JPH062244U - Servo type acceleration sensor - Google Patents

Servo type acceleration sensor

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JPH062244U
JPH062244U JP4379792U JP4379792U JPH062244U JP H062244 U JPH062244 U JP H062244U JP 4379792 U JP4379792 U JP 4379792U JP 4379792 U JP4379792 U JP 4379792U JP H062244 U JPH062244 U JP H062244U
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JP
Japan
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fixed
pendulum
coil
acceleration sensor
coil bobbin
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Application number
JP4379792U
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Japanese (ja)
Inventor
昇 渡部
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Jeco Corp
Original Assignee
Jeco Corp
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Publication date
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Publication of JPH062244U publication Critical patent/JPH062244U/en
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  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 振子を揺動可能に支持する弾性板ばねの両端
側固定部での温度変化に伴なう伸縮変形を防ぎ、センサ
としての性能を確保する。 【構成】 架台5に対し基端部6aが固定されかつ自由
端6bがトルカコイル2のコイルボビン3に設けられた
連結部3aに連結固定される一対をなす弾性板ばね6,
6を備えている。これら各板ばねの基端部および自由端
が固定される架台とコイルボビンとを、熱膨張係数が同
一となる材質で形成する。これにより、周囲雰囲気での
温度変化に伴なって板ばねの面方向に向って、この板ば
ねの両端側固定部での相対的な関係がずれるのを防ぐ。
(57) [Summary] [Purpose] To prevent the elastic plate spring that swingably supports the pendulum from expanding and contracting due to temperature changes at the fixed parts on both ends, and ensuring the performance as a sensor. [Structure] A pair of elastic leaf springs 6, whose base end 6a is fixed to a pedestal 5, and whose free end 6b is connected and fixed to a connecting part 3a provided in a coil bobbin 3 of a torquer coil 2.
6 is provided. The base and the coil bobbin to which the base end and the free end of each leaf spring are fixed are made of a material having the same thermal expansion coefficient. This prevents the relative relationship between the fixing portions at both ends of the leaf spring from shifting in the surface direction of the leaf spring due to the temperature change in the ambient atmosphere.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、車載用加速度計として用いて好適な弾性ばね支持方式振子型のサー ボ式加速度センサに関する。 The present invention relates to a pendulum type servo acceleration sensor of elastic spring supporting type suitable for use as an in-vehicle accelerometer.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

移動体に働く加速度に応じた振子の振れ変位を電気信号として取り出し、それ を振子に設けたトルカコイルに供給し、そのトルカコイルに発生する磁界と永久 磁石との間で作用する磁気力によって振子を元の位置に戻すように構成されてい るサーボ式加速度計が、たとえば実公昭59−26286号公報等により従来か ら知られている。 The swing displacement of the pendulum according to the acceleration acting on the moving body is extracted as an electric signal, which is supplied to the Toruca coil installed on the pendulum, and the pendulum is generated by the magnetic force acting between the magnetic field generated in the Toruca coil and the permanent magnet. A servo type accelerometer which is configured to return to the position is known from, for example, Japanese Utility Model Publication No. 59-26286.

【0003】 すなわち、従来この種のサーボ式加速度計は、アルミ板とこれに一体的に組み 付けられたコイルボビンに巻回されるトルカコイルとからなる振子を、加速度が 作用する方向に平行して配置し、かつこの振子を、架台から垂下して設けた一対 の弾性板ばねの自由端に保持させとともに、前記アルミ板の面に直交する方向に 永久磁石を配置し、さらにアルミ板に設けたスリットを介して振子の位置を確認 するLEDとフォトダイオードとからなる光センサを設けてなる構造となってい る。That is, conventionally, in this type of servo accelerometer, a pendulum composed of an aluminum plate and a torquer coil wound around a coil bobbin integrally assembled with the aluminum plate is arranged in parallel to the direction in which the acceleration acts. In addition, the pendulum is held by the free ends of a pair of elastic leaf springs suspended from the pedestal, and a permanent magnet is arranged in the direction orthogonal to the surface of the aluminum plate. The structure is such that an optical sensor consisting of an LED and a photodiode that confirms the position of the pendulum via the is provided.

【0004】 ところで、上述した従来装置では、弾性板ばねの自由端に、板ばねの延設方向 と直交する状態で前記振子を構成するアルミ板とトルカコイルとを配設し、これ に合わせて永久磁石等といった他の部材も配設していることから、デッドスペー スが多く、全体が大型化し易く、組立も面倒である等の不具合があった。By the way, in the above-mentioned conventional device, the aluminum plate and the torquer coil which constitute the pendulum are arranged at the free end of the elastic leaf spring in a state orthogonal to the extending direction of the leaf spring, and the permanent plate is attached to this. Since other members such as magnets are also arranged, there are many dead spaces, the entire size tends to be large, and assembly is troublesome.

【0005】 このため、本出願人は、特願平3−163368号等により、構成の簡素化と 組立性の向上、さらには全体の小型化を達成し得る加速度センサを先に提案して いる。Therefore, the present applicant has previously proposed an acceleration sensor capable of achieving simplification of the configuration, improvement of the assembling property, and further miniaturization of the whole according to Japanese Patent Application No. 3-163368. .

【0006】 すなわち、この加速度センサは、図7に示したように、振子1としてのトルカ コイル2を巻回したコイルボビン3とこれに付設したアルミ板4とを、垂直な状 態で加速度の作用する方向に平行に配設し、かつ前記コイルボビン3の両面側に 張り出させて設けた連結部3a,3aに対し、架台5に基端部6a,6aを固定 した状態で垂下させた一対の弾性板ばね6,6の自由端6b,6bを連結するよ うに構成し、これらの板ばね6,6を、前記加速度の作用する方向に弾性変形さ せることにより自由端6b,6bおよびこれに吊り下げた振子1を振子運動させ るようになっている。That is, in this acceleration sensor, as shown in FIG. 7, a coil bobbin 3 around which a torquer coil 2 as a pendulum 1 is wound and an aluminum plate 4 attached to the coil bobbin 3 are vertically actuated. With respect to the connecting portions 3a, 3a which are arranged in parallel with the coil bobbin 3 and project from both sides of the coil bobbin 3. The free ends 6b and 6b of the elastic leaf springs 6 and 6 are configured to be connected to each other, and these leaf springs 6 and 6 are elastically deformed in the direction in which the acceleration is applied to the free ends 6b and 6b and the free ends 6b and 6b. The pendulum 1 that has been suspended is made to perform a pendulum motion.

【0007】 そして、このような構成では、振子1の変位を検出する光センサ手段やトルカ コイル2と協働して磁気力を発生させる永久磁石(共に図示せず)を、振子1の 両側で板ばね6,6の配設スペース内に組込むことが可能で、全体の小型化を図 れるものであった。In such a configuration, a permanent magnet (both not shown) that cooperates with the optical sensor means for detecting the displacement of the pendulum 1 and the torquer coil 2 to generate a magnetic force is provided on both sides of the pendulum 1. The leaf springs 6 and 6 could be installed in the installation space, and the overall size could be reduced.

【0008】[0008]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

しかしながら、上述したような構造による加速度センサにおいて、実用面から 問題を生じている。 すなわち、上述したトルカコイル2が巻回されるコイルボビン3としては、合 成樹脂材を用いることが従来から一般的であるが、このコイルボビン3の連結部 3a,3aに連結される板ばね6,6の基端部6a,6aが固定されるばね保持 用の架台5は、金属材で形成することが一般的であった。 However, the acceleration sensor having the above-mentioned structure has a problem in practical use. That is, it has been common to use a synthetic resin material as the coil bobbin 3 around which the above-mentioned Toruca coil 2 is wound, but the leaf springs 6, 6 connected to the connecting portions 3a, 3a of the coil bobbin 3 are generally used. The base 5 for holding the spring, to which the base ends 6a, 6a are fixed, is generally made of a metal material.

【0009】 このような構造によれば、この加速度センサを使用する雰囲気温度が変化した 時に、両部材での線膨張係数の差によって、図8の(a) または(b) から明らかな ように、架台5または連結部3a,3aを有するコイルボビン3が図中矢印で示 すように伸び縮みし、これにより板ばね6,6が弾性変形する方向と直交する板 厚方向にハの字状に広げられたり、または逆に広げられたりし、結果として架台 5のばね取付面とコイルボビン3の連結部3a,3aにおけるばね取付面がねじ られるという問題を生じている。According to such a structure, when the ambient temperature in which this acceleration sensor is used changes, the difference between the linear expansion coefficients of both members makes it clear from (a) or (b) of FIG. The pedestal 5 or the coil bobbin 3 having the connecting portions 3a, 3a expands and contracts as shown by the arrows in the figure, and as a result, the leaf springs 6, 6 are formed into a V-shape in the plate thickness direction orthogonal to the elastically deforming direction. As a result, the spring mounting surface of the gantry 5 and the spring mounting surface of the connecting portions 3a, 3a of the coil bobbin 3 are twisted.

【0010】 そして、このような現象が生じると、加速度による振子1の変位に誤差が生じ 、センサとしての性能に悪影響を及ぼすもので、このような問題点を一掃し得る 何らかの対策を講じることが望まれている。 特に、このような問題は、加速度センサのように、振子1の微妙な動きを検知 することが必要である場合に、センサ性能に大きく影響するものであり、このよ うな板ばね6,6での無用な変位は一掃しなければならない。When such a phenomenon occurs, an error occurs in the displacement of the pendulum 1 due to the acceleration, which adversely affects the performance as a sensor, and some measures may be taken to eliminate such a problem. Is desired. In particular, such a problem has a great influence on the sensor performance when it is necessary to detect a subtle movement of the pendulum 1 as in the acceleration sensor. The useless displacement of must be wiped out.

【0011】 本考案はこのような事情に鑑みてなされたものであり、周囲雰囲気での温度変 化によっても、センサとしての性能を維持し得るサーボ式加速度センサを得るこ とを目的としている。The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to obtain a servo type acceleration sensor that can maintain the performance as a sensor even when the temperature changes in the ambient atmosphere.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

このような要請に応えるために本考案に係るサーボ式加速度センサは、架台に 対し基端部が固定されかつ自由端がトルカコイルのコイルボビンに設けられた連 結部に連結固定される一対をなす弾性板ばねを備えなり、これら各板ばねの基端 部および自由端が固定される架台とコイルボビンとを、熱膨張係数が同じ材質で 形成したものである。 In order to meet such a demand, the servo-type acceleration sensor according to the present invention has a pair of elastic members whose base end is fixed to a mount and whose free end is connected and fixed to a connecting part provided on a coil bobbin of a torquer coil. The leaf spring is provided, and the base and the coil bobbin to which the base end and the free end of each leaf spring are fixed are formed of a material having the same thermal expansion coefficient.

【0013】[0013]

【作用】[Action]

本考案によれば、弾性板ばねの基端部が固定される架台と、自由端が連結固定 されているコイルボビンとでの相対的な位置関係が、たとえ外部から熱を加えた としても、板ばねの面方向では多少変化するも、板ばねの板厚方向つまりこの板 ばねでにねじれを生じる方向では変化せず、温度変化に伴うセンサ性能の劣化を 防止し得るものである。 According to the present invention, the relative positional relationship between the pedestal to which the base end of the elastic leaf spring is fixed and the coil bobbin to which the free end is connected and fixed is such that, even if heat is applied from the outside, Although it changes slightly in the plane direction of the spring, it does not change in the plate thickness direction of the leaf spring, that is, in the direction in which the leaf spring is twisted, and it is possible to prevent deterioration of sensor performance due to temperature changes.

【0014】[0014]

【実施例】【Example】

図1ないし図6は本考案に係るサーボ式加速度センサの一実施例を示すもので あり、これらの図において、サーボ式加速度センサ10全体の概略構成を、図3 ないし図6を用いて簡単に説明する。 なお、上述した実施例では、前述した図7等と同一または相当する部分には、 同一番号を付して詳細な説明は省略する。 1 to 6 show an embodiment of a servo type acceleration sensor according to the present invention. In these figures, a schematic structure of the servo type acceleration sensor 10 as a whole is briefly described with reference to FIGS. 3 to 6. explain. In the above-described embodiment, the same or corresponding portions as those in FIG. 7 and the like described above are designated by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted.

【0015】 これらの図において、符号11は振子1に平行して配設されたマグネットプレ ートで、その内側面に一対の永久磁石12,12が、加速度の作用する方向に所 定間隔をおいて付設されている。そして、これらの永久磁石12,12は、アル ミ板4の左、右両側面部分にわずかな間隙をおいて対向し、かつそれぞれの磁極 が逆になるようになっている。In these drawings, reference numeral 11 is a magnet plate arranged in parallel with the pendulum 1, and a pair of permanent magnets 12, 12 are provided on the inner surface of the magnet plate at a predetermined interval in the direction in which acceleration acts. It is attached in advance. The permanent magnets 12 and 12 face the left and right side surfaces of the aluminum plate 4 with a slight gap therebetween, and their magnetic poles are opposite to each other.

【0016】 13はスペーサで、このスペーサ13には、前記永久磁石12,12間に位置 して光センサ手段の光源となるLED14が設けられている。Reference numeral 13 is a spacer, and the spacer 13 is provided with an LED 14 which is located between the permanent magnets 12 and 12 and serves as a light source of the optical sensor means.

【0017】 15は前記マグネットプレート11に対向して配設されその間に前記振子1が 配置されるプリント回路基板で、このプリント回路基板15には、図示を省略し たが、この加速度センサ10として必要な各種電気回路部品や配線等が設けられ ている。16はこのプリント回路基板15の内側に付設された磁性板材からなる ヨークで、このヨークの一部に形成された窓部には、前記LED14に対向して 光センサ手段となる二分割タイプのフォトダイオード17が受光素子として設け られている。Reference numeral 15 denotes a printed circuit board which is arranged so as to face the magnet plate 11 and the pendulum 1 is arranged between the magnet plate 11 and the printed circuit board 15. Necessary various electric circuit parts and wiring are provided. Reference numeral 16 denotes a yoke made of a magnetic plate material provided inside the printed circuit board 15. A window portion formed in a part of the yoke has a two-part type photo sensor which faces the LED 14 and serves as an optical sensor means. The diode 17 is provided as a light receiving element.

【0018】 図3等において18は前記振子1を構成するコイルボビン3とアルミ板4に穿 設されたスリットで、このスリット18を介してLED14からの光をフォトダ イオード17が選択的に検知することで生じる電気信号によって、振子1の変位 位置を検出する変位検出器が構成されている。In FIG. 3 and the like, reference numeral 18 denotes a slit formed in the coil bobbin 3 and the aluminum plate 4 which compose the pendulum 1, and the photodiode 17 selectively detects light from the LED 14 through the slit 18. A displacement detector that detects the displacement position of the pendulum 1 is configured by the electric signal generated at 1.

【0019】 以上の構成において、トルカコイル2とアルミ板4からなる振子1は、板ばね 6,6により支持されることにより、加速度の作用方向つまり図3および図5で 矢印で示した方向に揺動動作するようになっている。 また、上述した加速度センサ10は、マグネットプレート11、スペーサ13 、ヨーク16、プリント回路基板15を、その内部空間内に前記振子1を組込ん だ状態で積層し、ねじ等で一体化されることにより、全体が小型化された状態で 構成されている。In the above structure, the pendulum 1 including the torquer coil 2 and the aluminum plate 4 is supported by the leaf springs 6 and 6 to swing in the acting direction of acceleration, that is, the direction indicated by the arrow in FIGS. 3 and 5. It is designed to work dynamically. Further, in the above-described acceleration sensor 10, the magnet plate 11, the spacer 13, the yoke 16 and the printed circuit board 15 are laminated in a state where the pendulum 1 is incorporated in the internal space thereof and integrated by screws or the like. As a result, the entire system is miniaturized.

【0020】 さらに、上述した加速度センサ10では、図示は省略したが各種の抵抗や差動 増幅器によるサーボ増幅器からなる電気回路によって、光センサ手段によって得 られた電気信号に基づき、振子1を元の位置に戻すための電流をトルカコイル2 に与えるようになっており、またこのトルカコイル2に直列接続される抵抗の両 端に発生する電圧によって加速度の大きさを検出し得るようになっている。Further, in the acceleration sensor 10 described above, although not shown in the figure, an electric circuit including various resistors and a servo amplifier including a differential amplifier is used to generate the original pendulum 1 based on the electric signal obtained by the optical sensor means. A current for returning to the position is applied to the torquer coil 2, and the magnitude of acceleration can be detected by the voltage generated at both ends of the resistor connected in series with the torquer coil 2.

【0021】 ここで、上述した構成による加速度センサ10では、図5中で想像線矢印で示 したように、一方の永久磁石12からアルミ板4、トルカコイル2、ヨーク16 、トルカコイル2、アルミ板4、他方の永久磁石12、マグネットプレート11 によって磁束のループが形成されている。 そして、振子1は図中矢印方向に移動し、かつ加速度が加わることによって光 センサ手段(14,17)から発生している位置信号が変化する。そして、この 信号変化がサーボ増幅器を介してトルカコイル2に供給されると、トルカコイル 2に流れる電流と磁界との間で磁気力が作用し、振子1を元に戻す力が作用する 。したがって、実際の振子1が移動する距離は極めて小さな距離となる。また、 トルカコイル2に直列接続されている抵抗の両端には検出した加速度に対応した 電圧が発生する。Here, in the acceleration sensor 10 having the above-described configuration, as shown by an imaginary line arrow in FIG. 5, one permanent magnet 12 to the aluminum plate 4, the torquer coil 2, the yoke 16, the torquer coil 2, and the aluminum plate 4 are provided. A magnetic flux loop is formed by the other permanent magnet 12 and the magnet plate 11. Then, the pendulum 1 moves in the direction of the arrow in the drawing, and the position signal generated from the optical sensor means (14, 17) changes due to the acceleration applied. When this signal change is supplied to the torquer coil 2 via the servo amplifier, a magnetic force acts between the current flowing through the torquer coil 2 and the magnetic field, and a force for returning the pendulum 1 to the original state acts. Therefore, the actual distance traveled by the pendulum 1 is extremely small. In addition, a voltage corresponding to the detected acceleration is generated at both ends of the resistor connected in series to the Toruca coil 2.

【0022】 さて、本考案によれば、上述したサーボ式加速度センサ10において、マグネ ットプレート11等に一部がねじ止めされている架台5に対し基端部6aが固定 されかつ自由端6bがトルカコイル2のコイルボビン3に設けた連結部3a,3 aに連結固定されている一対をなす弾性板ばね6,6における基端部および自由 端が固定される架台5とコイルボビン3とを、熱膨張係数が同一となる材質で形 成するようにしたところに特徴を有している。 なお、図中20は板ばね6,6の基端部6a,6aを架台5に対して圧接して 固定される押えプレートで、ねじ21等によって架台5に一体的に固定されてい る。この押えプレート20も、上述した架台5と同一材料で形成するとよい。 また、図中22はコイルボビン3の連結部3a,3aに板ばね6,6の自由端 6b,6bを締結固定するねじである。According to the present invention, in the servo type acceleration sensor 10 described above, the base end 6a is fixed and the free end 6b is fixed by the torquer coil to the mount 5 which is partially screwed to the magnet plate 11 and the like. The coil bobbin 3 and the pedestal 5 to which the base ends and the free ends of the pair of elastic leaf springs 6 and 6 that are fixedly connected to the connecting portions 3a and 3a provided on the second coil bobbin 3 are fixed. The feature is that they are made of the same material. Reference numeral 20 in the drawing denotes a pressing plate which is fixed by pressing the base end portions 6a, 6a of the leaf springs 6, 6 to the pedestal 5 and is fixed integrally to the pedestal 5 with screws 21 or the like. The holding plate 20 may also be formed of the same material as the gantry 5 described above. Reference numeral 22 in the drawing denotes a screw for fastening and fixing the free ends 6b, 6b of the leaf springs 6, 6 to the connecting portions 3a, 3a of the coil bobbin 3.

【0023】 ここで、上述した架台5とコイルボビン3を形成する材料としては、たとえば PGT−G30(ガラス30%入りポリブチレンテレフタレート樹脂)等を用い るとよいことが、実験により確認されている。しかし、これに限定されず、それ 以外の材料であってもよいもので、要は熱膨張係数の同じものを用いるとよいも のである。Here, it has been confirmed by experiments that PGT-G30 (polybutylene terephthalate resin containing 30% glass) or the like may be used as a material for forming the mount 5 and the coil bobbin 3 described above. However, the material is not limited to this, and other materials may be used as long as they have the same coefficient of thermal expansion.

【0024】 このような構成によれば、弾性板ばね6,6の基端部6aが固定される架台5 や押えプレート20と、自由端6bが連結固定されているコイルボビン3とでの 相対的な位置関係が、たとえ外部から熱を加えたとしても、板ばね6の面方向で は多少変化するも、板ばね6の板厚方向つまりこの板ばね6でにねじれを生じる 方向では変化せず、周囲雰囲気での温度変化に伴うセンサ性能の劣化を確実に防 止し得るものである。According to this structure, the pedestal 5 and the pressing plate 20 to which the base ends 6a of the elastic leaf springs 6 and 6 are fixed and the coil bobbin 3 to which the free end 6b is fixedly connected are relatively disposed. However, even if heat is applied from the outside, it does not change in the plate thickness direction of the plate spring 6, that is, in the direction in which the plate spring 6 is twisted, although it changes slightly in the plane direction of the plate spring 6. The sensor performance can be reliably prevented from deteriorating due to temperature changes in the ambient atmosphere.

【0025】 なお、本考案は上述した実施例構造には限定されず、サーボ式加速度センサ1 0各部の形状、構造等を適宜変形、変更し得ることは言うまでもない。It is needless to say that the present invention is not limited to the structure of the embodiment described above, and the shape, structure, etc. of each part of the servo type acceleration sensor 10 can be appropriately modified or changed.

【0026】[0026]

【考案の効果】[Effect of device]

以上説明したように本考案に係るサーボ式加速度センサによれば、架台に対し 基端部が固定されかつ自由端がトルカコイルのコイルボビンに設けられた連結部 に連結固定される一対をなす弾性板ばねを備えなり、これら各板ばねの基端部お よび自由端が固定される架台とコイルボビンとを、熱膨張係数が同じ材質で形成 したので、簡単な構成にもかかわらず、弾性板ばねの基端部が固定される架台と 、自由端が連結固定されているコイルボビンとでの相対的な位置関係は、たとえ 外部から熱を加えたとしても、板ばねの面方向では多少変化するも、板ばねの板 厚方向つまりこの板ばねでにねじれを生じる方向では変化せず、従来のような温 度変化に伴うセンサ性能の劣化を確実に防止し得るという実用上種々優れた効果 がある。 As described above, according to the servo type acceleration sensor of the present invention, a pair of elastic leaf springs whose base end is fixed to the mount and whose free end is connected and fixed to the connecting part provided on the coil bobbin of the torquer coil is provided. Since the base and the coil bobbin to which the base end and the free end of each leaf spring are fixed are made of a material having the same coefficient of thermal expansion, the base of the elastic leaf spring is formed despite the simple structure. The relative positional relationship between the pedestal whose ends are fixed and the coil bobbin whose free ends are connected and fixed varies in the plane direction of the leaf spring even if heat is applied from the outside. It does not change in the plate thickness direction of the spring, that is, in the direction in which twisting occurs in this plate spring, and it has various practically excellent effects that it is possible to reliably prevent deterioration of sensor performance due to temperature changes as in the past.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案に係るサーボ式加速度センサの一実施例
を示す振子および弾性板ばねによる支持部の概略図であ
る。
FIG. 1 is a schematic view of a pendulum and an elastic plate spring supporting portion showing an embodiment of a servo-type acceleration sensor according to the present invention.

【図2】図1の概略側面図である。FIG. 2 is a schematic side view of FIG.

【図3】サーボ式加速度センサ全体の概略構成を説明す
るための要部正面図である。
FIG. 3 is a front view of a main part for explaining a schematic configuration of the entire servo type acceleration sensor.

【図4】図3の要部構成を示す側断面図である。FIG. 4 is a side sectional view showing a configuration of a main part of FIG.

【図5】図3を平面方向から見た振子部分の概略平面図
である。
5 is a schematic plan view of a pendulum portion when FIG. 3 is viewed from the plane direction.

【図6】図3を平面方向から見た振子を吊り下げ支持す
る弾性板ばね部分の概略平面図である。
FIG. 6 is a schematic plan view of an elastic leaf spring portion for suspending and supporting a pendulum as seen in the plan view of FIG.

【図7】加速度センサの従来例を示す振子および弾性板
ばねによる支持部を示す概略図である。
FIG. 7 is a schematic view showing a pendulum and a support portion by elastic plate springs showing a conventional example of an acceleration sensor.

【図8】図7に示した加速度センサにおいて温度変化を
受けたときの不具合を(a),(b)に示した概略説明図であ
る。
8A and 8B are schematic explanatory views showing a problem when the acceleration sensor shown in FIG. 7 is subjected to a temperature change, shown in FIGS.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 振子 2 トルカコイル 3 コイルボビン 3a 連結部 4 アルミ板 5 架台 6 弾性板ばね 6a 基端部 6b 自由端 10 サーボ式加速度センサ 11 マグネットプレート 12 永久磁石 13 スペーサ 14 LED 15 プリント回路基板 16 ヨーク 17 フォトダイオード 18 スリット 20 押えプレート 21 ねじ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pendulum 2 Toruca coil 3 Coil bobbin 3a Connection part 4 Aluminum plate 5 Frame 6 Elastic leaf spring 6a Base end part 6b Free end 10 Servo type acceleration sensor 11 Magnet plate 12 Permanent magnet 13 Spacer 14 LED 15 Printed circuit board 16 Yoke 17 Photodiode 18 Slit 20 Presser plate 21 Screw

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 加速度に応じた振子の変位を検出し、そ
の検出信号をトルカコイルに供給して振子を元の方向に
駆動するとともに、この検出信号の値で加速度を表すサ
ーボ式加速度センサにおいて、 架台に対し基端部が固定されるとともに自由端が前記ト
ルカコイルのコイルボビンに突設された連結部に連結固
定されている一対の弾性板ばねを備えてなり、これら各
弾性板ばねの基端部および自由端が固定される架台とコ
イルボビンとを、熱膨張係数が同一となる材質で形成し
たことを特徴とするサーボ式加速度センサ。
1. A servo-type acceleration sensor that detects a displacement of a pendulum according to acceleration, supplies the detection signal to a torquer coil to drive the pendulum in the original direction, and represents acceleration by the value of this detection signal. The base end portion is fixed to the gantry, and the free end is provided with a pair of elastic leaf springs connected and fixed to a connecting portion protruding from the coil bobbin of the torquer coil. The base end portions of each elastic leaf spring are provided. A servo-type acceleration sensor, characterized in that the pedestal to which the free end is fixed and the coil bobbin are made of a material having the same thermal expansion coefficient.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61180195U (en) * 1985-04-27 1986-11-10

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