）"Ａｄｖａｎｃｅｄｄｅｆｅｃｔｄｅｆｅｃｔｉｏｎｓｙｓｔｅｍ"，ｐａｇｅｓ６９９９〜７００１ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63503244A (ja) | 1988-11-24 |
| EP0264426A1 (en) | 1988-04-27 |
| WO1987007023A1 (en) | 1987-11-19 |
| EP0264426B1 (en) | 1991-06-12 |
| IL82224A0 (en) | 1987-10-30 |
| US4808813A (en) | 1989-02-28 |
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