JPH062200Y2 - 透過電子顕微鏡 - Google Patents
透過電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH062200Y2 JPH062200Y2 JP6995288U JP6995288U JPH062200Y2 JP H062200 Y2 JPH062200 Y2 JP H062200Y2 JP 6995288 U JP6995288 U JP 6995288U JP 6995288 U JP6995288 U JP 6995288U JP H062200 Y2 JPH062200 Y2 JP H062200Y2
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- Japan
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- electron beam
- image
- plate
- transparent plate
- optical axis
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- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、透過電子顕微鏡における像観察モードと分析
モードとを切換えるための機構に関する。
モードとを切換えるための機構に関する。
［従来技術］ 透過電子顕微鏡における電子顕微鏡像の観察、記録方法
には、種々の方式があるが、その多くは電子顕微鏡の真
空筐体内に電子線像を光学像に変換するための手段とし
て蛍光物質の塗布された蛍光板を用いる方式のものであ
る。
には、種々の方式があるが、その多くは電子顕微鏡の真
空筐体内に電子線像を光学像に変換するための手段とし
て蛍光物質の塗布された蛍光板を用いる方式のものであ
る。
この様な方式の従来例としては、実開昭６２−４１６６
０号公報を挙げることができる。該公報に記載された電
子顕微鏡においては、第２図に示すように真空筐体１の
下部に形成された観察室２内には、軸方向に移動可能な
軸体８に固定された直角プリズム７がその上面７ａが結
像レンズ系によって電子顕微鏡像が結像される像面位置
５と一致するように配置される。この直角プリズム７の
上面７ａには、電子線照射によって発光する蛍光物質６
が塗布されているため、プリズム上面７ａにおいて光学
像に変換された顕微鏡像を観察窓３を通して肉眼で観察
することができる。
０号公報を挙げることができる。該公報に記載された電
子顕微鏡においては、第２図に示すように真空筐体１の
下部に形成された観察室２内には、軸方向に移動可能な
軸体８に固定された直角プリズム７がその上面７ａが結
像レンズ系によって電子顕微鏡像が結像される像面位置
５と一致するように配置される。この直角プリズム７の
上面７ａには、電子線照射によって発光する蛍光物質６
が塗布されているため、プリズム上面７ａにおいて光学
像に変換された顕微鏡像を観察窓３を通して肉眼で観察
することができる。
更に、この直角プリズム７の上面７ａにおいて変換され
た光学像から下方に発散する光は、プリズム７の斜面７
ｂで全反射し、側面７ｃから観察窓９を通してＴＶカメ
ラ１０に入射して像の観察や記録が行なわれる。
た光学像から下方に発散する光は、プリズム７の斜面７
ｂで全反射し、側面７ｃから観察窓９を通してＴＶカメ
ラ１０に入射して像の観察や記録が行なわれる。
所で、透過電子顕微鏡においては、前述した像観察のモ
ードの他に試料の特定領域を透過した電子線のエネルギ
ーを分析して元素分析等を行なう分析モードの機能を備
えた電子顕微鏡も広く利用されている。第２図に示す電
子顕微鏡も像観察モードから分析モードに切換える機能
を有しており、蛍光板、反射鏡として使用しているプリ
ズム７を軸体８を用いて図中左方向に水平移動させ、電
子線光軸１１より退避させることにより、電子線を下方
に設けたエネルギーアナライザ１２に導き、元素分析を
行なうように構成されている。
ードの他に試料の特定領域を透過した電子線のエネルギ
ーを分析して元素分析等を行なう分析モードの機能を備
えた電子顕微鏡も広く利用されている。第２図に示す電
子顕微鏡も像観察モードから分析モードに切換える機能
を有しており、蛍光板、反射鏡として使用しているプリ
ズム７を軸体８を用いて図中左方向に水平移動させ、電
子線光軸１１より退避させることにより、電子線を下方
に設けたエネルギーアナライザ１２に導き、元素分析を
行なうように構成されている。
［考案が解決しようとする問題点］ 前述した従来技術においては、電子線を下方に設けられ
たエネルギーアナライザに導くには、蛍光板と反射板と
を退避させる移動機構と、それらを収納するための広い
スペースを必要とし、真空筐体や排気装置の大型化が避
けられなくなる。
たエネルギーアナライザに導くには、蛍光板と反射板と
を退避させる移動機構と、それらを収納するための広い
スペースを必要とし、真空筐体や排気装置の大型化が避
けられなくなる。
本考案は、かかる点に鑑みてなされたもので、装置の大
型化を伴うことなく電子結像を光学像に変換するための
手段を簡単な機構で電子線の光軸を遮らない位置に切替
え、電子線を下方に通過させることを主な目的とするも
のである。
型化を伴うことなく電子結像を光学像に変換するための
手段を簡単な機構で電子線の光軸を遮らない位置に切替
え、電子線を下方に通過させることを主な目的とするも
のである。
［問題点を解決するための手段］ 前記目的を達成するため、本考案の観察モードと分析モ
ードの切換え機構は、蛍光物質が表面に塗布された平板
状の透明板と、該透明板の裏面の光学像を反射させるた
めの平板状の鏡板と、該鏡板によって反射された光学像
を真空筐体の外部より観察するための観察窓と、前記透
明板と前記鏡板とをそれらが楔形をなすように取付けた
軸体とを設け、該軸体を回転させることにより、透明板
が前記結像レンズ系の光軸と略垂直に交わる光学像の観
察のための位置と、前記透明板と鏡板が前記光軸と平行
で光軸と交わらず前記電子線分析手段に電子線が入射す
る位置とに切換えられるように構成したことを特徴とし
ている。
ードの切換え機構は、蛍光物質が表面に塗布された平板
状の透明板と、該透明板の裏面の光学像を反射させるた
めの平板状の鏡板と、該鏡板によって反射された光学像
を真空筐体の外部より観察するための観察窓と、前記透
明板と前記鏡板とをそれらが楔形をなすように取付けた
軸体とを設け、該軸体を回転させることにより、透明板
が前記結像レンズ系の光軸と略垂直に交わる光学像の観
察のための位置と、前記透明板と鏡板が前記光軸と平行
で光軸と交わらず前記電子線分析手段に電子線が入射す
る位置とに切換えられるように構成したことを特徴とし
ている。
［実施例］ 以下本考案の実施例を添附図面に基づいて詳述する。
第１図は、像観察モードにおける本考案の実施例・装置
の要部を示す断面図である。図において、電子線光軸１
１に対して垂直に設置される蛍光板１３としては、ガラ
ス等の透明平板の上面に蛍光物質を塗布したものが採用
され、軸体１５の先端部に保持具１６を介して固定され
る。軸体１５の先端部には蛍光板１３と４５度の角度を
なして楔形を形成するように反射板１４も前記保持具１
６を介して固定されている。この反射板１４により観察
窓９を通して蛍光板１３の裏面に形成される光学像がＴ
Ｖカメラ等に導かれる。このように光学像観察モードに
おける状態を示した第１図の配置においては、蛍光板１
３の中心１３Ｍと反射板１４の中心１４Ｍを結んだ直線
が電子線光軸１１に略一致しており、電子線光軸１１と
軸体１５の中心線１５Ｍとの交点１７が蛍光板１３の中
点１３Ｍと反射板１４の中点１４Ｍを結ぶ線分の中点と
なるように軸体１５が配置されている。
の要部を示す断面図である。図において、電子線光軸１
１に対して垂直に設置される蛍光板１３としては、ガラ
ス等の透明平板の上面に蛍光物質を塗布したものが採用
され、軸体１５の先端部に保持具１６を介して固定され
る。軸体１５の先端部には蛍光板１３と４５度の角度を
なして楔形を形成するように反射板１４も前記保持具１
６を介して固定されている。この反射板１４により観察
窓９を通して蛍光板１３の裏面に形成される光学像がＴ
Ｖカメラ等に導かれる。このように光学像観察モードに
おける状態を示した第１図の配置においては、蛍光板１
３の中心１３Ｍと反射板１４の中心１４Ｍを結んだ直線
が電子線光軸１１に略一致しており、電子線光軸１１と
軸体１５の中心線１５Ｍとの交点１７が蛍光板１３の中
点１３Ｍと反射板１４の中点１４Ｍを結ぶ線分の中点と
なるように軸体１５が配置されている。
他方、像観察モードから分析モードに切替えるには、観
察室の下方に設けたエネルギーアナライザ１２に試料を
透過した電子線を入射させる必要があり、そのためには
蛍光板１３や反射板１４を光軸１１に沿った、電子線の
経路を遮らないような位置へ退避させなければならな
い。
察室の下方に設けたエネルギーアナライザ１２に試料を
透過した電子線を入射させる必要があり、そのためには
蛍光板１３や反射板１４を光軸１１に沿った、電子線の
経路を遮らないような位置へ退避させなければならな
い。
本考案装置における分析モードへの切換えは、軸体１５
を左右いずれかの方向へ、９０度回転させことにより行
なわれる。この回転により蛍光板１３，反射板１４は電
子線光軸１１に対しは平行となり電子線光軸１１とは交
わらずに退避させることができる。この状態において
は、蛍光板１３の中点１３Ｍと反射板１４の中点１４Ｍ
を結ぶ線分は、その中点近傍においてに電子線光軸１１
と直交するようになる。尚、第１図の実施例装置におい
ては、蛍光板１３と反射板１４のなす角度を４５度とし
たが、ＴＶカメラ等の配置の関係でこの角度を増減させ
ることは可能であり、観察窓９をＴＶカメラによる観察
専用とせずに、肉眼観察用と兼ねるように構成すること
も容易である。
を左右いずれかの方向へ、９０度回転させことにより行
なわれる。この回転により蛍光板１３，反射板１４は電
子線光軸１１に対しは平行となり電子線光軸１１とは交
わらずに退避させることができる。この状態において
は、蛍光板１３の中点１３Ｍと反射板１４の中点１４Ｍ
を結ぶ線分は、その中点近傍においてに電子線光軸１１
と直交するようになる。尚、第１図の実施例装置におい
ては、蛍光板１３と反射板１４のなす角度を４５度とし
たが、ＴＶカメラ等の配置の関係でこの角度を増減させ
ることは可能であり、観察窓９をＴＶカメラによる観察
専用とせずに、肉眼観察用と兼ねるように構成すること
も容易である。
［効果］ 以上詳述したように本考案によれば軸体の回転操作のみ
により像観察のための手段を電子線光軸から退避させる
ことができるので、像観察モードと分析モードの切替え
に要する機構を簡略化、小型化することが可能となり、
動作機構が従来の方法に比べて簡略化され、且つ蛍光板
と反射板を電子線光軸より退避させるために特別な収納
スペースを必要としないで装置の小形化を計ることが可
能となり、装置の高真空化を計ることが容易となる。
により像観察のための手段を電子線光軸から退避させる
ことができるので、像観察モードと分析モードの切替え
に要する機構を簡略化、小型化することが可能となり、
動作機構が従来の方法に比べて簡略化され、且つ蛍光板
と反射板を電子線光軸より退避させるために特別な収納
スペースを必要としないで装置の小形化を計ることが可
能となり、装置の高真空化を計ることが容易となる。
第１図は本考案の実施例装置の要部を示した断面図、第
２図は従来装置の要部を示した断面図、第３図は第２図
の要部の斜視図である。 １：真空筐体、２：観察室、３：観察窓、４：撮影室、
５：像面位置、６：蛍光物質、７：直角プリズム、７
ａ：上面、７ｂ：斜面、８：軸体、９：観察窓、１０：
ＴＶカメラ、１１：電子線光軸、１２：エネルギーアナ
ライザ、１３：蛍光板、１３Ｍ：蛍光板中点、１４：反
射板、１４Ｍ：反射板中点、１５：軸体、１５Ｍ：軸体
中心線、１６：保持具、１７：交点
２図は従来装置の要部を示した断面図、第３図は第２図
の要部の斜視図である。 １：真空筐体、２：観察室、３：観察窓、４：撮影室、
５：像面位置、６：蛍光物質、７：直角プリズム、７
ａ：上面、７ｂ：斜面、８：軸体、９：観察窓、１０：
ＴＶカメラ、１１：電子線光軸、１２：エネルギーアナ
ライザ、１３：蛍光板、１３Ｍ：蛍光板中点、１４：反
射板、１４Ｍ：反射板中点、１５：軸体、１５Ｍ：軸体
中心線、１６：保持具、１７：交点
Claims (1)
- 【請求項１】結像レンズ系によって結像された電子線像
を光学像に変換する手段を真空筐体内に設けると共に、
像変換手段の下部に電子線分析手段を配置した電子顕微
鏡において、蛍光物質が表面に塗布された平板状の透明
板と、該透明板の裏面の光学像を反射させるための平板
状の鏡板と、該鏡板によって反射された光学像を真空筐
体の外部より観察するための観察窓と、前記透明板と前
記鏡板とをそれらが楔形をなすように取付けた軸体とを
設け、該軸体を回転させることにより、透明板が前記結
像レンズ系の光軸と略垂直に交わる光学像の観察のため
の位置と、前記透明板と鏡板が前記光軸と平行で光軸と
交わらず前記電子線分析手段に電子線が入射する位置と
に切換えられるように構成したことを特徴とする透過電
子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6995288U JPH062200Y2 (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | 透過電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6995288U JPH062200Y2 (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | 透過電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01174845U JPH01174845U (ja) | 1989-12-12 |
| JPH062200Y2 true JPH062200Y2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=31295214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6995288U Expired - Lifetime JPH062200Y2 (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | 透過電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH062200Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4255843B2 (ja) * | 2004-01-13 | 2009-04-15 | 日本電子株式会社 | 透過電子顕微鏡 |
| US7745786B2 (en) * | 2008-03-19 | 2010-06-29 | Fama Leo A | Method and apparatus allowing simultaneous direct observation and electronic capture of scintillation images in an electron microscope |
-
1988
- 1988-05-27 JP JP6995288U patent/JPH062200Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01174845U (ja) | 1989-12-12 |
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