JPH06231555A

JPH06231555A - ジンバルになされたマイクロ・ヘッド／可撓体／導体のアセンブリおよび装置

Info

Publication number: JPH06231555A
Application number: JP4333657A
Authority: JP
Inventors: Harold J Hamilton; ハロルド・ジェイ・ハミルトン; W Martin Timothy; テイモシー・ダヴリュー・マーティン
Original assignee: Censtor Corp
Current assignee: Censtor Corp
Priority date: 1992-11-18
Filing date: 1992-11-18
Publication date: 1994-08-19

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】情報を剛性の磁気記録ディスクに関して読み
書きするための低質量のヘッド／可撓体／導体のアセン
ブリ。【構成】このアセンブリはリード／ライト変換器ユニ
ット８４、細長い可撓体、および変換器ユニット８４と
可撓体を相互接続しかつ関節付けして相対的な片揺れな
しに選択された、制限された相対的な横揺れおよび縦揺
れを許容するジンバル構造体８８からなる。ジンバル構
造体の一部を形成する導電性リボンは、９４，９６この
アセンブリに設けられた導電回路の一部をも形成する。
アセンブリは約1.5 ミリグラムよりも大きくない有効質
量を有する。ディスク２４の記録面との滑動接触を可能
にするため、複数の焼き入れされた耐摩性足が変換器ユ
ニットに形成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】本発明は一般に剛性ディスク情報貯蔵装置
に関する、具体的にはそのような装置において、またそ
のような装置と共に使用するための小型で低質量のジン
バル（ｇｉｍｂａｌ）になされたヘッド／可撓体／導体
のアセンブリに関する。

【０００２】本明細書での説明のために、そのようなア
センブリおよびそれを採用した装置の好ましい実施態様
は一つまたは複数のロータリ剛性磁気記録ディスクを採
用する極めて小型で大幅に内蔵された貯蔵システムのセ
ッティングにおいて開示されている。当業者は本明細書
の内容を読むことにより、本発明がいかなる寸法の剛性
磁気記録装置においても採用できることを理解するであ
ろう。

【０００３】剛性媒体ディスクドライブ・データ貯蔵装
置における貯蔵密度を増加させ、またコストを低減させ
るための探求が注目したのは、ヘッド（変換器）と媒体
との間隔つまり通常の空気ベアリング式スライダのいわ
ゆる「飛行高さ」（ｆｌｙ−ｉｎｇｈｅｉｇｈｔ）を
最小化することの必要性であった。媒体表面特性の改良
を伴うスライダおよび関連した製造における改良によ
り、使用される剛性ディスク装置の飛行高さを約0.1 マ
イクロメートルに低減することができた。現在も飛行高
さをさらに0.05マイクロメートルまたはそれ以下に低減
するために、多くの努力が継続されている。これらの努
力が直面し、また提供する大きな挑戦は、スライダ、サ
スペンション、媒体の大量生産ならびにディスクドライ
ブ装置におけるそれらの組立ておよび操作という問題で
ある。

【０００４】飛行ヘッド技術の問題に関して、この先行
技術に対する顕著な進歩がなされており、また背景説明
によりこれらの主要進歩のいくつかが米国特許第5,041,
932号に開示されている。

【０００５】前記の特許では、特許権所有者は剛性媒体
による連続的滑動接触操作のための極めて低質量の統合
されたヘッド／可撓体／導体の構造体を説明している
が、それにより最小可能なヘッド／媒体の分離および最
大達成可能な記録性能が実現できる。従来の空気ベアリ
ング式スライダおよびサスペンションに比べて「有効質
量」および適用荷重を２〜３オーダだけ低減することに
より、凹凸または微小汚染物に加えられる局所圧力はヘ
ッド／媒体の界面の壊滅を惹起し得る破壊的な物理的お
よび化学的なだれ現象の発生レベルよりも十分に低く維
持することができる。そのような局所圧力の低減は、ヘ
ッドおよび媒体の摩滅速度を下げて、有効作動寿命を伸
ばす機能も果たす。

【０００６】前記特許において述べられた開発の基礎と
しての論理の有効性は、多数のテスト装置でのフレクシ
ヘッド（Ｆｌｅｘｈｅａｄ） TM 統合ヘッド／サスペ
ンション構造体の２０万時間以上の摩耗テストにおいて
実証されている（Ｆｌｅｘｈｅａｄ TM はサンホゼ、
カリフォルニアのＣｅｎｓｔｏｒ社により保有される登
録商標である）。同様に、例えば二層垂直記録媒体を持
つプローブ形式のヘッドを採用したこれらの構造体の読
み／書きテストは、極めて高い記録密度に対する能力を
実証している。さらに、これらの構造体の極めて小さな
質量ならびにサスペンションの剛性は横方向およびねじ
り曲げモードにおける高い共振周波数をもたらすが、そ
れによりアクチュエータおよびサーボ装置の設計および
性能における顕著な改良が可能となる。

【０００７】先行技術において提案されたその他の進歩
は、例えば媒体との接触をなす区域（接触記録状態時）
での選択された耐摩材料（耐摩性の接触パッドの形式）
の採用に対して行われてきた。この種の構成の場合に
は、そのような耐摩性接触パッドの長さと幅に関する適
切な限界が遵守される必要があるが、これらの限界はデ
ィスクの軸方向ラン・アウト（ｒｕｎ−ｏｕｔ）または
ディスク用に設けられたドライブにおけるその他の機械
的な変動から生じる信号変調を最少化する必要に起因す
る。

【０００８】本発明はこの後者に関するが、さらにディ
スクドライブの製造および組立てにおける機械的な変動
に対する統合されたヘッド／サスペンションの構造体の
性能公差を拡大することの要望をも対象としている。

【０００９】したがって、本発明の重要な目的はディス
ク表面の非平坦さ、累積された組立て公差、ディスク・
スピンドルおよびアクチュエータ支持軸受の不適正なア
ライメント、あるいは変換器と媒体の記録面との間の望
ましくない動的分離を増加させる恐れがあるその他の機
械的な不完全さなどから生じる信号変調を最少化する新
規で低質量のジンバルになされたマイクロ・ヘッド／可
撓体／導体のアセンブリを提供することにある。

【００１０】前述のセッティングにおける本発明の相関
的な目的は、統合されたヘッド／サスペンションの構造
体の性能を損なうことなくディスクのラン・アウト、ス
ピンドル・アライメントなどに関する許容公差を増大さ
せることにある。

【００１１】本発明の別の主要目的は、最少の調整およ
びラン・イン（ｒｕｎ−ｉｎ）時間を以て最適性能を達
成するために、統合されたヘッド／サスペンション構造
体とディスクドライブの媒体の組立てにおける許容寸法
およびアライメント公差を増大させることにある。

【００１２】本発明のさらに別の目的は、ディスクのラ
ン・アウトまたは他の機械的な不完全さから生じる有害
な信号変調を惹起することなく、接触パッド寸法の限界
を拡大することにある。

【００１３】本発明の別の目的は、大きな接触パッド面
積を可能にしてヘッド／媒体界面での局所圧力を低くす
ることによりヘッドおよび媒体の摩耗を最少化すること
にある。

【００１４】本発明のさらに別の目的は、ヘッド構造体
と可撓体／導体の構造体との製造を分離すること、なら
びにそれらの統合されたヘッド／可撓体／導体の構造体
への自動的組立てを容易にすることにある。

【００１５】前記に関連した目的は、ウェーハーへの蒸
着工程により製造できるヘッドの数量を増加させ、それ
により製造コストを照応して低減させることにある。

【００１６】本発明の別の関連した目的は、ヘッド構造
体および可撓体／導体の構造体の製造における材料、構
成および工程の独立的な最適化を容易にすることにあ
る。

【００１７】本発明の好ましい実施態様にしたがって提
案されるのがマイクロ・ヘッド／可撓体／導体のアセン
ブリつまり組織であるが、（剛性磁気記録媒体の記録面
に関して情報を読み書きするために）このアセンブリは
読み／書き変換器ユニット、この変換器ユニットを支持
するための細長いキャリア・ユニット、およびこれらの
二つのユニットをして選択された、制限された相対運動
をさせるべく相互に接続し関節付けるジンバル構造体を
具備している。有意には、これらのアセンブリ・ユニッ
トのための構成材料および寸法は該アセンブリの有効質
量が約1.5 ミリグラムよりも大きくないように選択され
る。言及された形式のアセンブリの「有効質量」は、ア
センブリのヘッド構造体がディスク面に垂直な方向の所
与の正味慣性力にさらされた時と同じ速度で加速する実
効自由質量に等しい。

【００１８】前述のアセンブリに含まれるのが必要な導
体構造体であるが、これは変換器ユニット内の磁気部材
と協同し、また「外界」と通信するために採用されてい
る。独特には二つの横方向に離れた導電性リボンの形式
の好ましい実施態様におけるこの導体構造体の一部は、
相互に接続するジンバル構造体の一部も形成する。本発
明の変更態様では、誘電性材料からなるジンバル・リボ
ンは導電トレースを担持している。このジンバル構造体
は変換器ユニットとキャリア・ユニットとを概ね平行な
平面関係において結合し、またこれらの二つのユニット
の間に限定された相対的な縦揺れおよび横揺れを許容す
ると共に、これらの二つのユニットの間の相対的な片揺
れを阻止する。

【００１９】変換器ユニットの表面上に形成されたてこ
突起はキャリア・ユニット上に設けられた表面区域に揺
動的に接触し、導電性リボンと協同するこれらの二つの
ユニットはジンバル構造体を形成するが、この構造体は
これらの二つのユニットの間に生じ得る縦揺れおよび横
揺れを許容する。

【００２０】変換器ユニットの反対面から突き出る好ま
しくは焼き入れされた耐摩性材料からなる足は、ディス
ク媒体の記録面との滑動接触をなすために設けられる。

【００２１】本発明により達成されるこれらおよびその
他の重要な特徴、目的および長所は、以下の説明が添付
図面と関連して読まれることにより、より完全に明らか
となるであろう。

【００２２】ここで図面に注目し、まず図１および図２
に言及するならば、全体的に10で示されているのがディ
ジタル情報を貯蔵するための剛性ディスクドライブ磁気
記録システムの形式の情報貯蔵装置であるが、この装置
は本発明にしたがって製作されている。

【００２３】装置10に含まれるのは、ベース12ａとそれ
に密封的に接合された（例えばシリコンゴム製の隠しガ
スケットを使用した）カバー12ｂを含む二割りのハウジ
ング12である。ハウジング12は、それと共に装置10を構
成する他の部材のすべてを囲む。以下に説明される好ま
しい実施態様では、密封されたハウジングの内部は本質
的に大気圧と平衡状態に維持される。しかし、一定の性
能挙動を高めるためにハウジングを脱気することが望ま
しい場合があり、その際に適合する脱気圧力はおよそ0.
05気圧である。

【００２４】ハウジング12内には低出力のブラシレス直
流スピンドルモータ14が配置されているが、このモータ
はハウジング・ベース12ａに形成された中空の円筒形支
持ボス12ｃの外側に適合して取り付けられたコイルを備
えたステータ14を含む。モータ14はまた永久磁石ロータ
14ｂを含むが、これは図示された配置を以て軽量のロー
タリスピンドル16に適合して結合される。スピンドル16
はボス12ｃの中空内部内に位置するジャーナル軸受20に
より、18で表された軸のまわりに回転すべく取り付けら
れている。

【００２５】駆動運転中は従来の制御／フィードバック
電子機構との適切な接続（図示せず）により、モータ14
は約4800ｒｐｍの正確で一定のスピンドル回転速度を維
持する。

【００２６】適合したクランプ22によりスピンドル16の
上側に（それとのユニットとして回転するために）支持
されるのが剛性磁気記録ディスク（媒体）24であるが、
このディスクはその両側面にディジタル化された情報を
二面読み取りおよび書き込みするための磁性層面構造体
を備えている。ディスク24のこれらの二つの面は24ａ、
24ｂで示されている。情報はこの表面構造体上の同心状
に隣接する記録トラックに記録される。

【００２７】ディスク24についてさらに説明するなら
ば、各記録表面は面において好ましくは半径方向配列の
磁気異方性を持つ軟磁束戻り下層および面に交差した磁
気異方性を持つ硬磁気記録膜外層つまり上層の形式を取
る。この磁気記録膜は、耐摩性材料（炭素など）からな
る滑らかな保護膜とヘッドおよびディスクの摩耗を最少
化するための潤滑剤層とにより保護される。

【００２８】このディスク24に加えられる荷重は先行技
術のフライング・ヘッド・ドライブ方式のディスクに加
えられる荷重に比べてはるかに低減されるという以下に
明らかとなる事実のゆえに、ディスクの中央支持基体は
先行技術のディスクで採用される基体よりも任意に薄く
され得る。例えば以下に説明される装置では、使用され
る変換器つまり変換器ユニット（後述）はおよそ40〜12
0 ミリグラム程度の荷重を以てディスクの記録表面に接
触する。そのような荷重は、先行技術のフライング・ヘ
ッド設計における変換器／ディスク・ローディングを特
徴づける負荷力よりもおよそ数オーダーも大きさが低い
のである。

【００２９】これらのすべての最終結果においては、ヘ
ッド／ディスク摩耗が大幅に低減されるだけでなく、装
置寸法および装置の所要稼動力のすべてが大幅に減少す
る。

【００３０】記録面24ａ、24ｂに関してディジタル情報
を読み取りおよび書き込むためにここで説明されている
実施態様における装置10のディスク24と協同するのが、
二つのリード／ライト組織つまりマイクロ・ヘッド／可
撓体／導体のアセンブリ26、28であるが、これらは本発
明の特徴にしたがって製作される。アセンブリ26、28の
それぞれは以下に詳述されるようにジンバル構造を有し
ており、また片持ち取り付けされて横方向に先細となる
細長いキャリア・ユニットつまり可撓体の末端にジンバ
ル構造体によりアセンブリの末端（端26ａ、28ａ）に隣
接して担持されたリード／ライト変換器ユニット（つま
りスライダ）を含む。これらの細長いアセンブリのそれ
ぞれはその固定端がディスク24の係合する記録面に対し
て約３度の角度をなして取り付けられており、またそれ
ぞれは記述のようにその有効質量が約1.5 ミリグラムよ
りも大きくない。これらのアセンブリの変換器ユニット
は、焼入れされた摩耗足つまりパッドを介して前記の力
を以て係合したディスク面に接触する。

【００３１】装置10に含まれるその他の部材の概要説明
を続けるならば、図１および図２において全体的に60で
表されているのがサーボ制御されたアクチュエータであ
るが、これはボイスコイル・モータ62と協同して稼働
し、二つのヘッド／可撓体／導体のアセンブリ（26、2
8）を支持してディスク24の対向する記録面上に弧をな
して移動させ、それによりこれらのアセンブリの変換器
をディスク面上のいずれかの選択された同心状リード／
ライト・トラックに対して位置決めする。

【００３２】アクチュエータは63で表された軸上で旋回
する比較的軽量のアセンブリ（およそ1.5 グラム）であ
り、このアセンブリは半径方向に延びる上下の腕60ａ、
60ｂを含むが、これらの腕は片持ち状に半径方向に延び
て前述のマイクロ・ヘッド／可撓体／導体のアセンブリ
26、28をそれぞれ担持する。これらの腕は中央のロータ
リハブ60ｃで支持されるが、このハブはハウジングベー
ス12ａに形成された中空の円筒形ボス12ｄの内側でジャ
ーナル支持されている。適合したジャーナル接続は、前
述の軸受20に類似したジャーナル軸受64により行われ
る。

【００３３】アクチュエータ60は腕60ａ、60ｂおよびア
センブリ26、28の片持ち質量がつり合わせ機構60ｄによ
りつり合わせられた質量平衡のロータリ設計であるが、
このつり合わせ機構は説明されている実施態様では前述
のボイスコイル・モータ62における「ロータ」を実際に
形成するコイル巻線の形式を取る。位置制限ピン66（図
１参照）はアセンブリ26、28の変換器の旋回を約30度の
弧に制限するが、それによりこれらの変換器は記録面24
ａ、24ｂの記録可能な全域にわたる稼動位置に旋回でき
る。具体的には、ピン66は変換器が内側へ軸18から約９
ｍｍの距離に旋回すること、また外側へ同軸から約23ｍ
ｍの距離に旋回することを許容する。したがって当業者
は、本発明の装置は従来のフライング・ヘッド装置によ
り代表的に使用可能な最も内側の半径方向位置よりもス
ピン軸に近いディスク上の半径方向の内側のデータを
（メディア・フォーム・ファクターとは無関係に）読み
取りおよび書き込みできることを理解するであろう。

【００３４】ロータ60ｄと協同するモータ62内のステー
タを形成するのは磁石62ａなどの永久磁石であるが、こ
れらの磁石はロータの下側のベース12ａに適合して結合
されている。

【００３５】ロータリ・アクチュエータおよび装置10に
対して選択された関連機構は、一端に隣接して位置する
リード／ライト変換器ユニットと他端に隣接して位置す
るボイスコイル・モータとを備えた本質的にピボット支
持された桁の形式を取るものとみなすことができる。装
置稼動中に励起されたならば、アクチュエータ60は変換
器ユニットを半径方向経路に近似した弧状経路でディス
ク24の記録面上に動かす。従来のフライング・ヘッド・
ドライブでは、ロータリ・アクチュエータによるそのよ
うな弧状運動はヘッド歪み作用を生じるが、それは空気
ベアリング剛さの顕著な変動とヘッド／媒体の間隔の変
化を惹起する。しかし、本発明の装置は均一なヘッド／
ディスクの界面を維持するために空気ベアリング作用に
依存していないため、ヘッド歪みはほとんど無関係であ
り、またアクチュエータ60は変換器を半径方向にスピン
軸18に極めて近い位置へ内側に搬送するために首尾よく
使用できる。

【００３６】装置10において、アクチュエータ60の動き
は正確な変換器ユニットの位置決めを保証するフィード
バック・ループを形成するためにディスク24のデータト
ラック内に記録された適切なサーボ位置決めデータを備
えた従来の閉ループサーボ技術を用いて制御される。

【００３７】従来の高伝送速度のデータチャネル構造体
（図示せず）が、ヘッド／可撓体／導体のアセンブリと
装置10を外部デバイスに接続する従来のインタフェース
電子機構との間の電気的な相互接続を提供するために採
用される。

【００３８】ここに説明されたように装置10は、単一の
記録ディスクしか含んでいない。しかし、同様な装置が
複数のディスクに対して製作できることが理解できるは
ずであり、またそのような装置が上記に言及した特許出
願書第 '５８６号に説明されている。

【００３９】ここでアセンブリ26、28の構造に目を向
け、特に図３〜図７に注目するならば、これらのアセン
ブリのそれぞれは本質的に構造が同一であり、したがっ
て以下の説明はアセンブリ26の構造のみを対象とする。
このアセンブリは一般に平らなリード／ライト変換器ユ
ニットつまりスライダ84と細長い一般に平らなキャリア
・ユニットつまり可撓体86とを含むが、この可撓体の末
端は以下に説明されるように変換器ユニットと可撓体と
の間の制限された相対的関節結合のためにジンバル構造
体88により変換器ユニットに結合される。ユニット84、
86は、ここではキャリア・ユニットが変換器ユニットを
支持している一般に平行−平面関係に配置されるものと
して想定される。

【００４０】ユニット84は、適切な誘電性材料例えば酸
化アルミニウム、ダイアモンド状炭素（ＤＬＣ）、これ
ら二つの組み合わせ、またはその他の材料の周知の薄膜
蒸着、パターニング（ｐａｔｔｅｒｎｉｎｇ）およびエ
ッチ・リリース（ｅｔｃｈ−ｒｅｌｅａｓｅ）工程（特
許第 '９３２号に記載された各工程）により全体的に形
成された立体形の本体を含む。この本体はここでは84
ａ、84ｂ、84ｃで表された３つの突き出た足を持つ形状
であるが、これらは通常操作中に媒体面と滑動接触をな
す３区域を形成する接触パッドとして機能する。ユニッ
ト84の本体の大半を構成する材料とは無関係に、好まし
くは、またここに開示されたように足84ａ、84ｂ、84ｃ
はＤＬＣなどの焼き入れされた耐摩性材料（1000 kg/mm
2 より小さくないヌープ硬度）からなり、これらの足は
媒体記録面に向くべく適合したユニット84の表面つまり
図３の観察者に向く本ユニットの表面で図４および図５
でみられるユニット84の下面である表面からおよそ10〜
15マイクロメートル突き出ている。前記の突出し距離は
これらの足の通常の摩耗を許容し、またユニット84の係
合する「対向」面が好ましくない空気ベアリング作用を
避けるために媒体記録面から常に十分に遠ざけられるこ
とを確保するために選定されている。

【００４１】ユニット84に埋め込まれかつ封入されてい
るのが電磁リード／ライト・ヘッドつまりヘッド構造体
およびポールチップであるが、これは図３および図５に
おいて概略的に89で表されているように足84ｃに封入さ
れている。当業者は、多種の電磁リード／ライト・ヘッ
ドのいずれか一つがここに説明される構造体において採
用できること、またこれらは例えば誘導タイプのヘッ
ド、クロスフィールド（ｃｒｏｓｓｆｉｅｌｄ）タイ
プのヘッド、あるいは磁気抵抗タイプのヘッドの形式を
取り得ることを理解するであろう。ここで説明される好
ましい実施態様では、ユニット84の本体内で採用される
ヘッド構造体は前記の米国特許第 '９３２号、第 '２４
２号および第 '３５１号で説明されている誘導プローブ
・タイプである。

【００４２】ユニット84の本体の対向面から図示された
位置で延びるのが二つの突出しポスト84ｄ、84ｅである
が、これらは金などの高導体金属からなる。これらのポ
ストはアセンブリ26での導体構造体の一部として、また
以下に説明されるようにユニット84と可撓体86との間に
接合区域を生じさせる接合パッドとしても機能する。こ
れらの二つのポストはユニット84の本体内に埋め込まれ
た導体構造体と導電的に接続するが、この構造体は延び
て前記のリード／ライト・ヘッド構造体の一部として機
能するコイルを形成する。ポストと同じ表面から突き出
しているのがいく分中央のピボットピンつまり酸化アル
ミニウムまたはＤＬＣ製のてこ構造体84ｆであるが、こ
れは前記のジンバル構造体88の一部として機能する。

【００４３】ポスト84ｄ、84ｅはユニット84の本体での
それらの係合面から約10〜15マイクロメートルだけ突き
出るが、これはピン84ｆについてもあてはまる。

【００４４】可撓体86も薄膜蒸着、パターニングおよび
エッチ・リリースの各工程により成形されて、図３およ
び図６に部分的に示されたような細長い横方向に先細に
なった形状を有する。前に述べたような好ましくは誘電
性材料の形式を取る可撓体86の本体に蒸着され、または
封入されるのが、二つの細長い導体つまり導体構造体9
0、92である。これらの導体は薄膜蒸着およびパターニ
ング工程により金などから作られるが、これらの導体9
0、92はそれぞれ末端方向に延びる板ばね延長部つまり
金または他の適合する導体材料例えばエッチ・リリース
浴での不溶媒であるタンタルからなるリボン94、96を有
する。これらのリボン94、96の末端は、導電的にそれぞ
れユニット84のポスト84ｄ、84ｅに接合される。これら
の横に離れたリボンはジンバル構造体88の一部として
も、またユニット84内にある導体構造体と可撓体86内に
ある導体構造体とを相互接続するアセンブリ26における
導体構造体の一部としても機能する。

【００４５】特に図３および図６からみてとれるよう
に、可撓体86の末端86ａは中央の切刃状に突き出してお
り、またユニット84に面するこの延長の表面区域はピン
84ｆの末端に揺動的に接触して、垂直力をユニット84に
伝達するジンバル構造体88の一部として機能する。

【００４６】適合するジンバル作用は、ジンバル構造体
88が可撓体86に対するユニット84のそれらの平行面にお
ける全方向の動きを阻止すると共に、ピン84ｆと構造体
末端86ａとの間の揺動的相互作用によりそれぞれ軸98、
100 のまわりでの変換器ユニットの制限された自由な相
対的縦揺れおよび横揺れを許容することを要する。ポス
ト84ｄ、84ｅおよびピン84ｆについて述べた突出し距離
により、そのような縦揺れおよび横揺れ運動の適合範囲
が許容される。リボン94、96は、変換器ユニットと可撓
体との間の例えば軸102 （図３参照）などの軸のまわり
の片揺れを阻止する。

【００４７】ここで本発明の構造組織から注意を転じ
て、前に指摘されたような本発明のアセンブリの製造に
再び注目するならば、変換器ユニットおよびキャリア・
ユニットに関するほとんどの製造工程および材料など
は、周知の材料蒸着および写真平版パターニング工程を
含めて当業者により十分に理解される。しかし、特別に
検討されておらず、あるいは先行技術において必ずしも
十分に知られていないのがジンバル構造体の相互接続を
実現するために採用された各工程である。以下に検討さ
れる本開示書での残りの図面つまり図８〜図14は、この
点に関するものである。

【００４８】好ましくは、並置された可撓体および係合
するリボンの複合列は同時に準備される。ジンバル・リ
ボンの形成は、酸化アルミニウム、ＤＬＣまたは他の適
合する誘電性材料120 をホストウェーハー122 上のエッ
チ・リリース層121 （例えば銅）の研磨された表面に蒸
着することにより開始される。これは（引用された材料
において）前述したやり方で、また約30マイクロメート
ルの厚さとなるように行われる（図８参照）。同じエッ
チ・リリース材料の絶縁壁124 は、引用材料において説
明されたように、各可撓体の横境界を画定するプレーナ
ライゼーション（ｐｌａｎａｒｉｚａｔｉｏｎ）と共に
可撓体材料の蒸着に先立って形成することができる。代
案的には、これらの横寸法は選択的なエッチ工程による
後作業で画定できる。ＤＬＣの場合には、炭素のプラズ
マ灰化または酸化の選択により個々の可撓体を絶縁する
極めて有効な手段が得られる。

【００４９】図９に注目するならば、このようにして形
成されたプレーナライズされた表面に銅の層126 が蒸着
およびパターニングされて、最終的に可撓体の端86ａと
なる要素が形成される。付加的な誘電性材料が蒸着さ
れ、さらに表面が再びプレーナライズされることによ
り、銅層126 に対する約３〜５マイクロメートルの厚さ
が生じる。次に約３〜５マイクロメートルの厚さの金の
層130 （図10参照）が蒸着およびパターニングされて、
可撓体導体90、92とリボン94、96になる部材が形成され
る。その二つが132 で表された金製接合ピン（図11では
故意にゆがめられた割合で図示）は、変換器ユニットの
ポストとアクチュエータ腕により構成される外部の可撓
体支持構造体に設置される導体とにそれぞれ可撓体を後
で接合することを容易にするために、可撓体リボンの末
端となる部材および可撓体導体（この端は図示せず）に
蒸着される。

【００５０】ウェーハーはこの時点では、変換器ユニッ
トと可撓体を接合するため（ジンバル相互接続）の準備
において、横に隣接した可撓体の列の間に切り分けられ
てバーとなる態勢にある。任意的に、層130 の「導体」
部は「リボン」部を残して誘電性材料の薄層134 により
被覆でき、また各可撓体の対向端の接合ピンは図12に示
されたように露出している。

【００５１】一時的に話題を転じるならば、アセンブリ
に対する変換器ユニットの製造は並置されたユニットの
複合列において達成され、それは統合ヘッドの形成に関
する特許第 '９３２号において説明されたものとほとん
ど同じやり方で行われるが、順序は逆である。すなわ
ち、耐摩性材料からなる接触パッドはホスト・ウェーハ
ーの頂部にあるエッチ・リリース銅層の研磨された表面
に最初に蒸着される。各変換器ユニットはジンバル・サ
スペンションを有するため、一つではなく３つの接触パ
ッドが形成される。誘電性材料、高透磁性材料および電
気導体が蒸着およびパターニングされて、引用された特
許第 '９３２号において説明されたらせんコイルを持つ
プローブ・タイプの垂直ヘッドの形式の変換器が形成さ
れるが、望ましいならば、通常の多重層パンケーキ・タ
イプのコイル構造を形成することもできる。代案的に、
変換器ユニットは縦方向を指向する媒体との使用のため
の従来のリング構造ヘッド形式を以て製造することも可
能であろう。最終的なウェーハー・レベルの蒸着工程は
図13に示されたような表面を残すため、金製接合ピン
（故意にゆがめられた割合を持つ）136 （ポスト84ｄ、
84ｅと同様なポストとなる）と誘電性材料からなる荷重
ピボットピン138 （ピン84ｆと同様なピボットピンとな
る）が現われる。

【００５２】ウェーハーは変換器ユニット列の間に切り
分けられて横に隣接する変換器ユニットのバーとなる
が、そこでは各ユニットのレジストレーションは横に隣
接する可撓体のバー上の隣接可撓体のそれと正確に合致
する。内部変換器の磁気コアの端を露出する各「変換
器」バーの切断面は、特許第 '９５８号において説明さ
れたようにポールおよびヨーク構造体ならびに保護被覆
の蒸着のための準備の際に研磨される。

【００５３】次の操作（図14参照）は一つのバーの可撓
体を別のバーの変換器ユニットに接合することを含む。
変換器ユニット・バー140 は、接合ピン136 が取り付け
体142 の上面142 ａ（図14）から僅かに突き出るよう
に、適合する取り付け体142 に設置される。可撓体ユニ
ット・バー144 は、可撓体の接合ピン132 がバー140 上
に突き出る接合ピン136 の頂部に載るように取り付け体
142 に設置される。それぞれバー140 、144 上の変換器
ユニットおよび可撓体ユニットはここで加圧溶接（また
は他の適切な手段）により結合されるため、対面する接
合ピンの間に機械的および電気的接続が実現される。

【００５４】最終の製造工程において、このように結合
された取り付け体142 により支持された二つのユニット
担持バーは酸エッチ溶液に浸漬されるが、この溶液は同
時に変換器ユニットおよび可撓体ユニットをそれらのバ
ーから離すため、変換器ユニットはジンバル・リボンに
より可撓体ユニットに装着されることになる。この工程
において銅層126 が融解し、それによりジンバル・リボ
ンが支持部材から自由になるため、変換器ユニットはピ
ボットピンのまわりに揺動することができる。

【００５５】ここで図15と図16に注意を向けるならば、
そこでは可撓体86およびジンバル構造体88に対する構造
の変更態様が示されている。この変更態様では、可撓体
の本体はその末端86ａが横方向に挿入された切刃状（最
初に説明された実施態様の場合）ではなく可撓体本体
（図15参照）の残り部分に、またその幅を以て円滑に入
り込む横幅を有するように形成されており、またこの端
はそれが本体の主要部と縦に結合する段つまり肩部86ｂ
（特に図16参照）からそれが装着された係合するスライ
ダ84および末端に延びる相互接続するジンバル・リボン
を完全に覆って「保護する」範囲まで至る。スライダ84
に面する「段付き」端86ａの横に形成されるのが中央の
円筒形突起86ｃであるが、この突起はスライダ84のピン
84ｆとの揺動接触をなす適切な表面域を提供する。

【００５６】突起86ｃに側面からまたがり、さらに前記
と同様にジンバル構造体88の部分を形成するのがリボン
94、96であるが、それらの構造は本発明の前述した実施
態様において同じ番号を以て説明されたそれらの相対物
と実質的に同じである。リボン94、96は、図からみてと
れるように末端86ａにより保護された区域内にある。

【００５７】ここで説明されている変更態様では、可撓
体86とスライダ84は前記と同様に概ね平行な平面関係に
配置されている。図15におけるようにこれらの平面を垂
直にみるならば、末端86ａの縁境界は実質的にスライダ
84のそれと同一の広がりを有することが分かる。

【００５８】ここで説明されている変更態様の製造は、
前に述べた工程において記載されたものと僅かに異なる
だけである。ここで説明される態様において末端86ａと
突起86ｃを囲むリボン94、96との間の空間を形成するも
のは、図16での可撓体86の本体の下面として示されたも
のと同一平面となるべく蒸着された銅で初期の製造段階
の間に蒸着される。リボン94、96と可撓体の本体におい
て縦にこれらのリボンから延びる（前記の実施態様に関
して述べられた）導体は金、タンタルなどの蒸着により
形成されるが、これらのリボンは上記の充填銅の表面上
に位置する。

【００５９】スライダ84の構造は変更されていない。

【００６０】並置されるスライダおよび可撓体のバーは
前記のように接合され、銅エッチ工程はこれらの構造体
を拘束から自由にすると共に、延びるリボン間の可撓体
および可撓体の被覆端86ａ内の空間をそれまで占めてい
た充填銅を除去するために行われる。

【００６１】本発明のこの変更態様は、出荷、取扱いあ
るいは組立て作業中に惹起され得る被害に対する耐久性
をさらに高める構造を提供するものである。

【００６２】図17〜図20は本発明のアセンブリの二つの
他の変更態様を示しており、図17〜図19はそれらの一方
を、また図20はそれらの他方を示している。これらの変
更態様を構成する変換器ユニットとキャリア・ユニット
は前述した同一機能の部材と類似した誘電性本体、導体
構造体およびリード／ライト変換器からなり、製造は前
述したものと同様の薄膜蒸着、パターニングおよびエッ
チ・リリース工程を利用して実施される。もちろん、採
用された特定のパターニングは異なっており、またこれ
らの変更態様を特徴づける特定の異なる輪郭および形状
に関係する。

【００６３】図17には150 として変換器ユニットつまり
スライダが示されているが、それは他の構造体から分離
して図示されている。スライダ150 は本体150 ａを有す
るが、それは概ね平面状（特に図17の（Ｂ）参照）であ
り、その一方の面からは３つの耐摩性足150 ｂ、150
ｃ、150 ｄが、また他方の面からはてこピン150 ｅおよ
びポスト150 ｆが突き出している。適切なリード／ライ
ト・ポールチップを備えたリード／ライト変換器は足15
0 ｄに形成され、またこの変換器に含まれるコイルから
延びる内部に埋め込まれた導電トレースは一対の導電接
合パッド152 （割合は合致せず）まで続いている。

【００６４】図18に注目するならば、そこでは154 とし
て細長い概ね平面状の誘電性可撓体つまりキャリア・ユ
ニットが示されているが、これはスライダ150 に対する
接合部材として機能する。可撓体154 は末端から二つの
横方向に離れたリボン154 ｂが突き出している本体154
ａを含むが、これらのリボンの末端は近接的に延びるト
ング154 ｃを含む介在構造体により接合される。やはり
可撓体154 に含まれ、かつトング154 ｃ方向に突き出る
のが横方向の中央位置を占めるブレード154 ｄである
が、その図18の（Ａ）での表面は（その下面は図18の
（Ｂ））スライダ150 のてこピン150 ｅと揺動的に接触
することによりジンバル構造体の一部を形成するように
なされている。それらの一つが図18、図19において156
と表された導電トレースは可撓体において導電接合パッ
ド158 （割合は合致せず）方向に延びるが、これらのパ
ッドは前記の接合パッド152 への接合のために適合して
いる。

【００６５】図19では、スライダ150 と可撓体154 は接
合パッド152 、158 の適合した接合部材により概ね平行
平面関係に接合されて示されている。

【００６６】ここで図19に示されたものと同じ視点から
描かれた図20に目を転じるならば、160 としてジンバル
になされたヘッド／可撓体／導体のアセンブリが示され
ているが、それは実質的に平面状の変換器ユニットつま
りスライダ162 と細長い概ね平面状の可撓体つまりキャ
リア・ユニット164 を含む。

【００６７】スライダ162 は、本体162 ａ、３つの耐摩
性足162 ｂ、162 ｃ、162 ｄ、および突き出るてこピン
162 ｅを含む。足162 ｄは所要コイルを含む埋め込まれ
た変換器を担持するが、この変換器からは本体162 ａ内
に適合的に形成された導電トレースが図20の視点に面す
る一対の導電接合パッド166 まで延びている。

【００６８】可撓体164 はその末端に隣接して一対の横
方向に離れた、末端方向に突き出るリボン164 ａを含む
が、これらのリボンはスライダ162 上に近接的に延びる
張出し部164 ａ1 を含む。可撓体において延びかつリボ
ンおよび張出し部を通るのがトレース168 などの導電ト
レースであるが、それらはやはり図20の視点に面する導
電接合パッド170 に向かって延びる。図20の張出し部16
4 ａ1 の面は図20の視点に面するスライダ162 の側面に
適合して機械的に接合され、また接合パッド166 、170
間には周知のワイヤー接合技術により従来の導電相互接
続部が形成される。ワイヤー接合による相互接続部は17
2 で表されている。

【００６９】可撓体164 の末端から端方向に延びるのが
横方向の中央位置を占めるブレード164 ｂであるが、こ
のブレードはてこピン162 ｅ上に延びかつそれと揺動的
に接触する。スライダ162 と可撓体164 は、概ね平行な
平面関係に配置されている。

【００７０】ここで図17〜図20において説明された変更
態様は本書で説明された他の変更態様と比べて異なる種
類の製造能力、公差、共振性能などを提供するものであ
り、それらは一定の応用における特別な長所を発揮すべ
く設計されている。例えば図19と図20において説明され
た変更態様は、それぞれが個別ユニットとして分離され
た後に、ならびに前記のような「バー」形式として変換
器ユニットをキャリア・ユニットに組み立てることを可
能にする。これら二つを個別ユニットとして相互接続す
るためには、例えば半導体デバイスの製造においてダイ
を整列させて接合するために通常的に使用されるような
簡単な自動的保持装置が必要である。

【００７１】このように新規で低質量のジンバルになさ
れたヘッド／可撓体／導体のアセンブリとそれを組み込
んだ装置のいくつかの態様がここに開示されたが、それ
らはあらゆる好ましい特徴を提供すると共に前記の目的
のすべてを充足する。提案されたジンバル構造体は製造
における決定的な長所を提供するが、それにより統合さ
れたヘッド／サスペンションの構造体の最終組立てにお
ける寸法およびアライメントに関する公差の顕著な増大
が許容されると共に、ウェーハーへの蒸着工程を利用し
た大量の信頼性の高い製造およびそれによる全製造コス
トの低減が可能となる。本発明のジンバル構造体は剛性
ディスクの記録面との接触操作により得られる優れた読
み取りおよび書き込み性能を利用しているが、同時にジ
ンバル構造体の存在によりディスク表面の非平坦性の問
題および装置操作中の形状の動的変化に関連する他の問
題が極めて適切に対処される。提案された独特のジンバ
ル構造体は変換器ユニットと可撓体を相互接続するリボ
ンを利用するが、これらのリボンは二重機能を有してお
り、機械的なジンバル・サスペンションの一部として、
さらにリード／ライト・ヘッド内の磁性要素と外界との
間を結合する導電回路の一部（キャリアまたはその他）
としても機能する。

【００７２】比較的もろいジンバル・リボンに対して特
別な出荷、取扱いおよび組立て上の保護が必要とされる
場合には図15および図16に示された変更構造を利用する
ことができるが、そこでは可撓体本体の末端がこれらの
リボンを含む区域を覆っている。図17〜図20に示された
変更態様は、個々の変換器ユニットを個々または並置さ
れたキャリア・ユニットへより容易に相互接続できる他
のアセンブリ構造の方法を提供している。これらの変更
態様はまた、ジンバル・リボンのサイズおよび形状を容
易に変更する手段により動的共振特性の広範な変化に対
するポテンシャルを提供する。図20に示された変更態様
は、信頼性または他の理由から必要とされる場合には電
気的相互接続から独立した機械的な相互接続を提供する
付加的な能力を有する。

【００７３】ここに開示および説明された本発明の実施
態様のすべてにおいて、統合されたリード／ライト・ヘ
ッド構造体は開示された実施態様の一つにおける互換的
変更に関して既述したように誘導タイプ構造、クロスフ
ィールド・タイプ構造あるいは磁気抵抗タイプ構造を取
ることができる。

【００７４】したがって、ジンバルになされたヘッド／
可撓体／導体のアセンブリの一つの好ましい実施態様お
よびいくつかの変更態様、該アセンブリを採用した装
置、および特定の製造工程がここに図示されかつ説明さ
れているが、変更および修正が当業者により考え得るこ
と、またそれらは本発明の精神から逸脱することなく行
われ得ると思われる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明にしたがって製造されるジンバル
になされたマイクロ・ヘッド／可撓体／導体のアセンブ
リを備えた小フォーマットの剛性磁気ディスク・ディジ
タル情報貯蔵装置を示す開かれた平面図である。このア
センブリは図１では極めて概略な形式で描かれており、
また簡明を期するために図１の尺度はその正確な構成や
部材要素の数を詳しく示していない。

【図２】図２は図１に示された装置を図１の底から概ね
見上げた図１よりもやや大きな尺度で描かれた縦断面図
である。

【図３】図３は図１および図２の装置に組み込まれたマ
イクロ・ヘッド／可撓体／導体のアセンブリの詳細を示
す図１の３−３で表された二つの湾曲矢印により囲まれ
る区域の拡大分解平面図である。

【図４】図４は図３の４−４線に概ね沿った実質的に図
３と同じ尺度の分解図である。

【図５】図５は本発明のマイクロ・ヘッド／可撓体／導
体のアセンブリの部分を形成する一般に平面的な読み／
書き変換器ユニットつまりスライダをその他の構造体か
ら分離して示した拡大透視図である。

【図６】図６は本発明のマイクロ・ヘッド／可撓体／導
体のアセンブリの部分を形成する一般に平面的なキャリ
ア・ユニットつまり可撓体をその他の構造体から分離し
て示した図３で採用されたよりもいく分小さな尺度での
分解平面図である。

【図７】図７は図６の上側面からみた分解図である。

【図８】図８の（Ａ）および（Ｂ）は本発明に基づくア
センブリの製造において採用された工程を示す分解図で
ある。

【図９】図９の（Ａ）および（Ｂ）は本発明に基づくア
センブリの製造において採用された工程を示す分解図で
ある。

【図10】図10の（Ａ）および（Ｂ）は本発明に基づくア
センブリの製造において採用された工程を示す分解図で
ある。

【図11】図11の（Ａ）および（Ｂ）は本発明に基づくア
センブリの製造において採用された工程を示す分解図で
ある。

【図12】図12の（Ａ）および（Ｂ）は本発明に基づくア
センブリの製造において採用された工程を示す分解図で
ある。

【図13】図13の（Ａ）および（Ｂ）は本発明に基づくア
センブリの製造において採用された工程を示す分解図で
ある。

【図14】図14は本発明に基づくアセンブリの製造におい
て採用された工程を示す分解図である。

【図15】図15はジンバルになされたヘッド／可撓体／導
体のアセンブリの変更態様を示す図３に類似した分解図
である。

【図16】図16はジンバルになされたヘッド／可撓体／導
体のアセンブリの変更態様を示す図４に類似した分解図
である。

【図17】図17の（Ａ）および（Ｂ）は変換器ユニットの
別の変更態様のそれぞれ分解平面図および分解側面図で
ある。

【図18】図18の（Ａ）および（Ｂ）は図17の（Ａ）およ
び（Ｂ）の変換器ユニットと共に使用できる可撓体ユニ
ットの変更態様のそれぞれ分解平面図および分解側面図
である。

【図19】図19は組み立てられたそれぞれ図17および図18
の変換器ユニットおよび可撓体ユニットを示す分解平面
図である。

【図20】図20は本発明にしたがって製造されたアセンブ
リであって、ワイヤーボンド式電気的相互接続が採用さ
れている別の変更態様を示す分解平面図である。

【符号の説明】

10 情報貯蔵装置 12 ハウジング 12ａベース 12ｂカバー 18 軸 24 剛性磁気記録ディスク 24ａディスク側面 26、28 アセンブリ 60 アクチュエータ 60ａ腕 62 ボイスコイル・モータ 62ａ磁石 84 変換器ユニット 86 キャリア・ユニット 88 ジンバル構造体 90、92 導体 94、96 リボン

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】情報を剛性の磁気記録媒体に関して読み
書きするためのヘッド／可撓体／導体のアセンブリにお
いて、読み／書き変換器ユニット、この変換器ユニット
を支持するための細長いキャリア・ユニット、およびこ
れらユニットをして選択された、制限された相対運動を
させるべく相互に接続し関節付けるジンバル構造体を具
備し、該アセンブリの全体は約1.5 ミリグラムよりも大
きくない有効質量を有することを特徴とするヘッド／可
撓体／導体のアセンブリ。
【請求項２】前記ジンバル構造体は操作的に前記ユニ
ットに介在する一対の横方向に離れた細長いリボンを含
むことを特徴とする請求項１記載の情報を剛性の磁気記
録媒体に関して読み書きするためのヘッド／可撓体／導
体のアセンブリ。
【請求項３】前記キャリア・ユニットは末端を持ち、
前記リボンは前記末端に隣接する前記キャリア・ユニッ
トと接合し、これらのリボンはキャリア・ユニットとの
それらの接合部域に対して末端方向に延びることを特徴
とする請求項２記載の情報を剛性の磁気記録媒体に関し
て読み書きするためのヘッド／可撓体／導体のアセンブ
リ。
【請求項４】前記キャリア・ユニットは末端を持ち、
そして前記リボンは前記末端に隣接する前記キャリア・
ユニットと接合し、これらのリボンはキャリア・ユニッ
トとのそれらの接合部域に対して前記変換器ユニットに
向かって近接的に延びる部分を含むことを特徴とする請
求項２記載の情報を剛性の磁気記録媒体に関して読み書
きするためのヘッド／可撓体／導体のアセンブリ。
【請求項５】前記ジンバル構造体は前記リボンと前記
変換器ユニットとの間に介在する横方向に中央配置され
た、近接的に延びるトングを含むことを特徴とする請求
項１記載の情報を剛性の磁気記録媒体に関して読み書き
するためのヘッド／可撓体／導体のアセンブリ。
【請求項６】さらに導体構造体を含み、そして前記の
リボンおよびトングは前記導体構造体の一部である導体
により形成されることを特徴とする請求項５記載の情報
を剛性の磁気記録媒体に関して読み書きするためのヘッ
ド／可撓体／導体のアセンブリ。
【請求項７】前記キャリア・ユニットは隣接して延び
かつ前記リボンを含む区域を覆う部分を含み、それによ
り前記リボンを保護することを特徴とする請求項２記載
の情報を剛性の磁気記録媒体に関して読み書きするため
のヘッド／可撓体／導体のアセンブリ。
【請求項８】前記変換器ユニットと前記キャリア・ユ
ニットは概ね平行な平面関係に配置され、そして前記部
分はアセンブリを前記ユニットの平面に垂直な方向から
みた場合に前記変換器ユニットの縁境界と実質的に同一
の広がりを示す縁境界を有することを特徴とする請求項
７記載の情報を剛性の磁気記録媒体に関して読み書きす
るためのヘッド／可撓体／導体のアセンブリ。
【請求項９】さらに導体構造体を含み、そして前記ジ
ンバル構造体の少なくとも一部が前記導体構造体の部分
を形成することを特徴とする請求項１記載の情報を剛性
の磁気記録媒体に関して読み書きするためのヘッド／可
撓体／導体のアセンブリ。
【請求項10】前記リボンは前記導体構造体の部分を形
成することを特徴とする請求項２記載の情報を剛性の磁
気記録媒体に関して読み書きするためのヘッド／可撓体
／導体のアセンブリ。
【請求項11】前記ユニットは概ね平面であって互いに
概ね平行な平面関係に配置されること、また前記ジンバ
ル構造体は前記ユニットの間に制限された相対的な縦揺
れおよび横揺れを許容するが、それらの間の相対的片揺
れを阻止するように構成されることを特徴とする請求項
１または２記載の情報を剛性の磁気記録媒体に関して読
み書きするためのヘッド／可撓体／導体のアセンブリ。
【請求項12】前記変換器ユニットは垂直荷重伝達てこ
構造体を含み、前記キャリア・ユニットは前記てこ構造
体と揺動接触状態に配置された平面域を含み、さらに前
記てこ構造体と前記表面域は前記ジンバル構造体の部分
を形成することを特徴とする請求項１または２記載の情
報を剛性の磁気記録媒体に関して読み書きするためのヘ
ッド／可撓体／導体のアセンブリ。
【請求項13】前記変換器ユニットは垂直荷重伝達てこ
構造体を含み、前記キャリア・ユニットは前記てこ構造
体と揺動接触状態に配置された平面域を含み、さらに前
記てこ構造体と前記表面域は前記ジンバル構造体の部分
を形成することを特徴とする請求項９記載の情報を剛性
の磁気記録媒体に関して読み書きするためのヘッド／可
撓体／導体のアセンブリ。
【請求項14】前記変換器ユニットは垂直荷重伝達てこ
構造体を含み、前記キャリア・ユニットは前記てこ構造
体と揺動接触状態に配置された平面域を含み、さらに前
記てこ構造体と前記表面域は前記ジンバル構造体の部分
を形成することを特徴とする請求項11記載の情報を剛性
の磁気記録媒体に関して読み書きするためのヘッド／可
撓体／導体のアセンブリ。
【請求項15】前記変換器ユニットはそのような媒体の
記録面との滑動接触に適合しており、また変換器ユニッ
トはこの目的のための突き出た滑動接触足を備えて形成
されることを特徴とする請求項１または２記載の情報を
剛性の磁気記録媒体に関して読み書きするためのヘッド
／可撓体／導体のアセンブリ。
【請求項16】前記足の少なくとも一つは焼き入れされ
た耐摩性材料からなることを特徴とする請求項15記載の
情報を剛性の磁気記録媒体に関して読み書きするための
ヘッド／可撓体／導体のアセンブリ。
【請求項17】前記足は焼き入れされた耐摩性材料から
なることを特徴とする請求項15記載の情報を剛性の磁気
記録媒体に関して読み書きするためのヘッド／可撓体／
導体のアセンブリ。
【請求項18】前記耐摩性材料は約1000ｋｇ／ｍｍ2 以
下でないヌープ硬度を有することを特徴とする請求項16
または17記載の情報を剛性の磁気記録媒体に関して読み
書きするためのヘッド／可撓体／導体のアセンブリ。
【請求項19】前記足の数が３であることを特徴とする
請求項15記載の情報を剛性の磁気記録媒体に関して読み
書きするためのヘッド／可撓体／導体のアセンブリ。
【請求項20】前記足の数が３であることを特徴とする
請求項17記載の情報を剛性の磁気記録媒体に関して読み
書きするためのヘッド／可撓体／導体のアセンブリ。
【請求項21】前記変換器ユニットはそのような媒体の
記録面との滑動接触に適合しており、また変換器ユニッ
トはこの目的のための突き出た滑動接触足を備えて形成
されることを特徴とする請求項11記載の情報を剛性の磁
気記録媒体に関して読み書きするためのヘッド／可撓体
／導体のアセンブリ。
【請求項22】前記変換器ユニットはそのような媒体の
記録面との滑動接触に適合しており、また変換器ユニッ
トはこの目的のための突き出た滑動接触足を備えて形成
されることを特徴とする請求項12記載の情報を剛性の磁
気記録媒体に関して読み書きするためのヘッド／可撓体
／導体のアセンブリ。
【請求項23】前記変換器ユニットはそのような媒体の
記録面との滑動接触に適合しており、また変換器ユニッ
トはこの目的のための突き出た滑動接触足を備えて形成
されることを特徴とする請求項13または14記載の情報を
剛性の磁気記録媒体に関して読み書きするためのヘッド
／可撓体／導体のアセンブリ。
【請求項24】デジタル情報を剛性の磁気記録媒体にお
ける記録表面に関して読み書きするためのジンバルにな
されたヘッド／可撓体／導体のアセンブリにおいて、リ
ード／ライト・ヘッドを含み、導体構造体と関連せしめ
られたスライダ、前記ヘッドに関連せしめられた導体構
造体と接続できる導体構造体を含む細長い可撓体、およ
びこの可撓体と前記スライダを操作的に相互接続してこ
れら二つの間に制限された相対運動を許容するジンバル
構造体を具備し、かくして、該可撓体がスライダを担持
し、該ジンバル構造体は第一に述べた二つの導体構造体
を導通的に相互接続する導体構造体を含み、前記スライ
ダ、可撓体およびジンバル構造体は集合的に約1.5 ミリ
グラムよりも大きくない有効質量を有することを特徴と
するジンバルになされたヘッド／可撓体／導体のアセン
ブリ。
【請求項25】前記ジンバル構造体は前記スライダと前
記可撓体との間に操作的に介在する一対の横方向に離れ
た細長いリボンを含むことを特徴とする請求項24記載の
デジタル情報を剛性の磁気記録媒体における記録表面に
関して読み書きするためのジンバルになされたヘッド／
可撓体／導体のアセンブリ。
【請求項26】前記リボンは前記ジンバル構造体内に含
まれる導体構造体を形成することを特徴とする請求項25
記載のデジタル情報を剛性の磁気記録媒体における記録
表面に関して読み書きするためのジンバルになされたヘ
ッド／可撓体／導体のアセンブリ。
【請求項27】前記のスライダおよび可撓体は概ね平面
であって互いに概ね平行な平面関係に配置されること、
また前記ジンバル構造体はスライダと可撓体との間に制
限された相対的な縦揺れおよび横揺れを許容するが、そ
れらの間の相対的片揺れを阻止するように構成されるこ
とを特徴とする請求項24または25記載のデジタル情報を
剛性の磁気記録媒体における記録表面に関して読み書き
するためのジンバルになされたヘッド／可撓体／導体の
アセンブリ。
【請求項28】前記スライダは垂直荷重伝達てこ構造体
を含み、前記可撓体は前記てこ構造体と揺動接触状態に
配置された平面域を含み、さらに前記てこ構造体と前記
表面域は前記ジンバル構造体の部分を形成することを特
徴とする請求項24または25記載のデジタル情報を剛性の
磁気記録媒体における記録表面に関して読み書きするた
めのジンバルになされたヘッド／可撓体／導体のアセン
ブリ。
【請求項29】前記スライダはそのような記録面との滑
動接触に適合しており、またスライダはこの目的のため
の突き出た滑動接触足を備えて形成されることを特徴と
する請求項24または25記載のデジタル情報を剛性の磁気
記録媒体における記録表面に関して読み書きするための
ジンバルになされたヘッド／可撓体／導体のアセンブ
リ。
【請求項30】前記足は焼き入れされた耐摩性材料から
なることを特徴とする請求項29記載のデジタル情報を剛
性の磁気記録媒体における記録表面に関して読み書きす
るためのジンバルになされたヘッド／可撓体／導体のア
センブリ。
【請求項31】前記足の数が３であることを特徴とする
請求項29記載のデジタル情報を剛性の磁気記録媒体にお
ける記録表面に関して読み書きするためのジンバルにな
されたヘッド／可撓体／導体のアセンブリ。
【請求項32】前記足の数が３であることを特徴とする
請求項30記載のデジタル情報を剛性の磁気記録媒体にお
ける記録表面に関して読み書きするためのジンバルにな
されたヘッド／可撓体／導体のアセンブリ。
【請求項33】剛性の磁気記録媒体との使用のためのリ
ード／ライト組織において、ジンバルになされたヘッド
／可撓体／導体のアセンブリと、このアセンブリに約1.
5 ミリグラムよりも大きくない有効質量を与えるための
寸法決定および構成材料の選択とからなることを特徴と
する剛性の磁気記録媒体との使用のためのリード／ライ
ト組織。
【請求項34】前記アセンブリは一対のユニットを含
み、これらユニットはそれらの間に制限された量の相対
的な縦揺れおよび横揺れは許容されるが、相対的な片揺
れをこうむることは阻止されていることを特徴とする請
求項33記載の剛性の磁気記録媒体との使用のためのリー
ド／ライト組織。
【請求項35】剛性ディスク磁気記録装置において、記
録面を持つ剛性磁気記録ディスク、および前記記録面に
関して磁気情報を読み取りおよび書き込むために前記記
録面に対して操作できるジンバルになされたヘッド／可
撓体／導体のアセンブリを具備し、このアセンブリは約
1.5 ミリグラムよりも大きくない有効質量により特徴づ
けられることを特徴とする剛性ディスク磁気記録装置。
【請求項36】前記アセンブリは一対のユニットを含
み、これらユニットはそれらの間に制限された量の相対
的な縦揺れおよび横揺れは許容されるが、相対的な片揺
れをこうむることは阻止されていることを特徴とする請
求項35記載の剛性ディスク磁気記録装置。