JPH0623489B2 - クリーンルームの床構造 - Google Patents
クリーンルームの床構造Info
- Publication number
- JPH0623489B2 JPH0623489B2 JP61131187A JP13118786A JPH0623489B2 JP H0623489 B2 JPH0623489 B2 JP H0623489B2 JP 61131187 A JP61131187 A JP 61131187A JP 13118786 A JP13118786 A JP 13118786A JP H0623489 B2 JPH0623489 B2 JP H0623489B2
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- JP
- Japan
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- floor
- clean room
- lattice
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- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
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Landscapes
- Floor Finish (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はクリーンルームの床構造に係り、特に通気性の
床面が施設されるクリーンルームの床構造に関する。
床面が施設されるクリーンルームの床構造に関する。
半導体製造は無塵環境を必要とするため、その製造は通
常クリーンルーム内で行われる。一般に、クリーンルー
ムは、天井面に取付けられた複数のＨＥＰＡ（高性能）
フィルタを通して清浄エアをクリーンルーム室内に吹き
出し、又室内のエアを通気構造を有する床面から吸い込
んで再び天井面のＨＥＰＡフィルタを通すエア循環方式
が採用され、清浄エアが室内に於いてダウンフローされ
る。ところで、通気構造を有する床面を施設するには、
従来、縦横約０．６ｍ四方のグレーチング板（孔あき
板）を、基礎上に立設された４本の束に載置することに
よって行なわれている。しかしながら立設される束の高
さが異なる場合、施設されるグレーチング板は相互に隣
接するグレーチング板と高さが一致しない為に段差を生
じたり、水平に載置されない場合があり、グレーチング
板のガタによる発じんなどが問題となる。この為、立設
される束の全ての高さを正確に合わせる必要があり、多
数の束を均一の高さに設置するのは手間がかかる。ま
た、グレーチング板の施設面積が広い場合には、グレー
チング板の施設量と共に束の立設本数も増大する為、束
の立設施工に手間が掛る上、各束の高さを一致させるの
に更に手間が掛かる。
常クリーンルーム内で行われる。一般に、クリーンルー
ムは、天井面に取付けられた複数のＨＥＰＡ（高性能）
フィルタを通して清浄エアをクリーンルーム室内に吹き
出し、又室内のエアを通気構造を有する床面から吸い込
んで再び天井面のＨＥＰＡフィルタを通すエア循環方式
が採用され、清浄エアが室内に於いてダウンフローされ
る。ところで、通気構造を有する床面を施設するには、
従来、縦横約０．６ｍ四方のグレーチング板（孔あき
板）を、基礎上に立設された４本の束に載置することに
よって行なわれている。しかしながら立設される束の高
さが異なる場合、施設されるグレーチング板は相互に隣
接するグレーチング板と高さが一致しない為に段差を生
じたり、水平に載置されない場合があり、グレーチング
板のガタによる発じんなどが問題となる。この為、立設
される束の全ての高さを正確に合わせる必要があり、多
数の束を均一の高さに設置するのは手間がかかる。ま
た、グレーチング板の施設面積が広い場合には、グレー
チング板の施設量と共に束の立設本数も増大する為、束
の立設施工に手間が掛る上、各束の高さを一致させるの
に更に手間が掛かる。
本発明はこのような事情に鑑みて成されたもので、束の
数を減らして発じん量を減少させ、クリーンルーム内で
の現場施工量を減少させたクリーンルームの床構造を提
供することを目的としている。
数を減らして発じん量を減少させ、クリーンルーム内で
の現場施工量を減少させたクリーンルームの床構造を提
供することを目的としている。
本発明に係るクリーンルームの床構造によれば、基礎床
と、基礎床の上方に施設される通気性の床面との間に床
下チャンバを形成し、天井面から吹き出された清浄エア
を床下チャンバ内に吸気するクリーンルームの床構造に
於いて、基礎床上に立設される複数の縦材と、縦材間に
取付けられ、高さの調整が可能な横材と、横材上に水平
に配置され、予め複数の孔あき板が嵌め込み可能で各孔
あき板の四辺を支持可能に格子状枠組が形成され、基礎
床全面に配置される格子状枠組ユニットと、この格子状
枠組ユニットの格子に嵌め込まれて前記通気性の床面を
形成する孔あき板と、から構成されることを特徴とす
る。
と、基礎床の上方に施設される通気性の床面との間に床
下チャンバを形成し、天井面から吹き出された清浄エア
を床下チャンバ内に吸気するクリーンルームの床構造に
於いて、基礎床上に立設される複数の縦材と、縦材間に
取付けられ、高さの調整が可能な横材と、横材上に水平
に配置され、予め複数の孔あき板が嵌め込み可能で各孔
あき板の四辺を支持可能に格子状枠組が形成され、基礎
床全面に配置される格子状枠組ユニットと、この格子状
枠組ユニットの格子に嵌め込まれて前記通気性の床面を
形成する孔あき板と、から構成されることを特徴とす
る。
以下添付図面に従って本発明に係るクリーンルームの床
構造の好ましい実施例を詳説する。第１図は本発明に係
るクリーンルームの床構造の断面図である。第１図に示
すようにクリーンルーム１０の天井室１２は、右側面に
導入口１４が設けられ、循環エアはこの導入口１４を通
って天井室１２に供給される。又、天井室１２には、複
数のＨＥＰＡフィルタ１６…が配置され、天井室１２の
エアは、ＨＥＰＡフィルタ１６を通って室内２０に送ら
れる。
構造の好ましい実施例を詳説する。第１図は本発明に係
るクリーンルームの床構造の断面図である。第１図に示
すようにクリーンルーム１０の天井室１２は、右側面に
導入口１４が設けられ、循環エアはこの導入口１４を通
って天井室１２に供給される。又、天井室１２には、複
数のＨＥＰＡフィルタ１６…が配置され、天井室１２の
エアは、ＨＥＰＡフィルタ１６を通って室内２０に送ら
れる。
又、基礎床２８には複数の束３０、３０…が所定の間隔
で立設され、これ等の束３０上には通気性の床面３２が
敷設され、室内２０のエアは、この床面３２を通って床
下チャンバ３４に吸い込まれる。チャンバ３４の右側面
には吸気口３６が設けられ、吸気口３６は吸気ダクト３
８を介して空気調和機４０に外気導入ダクト４２と共に
接続され、この空気調和機４０でミキシングされた空調
空気は送風機４４により、送気ダクト４６を介して天井
室１２に再び供給される。
で立設され、これ等の束３０上には通気性の床面３２が
敷設され、室内２０のエアは、この床面３２を通って床
下チャンバ３４に吸い込まれる。チャンバ３４の右側面
には吸気口３６が設けられ、吸気口３６は吸気ダクト３
８を介して空気調和機４０に外気導入ダクト４２と共に
接続され、この空気調和機４０でミキシングされた空調
空気は送風機４４により、送気ダクト４６を介して天井
室１２に再び供給される。
第２図に示すように基礎床２８にはレベルモルタル５０
上に束３０のベース５４が形成され、ベース５４の高さ
は他の複数の束３０…のベース５４とトランシットによ
って高さが一定になるように設けられる。形成されるベ
ース５４の高さは他のベースと少なくとも±２mm以内の
高さで仕上げられる。束３０の上部両側面には取付金具
５６、５６が設けられ、取付金具５６には大引き５８が
取付けられる。取付金具５６には２個の差込み孔６０が
形成され、込み孔６０は上下方向に長円形成される。大
引き５８には差込み孔６０に対応して孔６２が形成さ
れ、差込み孔６０と孔６２とにボルトを挿通して締結す
ることによって大引き５８が金具５６に取付けられる。
金具５６の差込み孔６０は長円になっている為、大引き
５８は取付に際して高さを調節することができ、この調
節には束３０に形成された台６４上に油圧装置６６を設
置して調節される。この調節により、大引き同士の高さ
は±１．０mm以内の精度で一定の高さに束３０の間に水
平に取付けられる。大引き５８と取付金具５６は床全体
のレベル調整が終った段階で溶接をし、歪みを防止する
ようになっている。
上に束３０のベース５４が形成され、ベース５４の高さ
は他の複数の束３０…のベース５４とトランシットによ
って高さが一定になるように設けられる。形成されるベ
ース５４の高さは他のベースと少なくとも±２mm以内の
高さで仕上げられる。束３０の上部両側面には取付金具
５６、５６が設けられ、取付金具５６には大引き５８が
取付けられる。取付金具５６には２個の差込み孔６０が
形成され、込み孔６０は上下方向に長円形成される。大
引き５８には差込み孔６０に対応して孔６２が形成さ
れ、差込み孔６０と孔６２とにボルトを挿通して締結す
ることによって大引き５８が金具５６に取付けられる。
金具５６の差込み孔６０は長円になっている為、大引き
５８は取付に際して高さを調節することができ、この調
節には束３０に形成された台６４上に油圧装置６６を設
置して調節される。この調節により、大引き同士の高さ
は±１．０mm以内の精度で一定の高さに束３０の間に水
平に取付けられる。大引き５８と取付金具５６は床全体
のレベル調整が終った段階で溶接をし、歪みを防止する
ようになっている。
第３図に示す枠組ユニット６８は第２図の想像線に示す
ように大引き５８上に設けられ、枠組ユニット６８は定
盤上で水平精度が±１．０mm以内になるように予め作成
され、その格子には第４図に示すグレーチング板７０が
嵌め込めら、したがって、グレーチング板７０の四辺は
枠組ユニット６８の格子に支持されるようになってい
る。枠組ユニット６８は横２．５ｍ、約１．９ｍの大き
さに形成され、０．６ｍ四方のグレーチング板７０が１
２枚嵌め込まれるようになっている。又、枠組ユニット
６８の根太の交差部には導電ゴムマット７２を介してグ
レーチング板７０の取付具７４が設けられる。
ように大引き５８上に設けられ、枠組ユニット６８は定
盤上で水平精度が±１．０mm以内になるように予め作成
され、その格子には第４図に示すグレーチング板７０が
嵌め込めら、したがって、グレーチング板７０の四辺は
枠組ユニット６８の格子に支持されるようになってい
る。枠組ユニット６８は横２．５ｍ、約１．９ｍの大き
さに形成され、０．６ｍ四方のグレーチング板７０が１
２枚嵌め込まれるようになっている。又、枠組ユニット
６８の根太の交差部には導電ゴムマット７２を介してグ
レーチング板７０の取付具７４が設けられる。
前記の如く構成された本発明に係るクリーンルームの床
構造によれば、基礎床２８上の所定間隔に束３０…が立
設され、束３０同士の間には水平に大引き５８が設けら
れ、大引き５８の高さは油圧装置６６によって調節され
て、容易に一定の高さに水平に取付けられる。水平に取
付けられた大引き５８上には、格子状枠組ユニット６８
が取付けられ、床３２全体に施設される。更に枠組ユニ
ットの格子にはグレーチング板７０が取付けられ床面３
２の施設が成される。枠組ユニットを用いるので、立設
される束３０の数も少なくすることができ、孔あき板の
ガタ量が減少するので発じん量を減少させることができ
る。また束３０は簡単にトランシットで高さを一定にし
て施工することができる。また、取り付けられる大引き
５８も簡単に水平に調節することができ、枠組ユニット
６８を介してその上に載置されるグレーチング板７０を
均一の高さに水平に取付けることが出来る。このように
構成されたグレーチング板７０の床面３２には天井面か
らの清浄なエアの降下流を効率良く床面３２に通気させ
て床下チャンバ３４内へと送ることができる。
構造によれば、基礎床２８上の所定間隔に束３０…が立
設され、束３０同士の間には水平に大引き５８が設けら
れ、大引き５８の高さは油圧装置６６によって調節され
て、容易に一定の高さに水平に取付けられる。水平に取
付けられた大引き５８上には、格子状枠組ユニット６８
が取付けられ、床３２全体に施設される。更に枠組ユニ
ットの格子にはグレーチング板７０が取付けられ床面３
２の施設が成される。枠組ユニットを用いるので、立設
される束３０の数も少なくすることができ、孔あき板の
ガタ量が減少するので発じん量を減少させることができ
る。また束３０は簡単にトランシットで高さを一定にし
て施工することができる。また、取り付けられる大引き
５８も簡単に水平に調節することができ、枠組ユニット
６８を介してその上に載置されるグレーチング板７０を
均一の高さに水平に取付けることが出来る。このように
構成されたグレーチング板７０の床面３２には天井面か
らの清浄なエアの降下流を効率良く床面３２に通気させ
て床下チャンバ３４内へと送ることができる。
以上説明したように本発明に係るクリーンルームの床構
造によれば、予め複数の孔あき板が嵌め込み可能で各孔
あき板の四辺を支持可能に格子状枠組が形成された格子
状枠組ユニットを用いるので、従来行なっていたグレー
チング用枠組を現場合わせで行なう場合と比較して、現
場施工量を大幅に削減することができる。
造によれば、予め複数の孔あき板が嵌め込み可能で各孔
あき板の四辺を支持可能に格子状枠組が形成された格子
状枠組ユニットを用いるので、従来行なっていたグレー
チング用枠組を現場合わせで行なう場合と比較して、現
場施工量を大幅に削減することができる。
また格子状枠組ユニットを用いるので縦材の数が減少
し、施工が容易になると共に孔あき板のガタ量が減りク
リーンルーム内の発じん量が減少する。
し、施工が容易になると共に孔あき板のガタ量が減りク
リーンルーム内の発じん量が減少する。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明が使用されるクリーンルームの床構造の
説明図、第２図は本発明に係るクリーンルームの床構造
の束の側面図、第３図は本発明に係るクリーンルームの
床構造に使用される枠組ユニットの斜視図、第４図は枠
組ユニットの要部断面図である。 １０……クリーンルーム、１６……ＨＥＰＡフィルタ、
２０……クリーンルーム室内、３０……束、５０……レ
ベルモルタル、５４……ベース、５８……大引き、６８
……枠組ユニット、７０……グレーチング板。
説明図、第２図は本発明に係るクリーンルームの床構造
の束の側面図、第３図は本発明に係るクリーンルームの
床構造に使用される枠組ユニットの斜視図、第４図は枠
組ユニットの要部断面図である。 １０……クリーンルーム、１６……ＨＥＰＡフィルタ、
２０……クリーンルーム室内、３０……束、５０……レ
ベルモルタル、５４……ベース、５８……大引き、６８
……枠組ユニット、７０……グレーチング板。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村上 玖磨 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 湯本 一夫 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 大見 忠弘 宮城県仙台市米ヶ袋２−１−17−301 (56)参考文献 実開 昭62−146833（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】基礎床と、基礎床の上方に敷設される通気
性の床面との間に床下チャンバを形成し、天井面から吹
き出された清浄エアを床下チャンバ内に吸気するクリー
ンルームの床構造に於いて、 基礎床上に立設される複数の縦材と、 複数の縦材に支持され、高さの調整が可能な横材と、 複数の孔あき板が嵌め込み可能で各孔あき板の四辺を支
持可能に予め格子状枠組が形成された格子状枠組ユニッ
トと、 横材上に水平に並設して配置された複数の格子状枠組ユ
ニットの格子に嵌め込まれて前記通気性の床面を形成す
る孔あき板と、 から構成されることを特徴とするクリーンルームの床構
造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61131187A JPH0623489B2 (ja) | 1986-06-06 | 1986-06-06 | クリーンルームの床構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61131187A JPH0623489B2 (ja) | 1986-06-06 | 1986-06-06 | クリーンルームの床構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62288256A JPS62288256A (ja) | 1987-12-15 |
| JPH0623489B2 true JPH0623489B2 (ja) | 1994-03-30 |
Family
ID=15052049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61131187A Expired - Fee Related JPH0623489B2 (ja) | 1986-06-06 | 1986-06-06 | クリーンルームの床構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0623489B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0286667U (ja) * | 1988-12-23 | 1990-07-09 | ||
| CN104314273B (zh) * | 2014-11-07 | 2017-01-25 | 上海华力微电子有限公司 | 承压散重防震脚 |
| CN112832480A (zh) * | 2021-03-01 | 2021-05-25 | 亚翔系统集成科技（苏州）股份有限公司 | 一种支撑基座以及采用该支撑基座的高架地板和洁净室 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60115328U (ja) * | 1984-01-11 | 1985-08-05 | 日立金属株式会社 | フリ−アクセスフロア |
| JPS62146833U (ja) * | 1986-03-08 | 1987-09-17 |
-
1986
- 1986-06-06 JP JP61131187A patent/JPH0623489B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62288256A (ja) | 1987-12-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |