JPH06232482A - ガスレーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 誘電体電極を用いて、レーザ発振効率の向
上を実現できるガスレーザ装置を提供することを目的と
する。 【構成】 電極部７ａ，８ａの両側に放電の分散を抑
制する容量結合抑制部を有する外殻部７ｂ，８ｂを設
け、電極部７ａ，８ａの上部には、放電の応力集中を回
避するために誘電体を設けない構造とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電極間に高周波電圧を
印加して放電を行わせることによりレーザ光を発振もし
くは増幅させるガスレーザ装置に係り、特に誘電体を利
用することによって放電空間での電力密度の均一化を図
るようにしたガスレーザ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図９に、従来のガスレーザ装置の概略構
成を示す。この図９において、一対の誘電体電極１は、
レーザガスが矢印Ａで示す方向に循環する放電空間２を
挾んで対向するように配置されている。上記誘電体電極
１は、レーザガス流と直交した方向（紙面と直交した方
向）に長尺な形状の電極部３を誘電体製の外殻部４によ
り覆うことにより構成されている。このように構成され
た横流形ガスレーザ装置においては、電極部３間に高周
波電源５から高周波電圧が印加されると、放電空間２を
流れるレーザガスが励起されて、ここでは図面に示され
いなが紙面に対して垂直な方向に共振器を配置すること
により、紙面に対して垂直方向にレーザ光が発生する。
この場合、電極部３の周囲には誘電体の外殻部４が存在
するから、放電空間２での電力密度が均一化されるよう
になり、一様な放電が点弧でき、安定したレーザ出力が
得られるようになる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】レーザ発振効率を向上
させるためは、電極部３間に印加する高周波電圧の周波
数を少なくとも７００ｋＨｚ以上に高くする必要があ
る。ところが、高周波電源５の出力周波数を高めた場合
には、電極部３を覆うように設けられた誘電体製の外殻
部４を介した容量結合に起因して、放電が電極部３の両
側へ不要に分散することになり、結果的に、高周波電源
５の出力周波数を高めたにも関わらず、レーザ発振効率
を十分に向上させることが困難であるという問題点があ
る。

【０００４】また、場合によっては初期の目的に反して
レーザ発振効率が低下してしまう問題点も発生する。そ
こで、本発明の目的は、誘電体電極を用いて、レーザ発
振効率の向上を実現できるガスレーザ装置を提供するこ
とにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、請求項１記載の発明においては、電極部
の周囲に誘電体製の外殻部を設けてなる少なくとも一対
の誘電体電極を放電空間を挾んだ状態で配置すると共
に、前記電極部間に高周波電圧を印加して放電を行わせ
ることによりレーザ光を発振もしくは増幅させるガスレ
ーザ装置において、前記電極部の両側に前記外殻部より
比誘電率が小なる容量結合抑制部を設けたことを特徴と
するものである。

【０００６】さらに、請求項２記載の発明においては、
請求項１記載の発明の構成に加えて、レーザ光軸と垂直
である容量結合抑制部の横断面が誘電体で囲まれること
により形成された空間部を設けたことを特徴とするもの
である。

【０００７】請求項３記載の発明においては、請求項１
記載の発明の構成に加えて、２つの容量結合抑制部に挾
まれ、放電空間側は誘電体で囲まれることで構成される
電極部を収納するための電極収納室を設けたことを特徴
とするものである。

【０００８】請求項４記載の発明においては、請求項３
記載の発明の構成に加えてさらに、前記電極収納室に収
納された電極部内に冷却用媒体を流す冷却路を設けたこ
とを特徴とするものである。

【０００９】請求項５記載の発明においては、請求項２
記載の発明の構成に加えてさらに、前記空間部の中に絶
縁性ガスを入れたことを特徴とするものである。請求項
６記載の発明においては、請求項５記載の発明の構成に
加えてさらに、前記絶縁性ガス圧力Ｐi がガスレーザ装
置中のガス圧力をＰとしたき、Ｐi ≧Ｐなる条件を満足
することを特徴とするをものである。

【００１０】請求項７記載の発明においては、請求項１
記載の発明の構成に加えてさらに、前記電極部の長手方
向に前記外殻部より比誘電率が小となる容量結合抑制部
を設けたことを特徴とする。

【００１１】請求項８記載の発明においては、請求項１
記載の発明の構成に加えて、電極部を構成する金属電極
の回りを絶縁物で覆い、この絶縁物の両側に容量性結合
抑制部を設けたことを特徴とするものである。

【００１２】

【作用】請求項１から請求項８記載の発明の構成によれ
ば、一対の誘電体電極が有する電極部間に高周波電圧を
印加すると、それら誘電体電極間に形成される放電空間
においてレーザガスが励起されてレーザ光が発生する。
この場合、電極部の周囲には誘電体製の外殻部が存在す
るから放電空間での電力密度が均一化されるようにな
る。また、電極部の両側には、外殻部より比誘電率が小
さな容量結合抑制部が存在するから、電極部に高周波電
圧を印加した場合でも、放電が電極部の両側へ分散する
ことが抑制されるようになり、この結果としてレーザ発
振効率の向上を実現できるようになる。

【００１３】請求項２記載の発明の構成によれば、容量
結合抑制部を空間部によって構成したので、空間部に絶
縁性ガスを封入することにより、その部分での比誘電率
を極端に小さくできるものであり、これにより空間部を
介した容量結合を十分に小さくすることができて、放電
の分散を抑制する効果を高めることができる。

【００１４】請求項３記載の発明の構成によれば、２つ
の容量結合抑制部に挾まれ、放電空間側は誘電体で囲ま
れることで構成される電極部を収納するための電極収納
室をを設けることにより、電極部上面が誘電体で構成さ
れないため、放電によって生じる応力がこの部分で生じ
なくなり誘電体電極の信頼性を向上できる。

【００１５】請求項４記載の発明の構成によれば、電極
部内に冷却用媒体を流す冷却路を設けてあるので、電極
部の温度上昇が抑制されるようになるから、誘電体電極
における電極部と外殻部との間の熱膨脹率の違いに起因
した両者間での歪の発生を防止できる。

【００１６】請求項５記載の発明の構成によれば、絶縁
性ガスを空間部中に封入したことにより、その部分での
比誘電率が極端に小さくなる。そのため、容量結合部に
おける絶縁破壊を回避することが可能となり、放電の分
散を抑制する効果を得ることができる。

【００１７】請求項６記載の発明の構成によれば、絶縁
性ガスの圧力をＰi としてレーザ装置中のガス圧力をＰ
としたとき、Ｐi ≧Ｐなる条件を満足させるこにより、
空間部中での容量結合部における絶縁破壊を回避するこ
とが可能となり、放電の分散を抑制する効果がより確実
になる。

【００１８】請求項７記載の発明の構成によれば、放電
が電極部の長手方向に分散することを抑えるとともに、
電極部の長手方向とレーザ容器等間の絶縁破壊を抑制す
ることが可能となり、装置の小型化を図ることができ
る。

【００１９】請求項８記載の発明によれば、電極部を構
成する金属電極の回りを絶縁物で覆い、この絶縁物の両
側に容量性結合抑制部を設けることにより、放電の分散
を抑制する効果を得ることができる。

【００２０】

【実施例】本発明による実施例を図面を参照して説明す
る。図１は、本発明による第１の実施例を示すものであ
り、ガス流が出力光軸と直交した横流形ガスレーザ装置
の横断面構造が示されている。図１において、断面矩形
状をなす風洞容器６の上部中央には、その風洞容器６内
に臨むようにして第１の誘電体電極７が配設されてい
る。

【００２１】風洞容器６内の中央部には、前記第１の誘
電体電極７と対をなす第２の誘電体電極８が配置されて
おり、その配置状態で両誘電体電極７、８が放電空間９
を挾むように構成されている。この場合、第２の誘電体
電極８の上面は、第１の誘電体電極７の下面と平行にな
るように形成されている。

【００２２】風洞容器６内の下部には、レーザガスを循
環させるための送風機１０およびそのレーザガスを冷却
するための熱交換器１１が配置されいてる。上記レーザ
ガスは、送風機１０により矢印Ｂ方向に循環されると共
に、放電領域を流れた後に熱交換器１１によって冷却さ
れる。

【００２３】さて、前記第１の誘電体電極７及び第２の
誘電体電極８の具体的構成について、図２及び図３も参
照して説明するが、これらは同一の構成であるから以下
においては、第１の誘電体電極７についてのみ説明し、
第２の誘電体電極８については第１の誘電体電極７と同
一部分に同一の添字を付すことにより説明を省略するこ
とにする。

【００２４】すなわち、第１の誘電体電極７は、前記レ
ーザガス流と直交する方向（紙面に垂直な方向）に長尺
な形状に形成された断面矩形状の電極部７ａとこの電極
部７ａをその上面を除いて包囲するように設けられた誘
電体であるばセラミックス製の外殻部７ｂとによって構
成されている。この場合、外殻部７ｂは仕切壁７ｃ，７
ｄにより電極部７ａと隣接状態で形成されるものであ
り、中央部に前記電極部７ａを挿入することにより、左
右の空間部を外殻部７ｂより比誘電率が小なる容量結合
抑制部７ｅ，７ｆとして構成している。

【００２５】第１の誘電体電極７の横断面をさらに詳細
に示したものを図３に示す。電極部７ａは金属電極１２
と、導電物である導電性ゴム１３と、絶縁物である絶縁
性ゴム１４とにより構成されている。金属電極１２中に
は冷却用媒体である水１５が流されいる。導電性ゴム１
３は外殻部７ｂと金属電極１２を密着させるめに用いて
いる。絶縁性ゴム１４は金属電極１２の電界を緩和する
ための役割を果たす。

【００２６】ここでは、冷却用媒体である水１５を金属
電極１２中に流しているが、金属電極に接するようにも
しくは金属電極の近くに冷却用媒体を流す冷却部を配置
してもよい。

【００２７】なお、導電性ゴム１３を用いずに外殻部７
ｂに直接金属電極１２を接合してもよい。さらに、図３
において電極部７ａ下部の誘電体の厚み△Ｘ1 と空間部
７ｅ，７ｆ下部の誘電体の厚み△Ｘ2 関係は、△Ｘ1 ≧
△Ｘ2 を満足している。

【００２８】以下に本実施例の作用を説明する。図１に
示すように、第１の誘電体電極７及び第２の誘電体電極
８の各電極部７ａ，８ａ間に、高周波電源１６から高周
波電圧が印加されると、放電空間９を流れるレーザガス
が励起されて、図には示されていない紙面垂直方向に配
置された共振器によって、レーザ光１７が紙面に対して
垂直方向に発生する。ここで、電極部７ａ，８ａの周囲
には誘電体製の外殻部７ｂ，８ｂが存在するから、放電
空間９に均一な高周波放電が達成され、よって安定した
レーザ出力が得られるようになる。

【００２９】この場合、電極部７ａ、８ａの両側には比
誘電率が極端に小さな容量結合抑制部７ｅ，７ｆおよび
８ｅ，８ｆが存在し、さらに電極部７ａ下部の誘電体の
厚み△Ｘ1 は空間部７ｅ，７ｆ下部の誘電体の厚み△Ｘ
2 より厚いので、上記のように高周波電圧が印加される
状況下であっても放電が電極部７ａおよび８ａの両側へ
不要に分散することが抑制されるようになる。

【００３０】この結果、不要な放電による損失を抑制で
きるようになるから、高周波電源１６の出力周波数を７
００ｋＨｚ以上に高めることが可能となり、よってレー
ザ発振効率の向上を実現できるようになる。

【００３１】また、電極部７ａ，８ａの放電面側の誘電
体と対向する側は誘電体で構成されていないため、放電
点弧によってこの領域に集中する応力を取り除くことが
でき、誘電体電極の信頼性が向上する。放電空間側は誘
電体で囲まれているが、放電面側と対向する側は誘電体
で囲まれていないので、電極部７ａ，８ａの製作も容易
になるという利点がある。

【００３２】金属電極１２内に冷却用媒体である水１５
を流す冷却路を設けてあるので、電極部７ａ，８ａの温
度上昇が抑制されるようになるから、誘電体電極７，８
における電極部７ａ，８ａと外殻部７ｂ，８ｂとの間の
熱膨脹率の違いに起因した両者間での歪の発生を防止で
きる。

【００３３】また、容量結合抑制部７ｅ，７ｆ，８ｅ，
８ｆを形成する空間部は、これらを大気と連通させた
り、放電が点弧しにくい極低圧の真空状態とすること
で、その部分での比誘電率を小さくすることも可能であ
る。

【００３４】この場合には、容量結合抑制部７ｅ，７
ｆ，８ｅ，８ｆを形成する空間部の比誘電率が小さくな
る。そのため、容量結合部における絶縁破壊を回避する
ことが可能となり、放電の分散を抑制する効果を得るこ
とができる。

【００３５】次に本発明による第２の実施例を図４及び
図５により説明する。なお、第１の実施例と同一部分に
は同一の符号を付すことにより説明を省略する。

【００３６】図４はガス流が出力光軸と直交した横流形
レーザ装置の横断面構造を示している。本実施例におい
ては、風洞容器６内の下部にガス圧力Ｐなるレーザガス
を循環させるための送風機１０およびそのレーザガスを
冷却するための熱交換器１１が配置されている。

【００３７】また、容量結合抑制部７ｅ，７ｆ，８ｅ，
８ｆを形成する空間部は、ガス圧力がＰi である絶縁性
ガスである窒素が封入されている。絶縁性ガスのガス圧
力をＰi とレーザガスのガス圧力Ｐは、Ｐi ≧Ｐなる条
件を満足している。

【００３８】本実施例によれば、空間部に絶縁性ガスを
封入することにより、その部分での比誘電率を小さくす
ることができ、これにより空間部を介した容量結合を十
分に小さくすることができて、放電の分散を抑制するこ
とができる。

【００３９】さらに、絶縁性ガスの圧力Ｐi レーザ装置
中のガス圧力Ｐの関係が、Ｐi ≧Ｐなる条件を満足して
いるため、空間部中での容量結合部における絶縁破壊を
回避することが可能となり、放電の分散を抑制する効果
がより確実になる。

【００４０】また、絶縁ガスとしては、窒素の他に空
気、レーザガス等を用いても良い。絶縁ガスとしてレー
ザガスを用いれば、万一空間部より絶縁ガスが洩れても
レーザ発振に支障をきたすことがない。

【００４１】次に本発明による第３の実施例を図６によ
り説明する。横流形レーザ装置の横断面構造においては
図１と同等である。なお、第１及び第２の実施例と同一
の部分には同一の符号を付すことにより説明を省略す
る。

【００４２】図６は、図３の中心での縦断面図であり、
図１におけるガスレーザ装置の誘電体電極の縦断面の詳
細を示す図である。電極部長手方向のほぼ中央部に高周
波電源１６から絶縁性ゴム１４に覆われた金属電極１２
に高周波電圧を印加するためのリード線部１７と、金属
電極１２に冷却媒体である水１５を供給するための水供
給部（入口）１８ａと、外殻部７ｂより比誘電率が小と
なる長手方向容量結合抑制部１９ａがある。さらに、外
殻部７ｂの長手方向端部には容量結合抑制部７ｅ，７
ｆ，８ｅ，８ｆ内の圧力を一定値にするために蓋２０ａ
が取り付けられ、蓋２０ａには外部よりガスを供給でき
るように内部にガス供給穴２１ａが設けられている。な
お、図中には図示されていないが、リード線部１７の左
側においても図６の右側と同様な構成となっており、水
供給部（出口）１８ｂ，長手方向内容量結合部１９ｂ，
蓋２０ｂ，ガス供給穴２１ｂが設けられている。左側の
作用及び効果は、右側と同等であるため以後右側につい
て説明する。

【００４３】本実施例においては、絶縁性ゴム１４の右
側に長手方向内容量結合抑制部１９ａがあるため、この
空間はレーザガスで満たされているため比誘電率が１で
あるため、電極部の両側と同様に放電の分散を抑制する
ことができる。また、金属電極１２の長手方向端とレー
ザ容器等間の容量を低くでき（浮遊容量を抑えられ、効
率よく放電部に高周波電力を供給できる）、かつ高周波
的な絶縁距離を小さくとることが可能となる。

【００４４】すなわち、高周波的な絶縁距離はΣｄi ／
εi （ｄi ：ｉとなる材料の実際の長さ、εi ：ｉなる
材料の比誘電率）となるため、材料の絶縁破壊電界が同
等ならば、比誘電率の低い材料を用いたほうが高周波的
な絶縁距離を小さくすることができる。本実施例では、
絶縁性ゴム１４の領域（比誘電率３．５）を減らし、レ
ーザガス空間の領域（比誘電率１）を多くとっている。
ここで、これらの比誘電率は外殻部７ｂの比誘電率（＝
１０）より小さい。

【００４５】なお、本実施例では、長手方向の容量結合
抑制部をレーザガス雰囲気としたが、電極部の両側で行
ったと同様に絶縁性ガスを封入する構造としてもよい。
次に本発明による第４の実施例を図７及び図８により説
明する。

【００４６】なお、第１の実施例と同一の部分には同一
の符号を付すことにより説明を省略する。図７はガス流
が出力光軸と直交した横流形レーザ装置の横断面を示し
ている。

【００４７】本実施例においては、風洞容器６内下部に
レーザガスを循環させるための送風機１０、およびその
循環するレーザガスを冷却するための熱交換器１１が配
置されている。

【００４８】また、誘電体電極２２，２３は、電極部２
２ａ，２３ａと外殻部２２ｂ，２３ｂより構成されてい
る。誘電体電極の構造は２２，２３とも同等なので、以
下、誘電体電極２２の説明を行う。

【００４９】図８に誘電体電極２２の詳細を示す。図８
は誘電体電極２２の断面（中心より半分を示している）
と計算によって得られた放電中の放電電流分布を示す図
である。

【００５０】誘電体電極は、電極部２２ａと外殻部２２
ｂ（ガラス、セラミック等）より構成されている。電極
部２２ａは冷却用媒体である水１５を流す金属電極２４
と、金属電極２４を覆う絶縁物２５（たとえば、絶縁性
ゴム等）と、誘電体で囲まれていない容量結合抑制部２
６ａより構成されている。なお、本誘電体電極は左右対
象であり、図示されていないが絶縁物２５の左側には容
量結合抑制部２６ｂがある。左右同等の構成のため、以
後、右側のみについて説明する。絶縁物２５はレーザガ
ス雰囲気中にあるので、容量結合抑制部２６ａで絶縁破
壊を起こさないためには、図中Ｅで表示した空間電界を
放電電界より低くするようにしている。このため、空間
電界を緩和するために絶縁物に電界緩和領域２７ａを持
たせている。この場合には、半径５mm以上の曲率が必要
である。

【００５１】本実施例によれば、放電電流Ｉの分布は図
８のようになる。すなわち、電極幅Ｗ 0＝２０mm、絶縁
物の厚みＷ 1＝１０mm、絶縁物の高さＨ＝２０mm、絶縁
物の比誘電率３．５、電界緩和領域の曲率半径７mm、と
した時、電極右端からの距離１７mmでの漏れ放電電流値
ＩL は最大値の３％程度である。このとき、空間電界は
放電電界以下であるため、容量結合抑制部２６ａでは絶
縁破壊が起こらない。

【００５２】レーザ取り出し効率から考えて、レーザ光
の取り出し位置での放電の広がりをＩL ＝１０％以下に
する必要がある。上記の例では、Ｗ1 ＝１０mmで、ＩL
〜１０％である。レーザ光を効率よく取り出すために
は、レーザ光の取り出しの上流端を少なくとも電極が下
流端にする必要がある。レーザ光の取り出しの上流端が
電極の下流端になる条件は、ビーム径２０mmのレーザ光
を取り出す場合には、レーザビームの中心を放電の中心
より約２０mm下流となり、絶縁物の幅Ｗ1 ＝２０mmに対
応する。この時、ビームより上流で励起されたＣＯ2 分
子はレーザービーム領域までレーザガス流に運ばれるた
め、大きな損失にはならない。

【００５３】したがって、絶縁物の幅Ｗ1 は２０mm以下
で、電極部２２ａのガス流方向の幅はＷ0 ＋２×Ｗ1 ＝
６０mm以下となる。なお、本実施例ではガス流方向に容
量結合抑制部を設けたが、本実施例で用いた金属電極を
絶縁物で覆う方法で、電極長手方向にも同様な容量結合
抑制部を設けることにより、放電の長手方向の広がりの
抑制、及び金属電極の長手方向端とレーザ容器等間の容
量を小さくでき、かつ高周波的な絶縁距離を小さくする
ことが可能となる。

【００５４】その他、本発明は上記の各実施例に限定さ
れるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変
形して実施することができるものである。また、本発明
は、ＣＯ2 レーザのみならず、ＣＯレーザ、エキシマレ
ーザ等の他のガスレーザにも通用できる。

【００５５】

【発明の効果】以上の説明によって明らかなように、本
発明によれば高周波電圧が印加される電極部の周囲に、
誘電体製の外殻部を設けてなる少なくとも一対の誘電体
電極を放電領域を挟んだ状態で配置するようにしたガス
レーザ装置において、誘電体電極における電極部の両側
に外殻部より比誘電率が小なる容量結合抑制部を設ける
構造とすることにより、電極部に高周波電圧を印加した
場合でも、放電が電極部の両側へ分散することが抑制さ
れるようになる。そのため、誘電体電極を用いた構成の
ものでありながら、レーザ発振効率の向上を実現できる
ガスレーザ装置を提供することができる。

【００５６】また、請求項２記載の発明によれば、前記
容量結合抑制部の光軸と垂直な横断面は、誘電体で囲ま
れることにより形成された空間部より構成したから、そ
の容量結合抑制部での比誘電率を小さくでき、放電の分
散を抑制する効果を得ることができる。

【００５７】さらに、請求項３記載の発明によれば、２
つの容量結合抑制部に挟まれ、放電面側となる誘電体で
囲まれる空間に、電極部を収納するための電極収納室を
形成している。そのため、放電面側となる誘電体と対向
する側を誘電体で構成していないので、放電によって発
生する誘電体内の応力集中を緩和することができ、ま
た、電極部製作にあたり作業が比常に行い易くなる。

【００５８】また、請求項４記載の発明によれば、電極
収納室に収納された電極部内に冷却用媒体を流す構成と
すると、電極部の温度上昇が抑制され、誘電体電極にお
ける電極部と外殻部との熱膨脹率の違いに起因した両者
間での歪発生に伴う不都合を未然に防止できるようにな
る。

【００５９】請求項５記載の発明によれば、絶縁性ガス
を空間部中に封入したことにより、その部分での比誘電
率が小さくなる。そのため、容量結合部における絶縁破
壊を回避することが可能となり、放電の分散を抑制する
効果を得ることができる。

【００６０】さらに、請求項６記載の発明によれば、絶
縁性ガスの圧力をＰ iとして、ガスレーザ装置中のレー
ザガス圧力をＰとしたとき、Ｐ i≧Ｐなる条件を満足さ
せることにより、空間部中での容量結合部における絶縁
破壊を回避することが可能となり、放電の分散を抑制す
る効果がより確実になる。

【００６１】請求項７記載の発明によれば、電極部の長
手方向に外殻部より比誘電率が小となる容量結合抑制部
を設けることにより、長手方向の放電の分散を抑制し、
かつ絶縁距離を小さくでき装置の小型化ができる。

【００６２】請求項８記載の発明によれば、電極部を構
成する金属電極の回りを絶縁物で覆い、この絶縁物の両
側に容量性結合抑制部を設けることにより、放電の分散
を抑制する効果を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による第１の実施例を示すガスレーザ装
置の横断面図である。

【図２】図１におけるガスレーザ装置の対をなす誘電体
電極を一部断面にした斜視図である。

【図３】図１におけるガスレーザ装置の誘電体電極の横
断面の詳細を示す図である。

【図４】本発明による第２の実施例を示すガスレーザ装
置の横断面図である。

【図５】図５における誘電体電極の横断面の詳細を示す
図である。

【図６】図６は本発明の第３の実施例であり、図１にお
ける誘電体電極の縦断面の詳細を示す図である。

【図７】図７は本発明による第４の実施例を示すガスレ
ーザ装置の横断面図である。

【図８】図８は誘電体電極の断面（中心より半分を示し
ている）と放電中の放電電流分布を示す図である。

【図９】図９は従来のガスレーザ装置の概略構成図であ
る。

【符号の説明】

１…誘電体電極、 ２…放電空間、 ３…電
極部、４…外殻部、 ５…高周波電源、
６…風洞容器、７，８…誘電体電極， ７ａ，８ａ…電
極部（電極収納部），７ｂ，８ｂ…外殻部、 ７ｃ，７
ｄ，８ｃ，８ｄ…仕切壁、７ｅ，７ｆ，８ｅ，８ｆ…容
量結合抑制部，９…放電空間、 １０…送風機、
１１…熱交換器 １２…金属電極、 １３…導電性ゴム、 １４…
絶縁性ゴム １５…水、 １６…高周波電源、１９ａ…長
手方向内容量結合抑制部、 ２２，２３…誘電
体電極 ２２ａ，２３ａ…電極部、 ２５…
絶縁物 ２６ａ…容量結合抑制部、 ２７ａ
…電界緩和領域

フロントページの続き (72)発明者 玉川 徹 神奈川県川崎市川崎区浮島町２番１号 株 式会社東芝浜川崎工場内

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電極部の周囲に誘電体製の外殻部を設け
   てなる少なくとも一対の誘電体電極を放電空間を挾んだ
   状態で配置すると共に、前記電極部間に高周波電圧を印
   加して放電を行わせることによりレーザ光を発振もしく
   は増幅させるガスレーザ装置において、 前記電極部の両側に前記外殻部より比誘電率が小なる容
   量結合抑制部を設けたことを特徴とするガスレーザ装
   置。
2. 【請求項２】 レーザ光軸と垂直である容量結合抑制部
   の横断面が誘電体で囲まれることにより形成された空間
   部を設けたことを特徴とする請求項１記載のガスレーザ
   装置。
3. 【請求項３】 ２つの容量結合抑制部に挾まれ、放電空
   間側は誘電体で囲まれることで構成される電極部を収納
   するための電極収納室を設けたことを特徴とする請求項
   １記載のガスレーザ装置。
4. 【請求項４】 前記電極収納室に収納された電極部内に
   冷却用媒体を流す冷却路を設けたことを特徴とする請求
   項３記載のガスレーザ装置。
5. 【請求項５】 前記空間部の中に絶縁性ガスを入れたこ
   とを特徴とする請求項２記載のガスレーザ装置。
6. 【請求項６】 前記絶縁性ガス圧力Ｐi がガスレーザ装
   置中のガス圧力をＰとしたき、Ｐi ≧Ｐなる条件を満足
   することを特徴とする請求項５記載のガスレーザ装置。
7. 【請求項７】前記電極部の長手方向に前記外殻部より比
   誘電率が小となる容量結合抑制部を設けたことを特徴と
   する請求項１記載のガスレーザ装置。
8. 【請求項８】前記電極部において、金属電極の回りを絶
   縁物で覆い、この絶縁物の両側に容量結合抑制部を設け
   たことを特徴とする請求項１記載のガスレーザ装置。