JPH06233193A - X線透視検査装置 - Google Patents

X線透視検査装置

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JPH06233193A
JPH06233193A JP5013844A JP1384493A JPH06233193A JP H06233193 A JPH06233193 A JP H06233193A JP 5013844 A JP5013844 A JP 5013844A JP 1384493 A JP1384493 A JP 1384493A JP H06233193 A JPH06233193 A JP H06233193A
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JP
Japan
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image
ray
inspected
structural noise
imaging
Prior art date
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Pending
Application number
JP5013844A
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English (en)
Inventor
Kiyohide Tamaki
清英 玉木
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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  • Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 被検査体の画像から固定パターンノイズを適
確に除去し、SN比および解像度を向上したX線透視検
査装置を提供する。 【構成】 被検査体3のX線吸収と同じX線吸収を有す
るX線吸収体であるフィルタ4a,4b,4cを設け、
このフィルタ4a,4b,4cに対して被検査体3と同
一条件でX線装置1からのX線透過、イメージセンサ5
による可視化およびテレビカメラ6による撮像を行っ
て、フィルタ4a,4b,4cの画像を入手し、このフ
ィルタ4a,4b,4cの画像を被検査体3の画像から
減算して構造ノイズを低減する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被検査体に向けてX線
を発生し、被検査体を透過したX線をイメージセンサで
検出して可視化し、該可視画像を撮像手段で撮像して表
示し検査するX線透視検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】この種のX線透視検査装置は、微細な内
部欠陥や内部構造を透視して検査するものであり、拡大
透視法を利用している。
【0003】拡大透視法は、X線装置から発生するX線
を被検査体に透過させ、拡大透過像をイメージセンサで
可視像に変換し、この可視像を工業用テレビカメラで撮
像してテレビモニタに表示し観察するものである。この
拡大透視法では、像の拡大率を大きくするためにイメー
ジセンサの出力可視像を光学的に拡大してから工業用テ
レビカメラで撮像する方法が行われている。
【0004】この方法によって得られる画像においては
イメージセンサの固有の構造ノイズも拡大されるため、
画像のSN比が光学的拡大率に反比例して劣化する。
【0005】従来、このような固定パターンノイズは被
検査体を視野に設けないで得られる固定パターンノイズ
のみをフレームメモリに蓄積しておき、この画像を蓄積
した固定パターンノイズの画像を固定パターンノイズを
含んだ被検査体の透視画像から減算して除去するという
方法が利用されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の方法で
は、被検査体を透過して含まれる固定パターンノイズと
被検査体を視野に設けないで得られた固定パターンノイ
ズは被検査体によるX線吸収が異なるため、減算を行っ
ても、固定パターンノイズは残留し、SN比改善効果は
低いという問題がある。
【0007】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、被検査体の画像から固定パタ
ーンノイズを適確に除去し、SN比および解像度を向上
したX線透視検査装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のX線透視検査装置は、被検査体に向けてX
線を発生し、被検査体を透過したX線をイメージセンサ
で検出して可視化し、該可視画像を撮像手段で撮像して
表示し検査するX線透視検査装置であって、前記撮像手
段で撮像した前記被検査体の画像を記憶する記憶手段
と、前記被検査体のX線吸収と同じX線吸収を有するX
線吸収体と、該X線吸収体に対して前記被検査体と同一
条件でX線透過、前記イメージセンサによる可視化およ
び前記撮像手段による撮像を行って、X線吸収体の画像
を得るように制御する制御手段と、前記記憶手段に記憶
された前記被検査体の画像から前記制御手段の制御によ
り得た前記X線吸収体の画像を減算し、被検査体の画像
から構造ノイズを低減する減算手段とを有することを要
旨とする。
【0009】また、本発明のX線透視検査装置は、被検
査体に向けてX線を発生し、被検査体を透過したX線を
イメージセンサで検出して可視化し、該可視画像を撮像
手段で撮像して表示し検査するX線透視検査装置であっ
て、前記撮像手段で撮像した前記被検査体の画像を記憶
する記憶手段と、前記被検査体を動かす手段と、該手段
により動かされている被検査体に対してX線透過、前記
イメージセンサによる可視化および前記撮像手段による
撮像を行って得られる被検査体の画像に対してフレーム
積分を行い、被検査体の画像のみをぼかして構造ノイズ
を含んだ画像を得る構造ノイズ入手手段と、前記記憶手
段に記憶された前記被検査体の画像から前記構造ノイズ
入手手段で得た構造ノイズの画像を減算し、被検査体の
画像から構造ノイズを低減する減算手段とを有すること
を要旨とする。
【0010】
【作用】本発明のX線透視検査装置では、被検査体のX
線吸収と同じX線吸収を有するX線吸収体を設け、この
X線吸収体に対して被検査体と同一条件でX線透過、イ
メージセンサによる可視化および撮像手段による撮像を
行って、X線吸収体の画像を入手し、このX線吸収体の
画像を被検査体の画像から減算して構造ノイズを低減し
ている。
【0011】また、本発明のX線透視検査装置では、被
検査体を動かしながら、この被検査体に対してX線透
過、イメージセンサによる可視化および撮像手段による
撮像を行って得られる被検査体の画像に対してフレーム
積分を行い、被検査体の画像のみをぼかして得られる構
造ノイズの画像を被検査体の画像から減算して構造ノイ
ズを低減している。
【0012】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。
【0013】図1は、本発明の一実施例に係わるX線透
視検査装置の構成を示す図である。同図に示すX線透視
検査装置は、X線を発生するX線装置1を有し、該X線
装置1から発生されるX線ビーム2は被検査体3を透過
し、イメージセンサ5で検出され、可視像に変換され
る。この可視像は光学系5’により結像された工業用テ
レビカメラ6で撮像され、第1のフレームメモリ7aに
記憶される。以下、この第1のフレームメモリ7aに記
憶された被検査体3の画像をS画像と称する。この第1
のフレームメモリ7aに記憶されたS画像は、平均輝度
レベル演算装置10に供給され、該S画像の全体の平均
輝度レベルまたは一部の輝度レベルまたはその平均を算
出される。
【0014】前記被検査体3は、移動テーブル12上に
設けられているが、この移動テーブル12上には更にフ
ィルタ4a,4b,4cが設けられている。これらのフ
ィルタ4a,4b,4cは前記被検査体3のX線吸収と
同じまたはほぼ同じX線吸収を有するX線吸収体であ
り、移動テーブル制御装置11の制御による移動テーブ
ル12の移動によりX線装置1のX線ビーム2の視野内
に順次搬送され、X線を透過させられる。この各フィル
タ4a,4b,4cのX線透過画像はイメージセンサ5
で検出され、光学系5’を介してテレビカメラ6で撮像
され、第2のフレームメモリ7bに記憶される。この第
2のフレームメモリ7bに記憶された各フィルタ4a,
4b,4cの輝度レベルは、前記平均輝度レベル演算装
置10で算出されたS画像の輝度レベルと輝度比較ユニ
ット13で比較される。
【0015】そして、この比較の結果、S画像の輝度レ
ベルに等しいまたはほぼ等しい輝度レベルを有するフィ
ルタ4a,4bまたは4cが選択され、このフィルタ4
a,4bまたは4cの画像が第2のフレームメモリ7b
に記憶される。以下、この画像をN画像と称する。
【0016】上述したように、第1のフレームメモリ7
aに記憶されたS画像および第2のフレームメモリ7b
に記憶されたN画像はフレーム減算器8に供給され、S
画像からN画像が減算され、この減算結果はモニタ9に
表示され、被検査体3の検査のために観察される。
【0017】すなわち、上記実施例では、被検査体3の
X線吸収と同じまたはほぼ同じX線吸収を有するX線吸
収体であるフィルタ4a,4b,4cに対してX線透
過、イメージセンサ5による可視化、テレビカメラ6に
よる撮像を行って、フィルタ4a,4b,4cの画像を
N画像として取り込むことにより、被検査体3の画像に
含まれる構造ノイズ、すなわち固定パターンノイズを被
検査体3の画像を得た場合と同じまたはほぼ同じ条件
(X線のエネルギ、線量、被検査体の吸収)で入手し、
この入手した固定パターンノイズを被検査体3のS画像
から減算して、被検査体3の画像から固定パターンノイ
ズを低減し、SN比および解像度を向上している。
【0018】なお、上記実施例では、フィルタ4a,4
b,4cを使用しているが、この代わりに図1において
点線で示すようにテレビカメラ6と第1のフレームメモ
リ7aとの間にフレーム積分器14を設けるとともに、
移動テーブル12を動かしながら、被検査体3に対して
X線の透過、イメージセンサ5による可視化およびテレ
ビカメラ6による撮像を行い、これにより得られた被検
査体3の画像をフレーム積分器14でフレーム積分し
て、固定パターンノイズはそのままで被検査体3の透視
像のみをぼけさせ、固定パターンノイズはイメージセン
サ5等を動かさないためにぼけさせず積分された固定パ
ターンノイズの画像を取り出し、この画像を第2のフレ
ームメモリ7bに記憶し、この画像を第1のフレームメ
モリ7aに記憶した被検査体3のS画像からフレーム減
算器8で減算することにより、被検査体3の画像から固
定パターンノイズを低減することも可能である。
【0019】更に、上記実施例において、フィルタ4
a,4b,4cを特定し、この特定のフィルタにX線を
透過してイメージセンサ5で検出し、テレビカメラ6で
撮像した画像を得る場合に、この特定のフィルタに対す
るX線エネルギ、線量、吸収等の条件を異ならしめ、こ
の異なる条件で得られた該特定のフィルタの各画像を第
2のフレームメモリ7bにそれぞれ記憶しておき、これ
らの各画像を前記第1のフレームメモリ7aに記憶され
たS画像からフレーム減算器8で減算し、その場合の固
定パターンノイズが最も少ない画像をモニタ9に表示し
て観察しても同様の効果が得られる。
【0020】また更に、以上の説明において、フレーム
減算器8における減算処理の代わりに、除算処理を行っ
ても同様の効果が得られる。この場合の除算は、被検査
体3の透視像およびフィルタだけの固定パターンノイズ
画像を各々対数変換してから減算することにより達成す
ることができる。
【0021】なお、上記実施例においては、複数のフィ
ルタ4a,4b,4cは被検査体3と同じ移動テーブル
12上に設けられているが、本発明はこれに限定される
ものでなく、フィルタ4a,4b,4cはX線ビーム2
の内部であれば、どこに設けられてもよく、例えば別の
テーブルやマニプレータに設けられてもよい。
【0022】更に、平均輝度レベル演算装置10および
輝度比較ユニット13を設けることなく、前記S画像お
よびN画像をモニタ9に直接表示して、両者を目視比較
して、フィルタ4a,4b,4cを選択してもほぼ同様
の効果が得られるものである。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被検査体のX線吸収と同じX線吸収を有するX線吸収体
を設け、このX線吸収体に対して被検査体と同一条件で
X線透過、イメージセンサによる可視化および撮像手段
による撮像を行って、X線吸収体の画像を入手し、この
X線吸収体の画像を被検査体の画像から減算して構造ノ
イズを低減したり、または被検査体を動かしながら、こ
の被検査体に対してX線透過、イメージセンサによる可
視化および撮像手段による撮像を行って得られる被検査
体の画像に対してフレーム積分を行い、被検査体の画像
のみをぼかして得られる構造ノイズの画像を被検査体の
画像から減算して構造ノイズを低減しているので、被検
査体の画像から固定パターンノイズである構造ノイズを
適確に低減し、SN比および解像度を向上することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係わるX線透視検査装置の
構成を示す図である。
【符号の説明】
1 X線装置 2 X線ビーム 3 被検査体 4a,4b,4c フィルタ 5 イメージセンサ 6 テレビカメラ 7a 第1のフレームメモリ 7b 第2のフレームメモリ 8 フレーム減算器 9 モニタ 10 平均輝度レベル演算装置 13 輝度比較ユニット

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検査体に向けてX線を発生し、被検査
    体を透過したX線をイメージセンサで検出して可視化
    し、該可視画像を撮像手段で撮像して表示し検査するX
    線透視検査装置であって、前記撮像手段で撮像した前記
    被検査体の画像を記憶する記憶手段と、前記被検査体の
    X線吸収と同じX線吸収を有するX線吸収体と、該X線
    吸収体に対して前記被検査体と同一条件でX線透過、前
    記イメージセンサによる可視化および前記撮像手段によ
    る撮像を行って、X線吸収体の画像を得るように制御す
    る制御手段と、前記記憶手段に記憶された前記被検査体
    の画像から前記制御手段の制御により得た前記X線吸収
    体の画像を減算し、被検査体の画像から構造ノイズを低
    減する減算手段とを有することを特徴とするX線透視検
    査装置。
  2. 【請求項2】 前記制御手段は前記X線吸収体に対する
    X線透過、前記イメージセンサによる可視化および前記
    撮像手段による撮像を複数の条件で行い、該複数の条件
    でそれぞれ得られるX線吸収体の複数の画像をキャリブ
    レーションデータとして保存する保存手段を有し、前記
    減算手段は前記記憶手段に記憶された前記被検査体の画
    像から前記保存手段に保存された前記X線吸収体の複数
    の画像をそれぞれ減算し、構造ノイズの最も少ない画像
    を選択する手段を有することを特徴とする請求項1記載
    のX線透視検査装置。
  3. 【請求項3】 前記減算手段は前記記憶手段に記憶され
    た前記被検査体の画像に対して前記X線吸収体の画像を
    対数変換してから減算するという除算処理を行って、構
    造ノイズを低減する除算手段を有することを特徴とする
    請求項1または2記載のX線透視検査装置。
  4. 【請求項4】 被検査体に向けてX線を発生し、被検査
    体を透過したX線をイメージセンサで検出して可視化
    し、該可視画像を撮像手段で撮像して表示し検査するX
    線透視検査装置であって、前記撮像手段で撮像した前記
    被検査体の画像を記憶する記憶手段と、前記被検査体を
    動かす手段と、該手段により動かされている被検査体に
    対してX線透過、前記イメージセンサによる可視化およ
    び前記撮像手段による撮像を行って得られる被検査体の
    画像に対してフレーム積分を行い、被検査体の画像のみ
    をぼかして構造ノイズを含んだ画像を得る構造ノイズ入
    手手段と、前記記憶手段に記憶された前記被検査体の画
    像から前記構造ノイズ入手手段で得た構造ノイズの画像
    を減算し、被検査体の画像から構造ノイズを低減する減
    算手段とを有することを特徴とするX線透視検査装置。
  5. 【請求項5】 前記減算手段は前記記憶手段に記憶され
    た前記被検査体の画像に対して前記構造ノイズ入手手段
    で得た構造ノイズの画像を対数変換してから減算すると
    いう除算処理を行って、構造ノイズを低減する除算手段
    を有することを特徴とする請求項4記載のX線透視検査
    装置。
JP5013844A 1993-01-29 1993-01-29 X線透視検査装置 Pending JPH06233193A (ja)

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JP5013844A JPH06233193A (ja) 1993-01-29 1993-01-29 X線透視検査装置

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JP (1) JPH06233193A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003232752A (ja) * 2002-02-12 2003-08-22 Yamato Scale Co Ltd X線異物検査装置の感度校正方法及び感度校正用異物試料体
JP2014135989A (ja) * 2013-01-16 2014-07-28 Konica Minolta Inc 医用画像システム

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JP2003232752A (ja) * 2002-02-12 2003-08-22 Yamato Scale Co Ltd X線異物検査装置の感度校正方法及び感度校正用異物試料体
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