JPH06235656A - 地震計 - Google Patents
地震計Info
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- JPH06235656A JPH06235656A JP2277593A JP2277593A JPH06235656A JP H06235656 A JPH06235656 A JP H06235656A JP 2277593 A JP2277593 A JP 2277593A JP 2277593 A JP2277593 A JP 2277593A JP H06235656 A JPH06235656 A JP H06235656A
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Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】地震計に関し、天体等への設置時における強大
な衝撃加速度に耐えると共に、設置後においては、微小
な振動をも検知することを目的とする。 【構成】地震計1の外殻を構成するケーシング2と、ケ
ーシング2内に構成され、磁力線が通過する環状ギャッ
プ3を構成する磁気回路4と、ケーシング2内に支持バ
ネ部材5で支持される振動子6と、振動子6に固定され
上記磁気回路4の環状ギャップ3に位置して振動子6の
振動に伴いギャップ内で振動して上記磁力線を横切るコ
イル7とを備えた地震計において、振動子6の所定振幅
以上の移動を禁止する振幅抑制手段8と、振動子6を支
持する支持バネ部材5の所定量以上の変形を禁止する支
持バネ変形抑制手段9とを設けて構成する。
な衝撃加速度に耐えると共に、設置後においては、微小
な振動をも検知することを目的とする。 【構成】地震計1の外殻を構成するケーシング2と、ケ
ーシング2内に構成され、磁力線が通過する環状ギャッ
プ3を構成する磁気回路4と、ケーシング2内に支持バ
ネ部材5で支持される振動子6と、振動子6に固定され
上記磁気回路4の環状ギャップ3に位置して振動子6の
振動に伴いギャップ内で振動して上記磁力線を横切るコ
イル7とを備えた地震計において、振動子6の所定振幅
以上の移動を禁止する振幅抑制手段8と、振動子6を支
持する支持バネ部材5の所定量以上の変形を禁止する支
持バネ変形抑制手段9とを設けて構成する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、地震計に係り、特に外
殻を構成するケースと、ケース内に構成され、磁力線が
通過する環状ギャップを構成する磁気回路と、ケース内
に支持バネ部材で支持され地震により振動する振動子
と、振動子に固定され上記磁気回路のギャップに位置し
て振動子の振動に伴いギャップ内で振動して上記磁力線
を横切るコイルとを有する地震計に関する。
殻を構成するケースと、ケース内に構成され、磁力線が
通過する環状ギャップを構成する磁気回路と、ケース内
に支持バネ部材で支持され地震により振動する振動子
と、振動子に固定され上記磁気回路のギャップに位置し
て振動子の振動に伴いギャップ内で振動して上記磁力線
を横切るコイルとを有する地震計に関する。
【0002】
【従来の技術】地震計として、従来以下に示すものがあ
る。この地震計30は可動コイル型のものであり、その
構造は、図4に示すように、有底円筒形状のケース31
中に、永久磁石32とヨーク33,34とで構成した磁
気回路を構成し、この磁気回路中に磁力線が横切る環状
のギャップ35を形成すると共に、振動子36をケース
31の軸線に沿って所定の固有振動数で振動するように
支持バネ部材37で支持し、この振動子36に上記環状
ギャップ35に位置するコイル38を取り付け、このコ
イル38の両端をリード線39を介してケース31外に
取り出すものとしている。また、この例では永久磁石3
2とヨーク33,34とで構成した磁気回路は2つを1
組としてスペーサ40を介して対称に設けるものとして
いる。
る。この地震計30は可動コイル型のものであり、その
構造は、図4に示すように、有底円筒形状のケース31
中に、永久磁石32とヨーク33,34とで構成した磁
気回路を構成し、この磁気回路中に磁力線が横切る環状
のギャップ35を形成すると共に、振動子36をケース
31の軸線に沿って所定の固有振動数で振動するように
支持バネ部材37で支持し、この振動子36に上記環状
ギャップ35に位置するコイル38を取り付け、このコ
イル38の両端をリード線39を介してケース31外に
取り出すものとしている。また、この例では永久磁石3
2とヨーク33,34とで構成した磁気回路は2つを1
組としてスペーサ40を介して対称に設けるものとして
いる。
【0003】この地震計が設置された状態において、地
震計30が振動すると、振動子36はケース31に対し
て軸方向に相対的に振動して、この振動子36に設けた
コイル38は環状ギャップ35の磁力線を横切り、起電
力が発生する。これにより、振動に応じた交番信号を得
ることができ、地震波の計測を行うことができる。
震計30が振動すると、振動子36はケース31に対し
て軸方向に相対的に振動して、この振動子36に設けた
コイル38は環状ギャップ35の磁力線を横切り、起電
力が発生する。これにより、振動に応じた交番信号を得
ることができ、地震波の計測を行うことができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、火山
等の観測者が赴けない個所、また、月、惑星等の地球以
外の天体の探査を行うに際して、当該個所、天体に地震
計を配置して、その個所及び天体の表面に発生する振動
(この振動を「地震」と、またこの振動を測定する装置
を「地震計」というのは必ずしも正確ではないが、以下
「地震」、「地震計」という。)や、爆発物を爆発させ
た際の振動を検知して、当該個所の地質構造、及び天体
の構造等を解析するものとしている。
等の観測者が赴けない個所、また、月、惑星等の地球以
外の天体の探査を行うに際して、当該個所、天体に地震
計を配置して、その個所及び天体の表面に発生する振動
(この振動を「地震」と、またこの振動を測定する装置
を「地震計」というのは必ずしも正確ではないが、以下
「地震」、「地震計」という。)や、爆発物を爆発させ
た際の振動を検知して、当該個所の地質構造、及び天体
の構造等を解析するものとしている。
【0005】このような地震波を検出するための地震計
としては微小な振動をも検知する高感度なものが要求さ
れ、従ってかかる地震計は精密な構造を有するものとな
る。一方このような地震計は、地球(観測個所)から対
象になる天体(個所)にロケット、飛行機等の運搬手段
により搬送され、設置される。そして、この地震計の設
置については、地震計を積載した運搬手段を天体やその
場所に軟着陸させることにより行うことも考えられる
が、一般的には地震計を積載したペネトレータをこのペ
ネトレータを搬送した搬送手段から天体や当該個所に衝
撃的に打ち込むことにより設置をするものとしている。
としては微小な振動をも検知する高感度なものが要求さ
れ、従ってかかる地震計は精密な構造を有するものとな
る。一方このような地震計は、地球(観測個所)から対
象になる天体(個所)にロケット、飛行機等の運搬手段
により搬送され、設置される。そして、この地震計の設
置については、地震計を積載した運搬手段を天体やその
場所に軟着陸させることにより行うことも考えられる
が、一般的には地震計を積載したペネトレータをこのペ
ネトレータを搬送した搬送手段から天体や当該個所に衝
撃的に打ち込むことにより設置をするものとしている。
【0006】このような、場合において、ペネトレータ
の天体への貫入時において、地震計には極めて大きな加
速度(例えば10000Gを越える加速度)が加わるこ
とになる。従って、このような目的に使用される地震計
は、大衝撃加速度に耐えると共にに、微小な振動をも検
出することができなければならないという相反する要求
を満足する必要がある。
の天体への貫入時において、地震計には極めて大きな加
速度(例えば10000Gを越える加速度)が加わるこ
とになる。従って、このような目的に使用される地震計
は、大衝撃加速度に耐えると共にに、微小な振動をも検
出することができなければならないという相反する要求
を満足する必要がある。
【0007】そこで、このような特殊な地震計にあって
は、計器全体を保護体で囲むか、或いは震動系を弾力性
があるゴムのような保護体で保持することが考えられる
が、本願出願人の実験によれば以下の理由によりその性
能を確保できないことが判明した。これは、ゴム等の弾
力体が、係る極限状態、即ち上記のような大きな加速度
が加わるような状態においては、弾力性を保ち得ないと
ころにその原因がある。
は、計器全体を保護体で囲むか、或いは震動系を弾力性
があるゴムのような保護体で保持することが考えられる
が、本願出願人の実験によれば以下の理由によりその性
能を確保できないことが判明した。これは、ゴム等の弾
力体が、係る極限状態、即ち上記のような大きな加速度
が加わるような状態においては、弾力性を保ち得ないと
ころにその原因がある。
【0008】そこで、本発明は、天体や火山等、観測者
が観測器(地震計)を直接設置できない個所へ、設ける
に際して、設置時における強大な衝撃加速度に耐えると
共に、設置後においては、微小な振動を検知することが
できる地震計を提供することを目的とする。
が観測器(地震計)を直接設置できない個所へ、設ける
に際して、設置時における強大な衝撃加速度に耐えると
共に、設置後においては、微小な振動を検知することが
できる地震計を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明において、上記の
課題を解決するための第1の手段は、図1に示すよう
に、外殻を構成するケース2と、ケース2内に構成さ
れ、磁力線が通過する環状ギャップ3を構成する磁気回
路4と、ケース2内に支持バネ部材5で支持される振動
子6と、振動子6に固定され上記磁気回路4の環状ギャ
ップ3に位置して振動子6の振動に伴いギャップ内で振
動して上記磁力線を横切るコイル7とを備えた地震計に
おいて、振動子6の所定振幅以上の移動を禁止する振幅
抑制手段8と、振動子6を支持する支持バネ部材5の所
定量以上の変形を禁止する支持バネ変形抑制手段9とを
設けたことである。
課題を解決するための第1の手段は、図1に示すよう
に、外殻を構成するケース2と、ケース2内に構成さ
れ、磁力線が通過する環状ギャップ3を構成する磁気回
路4と、ケース2内に支持バネ部材5で支持される振動
子6と、振動子6に固定され上記磁気回路4の環状ギャ
ップ3に位置して振動子6の振動に伴いギャップ内で振
動して上記磁力線を横切るコイル7とを備えた地震計に
おいて、振動子6の所定振幅以上の移動を禁止する振幅
抑制手段8と、振動子6を支持する支持バネ部材5の所
定量以上の変形を禁止する支持バネ変形抑制手段9とを
設けたことである。
【0010】また、本発明の第2の手段は、上記振動抑
制手段8は、振動子6の地震検出方向における所定振幅
以上の振動を禁止する振動方向振動抑制手段10と、振
動子の地震検出方向に直行する方向における所定振幅以
上の振動を禁止する振動直交方向振動抑制手段11であ
るものとしたことである。更に、本発明の第3の手段に
あっては、上記振動抑制手段8は、振動子の所定角度以
上の回転を禁止する回転抑制手段12を有するものとし
たことである。
制手段8は、振動子6の地震検出方向における所定振幅
以上の振動を禁止する振動方向振動抑制手段10と、振
動子の地震検出方向に直行する方向における所定振幅以
上の振動を禁止する振動直交方向振動抑制手段11であ
るものとしたことである。更に、本発明の第3の手段に
あっては、上記振動抑制手段8は、振動子の所定角度以
上の回転を禁止する回転抑制手段12を有するものとし
たことである。
【0011】
【作用】本発明の第1の手段によれば、地震計設置時に
おける、振動子の不必要な移動と、支持バネ部材の変形
は抑制されるため、地震計を外部から衝撃を伴って設置
しても地震計は破損することなく、その後において、地
震計を正常に使用して、設置個所の地震波の測定をおこ
なうことができる。
おける、振動子の不必要な移動と、支持バネ部材の変形
は抑制されるため、地震計を外部から衝撃を伴って設置
しても地震計は破損することなく、その後において、地
震計を正常に使用して、設置個所の地震波の測定をおこ
なうことができる。
【0012】また、本発明の第2の手段によれば、地震
計設置地において、振動子の振動方向の不必要な移動は
振動抑制手段である振動方向振動抑制手段によって、ま
た、振動子の振動直交方向の移動は振動直交方向振動抑
制手段によって抑制される。さらに、本発明の第3の手
段によれば、地震計設置時における振動子の不必要な回
転は回転抑制手段で抑制される。
計設置地において、振動子の振動方向の不必要な移動は
振動抑制手段である振動方向振動抑制手段によって、ま
た、振動子の振動直交方向の移動は振動直交方向振動抑
制手段によって抑制される。さらに、本発明の第3の手
段によれば、地震計設置時における振動子の不必要な回
転は回転抑制手段で抑制される。
【0013】
【実施例】以下、本発明に係るの実施例を図面に基づい
て説明する。図1乃至図3は本発明に係る地震計の実施
例を示すものである。本実施例に係る地震計は、実際の
測定時においては3台を直交するようにジンバルに設置
して、天体の重力を利用し、地震計が天体の鉛直方向及
び2方向の水平方向に固定されるものとしている。そし
て、これらの地震計を、検出した信号の増幅器、送信機
等と共に対象となる天体に設置して、検出した地震の振
動を地球或いは中継手段である人工天体に送信するもの
としている。
て説明する。図1乃至図3は本発明に係る地震計の実施
例を示すものである。本実施例に係る地震計は、実際の
測定時においては3台を直交するようにジンバルに設置
して、天体の重力を利用し、地震計が天体の鉛直方向及
び2方向の水平方向に固定されるものとしている。そし
て、これらの地震計を、検出した信号の増幅器、送信機
等と共に対象となる天体に設置して、検出した地震の振
動を地球或いは中継手段である人工天体に送信するもの
としている。
【0014】本実施例において、地震計1は、図1に示
すように、非磁性体であるアルミニウム、チタン等の金
属で形成された有底円筒形状のケース2中に、環状の永
久磁石13と、この永久磁石13の両極に接続した2つ
の環状のヨーク14,15とで磁気回路4を形成して、
2つのヨーク14,15の間にケース2の軸方向に開口
を有する環状ギャップ3を形成し、この環状ギャップ3
を磁気回路4が形成する磁力線が横切るものとしてい
る。本実施例では、従来例と同様に永久磁石13とヨー
ク14,15とで構成した磁気回路は2つを1組として
スペーサ19を介して対称に設けるものとしている。
すように、非磁性体であるアルミニウム、チタン等の金
属で形成された有底円筒形状のケース2中に、環状の永
久磁石13と、この永久磁石13の両極に接続した2つ
の環状のヨーク14,15とで磁気回路4を形成して、
2つのヨーク14,15の間にケース2の軸方向に開口
を有する環状ギャップ3を形成し、この環状ギャップ3
を磁気回路4が形成する磁力線が横切るものとしてい
る。本実施例では、従来例と同様に永久磁石13とヨー
ク14,15とで構成した磁気回路は2つを1組として
スペーサ19を介して対称に設けるものとしている。
【0015】そして、本実施例では、ケース2の内部に
はケース2と同様の金属で形成した略円筒形状の振動子
6をケース2の軸線に沿って所定の固有振動数で振動す
るように支持バネ部材5で支持すると共に、この振動子
6に上記環状ギャップ3内に位置するコイル7を取り付
るものとしている。ここで、本実施例では支持バネ部材
5は振動子6の両端にそれぞれ1組、合計2組使用する
ものとし、円板状のダイアフラムスプリングを使用し
て、外周端をケース2に、内周端を振動子6に接続固定
するものとしている。
はケース2と同様の金属で形成した略円筒形状の振動子
6をケース2の軸線に沿って所定の固有振動数で振動す
るように支持バネ部材5で支持すると共に、この振動子
6に上記環状ギャップ3内に位置するコイル7を取り付
るものとしている。ここで、本実施例では支持バネ部材
5は振動子6の両端にそれぞれ1組、合計2組使用する
ものとし、円板状のダイアフラムスプリングを使用し
て、外周端をケース2に、内周端を振動子6に接続固定
するものとしている。
【0016】また、本実施例では、ケース2には図1に
示すように、地震計設置時における振動子の不必要な移
動を制限する振幅方向振動抑制手段として、ねじ込み式
の軸方向ストッパ16を設け、振動子6の振動方向(ケ
ース2軸方向)の移動を制限するものとし、更に、振動
子6に外方に向け突出部分17を設け、ヨーク15との
あいだに所定の寸法、即ちコイル7と各ヨーク14,1
5との間の寸法より小さい寸法の隙間を設けて振動直交
方向振動抑制手段として、所定以上の寸法にわたって振
動子6が軸線に直交する方向に移動しないようにしてい
る。
示すように、地震計設置時における振動子の不必要な移
動を制限する振幅方向振動抑制手段として、ねじ込み式
の軸方向ストッパ16を設け、振動子6の振動方向(ケ
ース2軸方向)の移動を制限するものとし、更に、振動
子6に外方に向け突出部分17を設け、ヨーク15との
あいだに所定の寸法、即ちコイル7と各ヨーク14,1
5との間の寸法より小さい寸法の隙間を設けて振動直交
方向振動抑制手段として、所定以上の寸法にわたって振
動子6が軸線に直交する方向に移動しないようにしてい
る。
【0017】尚、上記軸方向ストッパ16は、一旦振動
子6に接触するまでねじ込まれ、所定回数巻き戻すこと
により、予め定めた寸法だけ、振動子と離間するように
設置され、ナット18で固定される。そして、本実施例
では、上記支持バネ部材5のケース2への取付部には振
幅抑制手段として溝部19を設けると共に、振動子6の
両端部には、その端縁がケースの内側面に近接するまで
外方に向けて突出させた突出部6aを設け、上記支持バ
ネ部材5を接続固定するものとし、地震計設置時におい
て支持バネが衝撃加速度を受けても、当該溝部19の内
壁に接触して、それ以上変形しないものとしている。
子6に接触するまでねじ込まれ、所定回数巻き戻すこと
により、予め定めた寸法だけ、振動子と離間するように
設置され、ナット18で固定される。そして、本実施例
では、上記支持バネ部材5のケース2への取付部には振
幅抑制手段として溝部19を設けると共に、振動子6の
両端部には、その端縁がケースの内側面に近接するまで
外方に向けて突出させた突出部6aを設け、上記支持バ
ネ部材5を接続固定するものとし、地震計設置時におい
て支持バネが衝撃加速度を受けても、当該溝部19の内
壁に接触して、それ以上変形しないものとしている。
【0018】更に、本実施例では図2及び図3に示すよ
うに、ケースに内側に向け突出する凸部20を設けると
共に、振動子6の上記突出部6aにはこの凸部20より
僅かに広い巾寸法(円弧方向寸法)を有し、上記凸部が
挿入される溝部21を形成して、振動子6が回動しない
ものとしている。尚、上記各図において、符号22はコ
イルの信号を地震計の外部に取り出すリード線を示して
いる。
うに、ケースに内側に向け突出する凸部20を設けると
共に、振動子6の上記突出部6aにはこの凸部20より
僅かに広い巾寸法(円弧方向寸法)を有し、上記凸部が
挿入される溝部21を形成して、振動子6が回動しない
ものとしている。尚、上記各図において、符号22はコ
イルの信号を地震計の外部に取り出すリード線を示して
いる。
【0019】従って、本実施例によれば、地震計設置時
において、地震計1に大きな衝撃加速度が加わったとし
ても、振動子6の振動方向の不必要な移動は振動子6が
軸方向ストッパ16に接触することによって、また、振
動子6の振動直交方向の移動は振動子6の突出部分17
がヨーク15に接触することによって抑制される。ま
た、地震計設置時における振動子6の不必要な回転は、
ケース2の凸部20が振動子6の溝部21内壁に接触す
ることにより抑制され、さらに支持バネ部材5は溝部1
9の内壁に接触して変形が防止される。
において、地震計1に大きな衝撃加速度が加わったとし
ても、振動子6の振動方向の不必要な移動は振動子6が
軸方向ストッパ16に接触することによって、また、振
動子6の振動直交方向の移動は振動子6の突出部分17
がヨーク15に接触することによって抑制される。ま
た、地震計設置時における振動子6の不必要な回転は、
ケース2の凸部20が振動子6の溝部21内壁に接触す
ることにより抑制され、さらに支持バネ部材5は溝部1
9の内壁に接触して変形が防止される。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
地震計において、振動子の所定振幅以上の移動を禁止す
る振幅抑制手段と、振動子を支持する支持バネ部材の所
定量以上の変形を禁止する支持バネ変形抑制手段を設け
るようにしたから、振動子の不必要な移動と、支持バネ
部材の変形は抑制されるため、地震計を外部から衝撃を
伴って設置しても地震計は破損することなく、その後に
おいて、地震計を正常に使用して、設置個所の地震波の
測定をおこなうことができるという効果を奏する。
地震計において、振動子の所定振幅以上の移動を禁止す
る振幅抑制手段と、振動子を支持する支持バネ部材の所
定量以上の変形を禁止する支持バネ変形抑制手段を設け
るようにしたから、振動子の不必要な移動と、支持バネ
部材の変形は抑制されるため、地震計を外部から衝撃を
伴って設置しても地震計は破損することなく、その後に
おいて、地震計を正常に使用して、設置個所の地震波の
測定をおこなうことができるという効果を奏する。
【図1】本発明の実施例に係る地震計の構成を示す断面
図である。
図である。
【図2】実施例に係る実施例に係る地震計の構成を示す
図1中II−II線に対応する断面図である。
図1中II−II線に対応する断面図である。
【図3】実施例に係る実施例に係る地震計の構成を示す
図2中III−III線に対応する断面図である。
図2中III−III線に対応する断面図である。
【図4】従来の地震計の構成を示す図1に相当する断面
図である。
図である。
1 地震計 2 ケース 3 環状ギャップ 4 磁気回路 5 支持バネ部材 6 振動子 7 コイル 8 振幅抑制手段 9 支持バネ変形抑制手段 10 振動方向振動抑制手段 11 振動直交方向振動抑制手段 12 回転抑制手段
Claims (3)
- 【請求項1】外殻を構成するケース(2)と、ケース
(2)内に設けられ、磁力線が通過する環状ギャップ
(3)を構成する磁気回路(4)と、ケース(2)内に
支持バネ部材(5)で支持される振動子(6)と、振動
子(6)に固定され上記磁気回路(4)の環状ギャップ
(3)に位置して振動子(6)の振動に伴いギャップ
(3)内で振動して上記磁力線を横切るコイル(7)と
を備えた地震計において、 振動子(6)の所定振幅以上の移動を禁止する振幅抑制
手段(8)と、 振動子(6)を支持する支持バネ部材(5)の所定量以
上の変形を禁止する支持バネ変形抑制手段(9)とを設
けたことを特徴とする地震計。 - 【請求項2】上記振幅抑制手段(8)は、振動子(6)
の地震検出方向における所定振幅以上の振動を禁止する
振動方向振動抑制手段(10)と、振動子の地震検出方
向に直行する方向における所定振幅以上の振動を禁止す
る振動直交方向振動抑制手段(11)であることを特徴
とする請求項第1記載の地震計。 - 【請求項3】上記振幅抑制手段(8)は、振動子の所定
角度以上の回転を禁止する回転抑制手段(12)を有す
ることを特徴とする請求項1または請求項2記載の地震
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02277593A JP3258412B2 (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | 地震計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02277593A JP3258412B2 (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | 地震計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06235656A true JPH06235656A (ja) | 1994-08-23 |
| JP3258412B2 JP3258412B2 (ja) | 2002-02-18 |
Family
ID=12092043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02277593A Expired - Fee Related JP3258412B2 (ja) | 1993-02-10 | 1993-02-10 | 地震計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3258412B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003042833A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Akashi Corp | 動電型検出器 |
| JP2009020057A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Mitsutoyo Corp | 振動検出器 |
| JP2015004539A (ja) * | 2013-06-19 | 2015-01-08 | 株式会社ミツトヨ | 高温対応型検出器 |
-
1993
- 1993-02-10 JP JP02277593A patent/JP3258412B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003042833A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Akashi Corp | 動電型検出器 |
| JP2009020057A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Mitsutoyo Corp | 振動検出器 |
| JP2015004539A (ja) * | 2013-06-19 | 2015-01-08 | 株式会社ミツトヨ | 高温対応型検出器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3258412B2 (ja) | 2002-02-18 |
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