JPH06226020A - 石英ガラス製濾過装置 - Google Patents
石英ガラス製濾過装置Info
- Publication number
- JPH06226020A JPH06226020A JP5021059A JP2105993A JPH06226020A JP H06226020 A JPH06226020 A JP H06226020A JP 5021059 A JP5021059 A JP 5021059A JP 2105993 A JP2105993 A JP 2105993A JP H06226020 A JPH06226020 A JP H06226020A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- section
- filter
- quartz glass
- filtration
- liquefying
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- Filtering Materials (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 不純物イオン、ダストが非常に少ない高品質
の半導体プロセスなどに使用される気体および薬液や純
水などの液体が得られる石英ガラス製濾過装置を提供す
ることを目的とする。 【構成】 液体を気体にする気化部、濾過を行う濾過
部、気体を液化させる液化部からなる濾過装置におい
て、前記各部と被濾過流体の経路部が、すべて石英ガラ
スから成ることを特徴とする石英ガラス製濾過装置、も
しくは、前記濾過部が保温されていることを特徴とする
石英ガラス製濾過装置
の半導体プロセスなどに使用される気体および薬液や純
水などの液体が得られる石英ガラス製濾過装置を提供す
ることを目的とする。 【構成】 液体を気体にする気化部、濾過を行う濾過
部、気体を液化させる液化部からなる濾過装置におい
て、前記各部と被濾過流体の経路部が、すべて石英ガラ
スから成ることを特徴とする石英ガラス製濾過装置、も
しくは、前記濾過部が保温されていることを特徴とする
石英ガラス製濾過装置
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】半導体プロセスなどで、不純物の
混入が少なく、異物の少ない薬液を得るための濾過装置
として使用される石英ガラス製濾過装置に関する。
混入が少なく、異物の少ない薬液を得るための濾過装置
として使用される石英ガラス製濾過装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体プロセスで、使用される気体およ
び薬液や純水などの液体は、不純物イオンやダストの非
常に少ない高品質のものが要求されているので、フィル
ターに薬液を圧送してダストを除去している。
び薬液や純水などの液体は、不純物イオンやダストの非
常に少ない高品質のものが要求されているので、フィル
ターに薬液を圧送してダストを除去している。
【０００３】従来液体用として用いられてきたフィルタ
ーとしては、樹脂フィルターがある。 しかしながら、
圧送に使用するポンプ摺動部から微細なダストが混入し
たり、ポンプや配管材から不純物元素が溶出するという
問題があった。
ーとしては、樹脂フィルターがある。 しかしながら、
圧送に使用するポンプ摺動部から微細なダストが混入し
たり、ポンプや配管材から不純物元素が溶出するという
問題があった。
【０００４】特にフィルターとして広く用いられている
樹脂フィルターでは有機物の混入が大きな問題となって
いる。
樹脂フィルターでは有機物の混入が大きな問題となって
いる。
【０００５】また、高圧の液体を樹脂フィルター面に流
し濾過するので、圧力によって孔径が開きダストを逃し
やすいという欠点があった。
し濾過するので、圧力によって孔径が開きダストを逃し
やすいという欠点があった。
【０００６】石英ガラスを用いた薬液濾過では、樹脂フ
ィルターでの問題点は解決されたが、ポンプなどの石英
ガラス以外の濾過装置材料からの不純物元素混入が問題
となっていた。
ィルターでの問題点は解決されたが、ポンプなどの石英
ガラス以外の濾過装置材料からの不純物元素混入が問題
となっていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
石英ガラスを用いた濾過装置では、石英ガラス以外の濾
過装置材料から不純物元素が混入するという問題があっ
た。
石英ガラスを用いた濾過装置では、石英ガラス以外の濾
過装置材料から不純物元素が混入するという問題があっ
た。
【０００８】本発明者らは、かかる従来の問題を解決す
るため鋭意検討をすすめたところ、石英ガラスの高純
度、高耐薬品性という特徴を活かし、被濾過流体の経路
を全て石英ガラスとすることによって溶出元素による汚
染をなくし、また、発塵源となりやすいポンプや継ぎ手
（石英ガラスは溶接が容易であり、継ぎ手が実質上必要
でなくなる。）を廃すことを見出だした。
るため鋭意検討をすすめたところ、石英ガラスの高純
度、高耐薬品性という特徴を活かし、被濾過流体の経路
を全て石英ガラスとすることによって溶出元素による汚
染をなくし、また、発塵源となりやすいポンプや継ぎ手
（石英ガラスは溶接が容易であり、継ぎ手が実質上必要
でなくなる。）を廃すことを見出だした。
【０００９】本発明は、かかる知見に基づいてなされた
もので、不純物イオン、ダストが非常に少ない高品質の
半導体プロセスなどに使用される気体および薬液や純水
などの液体が得られる石英ガラス製濾過装置を提供する
ことを目的とする。
もので、不純物イオン、ダストが非常に少ない高品質の
半導体プロセスなどに使用される気体および薬液や純水
などの液体が得られる石英ガラス製濾過装置を提供する
ことを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の石英ガラス製濾
過装置は、液体を気体にする気化部、濾過を行う濾過
部、気体を液化させる液化部からなる濾過装置におい
て、前記各部と被濾過流体の経路部が、すべて石英ガラ
スから成ることを特徴とし、もしくは、前記濾過部が保
温されていることを特徴としている。
過装置は、液体を気体にする気化部、濾過を行う濾過
部、気体を液化させる液化部からなる濾過装置におい
て、前記各部と被濾過流体の経路部が、すべて石英ガラ
スから成ることを特徴とし、もしくは、前記濾過部が保
温されていることを特徴としている。
【００１１】具体的には、次のようなプロセスからなる
濾過装置である。
濾過装置である。
【００１２】1) 液体を気化させる。
【００１３】2) 石英ガラスフィルターで濾過する。
【００１４】3) 気体を液化させる。
【００１５】各プロセスを詳細に説明する。
【００１６】1) 気化部 液体を気化させるプロセスであり、石英ガラス製容器か
らなる。石英ガラス製容器内に目的とする液体を入れ、
気化させ、石英ガラスチューブでフィルターとつながっ
ている。
らなる。石英ガラス製容器内に目的とする液体を入れ、
気化させ、石英ガラスチューブでフィルターとつながっ
ている。
【００１７】その方法としては、液化プロセス部からの
減圧や加熱容器外部から加熱するいずれの方法でもよ
く、両者の併用も効率的である。また、超音波振動子な
どによってミスト化し、これを濾過部に送ることもでき
る。
減圧や加熱容器外部から加熱するいずれの方法でもよ
く、両者の併用も効率的である。また、超音波振動子な
どによってミスト化し、これを濾過部に送ることもでき
る。
【００１８】2) 濾過部 濾過を行うプロセスであり、石英ガラス製フィルターか
らなる。
らなる。
【００１９】気化した液体は、気化部と液化化部の差圧
によってフィルターを通過し、濾過される。また、濾過
面で液化すると濾過能力が非常に低下するので、濾過能
力低下を防止するため濾過部を加熱し保温することが好
ましい。
によってフィルターを通過し、濾過される。また、濾過
面で液化すると濾過能力が非常に低下するので、濾過能
力低下を防止するため濾過部を加熱し保温することが好
ましい。
【００２０】通常の薬液濾過では、発塵源となりやすい
圧送用ポンプが必要であるが、本発明の石英ガラス製濾
過装置は、濾過圧をかけるためのポンプ等の装置を必要
としない。
圧送用ポンプが必要であるが、本発明の石英ガラス製濾
過装置は、濾過圧をかけるためのポンプ等の装置を必要
としない。
【００２１】3) 液化部 液化を行うプロセスであり、石英ガラス製薬液槽からな
る。気化した液体を冷却し液化させ、これを薬液槽に回
収する。
る。気化した液体を冷却し液化させ、これを薬液槽に回
収する。
【００２２】4) その他 被濾過流体の経路部は石英ガラス製からなる。
【００２３】
【作用】気化部、濾過部、液化部と被濾過流体の経路を
全て石英ガラスとすることにより溶出元素による汚染を
なくし、また、発塵源となりやすいポンプや継ぎ手を廃
することができる。また濾過部を保温することにより濾
過能力の低下を防止できる。
全て石英ガラスとすることにより溶出元素による汚染を
なくし、また、発塵源となりやすいポンプや継ぎ手を廃
することができる。また濾過部を保温することにより濾
過能力の低下を防止できる。
【００２４】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【００２５】実施例 図１は本発明の実施例の薬液用石英ガラス製濾過装置を
模式的に示す断面図である。
模式的に示す断面図である。
【００２６】この図において、気化部は薬液タンク１、
ヒーター２、薬液投入口３、安全弁４、測温センサー５
で構成され、濾過部はフィルター６、保温ヒーター７で
構成され、液化部は冷却管８、回収タンク９、排出弁１
０、圧力計１１、トラップ１２で構成されており、これ
ら気化部、濾過部、液化部と被濾過流体の経路をすべて
石英ガラスとした石英ガラス製濾過装置を製作した。
ヒーター２、薬液投入口３、安全弁４、測温センサー５
で構成され、濾過部はフィルター６、保温ヒーター７で
構成され、液化部は冷却管８、回収タンク９、排出弁１
０、圧力計１１、トラップ１２で構成されており、これ
ら気化部、濾過部、液化部と被濾過流体の経路をすべて
石英ガラスとした石英ガラス製濾過装置を製作した。
【００２７】このようにして製作した石英ガラス製濾過
装置を使用して、35％塩酸を濾過した。フィルター細孔
径は0.1 μｍ、フィルター濾過面積は87ｃｍ2 で、気化
部の温度250 ℃とし、液化部側から3 torrに減圧し、15
リットルの塩酸を4 時間で濾過した。
装置を使用して、35％塩酸を濾過した。フィルター細孔
径は0.1 μｍ、フィルター濾過面積は87ｃｍ2 で、気化
部の温度250 ℃とし、液化部側から3 torrに減圧し、15
リットルの塩酸を4 時間で濾過した。
【００２８】濾過前後のパーティクル数（濾過後、一日
静置し、レーザー回折式パーティクルカウンターで測
定）を表１に示す。
静置し、レーザー回折式パーティクルカウンターで測
定）を表１に示す。
【００２９】表１から明らかなように、0.5 μｍ以上の
パーティクルは完全に除去されており、0.2 μｍ以上の
パーティクルも殆ど除去されている。保温温度250 ℃の
酸性ガスに耐え得る材質はセラミックスだけであった。
また、純度の変化を表３に示す。明らかに濾過によって
不純物汚染は起こっていないことが分かる。
パーティクルは完全に除去されており、0.2 μｍ以上の
パーティクルも殆ど除去されている。保温温度250 ℃の
酸性ガスに耐え得る材質はセラミックスだけであった。
また、純度の変化を表３に示す。明らかに濾過によって
不純物汚染は起こっていないことが分かる。
【００３０】比較例 濾過部のフィルター６にアルミナ製フィルター（端面は
ガラスシールされている）、ハウジング（図示せず）に
内面をフッ素樹脂コートしたＳＵＳ316 、パッキンにフ
ッ素樹脂を用いた以外は実施例と同様に石英ガラス製濾
過装置を製作した。
ガラスシールされている）、ハウジング（図示せず）に
内面をフッ素樹脂コートしたＳＵＳ316 、パッキンにフ
ッ素樹脂を用いた以外は実施例と同様に石英ガラス製濾
過装置を製作した。
【００３１】アルミナフィルターは東芝セラミックス社
製の商品名：メンブラロックスを使用した。
製の商品名：メンブラロックスを使用した。
【００３２】このようにして製作した石英ガラス製濾過
装置を使用して、実施例の場合と同じ条件で35％塩酸を
濾過した。
装置を使用して、実施例の場合と同じ条件で35％塩酸を
濾過した。
【００３３】濾過前後のパーティクル数（濾過後、一日
静置し、レーザー回折式パーティクルカウンターで測
定）を表２に示す。
静置し、レーザー回折式パーティクルカウンターで測
定）を表２に示す。
【００３４】表２から明らかなように、0.5 μｍ以上の
パーティクルは除去されているが、0.2 μｍ以上のパー
ティクルは殆ど除去されていない。そしてフッ素樹脂製
のパッキンは変形していた。
パーティクルは除去されているが、0.2 μｍ以上のパー
ティクルは殆ど除去されていない。そしてフッ素樹脂製
のパッキンは変形していた。
【００３５】また、純度の変化を表３に示す。明らかに
濾過によって不純物汚染が起こっていることが分か
る。。
濾過によって不純物汚染が起こっていることが分か
る。。
【００３６】
【表１】
【表２】
【表３】
【００３７】
【発明の効果】以上詳述したように本発明の石英ガラス
製濾過装置によれば、 1) 濾過系内に動く部分がなくなり、パーティクルの発
生が実質上なくなる。 2) 被濾過流体を液体から気体にすることによって、流
体の粘度を大幅に下げることができるので、フィルター
径と同程度の大きさのパーティクルのもれを大幅に減少
させることができる。また、より小さなパーティクルも
減少させることも可能である。
製濾過装置によれば、 1) 濾過系内に動く部分がなくなり、パーティクルの発
生が実質上なくなる。 2) 被濾過流体を液体から気体にすることによって、流
体の粘度を大幅に下げることができるので、フィルター
径と同程度の大きさのパーティクルのもれを大幅に減少
させることができる。また、より小さなパーティクルも
減少させることも可能である。
【００３８】さらに、装置材質を耐熱性、耐熱衝撃性、
化学耐久性の高い石英ガラス製とすることで、つぎのよ
うな効果が期待できる。
化学耐久性の高い石英ガラス製とすることで、つぎのよ
うな効果が期待できる。
【００３９】1) 溶出イオンが少ない。
【００４０】2) 高温で気化できるので、濾過量を多く
できる。また、急激に冷却液化できる。
できる。また、急激に冷却液化できる。
【００４１】3) 高温になる気化部から低温が必要な液
化部まで非常に小さくできる。
化部まで非常に小さくできる。
【００４２】4) 装置内に継ぎ手が必要ないので、継ぎ
手部からのダスト汚染がない。
手部からのダスト汚染がない。
【図１】本発明の実施例の薬液用石英ガラス製濾過装置
を模式的に示す断面図である。
を模式的に示す断面図である。
１……薬液タンク、２……ヒーター、３……薬液投入
口、４……安全弁、５……測温センサー、６……フィル
ター、７……保温ヒーター、８……冷却管、９……回収
タンク、１０……排出弁、１１……圧力計、１２……ト
ラップ、１３……送液ポンプ、１４……ドレンコック
口、４……安全弁、５……測温センサー、６……フィル
ター、７……保温ヒーター、８……冷却管、９……回収
タンク、１０……排出弁、１１……圧力計、１２……ト
ラップ、１３……送液ポンプ、１４……ドレンコック
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/304 ３４１ Ｚ 8832−4Ｍ
Claims (2)
- 【請求項１】 液体を気体にする気化部、濾過を行う濾
過部、気体を液化させる液化部からなる濾過装置におい
て前記各部と被濾過流体の経路部が、すべて石英ガラス
から成ることを特徴とする石英ガラス製濾過装置。 - 【請求項２】 前記濾過部が保温されていることを特徴
とする請求項１記載の石英ガラス製濾過装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5021059A JPH06226020A (ja) | 1993-02-09 | 1993-02-09 | 石英ガラス製濾過装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5021059A JPH06226020A (ja) | 1993-02-09 | 1993-02-09 | 石英ガラス製濾過装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06226020A true JPH06226020A (ja) | 1994-08-16 |
Family
ID=12044334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5021059A Withdrawn JPH06226020A (ja) | 1993-02-09 | 1993-02-09 | 石英ガラス製濾過装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06226020A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105879471A (zh) * | 2016-06-14 | 2016-08-24 | 上海奥星制药技术装备有限公司 | 残液回收装置、方法及制药配液系统 |
| JP2021072446A (ja) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | セメス カンパニー，リミテッド | 薬液供給装置、薬液のパーティクル除去方法、ノズルユニット、及び基板処理装置 |
-
1993
- 1993-02-09 JP JP5021059A patent/JPH06226020A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105879471A (zh) * | 2016-06-14 | 2016-08-24 | 上海奥星制药技术装备有限公司 | 残液回收装置、方法及制药配液系统 |
| CN105879471B (zh) * | 2016-06-14 | 2018-01-05 | 上海奥星制药技术装备有限公司 | 残液回收装置、方法及制药配液系统 |
| JP2021072446A (ja) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | セメス カンパニー，リミテッド | 薬液供給装置、薬液のパーティクル除去方法、ノズルユニット、及び基板処理装置 |
| US11981995B2 (en) | 2019-10-31 | 2024-05-14 | Semes Co., Ltd. | Chemical supply apparatus, method for removing particles from chemical, nozzle unit, and substrate treating apparatus |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000509 |