JPH0622477Y2 - 自動給水式超音波洗浄装置 - Google Patents
自動給水式超音波洗浄装置Info
- Publication number
- JPH0622477Y2 JPH0622477Y2 JP13401888U JP13401888U JPH0622477Y2 JP H0622477 Y2 JPH0622477 Y2 JP H0622477Y2 JP 13401888 U JP13401888 U JP 13401888U JP 13401888 U JP13401888 U JP 13401888U JP H0622477 Y2 JPH0622477 Y2 JP H0622477Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water supply
- cleaning
- tank
- ultrasonic cleaning
- supply pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Loading And Unloading Of Fuel Tanks Or Ships (AREA)
- Joints Allowing Movement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は一槽のみで精密洗浄を可能にする自動給水式超
音波洗浄装置に関する。
音波洗浄装置に関する。
〔従来技術〕 小型部品の精密洗浄、特に半導体などのような洗浄にお
いては、精密な洗浄を要するため、常に清浄な洗浄液中
での洗浄が必要で、洗浄工程を分けた多槽式洗浄方式や
多段式洗浄方式、などが知られている。多槽式洗浄方式
としては多槽に洗浄工程を分け、必要に応じ超音波洗浄
や攪拌洗浄の使い分けをし洗浄を仕上げて行くものであ
り多段式洗浄方式としては多槽式の変形で、清浄な洗浄
液を上段に供給し下段に向って次々にオーバーフローさ
せてゆき、洗浄物を下段から順次上段へと進め洗浄を仕
上げて行くものである。しかしながら、これらの方式に
おいては、通常上部からの給水であるため、洗浄容器底
に沈澱する汚物までは効率よく取り除くことは難しいと
いう欠点や多槽式であるため、広いスペースが必要とい
う場所的欠点、被洗浄物を槽から槽への入替え中に発生
すると考えられる被洗浄物の酸化問題、さらに省人化に
必要な洗浄容器あるいは被洗浄物の移動機構や、複雑な
過配管機構などが、必要となり、経済面においても問
題があった。
いては、精密な洗浄を要するため、常に清浄な洗浄液中
での洗浄が必要で、洗浄工程を分けた多槽式洗浄方式や
多段式洗浄方式、などが知られている。多槽式洗浄方式
としては多槽に洗浄工程を分け、必要に応じ超音波洗浄
や攪拌洗浄の使い分けをし洗浄を仕上げて行くものであ
り多段式洗浄方式としては多槽式の変形で、清浄な洗浄
液を上段に供給し下段に向って次々にオーバーフローさ
せてゆき、洗浄物を下段から順次上段へと進め洗浄を仕
上げて行くものである。しかしながら、これらの方式に
おいては、通常上部からの給水であるため、洗浄容器底
に沈澱する汚物までは効率よく取り除くことは難しいと
いう欠点や多槽式であるため、広いスペースが必要とい
う場所的欠点、被洗浄物を槽から槽への入替え中に発生
すると考えられる被洗浄物の酸化問題、さらに省人化に
必要な洗浄容器あるいは被洗浄物の移動機構や、複雑な
過配管機構などが、必要となり、経済面においても問
題があった。
本考案の目的は上記欠点を解消し少いスペースで自動的
に精密な洗浄を行うことのできる自動給水式超音波洗浄
装置を提供することにある。
に精密な洗浄を行うことのできる自動給水式超音波洗浄
装置を提供することにある。
本考案は上記の問題点を解決するために、超音波発生振
動子を載置した超音波洗浄本槽と、該槽内に設けられ洗
浄液を満たして被洗浄物を浸漬する洗浄内槽と、該洗浄
内槽に洗浄液を給水する給水配管と、前記本槽からのオ
ーバーフロー液を排出する排出構造とを有し、前記給水
配管の先端部分が伸縮自在に構成され、かつ該給水配管
に電磁弁を装着して時分割方式で該電磁弁を開閉するこ
とにより自動制御給水できるようにした点に特徴があ
る。
動子を載置した超音波洗浄本槽と、該槽内に設けられ洗
浄液を満たして被洗浄物を浸漬する洗浄内槽と、該洗浄
内槽に洗浄液を給水する給水配管と、前記本槽からのオ
ーバーフロー液を排出する排出構造とを有し、前記給水
配管の先端部分が伸縮自在に構成され、かつ該給水配管
に電磁弁を装着して時分割方式で該電磁弁を開閉するこ
とにより自動制御給水できるようにした点に特徴があ
る。
第１図は本考案装置の一実施例を示す図で超音波発生振
動子１を載置した超音波洗浄本槽２、超音波防音用カバ
ー３、被洗浄物４を浸漬する洗浄内槽５、洗浄内槽５の
位置を、指定するための位置決めプレート６、部品７〜
１１で構成されるカバー昇降機部品１２〜１７で構成さ
れる給水配管より構成される。
動子１を載置した超音波洗浄本槽２、超音波防音用カバ
ー３、被洗浄物４を浸漬する洗浄内槽５、洗浄内槽５の
位置を、指定するための位置決めプレート６、部品７〜
１１で構成されるカバー昇降機部品１２〜１７で構成さ
れる給水配管より構成される。
超音波洗浄本槽２は位置決めプレート６により区切られ
この区切られた場所に洗浄内槽５が設置されている。該
洗浄内槽５の上端はしきり板１９よりも上部になるよう
に設置されており、該洗浄内槽５のオーバーフロー液が
該本槽２の中へ落下するようにされている。該洗浄内槽
５の底部に近づけて給水先端部分１８がとり付けられて
いる。超音波発生振動子１は本槽２の底部に設置されて
いる。該本槽２の上面には防音カバー３が乗せられてお
り、洗浄装置を密閉するようになっているが、給水配管
１２は該カバー３を貫通して設置されている。
この区切られた場所に洗浄内槽５が設置されている。該
洗浄内槽５の上端はしきり板１９よりも上部になるよう
に設置されており、該洗浄内槽５のオーバーフロー液が
該本槽２の中へ落下するようにされている。該洗浄内槽
５の底部に近づけて給水先端部分１８がとり付けられて
いる。超音波発生振動子１は本槽２の底部に設置されて
いる。該本槽２の上面には防音カバー３が乗せられてお
り、洗浄装置を密閉するようになっているが、給水配管
１２は該カバー３を貫通して設置されている。
該給水配管の先端部分１８が第２図にしめすように、ス
リットを有する固定パイプ２１に該固定パイプ内径よ
り、やや小さい外径を有する可動パイプ２２を差し込
み、スプリングピン２３を該固定パイプ２１のスリット
部分から貫通させて、両方のパイプを接続し、スリット
長の範囲で該可動パイプ２２を可動して調節できる。
リットを有する固定パイプ２１に該固定パイプ内径よ
り、やや小さい外径を有する可動パイプ２２を差し込
み、スプリングピン２３を該固定パイプ２１のスリット
部分から貫通させて、両方のパイプを接続し、スリット
長の範囲で該可動パイプ２２を可動して調節できる。
給水配管１２は該カバー支持枠８に固定されており、該
給水先端部分１８はカバー３を貫通して取りつけられて
いる。給水経路は第３図に示すように配管され、それぞ
れの電磁弁１６を電磁弁開閉制御装置２４によって第４
図に示すように被洗浄物に応じたタイミングと任意に時
分割で開閉せしめる機能を有している。
給水先端部分１８はカバー３を貫通して取りつけられて
いる。給水経路は第３図に示すように配管され、それぞ
れの電磁弁１６を電磁弁開閉制御装置２４によって第４
図に示すように被洗浄物に応じたタイミングと任意に時
分割で開閉せしめる機能を有している。
尚、本実施例では１分岐管に４給水端末部を設けた４分
岐管法を採用しているため一度に１６個の同時洗浄をせ
しめる設計としているが必要に応じた数量設計をしても
一向に差支えない。
岐管法を採用しているため一度に１６個の同時洗浄をせ
しめる設計としているが必要に応じた数量設計をしても
一向に差支えない。
一方、排水においては第１図超音波洗浄本槽２内のしき
り板１９により、該超音波本槽２の水位がある位置まで
到達するとオーバーフローして排水口２０から槽外へ排
水される構造となっている。
り板１９により、該超音波本槽２の水位がある位置まで
到達するとオーバーフローして排水口２０から槽外へ排
水される構造となっている。
本装置を作用させるには、まずカバーロックレバー１１
を解除しカバー３を上昇さす。次に、ロックブロック９
にロックし該カバー３が下へ落ちない様にする。そして
位置決めプレート６で指定する場所に被洗浄物４を入れ
た洗浄内槽５を置き、カバー３のロックを解除、下へお
ろし、ロックブロック１０にロックしてふたをする。こ
のとき給水先端部分１８が洗浄内槽５内の被洗浄物４に
触れるが、自由に上・下にスライドできるので被洗浄物
４を破損させたり、カバー３がつかえてふたができない
という心配は解消されている。次に電磁開閉装置２４に
おいて、各電磁弁の開閉回数、閉弁時間（Ｔ１），開弁
時間（Ｔ２）をそれぞれ設定し、装置を作動させる。こ
れにより装置は自動で第４図のタイミングで電磁弁が開
閉し、給水が行なわれ、洗浄内槽５の底近くにある給水
端末部１８の出口から洗浄液が噴出して底に沈澱してい
た汚物を舞き上げながらオーバーフローが実行される。
この時、被洗浄物によって、水圧及び水量を制御するこ
とも可能である。設定した開閉回数に達すると装置は自
動的に停止し動作が完了する。尚、洗浄液は必ずしも水
でなくとも良く、液の種類に応じて配管の材質を変更す
ることにより一般に用いる液全てに適用可能である。
を解除しカバー３を上昇さす。次に、ロックブロック９
にロックし該カバー３が下へ落ちない様にする。そして
位置決めプレート６で指定する場所に被洗浄物４を入れ
た洗浄内槽５を置き、カバー３のロックを解除、下へお
ろし、ロックブロック１０にロックしてふたをする。こ
のとき給水先端部分１８が洗浄内槽５内の被洗浄物４に
触れるが、自由に上・下にスライドできるので被洗浄物
４を破損させたり、カバー３がつかえてふたができない
という心配は解消されている。次に電磁開閉装置２４に
おいて、各電磁弁の開閉回数、閉弁時間（Ｔ１），開弁
時間（Ｔ２）をそれぞれ設定し、装置を作動させる。こ
れにより装置は自動で第４図のタイミングで電磁弁が開
閉し、給水が行なわれ、洗浄内槽５の底近くにある給水
端末部１８の出口から洗浄液が噴出して底に沈澱してい
た汚物を舞き上げながらオーバーフローが実行される。
この時、被洗浄物によって、水圧及び水量を制御するこ
とも可能である。設定した開閉回数に達すると装置は自
動的に停止し動作が完了する。尚、洗浄液は必ずしも水
でなくとも良く、液の種類に応じて配管の材質を変更す
ることにより一般に用いる液全てに適用可能である。
上述のように本考案の装置によれば、被洗浄物を載置し
た洗浄内槽底に近い位置から清浄な洗浄液を噴出給水す
るため該洗浄内槽底に沈澱する汚物を効率よくオーバー
フロー処理でき正確で且つ精密な洗浄が単槽において実
行できる。また給水システムにおいても、被洗物に応じ
た給水圧力及び給水時間が任意にプログラムでき多品種
に適用できる。更に本装置で採用した時分割給水方式に
よって、給水に必要な供給設備能力を最小限に抑えるこ
とができる等、格別の手段を要することなく自動で且つ
正確・精密な洗浄を行うことができ、実用的価値を極め
て大である。
た洗浄内槽底に近い位置から清浄な洗浄液を噴出給水す
るため該洗浄内槽底に沈澱する汚物を効率よくオーバー
フロー処理でき正確で且つ精密な洗浄が単槽において実
行できる。また給水システムにおいても、被洗物に応じ
た給水圧力及び給水時間が任意にプログラムでき多品種
に適用できる。更に本装置で採用した時分割給水方式に
よって、給水に必要な供給設備能力を最小限に抑えるこ
とができる等、格別の手段を要することなく自動で且つ
正確・精密な洗浄を行うことができ、実用的価値を極め
て大である。
第１図は本発明の一実施例の断面図である。第２図は本
発明の給水先端部分の透視図、第３図は給水経路図、第
４図は電磁弁開閉プログラム図である。 １……振動子、２……超音波洗浄本槽、３……防音カバ
ー、４……被洗浄物、５……洗浄内槽、６……位置決め
プレート、７……フレーム、８……カバー支持枠、９，
１０……ロックブロック、１１……カバーロックレバ
ー、１２……給水配管、１３，１４……バルブ、１５…
…流量計、１６……電磁弁、１７……給水フレキシブル
パイプ、１８……給水先端部分、１９……しきり板、２
０……排水口、２１……固定パイプ、２２……可動パイ
プ、２３……スプリングピン、２４……電磁弁開閉制御
装置。
発明の給水先端部分の透視図、第３図は給水経路図、第
４図は電磁弁開閉プログラム図である。 １……振動子、２……超音波洗浄本槽、３……防音カバ
ー、４……被洗浄物、５……洗浄内槽、６……位置決め
プレート、７……フレーム、８……カバー支持枠、９，
１０……ロックブロック、１１……カバーロックレバ
ー、１２……給水配管、１３，１４……バルブ、１５…
…流量計、１６……電磁弁、１７……給水フレキシブル
パイプ、１８……給水先端部分、１９……しきり板、２
０……排水口、２１……固定パイプ、２２……可動パイ
プ、２３……スプリングピン、２４……電磁弁開閉制御
装置。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−109322（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−154424（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−246826（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−264226（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−71133（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−130390（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−194335（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−188991（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭53−75970（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】超音波発生振動子を載置した超音波洗浄本
槽と、該槽内に設けられ洗浄液を満たして被洗浄物を浸
漬する洗浄内槽と、該洗浄内槽に洗浄液を給水する給水
配管と、前記本槽からのオーバーフロー液を排出する排
水構造とを有し、前記給水配管の先端部分が伸縮自在に
構成され、かつ該給水配管に電磁弁を装着して時分割方
式で該電磁弁を開閉することにより自動制御給水できる
ようにしたことを特徴とする自動給水式超音波洗浄装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13401888U JPH0622477Y2 (ja) | 1988-10-15 | 1988-10-15 | 自動給水式超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13401888U JPH0622477Y2 (ja) | 1988-10-15 | 1988-10-15 | 自動給水式超音波洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0257195U JPH0257195U (ja) | 1990-04-25 |
| JPH0622477Y2 true JPH0622477Y2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=31392409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13401888U Expired - Fee Related JPH0622477Y2 (ja) | 1988-10-15 | 1988-10-15 | 自動給水式超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0622477Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-10-15 JP JP13401888U patent/JPH0622477Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0257195U (ja) | 1990-04-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |