JPH062323U - 顕微鏡ステージ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 顕微鏡のステージの粗微動切り替えの操作性
を高める。 【構成】 把持動作によりスイッチのＯＮ状態を保持し
て微動駆動機構の駆動力のステージＸｓへの伝達を解除
し、粗動ハンドル１の操作により所定の粗動動作を行え
るようにした粗動切り替えレバー４と、前記微動駆動機
構の微動操作を行う微動微動調整つまみ１０とを粗動ハ
ンドル１に設け、ステージ移動のための粗微動切り替え
を行い、引き続き粗動ハンドル１の位置にある微動調整
つまみ１０により微動動作に入れる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は顕微鏡ステージに係り、特に大型液晶基板のような板状の被検試料を 載置したステージの粗微動の切り替えを容易に行えるようにした顕微鏡ステージ に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、大型の液晶基板等の板状被検試料を検査観察するには基板を載置するス テージをＸ軸方向、Ｙ軸方向の２方向に案内レールを介して移動できる構造とし たものが多く開発されている。この種のステージではまず、所定の粗動操作によ りおおよその位置決めを行い、その後微動調整を行い所定位置の観察を行うよう になっている。 図７はこの種の顕微鏡に装備されているステージの一例を示したものである。 同図において、符号５０は図示しないベース上に固定された案内レールＹ１を 示しており、この案内レールＹ１上には列状ベアリング５１を介してＹ方向ステ ージ５２が矢印Ｙ方向に移動可能に載置されている。さらにＹ方向ステージ５２ の上面の一部には案内レールＸ１が取り付けられており、この案内レール上をＸ 方向ステージ５３が矢印Ｘ方向に移動できるようになっている。この種のステー ジ５２、５３を粗動させるにはＸ方向ステージ５３の観察者側の側面に取り付け られているＵ字形粗動ハンドル５４を把持してＸ方向ステージとＹ方向ステージ とを所定位置まで動かせば良い。 一方、微動操作のためにＹ方向ステージ５２の観察者側に取付プレート５２ａ を介して微動調整用つまみ５５、５６が同軸的に取り付けられている。微動調整 用つまみ５５、５６はそれぞれのつまみの回転角に応じてＸ、Ｙ方向の微動操作 を独立して行うようになっている。その取付位置としては、図７（ａ）に示した ようにＸ方向ステージ５３とＹ方向ステージ５２とがほぼ中央部に位置するとき に粗動ハンドル５４と微動調整用つまみ５５、５６とが上下方向に近接した位置 となるように設定されている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、前述のステージでは図８に示したように観察者が（ａ）から（ ｂ）のようにＸ方向ステージ５３を移動させるにつれて粗動ハンドル５４の位置 と微動調整用つまみ５５、５６位置とが離れた状態になる。 また、観察者が（ｂ）から（ｃ）のようにＹ方向ステージ５２を移動させると 観察者の手の位置と微動調整用つまみ５５の位置とが離れた状態になる。 このため粗動操作から微動操作への切り替えやその反対に微動、粗動の切り替 えにおいて、観察者は切り替えのたびに異なった位置にある微動調整用つまみ５ ５、５６の位置と粗動ハンドル５４の位置とを確認して操作を行わなければなら ず、動作が煩雑になるという問題がある。 また、基板を安全な状態で交換させるためにレボルバを最低倍率の対物レンズ に切り替えることのできるレボルバ退避機能を有する顕微鏡ではこのレボルバ退 避動作を粗微動の切り替えと同様にスピーディに実現したいという要請もある。

【０００４】 そこで、本考案の目的は上述した従来の技術が有する問題点を解消し、基板観 察時に観察者が粗動ハンドルに手を置いた状態で粗微動切り替えができ、さらに 決まった位置で微動操作ができるようにした操作性の良い顕微鏡ステージを提供 することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

前記目的を達成するために、第１の考案は粗動ハンドルの操作による粗動動作 と微動駆動機構による微動動作とを切り替えてステージを所定位置に移動可能な 顕微鏡ステージにおいて、前記粗動ハンドルは、把持動作によりスイッチのＯＮ 状態を保持して前記微動駆動機構の駆動力の前記ステージへの伝達を解除しつつ 、該ハンドル操作により所定の粗動動作を行えるようにした粗動切り替えレバー と、前記微動駆動機構の微動操作を行う微動操作手段とを備えたことを特徴とす るものである。

【０００６】 また、第２の考案は粗動ハンドルの操作による粗動動作と微動駆動機構による 微動動作とを切り替えてステージを所定位置に移動可能な顕微鏡ステージにおい て、前記粗動ハンドルは、把持動作によりスイッチのＯＮ状態を保持して前記微 動駆動機構の駆動力の前記ステージへの伝達を解除し、該粗動ハンドル操作によ り所定の粗動動作を行えるようにした粗動切り替えレバーを有し、前記微動駆動 機構の微動操作を行う微動操作手段を顕微鏡と別体のリモートスイッチとしたこ とを特徴とするものである。

【０００７】 このとき前記粗動ハンドルにあわせてレボルバ退避スイッチを設けるようにす ることが好ましい。

【０００８】

【作用】

第１の考案によれば、把持動作によりスイッチのＯＮ状態を保持して前記微動 駆動機構の駆動力の前記ステージへの伝達を解除し、該粗動ハンドル操作により 所定の粗動動作を行えるようにした粗動切り替えレバーと、前記微動駆動機構の 微動操作を行う微動操作手段とを粗動ハンドルに設けたので、ステージ移動のた めの粗微動切り替えを行い、引き続き粗動ハンドル位置にある微動操作手段によ り微動動作に入れるので、観察者はいちいち微動操作手段の位置を確認すること なく、即座に各動作を行える。

【０００９】 また、第２の考案によれば、把持動作によりスイッチのＯＮ状態を保持して前 記微動駆動機構の駆動力の前記ステージへの伝達を解除し、該粗動ハンドル操作 により所定の粗動動作を行えるようにした粗動切り替えレバーを粗動ハンドルに 組み込み、前記微動駆動機構の微動操作を行う微動操作手段を顕微鏡と別体のリ モートスイッチとしたので、微動調整を観察者に対して常に同じ位置で行えると ともに、検査対象に応じた種々の外部微動操作手段を取り付けることができる。

【００１０】 このとき前記粗動ハンドルにあわせてレボルバ退避スイッチを設けるようにす ることにより、基板交換時のレボルバ退避動作を速やかに行うことができる。

【００１１】

【実施例】

以下、本考案による顕微鏡ステージの一実施例を図１乃至図２を参照して説明 する。 図１において、符号１はＸ方向ステージＸs の観察者側の前面に取着された粗 動ハンドルを示している。この粗動ハンドル１は略Ｕ字形をなし、側方支持部１ Ａと、側方支持部１Ａを連結するように取り付けられた把持部２とから構成され ている。把持部２の内面側にはグリップスイッチ３が組み込まれている。このグ リップスイッチ３は把持部２に沿って取り付けられたグリップロッド４と、グリ ップロッド４のボタン押圧動作により作動するマイクロスイッチ５とから構成さ れている。 このうちグリプロッド４はその一端が図２に示したように側方支持 部１Ａの内部において回動ピンＰに枢着されている。また他端にはコイルバネ６ が装着されると共に、埋設された当接ピン４ａの先端がマイクロスイッチ５の接 点５ａに当接してＯＮ状態となる。 通常、グリップロッド４はコイルバネ６によりマイクロスイッチ５の接点５ａと 当接ピン４ａとが離れた状態、すなわちマイクロスイッチ５がＯＦＦ状態となる ように矢印Ａ方向に付勢されている。

【００１２】 図２に示した状態から図３に示したように把持部２のグリップロッド４を握る ことによりマイクロスイッチ５をＯＮ状態にすることができる。 さらに側方支持部１Ａには微動調整つまみ１０が取り付けられている。この微 動調整つまみ１０は図４に示したように同軸的に配置され互いに独立して操作可 能な２個のＸ方向微動つまみ１０ＡとＹ方向微動つまみ１０Ｂとからなり、Ｘ方 向微動つまみ１０Ａの回転軸１１の端部は中ぐり形状に加工されたＹ方向微動つ まみ１０Ｂの中心部を貫通して側方支持部１Ａ内に収容されたロータリエンコー ダ１２に連結されている。

【００１３】 一方、ロータリエンコーダ１２と並んでロータリエンコーダ１３が側方支持部 １Ａ内に収容されている。ロータリエンコーダ１３の回転軸１３ａには伝達プー リ１４が嵌着されており、伝達プーリ１４とＹ方向微動つまみ１０Ｂとの間には 伝達ベルト１５が掛け渡されている。この伝達ベルト１５を介してＹ方向微動つ まみ１０Ｂの回転がロータリエンコーダ１３に伝達される。 さらにロータリエンコーダ１２、１３で検出された回転角が電気的に変換され 図示しないテーブル微動駆動部に動作指令として出力される。

【００１４】 次に、前述のマイクロスイッチ５のＯＮ、ＯＦＦ状態信号により動作するクラ ッチ手段について図５を参照して説明する。 図５（ａ）において、符号２０は顕微鏡のベースの一部を示しており、ベース ２０上の所定位置にステージ微動駆動装置２１が固定されている。このステージ 駆動装置２１の内部にＤＣモータと、ＤＣモータに連結したソレノイド等を利用 したクラッチ手段を有するギヤトレインとが内蔵されており、外部に延出した駆 動軸２２の先端には摩擦車２３が取着されている。この摩擦車２３はＹ方向ステ ージＹs の下面に延設されたステージ送りガイド２４と接触しており、摩擦車２ ３の回転がステージ送りガイド２４のＹ軸方向移動に変換され、摩擦車２３の回 転角に応じたステージのＹ軸方向の移動が行えるようになっている。 また、図示しないが、前述のステージ駆動装置２１と同様の構造のステージ駆 動装置がＹ方向ステージＹs の上面の所定位置にも装備されており、Ｘ方向ステ ージＸs の下面に延設されたステージ送りガイドとＸ方向ステージＸs を微動操 作できるようになっている。

【００１５】 図５（ａ）は微動動作状態を示しており、前述のステージ駆動装置２１内部の ギヤトレインが連結された状態にあり、摩擦車２３の駆動力がステージ送りガイ ド２４に伝達されるようになっている。 同図（ｂ）は粗動動作状態を示しており、内部のギヤトレインがソレノイドの 動作により分離され、駆動軸２２が下方に移動し、ステージ送りガイド２４との 連結が解除された状態をものである。 この状態で粗動ハンドルを移動させることでＹ方向ステージＹs を所定位置に 移動することができる。

【００１６】 さらに図１に示したように側方支持部１Ａの側面にはプッシュボタン構造のレ ボルバ退避スイッチ２５が取着されている。このレボルバ退避スイッチ２５を操 作することにより、基板等の交換時に図示しないレボルバコントロール部から電 動レボルバの対物レンズ装着面に装着された対物レンズのうち作動距離の最も大 きい最低倍率対物レンズを選択して光路上に移動させる電気的信号を発すること ができる。 このように各操作スイッチを粗動ハンドルの周辺に集中配置して操作の効率化 を図っている。

【００１７】 次に、ステージを操作する際の動作について簡単に説明する。 （１）ステージ粗動操作 ステージを大きく移動させたり、素早く移動させたい場合には粗動によりステ ージを移動する。まず、粗動ハンドル１の把持部２を強く握ると、グリップロッ ド４が僅かに回動し、マイクロスイッチ５の接点がＯＮ状態になり、ステージ駆 動装置２１内部のソレノイドが作動し、図５（ｂ）に示したように摩擦車２３と ステージ送りガイド２４との当接が解除される。この状態でステージがフリー状 態になり、観察者は粗動ハンドル１を把持した状態でステージの粗動を行える。

【００１８】 （２）ステージ微動送り 粗動操作により基板の観察部位のおおよその位置決めを行った後、引き続き微 動送りを行う。微動送りを行うには、それまで把持していた粗動ハンドル１の握 りを緩めるか、手を離す。この動作によりグリップロッド４はコイルバネ６の作 用により再び矢印Ａ方向に付勢され、マイクロスイッチ５の接点がＯＦＦになる 。これによりステージ駆動装置２１内部のソレノイドもＯＦＦになり、再び摩擦 車２３がステージ送りガイド２４に当接する。この状態で微動調整つまみ１０を 操作して微動送りを行う。このとき本実施例では微動調整つまみ１０を回転する ことによりロータリエンコーダ１２、１３に所定の回転角を生じさせ、この回転 角に対応したモータ駆動指令をステージ駆動装置２１内部のＤＣモータに出力で きるようになっている。

【００１９】 なお、微動調整つまみ１０の回転を伝達ベルト等の伝達手段を介してステージ 駆動部に直接伝達しても良い。

【００２０】 次に、第２の考案による顕微鏡ステージについて図６を参照して説明する。 図６（ａ）において、微動調整つまみ１０は顕微鏡と別体のリモートコントロ ーラに取り付けられている。この微動調整つまみ１０は構造的に第１の考案のも のと同様であるが、ジョイスティック構造の調整機構を使用することにより微動 送り速度を可変にすることもできる。 なお、この場合にもグリップロッド４とレボルバ退避スイッチ２５は粗動ハン ドル１に取り付けられている。

【００２１】

【考案の効果】

以上の説明から明らかなように、本考案によれば、粗動ハンドルに各種のスイ ッチを集中配置したことにより観察者は各動作を容易にかつ迅速に行えるように なり、ステージ取扱いの操作性が向上する等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の考案による顕微鏡ステージの粗動ハンド
ルの一実施例を示した平面図。

【図２】図１に示した粗動ハンドルの内部構造を示した
平断面図。

【図３】図１に示した粗動ハンドルを把持した状態の内
部構造を示した平断面図。

【図４】図１に示した微動調整つまみの一部を示した部
分断面図。

【図５】ステージ駆動装置とステージ送りガイドの連結
状態を説明した部分側面図。

【図６】第２の考案による顕微鏡ステージの粗動ハンド
ルの一実施例を示した平面図。

【図７】従来の顕微鏡ステージの一例を示した説明図。

【図８】図７に示したステージを移動した状態での微動
調整つまみ及び粗動ハンドルと観察者との位置関係を示
した平面図。

【符号の説明】

１ 粗動ハンドル ２ 把持部 ４ グリップロッド ５ マイクロスイッチ ６ コイルバネ １０ 微動調整つまみ １２、１３ ロータリエンコーダ ２１ ステージ駆動装置 ２３ 摩擦車 ２４ ステージ送りガイド

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】粗動ハンドルの操作による粗動動作と微動
   駆動機構による微動動作とを切り替えてステージを所定
   位置に移動可能な顕微鏡ステージにおいて、 前記粗動ハンドルは、把持動作によりスイッチのＯＮ状
   態を保持して前記微動駆動機構の駆動力の前記ステージ
   への伝達を解除しつつ、該粗動ハンドル操作により所定
   の粗動動作を行えるようにした粗動切り替えレバーと、
   前記微動駆動機構の微動操作を行う微動操作手段とを備
   えたことを特徴とする顕微鏡ステージ。
2. 【請求項２】粗動ハンドルの操作による粗動動作と微動
   駆動機構による微動動作とを切り替えてステージを所定
   位置に移動可能な顕微鏡ステージにおいて、 前記粗動ハンドルは、把持動作によりスイッチのＯＮ状
   態を保持して前記微動駆動機構の駆動力の前記ステージ
   への伝達を解除しつつ、該粗動ハンドル操作により所定
   の粗動動作を行えるようにした粗動切り替えレバーを有
   し、前記微動駆動機構の微動操作を行う微動操作手段を
   顕微鏡と別体のリモートスイッチとしたことを特徴とす
   る顕微鏡ステージ。
3. 【請求項３】前記粗動ハンドルはレボルバ退避スイッチ
   を備えたことを特徴とする請求項１または請求項２いず
   れかに記載の顕微鏡ステージ。