JPH06232239A - 薄板部材の移載用リフト - Google Patents
薄板部材の移載用リフトInfo
- Publication number
- JPH06232239A JPH06232239A JP3458893A JP3458893A JPH06232239A JP H06232239 A JPH06232239 A JP H06232239A JP 3458893 A JP3458893 A JP 3458893A JP 3458893 A JP3458893 A JP 3458893A JP H06232239 A JPH06232239 A JP H06232239A
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- JP
- Japan
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- thin plate
- support portion
- plate member
- concave groove
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 薄板部材を直立状態に保持して安全且つ確実
に移載することができる移載用リフトを提供する。 【構成】 センター支持部１３の凹溝１５とサイド支持
部１４の凹溝１６とを位相をずらして配置することで、
薄板部材の配列方向Ｘにおけるセンター支持部１３の凹
溝１５の一方の側面１９とサイド支持部１４の凹溝１６
の他方の側面２０との間に薄板部材の厚さ分の間隙Ｇを
形成した。
に移載することができる移載用リフトを提供する。 【構成】 センター支持部１３の凹溝１５とサイド支持
部１４の凹溝１６とを位相をずらして配置することで、
薄板部材の配列方向Ｘにおけるセンター支持部１３の凹
溝１５の一方の側面１９とサイド支持部１４の凹溝１６
の他方の側面２０との間に薄板部材の厚さ分の間隙Ｇを
形成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハやコンパ
クトディスク、さらにはガラス基板といった、いわゆる
薄板部材の製造工程や処理工程において、薄板部材を移
載する際に用いられる移載用リフトに関するものであ
る。
クトディスク、さらにはガラス基板といった、いわゆる
薄板部材の製造工程や処理工程において、薄板部材を移
載する際に用いられる移載用リフトに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の薄板部材の移載用リフトを
説明する斜視図である。図示した移載用リフト５０にお
いて、５１は支持アームであり、この支持アーム５１の
上端には固定板５２が取り付けられている。また、その
固定板５２上には、センター支持部５３と左右一対のサ
イド支持部５４とが設けられており、これらのセンター
支持部５３とサイド支持部５４とは上記固定板５２上に
おいて一体に形成されている。
説明する斜視図である。図示した移載用リフト５０にお
いて、５１は支持アームであり、この支持アーム５１の
上端には固定板５２が取り付けられている。また、その
固定板５２上には、センター支持部５３と左右一対のサ
イド支持部５４とが設けられており、これらのセンター
支持部５３とサイド支持部５４とは上記固定板５２上に
おいて一体に形成されている。
【０００３】さらに、センター支持部５３とサイド支持
部５４の各々には、図５にも示すように、その長手方
向、すなわち薄板部材の配列方向Ｘに対して一定のピッ
チで複数の凹溝５５、５６が形成されており、これらの
凹溝５５、５６に薄板部材５７の下辺部分が嵌め込まれ
ることによって、移載用リフト５０に薄板部材５７が支
持されるようになっている。
部５４の各々には、図５にも示すように、その長手方
向、すなわち薄板部材の配列方向Ｘに対して一定のピッ
チで複数の凹溝５５、５６が形成されており、これらの
凹溝５５、５６に薄板部材５７の下辺部分が嵌め込まれ
ることによって、移載用リフト５０に薄板部材５７が支
持されるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の移載用リフト５０では、センター支持部５３とサイド
支持部５４とに凹溝５５、５６を形成する際、その加工
精度のバラツキを考慮して凹溝５５、５６の幅を設定し
なければならないため、どうしても上記加工精度のバラ
ツキ分だけ凹溝５５、５６と薄板部材５７との間にクリ
アランスが生じてしまう。このため、移載用リフト５０
上の薄板部材５７は図６に示すように傾いて支持される
ことになり、そのままの状態では薄板部材５７を安全且
つ確実に移載することができないといった問題があっ
た。
の移載用リフト５０では、センター支持部５３とサイド
支持部５４とに凹溝５５、５６を形成する際、その加工
精度のバラツキを考慮して凹溝５５、５６の幅を設定し
なければならないため、どうしても上記加工精度のバラ
ツキ分だけ凹溝５５、５６と薄板部材５７との間にクリ
アランスが生じてしまう。このため、移載用リフト５０
上の薄板部材５７は図６に示すように傾いて支持される
ことになり、そのままの状態では薄板部材５７を安全且
つ確実に移載することができないといった問題があっ
た。
【０００５】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたもので、薄板部材を直立状態に保持して安全且つ確
実に移載することができる移載用リフトを提供すること
を目的とする。
れたもので、薄板部材を直立状態に保持して安全且つ確
実に移載することができる移載用リフトを提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされたもので、薄板部材の配列方向に対
して一定のピッチで形成された複数の凹溝を有するセン
ター支持部と、このセンター支持部の両側に設けられて
センター支持部の凹溝と同一のピッチで形成された複数
の凹溝を有する左右一対のサイド支持部とを備え、これ
らセンター支持部の凹溝とサイド支持部の凹溝とによっ
て薄板部材を支持する移載用リフトにおいて、センター
支持部の凹溝とサイド支持部の凹溝とを位相をずらして
配置することで、薄板部材の配列方向におけるセンター
支持部の凹溝の一方の側面とサイド支持部の凹溝の他方
の側面との間に薄板部材の厚さ分の間隙を形成したもの
である。また、センター支持部とサイド支持部のうち、
少なくとも何れか一方を薄板部材の配列方向に対して移
動調整可能としたものである。
成するためになされたもので、薄板部材の配列方向に対
して一定のピッチで形成された複数の凹溝を有するセン
ター支持部と、このセンター支持部の両側に設けられて
センター支持部の凹溝と同一のピッチで形成された複数
の凹溝を有する左右一対のサイド支持部とを備え、これ
らセンター支持部の凹溝とサイド支持部の凹溝とによっ
て薄板部材を支持する移載用リフトにおいて、センター
支持部の凹溝とサイド支持部の凹溝とを位相をずらして
配置することで、薄板部材の配列方向におけるセンター
支持部の凹溝の一方の側面とサイド支持部の凹溝の他方
の側面との間に薄板部材の厚さ分の間隙を形成したもの
である。また、センター支持部とサイド支持部のうち、
少なくとも何れか一方を薄板部材の配列方向に対して移
動調整可能としたものである。
【０００７】
【作用】本発明の薄板部材の移載用リフトにおいては、
センター支持部の凹溝とサイド支持部の凹溝とを位相を
ずらして配置することで、薄板部材の配列方向における
センター支持部の凹溝の一方の側面とサイド支持部の凹
溝の他方の側面との間に薄板部材の厚さ分の間隙を形成
するようにしたので、被支持部材である薄板部材は、そ
の配列方向におけるセンター支持部の凹溝の一方の側面
とサイド支持部の凹溝の他方の側面とに挟み込まれたか
たちで直立状態に保持される。また、本発明の移載用リ
フトでは、センター支持部とサイド支持部のうち、少な
くとも何れか一方を薄板部材の配列方向に対して移動調
整可能とすることにより、上記センター支持部の凹溝の
一方の側面とサイド支持部の凹溝の他方の側面との間隙
を、取扱う薄板部材の厚さに応じて可変できるようにな
る。
センター支持部の凹溝とサイド支持部の凹溝とを位相を
ずらして配置することで、薄板部材の配列方向における
センター支持部の凹溝の一方の側面とサイド支持部の凹
溝の他方の側面との間に薄板部材の厚さ分の間隙を形成
するようにしたので、被支持部材である薄板部材は、そ
の配列方向におけるセンター支持部の凹溝の一方の側面
とサイド支持部の凹溝の他方の側面とに挟み込まれたか
たちで直立状態に保持される。また、本発明の移載用リ
フトでは、センター支持部とサイド支持部のうち、少な
くとも何れか一方を薄板部材の配列方向に対して移動調
整可能とすることにより、上記センター支持部の凹溝の
一方の側面とサイド支持部の凹溝の他方の側面との間隙
を、取扱う薄板部材の厚さに応じて可変できるようにな
る。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を基に詳
細に説明する。図１は本発明に係わる薄板部材の移載用
リフトの一実施例を説明する図であり、図中（ａ）はそ
の斜視図、（ｂ）はその平断面図である。図示した移載
用リフト１０において、１１は支持アームであり、この
支持アーム１１の上端には固定板１２が取り付けられて
いる。また、その固定板１２上には、センター支持部１
３と左右一対のサイド支持部１４とが設けられており、
サイド支持部１４はセンター支持部１３の両側にそれぞ
れ配置されている。
細に説明する。図１は本発明に係わる薄板部材の移載用
リフトの一実施例を説明する図であり、図中（ａ）はそ
の斜視図、（ｂ）はその平断面図である。図示した移載
用リフト１０において、１１は支持アームであり、この
支持アーム１１の上端には固定板１２が取り付けられて
いる。また、その固定板１２上には、センター支持部１
３と左右一対のサイド支持部１４とが設けられており、
サイド支持部１４はセンター支持部１３の両側にそれぞ
れ配置されている。
【０００９】さらに、センター支持部１３とサイド支持
部１４の各々には、その長手方向、すなわち薄板部材の
配列方向Ｘに対して一定のピッチで複数の凹溝１５、１
６が形成されている。また、各々の凹溝１５、１６の上
側には略Ｖ字形のテーパ面１７、１８が形成されてい
る。
部１４の各々には、その長手方向、すなわち薄板部材の
配列方向Ｘに対して一定のピッチで複数の凹溝１５、１
６が形成されている。また、各々の凹溝１５、１６の上
側には略Ｖ字形のテーパ面１７、１８が形成されてい
る。
【００１０】ここで本実施例の移載用リフト１０では、
図１（ｂ）中に示した凹溝１５、１６の各中心線（一点
鎖線）の位置が幾分ずれていることから分かるように、
センター支持部１３の凹溝１５とサイド支持部１４の凹
溝１６とを位相をずらして配置している。そして、薄板
部材の配列方向Ｘにおけるセンター支持部１３の凹溝１
５の一方の側面１９とサイド支持部１４の凹溝１６の他
方の側面２０との間に、薄板部材（不図示）の厚さ分の
間隙Ｇを形成している。なお、上述の間隙Ｇは取り扱う
薄板部材の厚さを基準に設定されるものであり、実際上
は薄板部材の厚さよりもほんの僅か大きくなるように設
定される。
図１（ｂ）中に示した凹溝１５、１６の各中心線（一点
鎖線）の位置が幾分ずれていることから分かるように、
センター支持部１３の凹溝１５とサイド支持部１４の凹
溝１６とを位相をずらして配置している。そして、薄板
部材の配列方向Ｘにおけるセンター支持部１３の凹溝１
５の一方の側面１９とサイド支持部１４の凹溝１６の他
方の側面２０との間に、薄板部材（不図示）の厚さ分の
間隙Ｇを形成している。なお、上述の間隙Ｇは取り扱う
薄板部材の厚さを基準に設定されるものであり、実際上
は薄板部材の厚さよりもほんの僅か大きくなるように設
定される。
【００１１】加えて、本実施例の移載用リフト１０にお
いては、固定板１２の中央に配置されたセンター支持部
１３が以下の構成により薄板部材の配列方向Ｘに対して
移動調整可能となっている。すなわち、図２の分解斜視
図に示すように、まず固定板１２は支持アーム１１の上
端面に螺子止めされている。そして、一対のサイド支持
部１４は、固定板１２の両端に沿ってセットされるとと
もに、固定１２の下面側から螺子止めにより固定されて
いる。
いては、固定板１２の中央に配置されたセンター支持部
１３が以下の構成により薄板部材の配列方向Ｘに対して
移動調整可能となっている。すなわち、図２の分解斜視
図に示すように、まず固定板１２は支持アーム１１の上
端面に螺子止めされている。そして、一対のサイド支持
部１４は、固定板１２の両端に沿ってセットされるとと
もに、固定１２の下面側から螺子止めにより固定されて
いる。
【００１２】一方、センター支持部１３は、一旦、螺子
止めによって中間プレート２１に固定され、この中間プ
レート２１を介して固定板１２に取り付けられている。
その際、中間プレート２１は長孔２２を通して螺子２３
とワッシャ２４により固定板１２に取り付けられるた
め、中間プレート２１に固定されたセンター支持部１３
は、長孔２２と螺子２３とのクリアランス分だけ薄板部
材の配列方向Ｘに対して移動できるようになる。
止めによって中間プレート２１に固定され、この中間プ
レート２１を介して固定板１２に取り付けられている。
その際、中間プレート２１は長孔２２を通して螺子２３
とワッシャ２４により固定板１２に取り付けられるた
め、中間プレート２１に固定されたセンター支持部１３
は、長孔２２と螺子２３とのクリアランス分だけ薄板部
材の配列方向Ｘに対して移動できるようになる。
【００１３】このようにして移載用リフト１０が構成さ
れることにより、被支持部材となる薄板部材２５は、図
３に示すように、センター支持部１３の凹溝１５の一方
の側面１９とサイド支持部１４の凹溝１６の他方の側面
２０とに挟み込まれたかたちで支持されるようになる。
本実施例では、薄板部材の配列方向Ｘにおける各側面１
９、２０の間隙Ｇ（図１参照）が先の構成で述べたよう
に薄板部材２５の厚さ分に設定されているため、薄板部
材２５と上記各側面１９、２０との間には殆どクリアラ
ンスが生じることがなく、これによって薄板部材２５は
傾くことなく直立状態に保持される。
れることにより、被支持部材となる薄板部材２５は、図
３に示すように、センター支持部１３の凹溝１５の一方
の側面１９とサイド支持部１４の凹溝１６の他方の側面
２０とに挟み込まれたかたちで支持されるようになる。
本実施例では、薄板部材の配列方向Ｘにおける各側面１
９、２０の間隙Ｇ（図１参照）が先の構成で述べたよう
に薄板部材２５の厚さ分に設定されているため、薄板部
材２５と上記各側面１９、２０との間には殆どクリアラ
ンスが生じることがなく、これによって薄板部材２５は
傾くことなく直立状態に保持される。
【００１４】また、本実施例の移載用リフト１０では、
薄板部材の配列方向Ｘに対してセンター支持部１３を移
動調整できるようにしたので、取り扱う薄板部材の厚さ
に応じて上記各側面１９、２０の間隙Ｇを可変すること
が可能となる。
薄板部材の配列方向Ｘに対してセンター支持部１３を移
動調整できるようにしたので、取り扱う薄板部材の厚さ
に応じて上記各側面１９、２０の間隙Ｇを可変すること
が可能となる。
【００１５】なお、上記実施例の構成では、薄板部材の
配列方向Ｘに対してセンター支持部１３だけを移動調整
できるようにしたが、本発明はこれに限らず、上記配列
方向Ｘに対してサイド支持部１４側を移動調整できるよ
うにしてもよく、さらにはセンター支持部１３とサイド
支持部１４の両方を移動調整できるようにしてもよい。
配列方向Ｘに対してセンター支持部１３だけを移動調整
できるようにしたが、本発明はこれに限らず、上記配列
方向Ｘに対してサイド支持部１４側を移動調整できるよ
うにしてもよく、さらにはセンター支持部１３とサイド
支持部１４の両方を移動調整できるようにしてもよい。
【００１６】
【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、センター支持部の凹溝とサイド支持部の凹溝とによ
って殆どクリアランスを介在させることなく薄板部材を
支持することができることから、移載用リフト上では薄
板部材が直立状態に保持されるようになるため、薄板部
材の傾きに伴う移載ミスや薄板部材の破損事故等が防止
され、薄板部材を安全且つ確実に移載することが可能と
なる。特に、半導体ウエハなどの薄板部材を移載する場
合は、薄板部材の傾きが矯正されることで、製品同士の
接触や製品と冶具の接触が回避されるため、これに伴う
ウエハ破損事故やダスト発生が大幅に低減され、歩留り
向上につながる。さらに、本発明によれば、薄板部材の
配列方向におけるセンター支持部の凹溝の一方の側面と
サイド支持部の凹溝の他方の側面との間隙を、取り扱う
薄板部材の厚さに応じて可変することができるため、製
品の機種変更等に伴って取り扱う薄板部材の厚さが変わ
った場合でも一台の移載用リフトで十分に対応できる。
は、センター支持部の凹溝とサイド支持部の凹溝とによ
って殆どクリアランスを介在させることなく薄板部材を
支持することができることから、移載用リフト上では薄
板部材が直立状態に保持されるようになるため、薄板部
材の傾きに伴う移載ミスや薄板部材の破損事故等が防止
され、薄板部材を安全且つ確実に移載することが可能と
なる。特に、半導体ウエハなどの薄板部材を移載する場
合は、薄板部材の傾きが矯正されることで、製品同士の
接触や製品と冶具の接触が回避されるため、これに伴う
ウエハ破損事故やダスト発生が大幅に低減され、歩留り
向上につながる。さらに、本発明によれば、薄板部材の
配列方向におけるセンター支持部の凹溝の一方の側面と
サイド支持部の凹溝の他方の側面との間隙を、取り扱う
薄板部材の厚さに応じて可変することができるため、製
品の機種変更等に伴って取り扱う薄板部材の厚さが変わ
った場合でも一台の移載用リフトで十分に対応できる。
【図１】本発明に係わる薄板部材の移載用リフトの一実
施例を説明する図である。
施例を説明する図である。
【図２】図１に示す移載用リフトの分解斜視図である。
【図３】実施例における薄板部材の支持形態を説明する
模式図である。
模式図である。
【図４】従来の薄板部材の移載用リフトを説明する斜視
図である。
図である。
【図５】従来の薄板部材の移載用リフトを説明する平面
図である。
図である。
【図６】従来問題を説明するための側面概略図である。
１０ 移載用リフト １３ センター支持部 １４ サイド支持部 １５ 凹溝 １６ 凹溝 Ｇ 間隙 Ｘ 薄板部材の配列方向
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 奉弘 神奈川県厚木市温水1937番地 正和エンジ ニアリング株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 薄板部材の配列方向に対して一定のピッ
チで形成された複数の凹溝を有するセンター支持部と、
前記センター支持部の両側に設けられて前記センター支
持部の凹溝と同一のピッチで形成された複数の凹溝を有
する左右一対のサイド支持部とを備え、前記センター支
持部の凹溝と前記サイド支持部の凹溝とによって薄板部
材を支持する移載用リフトにおいて、 前記センター支持部の凹溝と前記サイド支持部の凹溝と
を位相をずらして配置することで、前記薄板部材の配列
方向における前記センター支持部の凹溝の一方の側面と
前記サイド支持部の凹溝の他方の側面との間に前記薄板
部材の厚さ分の間隙を形成したことを特徴とする薄板部
材の移載用リフト。 - 【請求項２】 前記センター支持部と前記サイド支持部
のうち、少なくとも何れか一方を前記薄板部材の配列方
向に対して移動調整可能としたことを特徴とする請求項
１記載の薄板部材の移載用リフト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3458893A JPH06232239A (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 薄板部材の移載用リフト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3458893A JPH06232239A (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 薄板部材の移載用リフト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06232239A true JPH06232239A (ja) | 1994-08-19 |
Family
ID=12418491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3458893A Pending JPH06232239A (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 薄板部材の移載用リフト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06232239A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4041875A1 (de) * | 1989-12-28 | 1991-07-04 | Mazda Motor | Leerlauf-drehzahlregelsystem fuer eine brennkraftmaschine |
| WO2009030494A2 (de) | 2007-08-31 | 2009-03-12 | Jonas & Redmann Automationstechnik Gmbh | Halterungsvorrichtung für scheibenartige substrate wie solarzellenwafer |
| KR102357713B1 (ko) * | 2020-10-07 | 2022-02-07 | 한국로봇융합연구원 | 배관 로봇 투입 장치 |
| KR20240030558A (ko) * | 2022-08-31 | 2024-03-07 | 한국로봇융합연구원 | 배관 내부 투입 장치 |
-
1993
- 1993-01-29 JP JP3458893A patent/JPH06232239A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4041875A1 (de) * | 1989-12-28 | 1991-07-04 | Mazda Motor | Leerlauf-drehzahlregelsystem fuer eine brennkraftmaschine |
| WO2009030494A2 (de) | 2007-08-31 | 2009-03-12 | Jonas & Redmann Automationstechnik Gmbh | Halterungsvorrichtung für scheibenartige substrate wie solarzellenwafer |
| WO2009030494A3 (de) * | 2007-08-31 | 2009-09-17 | Jonas & Redmann Automationstechnik Gmbh | Halterungsvorrichtung für scheibenartige substrate wie solarzellenwafer |
| CN101821845B (zh) | 2007-08-31 | 2012-11-14 | 约纳斯雷德曼自动化技术有限公司 | 用于盘形基片的夹持装置及其制造方法 |
| KR102357713B1 (ko) * | 2020-10-07 | 2022-02-07 | 한국로봇융합연구원 | 배관 로봇 투입 장치 |
| KR20240030558A (ko) * | 2022-08-31 | 2024-03-07 | 한국로봇융합연구원 | 배관 내부 투입 장치 |
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