JPH06222005A - Ｉｃｐ発光分光分析方法 - Google Patents
Ｉｃｐ発光分光分析方法Info
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- JPH06222005A JPH06222005A JP1295593A JP1295593A JPH06222005A JP H06222005 A JPH06222005 A JP H06222005A JP 1295593 A JP1295593 A JP 1295593A JP 1295593 A JP1295593 A JP 1295593A JP H06222005 A JPH06222005 A JP H06222005A
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- plasma
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- hydride
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Links
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Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【構成】 ＩＣＰ分析において、プラズマトーチ１に導
入するための試料導入系にＹ字管形状のアダプター６を
取り付け、一方から試料１３を水素化物にしてトーチ１
に導入し、他方から試料１３を超音波ネブライザー３３
にて霧化したものを、同時に導入する。そして、それら
を同時にプラズマ化して、そのプラズマの光を分光分析
して、試料１３の分析を行う。 【効果】 一つの試料の微量成分を多元素分析する場
合、試料導入系を取替する必要がなくなり、操作が簡単
になり、そしてその測定条件が同一になるため、測定精
度が高くなる。
入するための試料導入系にＹ字管形状のアダプター６を
取り付け、一方から試料１３を水素化物にしてトーチ１
に導入し、他方から試料１３を超音波ネブライザー３３
にて霧化したものを、同時に導入する。そして、それら
を同時にプラズマ化して、そのプラズマの光を分光分析
して、試料１３の分析を行う。 【効果】 一つの試料の微量成分を多元素分析する場
合、試料導入系を取替する必要がなくなり、操作が簡単
になり、そしてその測定条件が同一になるため、測定精
度が高くなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】試料溶液中の微量成分分析を行う
ＩＣＰ発光分光分析方法に関し、特に高感度化のための
試料導入方法に関するものである。
ＩＣＰ発光分光分析方法に関し、特に高感度化のための
試料導入方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＩＣＰ発光分光分析する場合、試
料をニューマティックネブライザで霧化し、プラズマ内
に導入される。さらに、ＩＣＰ発光分光分析方法にて微
量成分を高感度に分析を行う場合は、以下の方法があっ
た。
料をニューマティックネブライザで霧化し、プラズマ内
に導入される。さらに、ＩＣＰ発光分光分析方法にて微
量成分を高感度に分析を行う場合は、以下の方法があっ
た。
【０００３】特開昭６０−１１１４１号公報に開示され
ているように、例えば、砒素、セレン等のように水素化
物をつくり易い元素を分析する場合は、試料を水素化物
発生装置に導入して分析成分を水素化物にして分析する
方法である。つまり、プラズマトーチの試料導入部に直
接水素化物を作る水素化物発生装置を取り付けて、試料
の分析成分を水素化物発生装置にて水素化物にして、そ
の水素化物をプラズマトーチに導入し、ＩＣＰ発光分光
分析方法があった。
ているように、例えば、砒素、セレン等のように水素化
物をつくり易い元素を分析する場合は、試料を水素化物
発生装置に導入して分析成分を水素化物にして分析する
方法である。つまり、プラズマトーチの試料導入部に直
接水素化物を作る水素化物発生装置を取り付けて、試料
の分析成分を水素化物発生装置にて水素化物にして、そ
の水素化物をプラズマトーチに導入し、ＩＣＰ発光分光
分析方法があった。
【０００４】また、特開平３−１９７８４９号公報に開
示されているように、その他の成分を分析する場合は、
超音波ネブライザをプラズマトーチの試料導入部に取り
付け、試料を超音波ネブライザにて霧化させ、霧化した
試料をプラズマトーチに導入し、試料をプラズマ化して
分析するＩＣＰ発光分光分析方法があった。
示されているように、その他の成分を分析する場合は、
超音波ネブライザをプラズマトーチの試料導入部に取り
付け、試料を超音波ネブライザにて霧化させ、霧化した
試料をプラズマトーチに導入し、試料をプラズマ化して
分析するＩＣＰ発光分光分析方法があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、高感度
に分析する場合、測定する成分（元素）により、プラズ
マトーチに導入する試料を、水素化物にするか、また超
音波ネブライザにより霧化するか、何方かの方法にて処
理をする必要があり、試料の種類により、プラズマトー
チに導入する系を交換する必要があった。多数の試料に
ついて、多元素を高感度で、順次測定する場合は、測定
元素により、試料導入系を水素化物発生装置と、超音波
ネブライザとを使い分けしなければならない。このた
め、測定時に元素毎に分類し、水素化物発生装置の測定
条件を設定して測定を行った後、試料導入系を水素化物
発生装置から超音波ネブライザに取替て、残りの元素を
測定するための条件設定を行い測定する必要があった。
つまり、煩雑な操作が必要であった。また、試料導入系
のプラズマトーチへの取りつけを交換する場合、一旦プ
ラズマを消す必要があり、試料導入系のプラズマトーチ
への取りつけ交換が終わった後、プラズマを再点灯した
とき、プラズマの条件が変化し、その条件が異なってし
まう。つまり、試料導入系を切換る度に、前回の測定条
件と異なることになる。
に分析する場合、測定する成分（元素）により、プラズ
マトーチに導入する試料を、水素化物にするか、また超
音波ネブライザにより霧化するか、何方かの方法にて処
理をする必要があり、試料の種類により、プラズマトー
チに導入する系を交換する必要があった。多数の試料に
ついて、多元素を高感度で、順次測定する場合は、測定
元素により、試料導入系を水素化物発生装置と、超音波
ネブライザとを使い分けしなければならない。このた
め、測定時に元素毎に分類し、水素化物発生装置の測定
条件を設定して測定を行った後、試料導入系を水素化物
発生装置から超音波ネブライザに取替て、残りの元素を
測定するための条件設定を行い測定する必要があった。
つまり、煩雑な操作が必要であった。また、試料導入系
のプラズマトーチへの取りつけを交換する場合、一旦プ
ラズマを消す必要があり、試料導入系のプラズマトーチ
への取りつけ交換が終わった後、プラズマを再点灯した
とき、プラズマの条件が変化し、その条件が異なってし
まう。つまり、試料導入系を切換る度に、前回の測定条
件と異なることになる。
【０００６】本発明は、多元素の分析を高感度に行う場
合、簡単な操作で分析をすると同時により高感度に分析
することを目的とする。
合、簡単な操作で分析をすると同時により高感度に分析
することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、分析用試料をプラズマトーチ内に導入し
て、該試料を発光させ、前記発光した光を分光分析して
そのスペクトル強度を測定するＩＣＰ発光分光分析方法
において、前記プラズマトーチの手前の試料導入部にＹ
字管形状のアダプターを備え、一方の分岐管に超音波ネ
ブライザを接続し、他方の分岐管に水素化物発生装置を
接続し、前記超音波ネブライザ及び前記水素化物発生装
置から同時に試料を前記プラズマトーチに導入するＩＣ
Ｐ発光分光分析方法である。
に、本発明は、分析用試料をプラズマトーチ内に導入し
て、該試料を発光させ、前記発光した光を分光分析して
そのスペクトル強度を測定するＩＣＰ発光分光分析方法
において、前記プラズマトーチの手前の試料導入部にＹ
字管形状のアダプターを備え、一方の分岐管に超音波ネ
ブライザを接続し、他方の分岐管に水素化物発生装置を
接続し、前記超音波ネブライザ及び前記水素化物発生装
置から同時に試料を前記プラズマトーチに導入するＩＣ
Ｐ発光分光分析方法である。
【０００８】
【作用】上記構成により、プラズマトーチの手前の試料
導入部にＹ字管形状のアダプターを備え、それぞれの分
岐管に超音波ネブライザと水素化物発生装置とが備えら
れているため、同一の試料を、水素化物にし、そして超
音波ネブライザにて霧化して、同時にブラズマトーチに
導入することができる。そして、測定元素毎に試料導入
系を切換えることなく分析できるため、操作が簡単でか
つ各元素の測定条件も一定になり、測定精度が高くな
る。
導入部にＹ字管形状のアダプターを備え、それぞれの分
岐管に超音波ネブライザと水素化物発生装置とが備えら
れているため、同一の試料を、水素化物にし、そして超
音波ネブライザにて霧化して、同時にブラズマトーチに
導入することができる。そして、測定元素毎に試料導入
系を切換えることなく分析できるため、操作が簡単でか
つ各元素の測定条件も一定になり、測定精度が高くな
る。
【０００９】
【実施例】以下に、本発明の一実施例を図面に基づいて
説明する。ＩＣＰプラズマトーチ１は、プラズマ３０を
発光させるものであり、ＩＣＰプラズマトーチの上部に
まかれている誘導コイル２による高周波磁界により、ト
ーチ１を流れた気体はプラズマ化しプラズマ発光する。
誘導コイル２は高周波電流（電圧）を発生するＲＦジェ
ネレータ３に接続されている。ＩＣＰプラズマトーチ１
には、プラズマガス、補助ガス、キャリアーガスが導入
され、それらのガスは、流量コントロール部４によりコ
ントロールされて導入されている。
説明する。ＩＣＰプラズマトーチ１は、プラズマ３０を
発光させるものであり、ＩＣＰプラズマトーチの上部に
まかれている誘導コイル２による高周波磁界により、ト
ーチ１を流れた気体はプラズマ化しプラズマ発光する。
誘導コイル２は高周波電流（電圧）を発生するＲＦジェ
ネレータ３に接続されている。ＩＣＰプラズマトーチ１
には、プラズマガス、補助ガス、キャリアーガスが導入
され、それらのガスは、流量コントロール部４によりコ
ントロールされて導入されている。
【００１０】ＩＣＰプラズマトーチ１の下端には、試料
導入部１ａが設けられており、試料導入部１ａから導入
された試料は、ＩＣＰプラズマトーチ１の中心を通り、
トーチ１の上部にてプラズマ３０になる。試料導入部１
ａには、Ｙ字管形状のアダプター６が接続されている。
アダプター６の一方の分岐管６ａには水素化物発生装置
３１が接続されている。水素化物発生装置３１は以下の
構成と機能を持つものである。試料１３はペリスタポン
プ１９により吸引され、ミキサー１６内で同様に吸引さ
れた塩酸１４と混合され、その後反応管１７にて同様に
吸引されたＮａＨＢ4 １５と混合され、試料の成分は水
素化物となる。反応管１７にて水素化物となった試料１
３は、気液分離管１２により気体と液体に分離され、気
体のみがキャリアーガスコントロール部１８からのガス
により一方の分岐管６ａを通ってプラズマ３０に導入さ
れる。
導入部１ａが設けられており、試料導入部１ａから導入
された試料は、ＩＣＰプラズマトーチ１の中心を通り、
トーチ１の上部にてプラズマ３０になる。試料導入部１
ａには、Ｙ字管形状のアダプター６が接続されている。
アダプター６の一方の分岐管６ａには水素化物発生装置
３１が接続されている。水素化物発生装置３１は以下の
構成と機能を持つものである。試料１３はペリスタポン
プ１９により吸引され、ミキサー１６内で同様に吸引さ
れた塩酸１４と混合され、その後反応管１７にて同様に
吸引されたＮａＨＢ4 １５と混合され、試料の成分は水
素化物となる。反応管１７にて水素化物となった試料１
３は、気液分離管１２により気体と液体に分離され、気
体のみがキャリアーガスコントロール部１８からのガス
により一方の分岐管６ａを通ってプラズマ３０に導入さ
れる。
【００１１】また、他方の分岐管６ｂには、超音波ネブ
ライザ部３２が取り付けられている。超音波ネブライザ
部３２は以下の構成と機能を持つ。試料１３は超音波ネ
ブライザ３３に吸引されて、超音波ネブライザ３３のト
ランスデューサ１０により微細な霧状になる。超音波ネ
ブライザ３３には、試料を吸引し、霧化するために、キ
ャリアーガスが導入され、液滴等大きな霧はドレインが
ら排出される。微細な霧になった試料１３は、加熱チュ
ーブ８により気化し、そして、コンデンサ７により脱溶
媒される。また、超音波ネブライザ３３には、放熱板９
が備えられており、試料１３の霧化を促進する。なお、
コンデンサ７は、試料１３を冷却する冷媒により取り巻
かれている。
ライザ部３２が取り付けられている。超音波ネブライザ
部３２は以下の構成と機能を持つ。試料１３は超音波ネ
ブライザ３３に吸引されて、超音波ネブライザ３３のト
ランスデューサ１０により微細な霧状になる。超音波ネ
ブライザ３３には、試料を吸引し、霧化するために、キ
ャリアーガスが導入され、液滴等大きな霧はドレインが
ら排出される。微細な霧になった試料１３は、加熱チュ
ーブ８により気化し、そして、コンデンサ７により脱溶
媒される。また、超音波ネブライザ３３には、放熱板９
が備えられており、試料１３の霧化を促進する。なお、
コンデンサ７は、試料１３を冷却する冷媒により取り巻
かれている。
【００１２】以上のように、試料１３は、水素化物発生
装置３１により水素化物となり、また、超音波ネブライ
ザ部３２により微細な霧となる。そしてそれぞれは同時
に、分岐管６ａ、６ｂによりプラズマトーチ１の試料導
入部１ａに導入され、そしてプラズマ３０にてプラズマ
化される。
装置３１により水素化物となり、また、超音波ネブライ
ザ部３２により微細な霧となる。そしてそれぞれは同時
に、分岐管６ａ、６ｂによりプラズマトーチ１の試料導
入部１ａに導入され、そしてプラズマ３０にてプラズマ
化される。
【００１３】ブラズマ３０の光は、分光器５により分光
され、その分光された光の強度（スペクトル）により、
試料の成分分析が行われる。
され、その分光された光の強度（スペクトル）により、
試料の成分分析が行われる。
【００１４】
【発明の効果】本発明の方法により、微量分析が試料の
導入系を切換えることなく、一回の分析にて多元素の分
析を行うことができ、そして測定条件が同一であるため
測定の精度もよくなる。
導入系を切換えることなく、一回の分析にて多元素の分
析を行うことができ、そして測定条件が同一であるため
測定の精度もよくなる。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
１ ＩＣＰプラズマトーチ ２ 誘導コイル ３ ＲＦジェネレータ ４ 流量コントロール部 ５ 分光器 ６ アダプター １３ 試料 ３１ 水素化物発生装置 ３３ 超音波ネブライザ
Claims (1)
- 【請求項１】 分析用試料をプラズマトーチ内に導入し
て、該試料をプラズマ発光させ、前記プラズマ発光した
光を分光分析してそのスペクトル強度を測定して前記試
料の分析を行うＩＣＰ発光分光分析方法において、前記
プラズマトーチの手前の試料導入部にＹ字管形状のアダ
プターを備え、一方の分岐管に超音波ネブライザを接続
し、他方の分岐管に水素化物発生装置を接続し、前記超
音波ネブライザ及び前記水素化物発生装置から同時に試
料を前記プラズマトーチに導入することを特徴とするＩ
ＣＰ発光分光分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1295593A JPH06222005A (ja) | 1993-01-28 | 1993-01-28 | Ｉｃｐ発光分光分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1295593A JPH06222005A (ja) | 1993-01-28 | 1993-01-28 | Ｉｃｐ発光分光分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06222005A true JPH06222005A (ja) | 1994-08-12 |
Family
ID=11819699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1295593A Pending JPH06222005A (ja) | 1993-01-28 | 1993-01-28 | Ｉｃｐ発光分光分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06222005A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06249783A (ja) * | 1993-02-24 | 1994-09-09 | Shimadzu Corp | Ｉｃｐ発光分光分析装置 |
| JPH06249782A (ja) * | 1993-02-24 | 1994-09-09 | Shimadzu Corp | Ｉｃｐ発光分光分析装置 |
| EP1322908A1 (en) * | 2000-10-05 | 2003-07-02 | Opnetics Corporation | In-situ thickness and refractive index monitoring and control system for thin film deposition |
| KR100914460B1 (ko) * | 2002-11-04 | 2009-08-27 | 주식회사 포스코 | 화학 분석용 수소화물 발생장치 |
| CN108426873A (zh) * | 2018-03-09 | 2018-08-21 | 中国科学院海洋研究所 | 一种氢化物的检测方法和专用装置 |
| CN110865068A (zh) * | 2018-08-28 | 2020-03-06 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 电感耦合等离子体发射光谱仪高电离能元素进样系统 |
| CN111638266A (zh) * | 2020-07-09 | 2020-09-08 | 中国测试技术研究院化学研究所 | 基于恒流控制进样装置的测定天然气中总硫的icp-ms检测方法 |
| JP6947463B1 (ja) * | 2020-04-08 | 2021-10-13 | ビーエルテック株式会社 | 流れ分析装置及び流れ分析方法 |
| WO2021205953A1 (ja) * | 2020-04-08 | 2021-10-14 | ビーエルテック株式会社 | 流れ分析装置及び流れ分析方法 |
-
1993
- 1993-01-28 JP JP1295593A patent/JPH06222005A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06249783A (ja) * | 1993-02-24 | 1994-09-09 | Shimadzu Corp | Ｉｃｐ発光分光分析装置 |
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| WO2021205953A1 (ja) * | 2020-04-08 | 2021-10-14 | ビーエルテック株式会社 | 流れ分析装置及び流れ分析方法 |
| US11906407B2 (en) | 2020-04-08 | 2024-02-20 | Bl Tec K.K. | Flow analysis device and flow analysis method |
| CN111638266A (zh) * | 2020-07-09 | 2020-09-08 | 中国测试技术研究院化学研究所 | 基于恒流控制进样装置的测定天然气中总硫的icp-ms检测方法 |
| CN111638266B (zh) * | 2020-07-09 | 2024-03-29 | 中国测试技术研究院化学研究所 | 基于恒流控制进样装置的测定天然气中总硫的icp-ms检测方法 |
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