JPH06232481A - ガスレーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 ガスレーザ装置において、真空排気装置から
真空容器内へ逆拡散するオイルの量を大幅に低減させる
と共に、オイルの劣化を抑えて寿命を長期化できるよう
にする。 【構成】 ガスレーザ装置１のレーザガス排気用として
オイルポンプ１３と、ドライポンプ１４の２台の真空排
気装置を並列して設ける。ガス循環系３との間には三方
弁１５が設けられ、ガスレーザ装置１の起動時には、三
方弁１５でガス循環系３とオイルポンプ１３とをつな
ぎ、その状態でオイルポンプ１３を動作させる。これに
よりガス循環系３は高速で短時間に初期排気される。そ
の後レーザ発振を開始した時点で三方弁１５をガス循環
系３とドライポンプ１４がつながる様に切り換えて、オ
イルポンプ１３を停止させてドライポンプ１４を動作さ
せ、定常排気を始める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は金属加工等に使用され、
放電管にレーザガスを循環させながらレーザ発振を行な
うガスレーザ装置に関する。

【０００２】ガスレーザ装置は出力の長期安定性、保守
頻度低減のため内部で使用される光学部品の汚染を極力
防止する必要がある。その中でも真空排気装置用オイル
により光学部品が汚染される可能性が高く、これを効率
的に防止することが要請されている。

【０００３】

【従来の技術】従来例として高周波励起高速軸流型ＣＯ
₂ ガスレーザ装置を例に取り、図７を用いて説明する。
図中、１００は高周波励起高速軸流型ＣＯ₂ ガスレーザ
装置（以下、「ガスレーザ装置」という）であり、レー
ザガスが、送風機２とガス循環系３、放電管５内を循環
する。

【０００４】送風機２から吐出したレーザガスは、送風
機２で受けた圧縮熱を取り去るために、熱交換器４によ
り冷却され、常に一定温度に制御されて放電管５に入
る。ここで、レーザ用電源６による高周波放電によって
励起されたレーザガスは熱交換器７により再び冷却さ
れ、送風機２にもどる。

【０００５】このガスレーザ装置１００においては、レ
ーザガスの流速は放電管５内において１００〜３００ｍ
／ｓにも達する。放電管５における高周波放電を安定化
するために、レーザガスの圧力は１０〜１００torr程度
の低真空状態に保たれている。放電管５は両端の全反射
鏡８及び出力鏡９によってファブリペロー型発振器を構
成しており、放電により発生したレーザ光を増幅して一
部を外部に出力する。

【０００６】出力されたレーザ光はベンダミラー１０で
方向を変えレーザ加工機１１に入り、ワークを加工す
る。これらのガスレーザ装置１００及びレーザ加工機１
１はすべて数値制御装置１２が内部に記憶しているプロ
グラムに沿って制御している。

【０００７】ところで、ＣＯ₂ ガスレーザ装置に使用さ
れるレーザガスは、通常ヘリウム、窒素、二酸化炭素等
から成る混合レーザガスであり、その成分比、純度等が
ガスレーザ装置の性能、特性等に大きく影響するため、
常にレーザガスを所定の成分、純度に保つ必要がある。

【０００８】レーザガスが常時充填されているガス循環
系３は真空容器となっているものの、内壁面からの放出
レーザガス、微小なリーク等により、放電管５でのレー
ザ発振が稼働していなくても内部のレーザガスは劣化し
ていく。そのために、ガスレーザ装置１００の性能を長
期間維持するために、その起動に際して、劣化したレー
ザガスを真空排気装置１３ａで一旦初期排気し、その後
所定の圧力に達するまで新鮮なレーザガスをガスボンベ
４０から充填した後、レーザガスの循環を開始し、レー
ザ発振を始める様にシーケンスが組まれている。

【０００９】さらに、ガスレーザ装置１００が定常稼働
している状態でも、放電によりレーザガスが解離し劣化
するため、常時低真空状態のレーザガス循環系から、真
空排気装置１３ａを使用して一定量のレーザガスを定常
排気し、またガスボンベ４０から新鮮なレーザガスを同
量供給している。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、真空排気装
置１３ａは、起動時の真空排気時間を短くするために、
大気圧状態での排気速度が大きく、またガスレーザ装置
１００の真空圧力に見合う到達圧力、及び稼働中のレー
ザガス定常排気のために、真空状態での排気速度等を鑑
みて決定されなければならない。

【００１１】しかし、こうしたガスレーザ装置１００の
使用条件に見合う真空排気装置１３ａはその真空部のシ
ール、及び慴動部の潤滑のために、ガス通路にオイルが
存在するオイルポンプがほとんどであり、その避けられ
ない性質として真空排気装置１３ａ用オイルが真空容器
側へ逆拡散する。特に、ガスレーザ装置１００の真空排
気装置１３ａは、その起動時の真空排気のみならなず、
稼働中も常時レーザガスの定常排気をおこなっている
為、真空排気装置１３ａの稼働時間が長くなることは避
けられず、それに伴いオイルの逆拡散も発生しやすい状
況にあった。

【００１２】ガスレーザ装置１００においては、真空容
器内にある出力鏡、全反射鏡等の光学部品がこの真空排
気装置１３ａ用オイルに汚染され、出力の低下、加工性
能の悪化、最悪の場合にはこれら光学部品の破損を引き
起こしていた。ガスレーザ装置１００に用いられる光学
部品は非常に高価であり、また、交換もしくは洗浄して
再使用する場合でも、 （１）ガスレーザ装置１００及びレーザ加工機１１を長
時間停止しなけらばならいない。 （２）ガス循環系３を開放しなければならず、新たな塵
の混入が避けられない。 （３）ベンダーミラー１０、レーザ加工機１１等も含め
た光学系の再調整が必要であり、多くの時間と熟練を要
する。 等の問題があり、真空排気装置１３ａ用オイルの逆拡散
や、塵埃の侵入を減少させ光学部品の長寿命化をはかる
ことはガスレーザ装置１００にとって非常に重要な課題
であった。

【００１３】さらに、ガスレーザ装置１００の真空排気
装置１３ａは、上述したように、その起動時の真空排気
のみならなず、稼働中も常時レーザガスの定常排気を行
なっている為、真空排気装置１３ａの稼働時間が長くな
ることが避けられない。そのため、真空排気装置１３ａ
用オイルの劣化が早く、ガスレーザ装置１００の使用者
は頻繁に真空排気装置１３ａ用オイルの交換を余儀無く
され、多くの手間と費用が強いられていた。このため、
真空排気装置１３ａ用オイルの交換時間を長くすること
は、ガスレーザ装置１００の使い易さを向上させるうえ
で必要不可欠である。

【００１４】上記の様な問題を解決するために、オイル
を使用しない真空排気装置を使用する試みも行われてき
たが、オイルを使用しない真空排気装置の種類が限られ
ているため、その排気速度、到達圧力がガスレーザ装置
１００の使用範囲とうまく合致せず、使用は出来るのも
の非常に高価であったり、逆に安価であはあるものの全
く使用できなかったりするものが殆どであった。さら
に、これらオイルを使用しない真空排気装置のなかに
は、その内部の消耗部品が、オイル使用の真空排気装置
１３ａ以上に保守に手間のかかるものも少なくなく、そ
の選択に苦慮していた。

【００１５】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、真空排気装置から真空容器内へ逆拡散するオ
イルの量を大幅に低減させると共に、オイルの劣化を抑
えて寿命を長期化することができるガスレーザ装置を提
供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、放電管にレーザガスを循環させながらレ
ーザ発振を行なうガスレーザ装置において、前記レーザ
ガスが循環するガス配管部と、前記ガス配管部に接続さ
れ前記ガス配管部内のレーザガスの装置起動運転時の排
気を行なうオイル使用の真空排気装置と、前記オイル使
用の真空排気装置と並列して設けられ前記ガス配管部内
のレーザガスの装置定常運転時の排気を行なうオイルを
使用しない真空排気装置と、を有することを特徴とする
ガスレーザ装置が、提供される。

【００１７】

【作用】ガスレーザ装置の起動に際し初期排気（装置起
動運転時の排気）のため、まずオイル使用の真空排気装
置を起動させるが、ガス配管部の内部圧力が所定の圧力
に達した時点で、オイル使用の真空排気装置は停止させ
る。なお、ここで、ガス配管部とは、送風機、熱交換
器、放電管などのレーザガスが循環する全ての部分をさ
す。その後、新鮮なレーザガスを再充填してから、送風
機を起動しレーザガスを循環させ放電を開始する。この
後は定常排気（装置定常運転時の排気）を行なうが、こ
のときはオイルを使用しない真空排気装置を使用する。

【００１８】このように、オイル使用の真空排気装置を
レーザ発振装置の初期排気に使用した後、停止させるこ
とにより、オイル使用の真空排気装置の実質的な稼働時
間を極めて短くすることができる。このため、逆拡散す
るオイルの量は格段に減少する。また、稼働時間短縮に
よってオイルの寿命も飛躍的に長期化する。

【００１９】さらに、従来選択に苦慮していたオイルを
使用しない真空排気装置は定常排気にのみに使用するた
め、排気速度が小さくても使用上なんら問題を生じな
い。また、オイル使用の真空排気装置による初期排気が
終了した時点で起動を始めるため、大気圧からは起動で
きないオイルを使用しない真空排気装置でも使用するこ
とができる。このように、オイルを使用しない真空排気
装置を定常排気のみの使用に限定することで、その使用
条件が大幅に緩和されて、オイルを使用しない真空排の
選択はその自由度が増大し実用に供するものとなる。

【００２０】

【実施例】以下発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。図１は本発明のガスレーザ装置の全体構成を示す図
である。上記の図７で示した従来例のガスレーザ装置と
同じ構成要素には、同一符号を付して説明を省略する。

【００２１】図において、本発明のガスレーザ装置１に
は、レーザガス排気用としてオイル使用の真空排気装置
（オイルポンプ）１３と、オイルを使用しない真空排気
装置（ドライポンプ）１４の２台の真空排気装置を使用
する。この２台の真空排気装置は、双方とも真空容器で
あるガス循環系３に接続されている。本実施例では、オ
イルポンプ１３に公称排気速度が約２０ｍ³ ／ｈ、到達
真空度が１Ｔｏｒｒ以下のベーンポンプを使用してい
る。ベーンポンプは比較的排気速度が大きく、その真空
到達圧力もレーザ発振装置の使用条件にちょうど合致し
ているため、従来からよく利用されてきたオイルポンプ
である。ドライポンプ１４には、複数ヘッドのダイアフ
ラムポンプを使用している。このドライポンプ１４の排
気速度は２０リットル／ｍｉｎ、到達真空圧力は数Ｔｏ
ｒｒである。ダイアフラムポンプはドライポンプのなか
でも安価であり、大気圧からの起動も可能であるが、排
気速度が遅く真空到達圧力も低いため、従来ではそのま
まガスレーザ装置１用の真空排気装置として使用するこ
とは不可能であった。

【００２２】オイルポンプ１３とドライポンプ１４とは
並列に設けられ、ガス循環系３との間には三方弁１５が
設けられる。ガスレーザ装置１の起動時には、三方弁１
５でガス循環系３とオイルポンプ１３とをつなぎ、その
状態でオイルポンプ１３を動作させる。これによりガス
循環系３は高速で短時間に初期排気される。所定の圧力
まで真空排気が終了した時点で、新鮮なレーザガスをガ
スボンベ４０から所定量充填した後、送風機２によりレ
ーザガスの循環を開始し、レーザ用電源６によりレーザ
発振を開始する。この時点で三方弁１５をガス循環系３
とドライポンプ１４がつながる様に切り換えて、オイル
ポンプ１３を停止させ、代わりにドライポンプ１４を動
作させて定常排気を始める。

【００２３】このとき、ドライポンプ１４に使用してい
るダイフラムポンプは吸気口１４１が低真空状態で、排
気口１４２は大気圧状態であるため圧力差が大きく、ダ
イアフラムポンプに使用しているモータに過負荷がかか
り、そのままでは起動出来ない場合がある。その様な場
合には、ダイアフラムポンプの吸気口１４１と三方弁１
５の間に三方弁１５と同じ構造のアンローダバルブ１６
を設置する。アンローダバルブ１６はドライポンプ１４
が起動するまでは大気の方向に開いており吸気口１４１
と排気口１４２の圧力差を無くしている。ドライポンプ
１４が起動しモータが定常回転に達したときアンローダ
バルブ１６は真空容器側（ガス循環系３側）につながり
排気を開始し、ガスレーザ装置１は完全な定常動作状態
となる。本実施例では大気圧換算で 1リットル／ｍｉｎ
の速度で定常排気を行なっている。

【００２４】オイルポンプ１３が使用されているのは初
期排気時の極めて短時間であり、その後は三方弁１５に
より完全に遮断されて真空容器内へオイルが逆拡散する
ことはない。初期排気の間に真空容器へ逆拡散するオイ
ルは、従来例の様に常時オイルポンプが稼働している場
合の総量に比べて格段に少ない。また、実質的にオイル
ポンプが稼働している時間が従来例に比較して格段に短
いため、オイルの寿命を飛躍的に延ばすことが可能であ
る。

【００２５】図２は本発明の第２の実施例を示す図であ
る。上記第１の実施例との相違点は、オイルポンプ１３
と三方弁１５の間にフィルタ１７を設置した点である。
このようにフィルタ１７を設けたのは、初期排気のオイ
ルポンプ１３稼働時に真空容器内へオイルが逆拡散する
のを防止するためである。本実施例のガスレーザ装置１
ａではオイルを効率良く吸着させることが可能な様に粒
状活性炭を不織布で封入したフィルタを用いた。通常こ
の種のフィルタは定常排気の様にガス流が少ない所に使
用すると濾材の粉体がフィルタから遊離して配管内を逆
流し、真空容器内へ侵入する可能性があるため使用でき
なかったが、本実施例の様に初期排気のみオイルポンプ
１３に使用する場合は、ガス流が大きいため、たとえ粉
体が流出したとしても、逆流して真空容器内へ侵入する
可能性はかなり小さくなるので、使用できるようになっ
た。

【００２６】上記フィルタ１７により初期排気の間に真
空容器内へ逆拡散するオイルを吸着することができるた
めに、第１の実施例の場合以上に真空容器内へ逆拡散で
侵入するオイルの量を低減することが可能となる。

【００２７】図３は本発明の第３の実施例を示す図であ
る。本実施例のガスレーザ装置１ｂは、上記第２の実施
例のフィルタ１７に対してさらにその前後にポンプ側バ
ルブ１８及び真空容器側バルブ１９を設けたものであ
る。上記第２の実施例ではオイルポンプ１３が停止して
いる間にフィルタ１７がオイルポンプ１３のオイルによ
り汚染されてしまう可能性がある。本実施例はこの点を
改良したものであり、オイルポンプ１３が停止する前
に、ポンプ側バルブ１８を閉じればフィルタ１７はオイ
ルポンプ停止中不必要にオイルで汚染されることがな
い。このため、フィルタ１７の交換間隔を第２の実施例
の場合に比較して長くすることが可能である。

【００２８】また、同様にオイルポンプ１３が停止する
前に真空容器側バルブ１９を閉じることにより、それま
でフィルタ１７に吸着していたオイルが、オイルポンプ
１３が停止している間に真空容器側へ逆拡散していくの
を防止することができる。三方弁１５によってもほぼ同
等の効果をえることができるが、フィルタ１７と三方弁
１５の間の距離が長い場合には、この間のオイル汚染を
防ぎ、初期排気時にこの部分から逆拡散してゆくオイル
の量を低減させることができる。

【００２９】図４は本発明の第４の実施例を示す図であ
る。本実施例のガスレーザ装置１ｃでは、ドライポンプ
１４ａに補助ポンプ２０を接続して使用する。その補助
ポンプ２０としてここではオイルポンプを使用する。ド
ライポンプ１４ａにターボモレキュラポンプやルーツポ
ンプを用いた場合、それ単体では大気圧まで排気するこ
とが不可能である。そこで、ドライポンプ１４ａの排気
口１４２に補助ポンプ２０を設けた。補助ポンプ２０は
ドライポンプ１４ａと連動して動作し、定常排気中もオ
イルポンプ２０が動作していることになる。しかし、真
空容器側につながるポンプはドライポンプ１４ａを使用
しており、補助ポンプ２０として使用しているオイルポ
ンプからのオイルの逆拡散は極めて少なくなる。このた
め、ドライポンプ１４ａにターボモレキュラポンプやル
ーツポンプを用いた場合でも、第１の実施例とほぼ同様
の効果を得ることができる。

【００３０】図５は本発明の第５の実施例を示す図であ
る。本実施例のガスレーザ装置１ｄでは、第１の実施例
にタイマ２１を設けて、定常排気中にドライポンプ１４
を間欠動作させている。本実施例で使用したドライポン
プ１４はダイアフラムポンプであり、その中で使用され
ているダイアフラムは通常１５００時間程度で交換しな
ければならない消耗部品である。この消耗部品の寿命を
延ばすために、タイマ２１を用いて間欠運転させてい
る。本実施例では１分間運転し、４分間休止を繰りかえ
し行なっている。1 分間の排気動作中は 5リットル／ｍ
ｉｎの速度で排気を行い、４分間の休止時間も含めて平
均化すると第１の実施例と同じ１リットル／ｍｉｎの速
度で定常排気を行なっていることになる。

【００３１】このドライポンプ１４の間欠運転により、
第１の実施例と同じ効果を得ながらドライポンプ１４の
消耗部品の寿命をのばすことが可能となる。但し、ガス
循環系３から間欠的にレーザガスを排気するため、ドラ
イポンプ１４が休止している間はレーザガスが全く置換
されず、使用上は全く問題にならないもののこの間レー
ザ出力が低下しやすい。その場合は、休止時間を短縮す
るなどして調整すればよい。ドライポンプの運転時間と
休止時間の比を換えずに間欠運転の周期を短くしてもよ
いが、ドライポンプ１４の起動回数が増えるためあまり
得策ではない。

【００３２】図６は本発明の第６の実施例を示す図であ
る。本実施例のガスレーザ装置１ｅでは、上記第５の実
施例に対して、さらにサージタンク２２と流量調整用バ
ルブ２３が設けられている。サージタンク２２は、三方
弁１５とガス循環系３との間に設けられ、そのサージタ
ンク２２とガス循環系３との間に流量調整弁２３が設け
られる。第５の実施例と同様に、ドライポンプ１４はタ
イマ２１により間欠運転されているが、ガス循環系３を
サージタンク２２を介して間接的に排気している。サー
ジタンク２２の圧力はドライポンプ１４の運転時間中に
ガス循環系３の圧力より十分に低くなる。ドライポンプ
１４が休止している間は、ガス循環系３からサージタン
ク２２に向かってレーザガスが流れ、定常的に排気され
ているのと全く等価な状態になる。レーザガスの定常排
気速度は流量調整バルブ２３により調整される。これに
よって、出力の安定性も確保しつつ、ドライポンプの消
耗部品の寿命をのばしている。

【００３３】また、図には示していないが、オイルポン
プ１３、ドライポンプ１４は数値制御装置１２により制
御されても全く同等の効果を得ることができる。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように本発明では、レーザ
ガスの排気をオイル使用の真空排気装置とオイルを使用
しない真空排気装置の双方を使い分けて行なうように構
成した。すなわち、ガスレーザ装置の起動時の初期排気
には、オイル使用の真空排気装置を用い、その後の定常
排気にはオイルを使用しない真空排気装置を用いる。

【００３５】このように、オイル使用の真空排気装置を
レーザ発振装置の初期排気に使用した後、停止させるこ
とにより、オイル使用の真空排気装置の実質的な稼働時
間を極めて短くすることができる。このため、逆拡散す
るオイルの量を格段に減少させることができる。その結
果、光学部品のオイルによる汚染を大幅に低減すること
ができ、光学部品の保守頻度の低減や光学部品の寿命の
長期化が可能となる。

【００３６】また、稼働時間短縮によってオイルの寿命
も飛躍的に長期化することができ、その分、オイル交換
の手間と費用を低減することができる。オイル使用の真
空排気装置の保守頻度も低減することができる。

【００３７】さらに、従来選択に苦慮していたオイルを
使用しない真空排気装置は定常排気にのみに使用するた
め、排気速度が小さくても使用上なんら問題を生じな
い。また、オイル使用の真空排気装置による初期排気が
終了した時点で起動を始めるため、大気圧からは起動で
きないオイルを使用しない真空排気装置でも使用するこ
とができる。このように、オイルを使用しない真空排気
装置を定常排気のみの使用に限定することで、その使用
条件が大幅に緩和することができ、オイルを使用しない
真空排の選択はその自由度が増大し実用に供することが
できるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のガスレーザ装置の全体構成を示す図で
ある。

【図２】本発明の第２の実施例を示す図である。

【図３】本発明の第３の実施例を示す図である。

【図４】本発明の第４の実施例を示す図である。

【図５】本発明の第５の実施例を示す図である。

【図６】本発明の第６の実施例を示す図である。

【図７】ガスレーザ装置の従来例を示す図である。

【符号の説明】

１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ ガスレーザ装置 ２ 送風機 ３ ガス循環系 ４ 熱交換器 ５ 放電管 ６ レーザ用電源 ７ 熱交換器 ８ 全反射鏡 ９ 出力鏡 １０ ベンダーミラ １１ レーザ加工機 １２ 数値制御装置 １３ オイルポンプ １４，１４ａ ドライポンプ １４１ ドライポンプ吸入口 １４２ ドライポンプ排気口 １５ 三方弁 １６ アンローダバルブ １７ フィルタ １８ ポンプ側バルブ １９ 真空容器側バルブ ２０ 補助ポンプ ２１ タイマ ２２ サージタンク ２３ 流量調整用バルブ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 7454−4Ｍ Ｈ０１Ｓ 3/097 Ｚ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 放電管にレーザガスを循環させながらレ
   ーザ発振を行なうガスレーザ装置において、 前記レーザガスが循環するガス配管部と、 前記ガス配管部に接続され前記ガス配管部内のレーザガ
   スの装置起動運転時の排気を行なうオイル使用の真空排
   気装置と、 前記オイル使用の真空排気装置と並列して設けられ前記
   ガス配管部内のレーザガスの装置定常運転時の排気を行
   なうオイルを使用しない真空排気装置と、 を有することを特徴とするガスレーザ装置。
2. 【請求項２】 前記オイル使用の真空排気装置と前記ガ
   ス配管部との間にフィルタを設け、前記オイル使用の真
   空排気装置から前記ガス配管部に逆拡散するオイルを捉
   えるようにしたことを特徴とする請求項１記載のガスレ
   ーザ装置。
3. 【請求項３】 前記フィルタと前記ガス配管部との間に
   バルブを設け、前記バルブを閉じた後前記オイル使用の
   真空排気装置を停止するようにしたことを特徴とする請
   求項２記載のガスレーザ装置。
4. 【請求項４】 前記フィルタと前記オイル使用の真空排
   気装置との間にバルブを設け、前記バルブを閉じた後前
   記オイル使用の真空排気装置を停止するようにしたこと
   を特徴とする請求項２記載のガスレーザ装置。
5. 【請求項５】 前記フィルタと前記ガス配管部との間に
   第１のバルブを、前記フィルタと前記オイル使用の真空
   排気装置との間に第２のバルブを設けたことを特徴とす
   る請求項２記載のガスレーザ装置。
6. 【請求項６】 前記オイルを使用しない真空排気装置に
   補助排気装置を設け、前記オイルを使用しない真空排気
   装置と連動して使用するようにしたことを特徴とする請
   求項１記載のガスレーザ装置。
7. 【請求項７】 前記オイルを使用しない真空排気装置に
   装置定常運転時の排気を間欠的に行なわせるようにした
   ことを特徴とする請求項１記載のガスレーザ装置。
8. 【請求項８】 前記オイルを使用しない真空排気装置と
   前記ガス配管部との間にサージタンクを設け、前記オイ
   ルを使用しない真空排気装置は前記サージタンクを間欠
   的に真空排気し、前記サージタンクが前記ガス配管部か
   ら定常的に前記レーザガスを排気するようにしたことを
   特徴とする請求項１記載のガスレーザ装置。