JPH0622982Y2 - 減圧ｃｖｄ用ウエハボート - Google Patents
減圧ｃｖｄ用ウエハボートInfo
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- JPH0622982Y2 JPH0622982Y2 JP461389U JP461389U JPH0622982Y2 JP H0622982 Y2 JPH0622982 Y2 JP H0622982Y2 JP 461389 U JP461389 U JP 461389U JP 461389 U JP461389 U JP 461389U JP H0622982 Y2 JPH0622982 Y2 JP H0622982Y2
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- Japan
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- alloy
- low pressure
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- wafer boat
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- Expired - Lifetime
Links
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Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本考案は半導体装置に用いられる減圧ＣＶＤ装置用ウエ
ハボートの改良に関する。
ハボートの改良に関する。
(ロ)従来の技術 半導体素子製造プロセスにおいてSiO2,PSG等の膜をウエ
ハ上に生成するために減圧ＣＶＤ装置が使用されている
ことはよく知られている。ところで従来減圧ＣＶＤ装置
としは例えば特開昭６３−６２２２６号公報に記載され
ているものが知られている。その装置は、ウエハをポー
トの上に複数枚垂直に並べられたものが石英製反応管３
の内部に配置され、抵抗加熱炉でウエハを３００℃〜９
００℃程度の所定の温度に加熱する。石英反応管の内部
を排気ポンプによって減圧状態にした後反応ガスを管内
に導入すれば、化学反応によってウエハの表面にＣＶＤ
膜が生成されることもよく知られている。
ハ上に生成するために減圧ＣＶＤ装置が使用されている
ことはよく知られている。ところで従来減圧ＣＶＤ装置
としは例えば特開昭６３−６２２２６号公報に記載され
ているものが知られている。その装置は、ウエハをポー
トの上に複数枚垂直に並べられたものが石英製反応管３
の内部に配置され、抵抗加熱炉でウエハを３００℃〜９
００℃程度の所定の温度に加熱する。石英反応管の内部
を排気ポンプによって減圧状態にした後反応ガスを管内
に導入すれば、化学反応によってウエハの表面にＣＶＤ
膜が生成されることもよく知られている。
ボートの材質としては石英等が選択される他、反応ガス
の流路を自由に加工できる等の理由からステンレス鋼
（SUS-304）が用いられていた。
の流路を自由に加工できる等の理由からステンレス鋼
（SUS-304）が用いられていた。
(ハ)考案が解決しようとする課題 しかしながら、ステンレス鋼はシリコン酸化膜（SiO2）
に比べて熱膨張係数が１桁以上高いので、ボートに付着
したシリコン酸化膜（SiO2）がＣＶＤの処理温度で砕け
て飛散し、飛散したフレークがウエハに付着してピンホ
ールを発生させる欠点があった。
に比べて熱膨張係数が１桁以上高いので、ボートに付着
したシリコン酸化膜（SiO2）がＣＶＤの処理温度で砕け
て飛散し、飛散したフレークがウエハに付着してピンホ
ールを発生させる欠点があった。
(ニ)課題が解決するための手段 本考案は上記欠点に鑑み成されたのもで、ボートの材質
として４２アロイ合金を利用することにより、フレーク
の飛散を抑制し得る減圧ＣＶＤ用ウエハボートを提供す
るものである。
として４２アロイ合金を利用することにより、フレーク
の飛散を抑制し得る減圧ＣＶＤ用ウエハボートを提供す
るものである。
(ホ)作用 本考案によれば、４２アロイはステンレス鋼より熱膨張
係数が低く、よりシリコン酸化膜（SiO2）に近い値を持
つので、熱膨張係数の差によるフレーク数の数を減少で
きる。
係数が低く、よりシリコン酸化膜（SiO2）に近い値を持
つので、熱膨張係数の差によるフレーク数の数を減少で
きる。
(ヘ)実施例 以下に本考案を図面を参照しながら詳細に説明する。第
１図と第２図は夫々本考案のウエハボートを示す断面図
及び側面図である。同図において、(1)は内側に多数板
のウエハーをセットする為の図示せぬ溝が切られ、ウエ
ハー形状に対応して円筒形状の下側半分を成す肉厚ｔ＝
１〜２mmのカセット、(2)(3)は前記円筒形状の上側半分
を成し前記カセット(1)とで内径１００〜１５０mmのボ
ートを形成するボートカバー、(4)は前記円筒形状の側
面をカバーする側板、(5)はカセット(1)を一定のウエハ
ー毎に区切る中部仕切板、(6)は側板(4)に溶接取付られ
ボートの高さを調整する為のボート高さ調整金具、(7)
はボートカバー(2)(3)を固定するフックピン、(8)はボ
ートカバー(2)に開けられたガス気孔で、所望のピッチ
で複数個設けられている。
１図と第２図は夫々本考案のウエハボートを示す断面図
及び側面図である。同図において、(1)は内側に多数板
のウエハーをセットする為の図示せぬ溝が切られ、ウエ
ハー形状に対応して円筒形状の下側半分を成す肉厚ｔ＝
１〜２mmのカセット、(2)(3)は前記円筒形状の上側半分
を成し前記カセット(1)とで内径１００〜１５０mmのボ
ートを形成するボートカバー、(4)は前記円筒形状の側
面をカバーする側板、(5)はカセット(1)を一定のウエハ
ー毎に区切る中部仕切板、(6)は側板(4)に溶接取付られ
ボートの高さを調整する為のボート高さ調整金具、(7)
はボートカバー(2)(3)を固定するフックピン、(8)はボ
ートカバー(2)に開けられたガス気孔で、所望のピッチ
で複数個設けられている。
そして、上記カセット(1)及びボートカバー(2)(3)は全
て４２アロイ合金（Ni：Fe＝40：60）から成る合金板を
加工して作られる。シリコン酸化膜とステンレス鋼、及
び４２アロイ合金の夫々の熱膨張係数は以下の通りであ
る。
て４２アロイ合金（Ni：Fe＝40：60）から成る合金板を
加工して作られる。シリコン酸化膜とステンレス鋼、及
び４２アロイ合金の夫々の熱膨張係数は以下の通りであ
る。
シリコン酸化膜……0.6×10-6cm／cm℃ ステンレス鋼（SUS304）…16.4×10-6cm／cm℃ ４２アロイ合金……7.0×10-6cm／cm℃ 即ち、４２アロイ合金は従来のステンレス鋼に比して熱
膨張係数が小さく、シリコン酸化膜のものに近似する。
従って、カセット(1)又はボートカバー(2)の内面に付着
したシリコン酸化膜が両者の熱膨張係数の差異により砕
けて飛散することにより生ずるフレーク数を従来のステ
ンレス鋼に比べて半減できる。しかも、材料の加工性や
価格の点から考慮しても何ら遜色無い。
膨張係数が小さく、シリコン酸化膜のものに近似する。
従って、カセット(1)又はボートカバー(2)の内面に付着
したシリコン酸化膜が両者の熱膨張係数の差異により砕
けて飛散することにより生ずるフレーク数を従来のステ
ンレス鋼に比べて半減できる。しかも、材料の加工性や
価格の点から考慮しても何ら遜色無い。
(ト)考案の効果 以上説明したように、本考案によれば材料として４２ア
ロイ合金を用いることによりフレーク数を半減できる減
圧ＣＶＤ用ウエハボートを提供でき、従って欠陥の無い
半導体装置の製造が行える利点を有する。また、材料の
加工性や価格の点からも、従来と遜色が無い利点をも有
する。
ロイ合金を用いることによりフレーク数を半減できる減
圧ＣＶＤ用ウエハボートを提供でき、従って欠陥の無い
半導体装置の製造が行える利点を有する。また、材料の
加工性や価格の点からも、従来と遜色が無い利点をも有
する。
第１図及び第２図は夫々本考案を説明する為の断面図及
び平面図である。
び平面図である。
Claims (2)
- 【請求項１】熱膨張係数が１．０乃至１０．０cm／cm℃
の合金材料から成ることを特徴とする減圧ＣＶＤ用ウエ
ハボート。 - 【請求項２】前記合金材料が４２アロイ合金であること
を特徴とする請求項第１項に記載の減圧ＣＶＤ用ウエハ
ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP461389U JPH0622982Y2 (ja) | 1989-01-19 | 1989-01-19 | 減圧ｃｖｄ用ウエハボート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP461389U JPH0622982Y2 (ja) | 1989-01-19 | 1989-01-19 | 減圧ｃｖｄ用ウエハボート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0296728U JPH0296728U (ja) | 1990-08-01 |
| JPH0622982Y2 true JPH0622982Y2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=31207278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP461389U Expired - Lifetime JPH0622982Y2 (ja) | 1989-01-19 | 1989-01-19 | 減圧ｃｖｄ用ウエハボート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0622982Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-01-19 JP JP461389U patent/JPH0622982Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0296728U (ja) | 1990-08-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |