JPH0623676B2 - 吸着量測定装置 - Google Patents
吸着量測定装置Info
- Publication number
- JPH0623676B2 JPH0623676B2 JP59202699A JP20269984A JPH0623676B2 JP H0623676 B2 JPH0623676 B2 JP H0623676B2 JP 59202699 A JP59202699 A JP 59202699A JP 20269984 A JP20269984 A JP 20269984A JP H0623676 B2 JPH0623676 B2 JP H0623676B2
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- JP
- Japan
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- valve
- adsorbate
- valves
- gas phase
- manifold
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/26—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、試料への吸着量を容量法により測定する装置
に関する。
に関する。
（ロ）従来技術 一般に、被測定試料の例えば物理吸着量を測定する装置
のうち、容量法を用いた装置においては、気相吸着質
源、気相非吸着質源、真空ポンプ、試料セル等に対して
それぞれの開閉弁によって仕切られたマニホールドに、
圧力計および真空計を設け、所望の開閉弁を適宜に操作
することにより、マニホールド内および試料セル内の真
空排気と気相非吸着質又は気相吸着質の充填等を交互に
行い、気相非吸着質および気相吸着質充填時の圧力差か
ら、試料セル内の試料の物理吸着量が求められる。この
ような容量法による吸着量測定装置では、マニホールド
と各部を仕切る開閉弁にリークがあれば、正しい測定結
果を得ることができないことは明らかである。
のうち、容量法を用いた装置においては、気相吸着質
源、気相非吸着質源、真空ポンプ、試料セル等に対して
それぞれの開閉弁によって仕切られたマニホールドに、
圧力計および真空計を設け、所望の開閉弁を適宜に操作
することにより、マニホールド内および試料セル内の真
空排気と気相非吸着質又は気相吸着質の充填等を交互に
行い、気相非吸着質および気相吸着質充填時の圧力差か
ら、試料セル内の試料の物理吸着量が求められる。この
ような容量法による吸着量測定装置では、マニホールド
と各部を仕切る開閉弁にリークがあれば、正しい測定結
果を得ることができないことは明らかである。
従来のこの種装置においては、マニホールドと各部を仕
切る開閉弁のうち、気相吸着質源や気相非吸着質源との
間に設けられた開閉弁等の、マニホールドに対し反対側
に圧力がかかっている弁については、真空排気操作時に
到達真空度を監視することにより、いずれかにリークが
あればその旨を検知することができるが、試料セルとマ
ニホールドを仕切る開閉弁等については、開閉弁を挟ん
でマニホールドと反対側が閉塞されているので、弁のリ
ークがあっても到達真空度の監視によってはこれを検知
することができない。ところが、往々にして、到達真空
度が満足な値を示しているが故に、全ての弁にリークが
ないものと思い込み、測定作業を行ってしまうことがあ
り、この場合、得られた測定結果には当然誤差が含まれ
ているが、これを正しい値として信じてしまうという問
題があった。このような開閉弁のリークチェックは、従
来、特に定まった作業手順があるわけではないが、例え
ば個々の開閉弁を取り出して別途用意したリークチェッ
ク用の装置に装着してリークの有無を調査する等、極め
て煩雑な作業を要している。このようなことから、従
来、全開閉弁を個別に頻繁にチェックすることは行われ
ず、リークがあることを知らずに誤った測定をしてしま
うということか多発していた。
切る開閉弁のうち、気相吸着質源や気相非吸着質源との
間に設けられた開閉弁等の、マニホールドに対し反対側
に圧力がかかっている弁については、真空排気操作時に
到達真空度を監視することにより、いずれかにリークが
あればその旨を検知することができるが、試料セルとマ
ニホールドを仕切る開閉弁等については、開閉弁を挟ん
でマニホールドと反対側が閉塞されているので、弁のリ
ークがあっても到達真空度の監視によってはこれを検知
することができない。ところが、往々にして、到達真空
度が満足な値を示しているが故に、全ての弁にリークが
ないものと思い込み、測定作業を行ってしまうことがあ
り、この場合、得られた測定結果には当然誤差が含まれ
ているが、これを正しい値として信じてしまうという問
題があった。このような開閉弁のリークチェックは、従
来、特に定まった作業手順があるわけではないが、例え
ば個々の開閉弁を取り出して別途用意したリークチェッ
ク用の装置に装着してリークの有無を調査する等、極め
て煩雑な作業を要している。このようなことから、従
来、全開閉弁を個別に頻繁にチェックすることは行われ
ず、リークがあることを知らずに誤った測定をしてしま
うということか多発していた。
（ハ）目的 本発明は上記に鑑みてなされたもので、吸着量測定装置
の配管系や機構を特に変更することなく、また、リーク
チェック用の装置を用いることなく、従って安価に、自
動的に各開閉弁のリークを常に正確にチェックすること
ができ、もって手作業によるリークチェック作業を不要
とすると同時に、異常状態での誤った測定を行うことな
く、測定の信頼性を向上させることのできる吸着量測定
装置の提供を目的としている。
の配管系や機構を特に変更することなく、また、リーク
チェック用の装置を用いることなく、従って安価に、自
動的に各開閉弁のリークを常に正確にチェックすること
ができ、もって手作業によるリークチェック作業を不要
とすると同時に、異常状態での誤った測定を行うことな
く、測定の信頼性を向上させることのできる吸着量測定
装置の提供を目的としている。
（ニ）構成 本発明の特徴とするところは、気相吸着質源、気相非吸
着質源、真空ポンプ、試料セルおよびエキストラ容積器
等に対してそれぞれの開閉弁によって仕切られ、内部の
圧力又は真空度を計測するセンサを備えたマニホールド
を有するとともに、上記各開閉弁を所定の手順で開閉操
作するべく各開閉弁に対して開閉指令を与える制御部を
備えてなる吸着量測定装置において、上記制御部に対し
て各開閉弁をあらかじめ設定された順序で閉じるべく開
閉指令を発生させるとともに、その閉じた開閉弁の両側
に差圧を与える手段と、その差圧付与動作に同期して、
上記センサの出力からマニホールド内の時間的圧力変化
があらかじめ設定された許容値を越えているか否かを判
別する手段と、その判別結果を報知する手段を有し、自
動的に各開閉弁のリークの有無を個別に検査してその結
果を報知し得るよう構成したことにある。
着質源、真空ポンプ、試料セルおよびエキストラ容積器
等に対してそれぞれの開閉弁によって仕切られ、内部の
圧力又は真空度を計測するセンサを備えたマニホールド
を有するとともに、上記各開閉弁を所定の手順で開閉操
作するべく各開閉弁に対して開閉指令を与える制御部を
備えてなる吸着量測定装置において、上記制御部に対し
て各開閉弁をあらかじめ設定された順序で閉じるべく開
閉指令を発生させるとともに、その閉じた開閉弁の両側
に差圧を与える手段と、その差圧付与動作に同期して、
上記センサの出力からマニホールド内の時間的圧力変化
があらかじめ設定された許容値を越えているか否かを判
別する手段と、その判別結果を報知する手段を有し、自
動的に各開閉弁のリークの有無を個別に検査してその結
果を報知し得るよう構成したことにある。
（ホ）実施例 本発明の実施例を、以下、図面に基づいて説明する。
第１図は本発明実施例の構成図である。
容積既知のマニホールド１は、圧力計２と真空計３に連
通しており、また、各電磁開閉弁ＶＡＣ、Ｈ、Ｎ、Ｅ、
Ｐｓ、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３を介して、それぞれ真空ポンプ
４、気相非吸着質源たるヘリウムボンベ、気相吸着質た
るチッ素ボンベ、エキストラ容積器５、飽和蒸気圧測定
管６、および各セル接続部７…と連通している。試料セ
ル８は、セル接続部７に対して気密に取り付けあるいは
取り外しが自在で、試料セル８を取り外した状態ではセ
ル接続部７をプラグ９で密閉することができる。なお、
エキストラ容積器５は、その容積が既知であって、電磁
開閉弁Ｅの開放によりマニホールド１の容積を拡大せし
める為のものである。また、試料セル８および飽和蒸気
圧測定管６は、下方のデュワー瓶１０内の液体チッ素等
の冷媒で、その一部を冷却し得るよう構成されている。
通しており、また、各電磁開閉弁ＶＡＣ、Ｈ、Ｎ、Ｅ、
Ｐｓ、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３を介して、それぞれ真空ポンプ
４、気相非吸着質源たるヘリウムボンベ、気相吸着質た
るチッ素ボンベ、エキストラ容積器５、飽和蒸気圧測定
管６、および各セル接続部７…と連通している。試料セ
ル８は、セル接続部７に対して気密に取り付けあるいは
取り外しが自在で、試料セル８を取り外した状態ではセ
ル接続部７をプラグ９で密閉することができる。なお、
エキストラ容積器５は、その容積が既知であって、電磁
開閉弁Ｅの開放によりマニホールド１の容積を拡大せし
める為のものである。また、試料セル８および飽和蒸気
圧測定管６は、下方のデュワー瓶１０内の液体チッ素等
の冷媒で、その一部を冷却し得るよう構成されている。
電磁開閉弁ＶＡＣを開いて真空ポンプ４を駆動し、電磁
開閉弁ＨおよびＮを除く所望の電磁開閉弁を開放するこ
とにより、マニホールド１および所望の各部内を真空排
気することができる。また、電磁開閉弁ＶＡＣを閉じ、
電磁開閉弁Ｈ又はＮを開放し、所望の電磁開閉弁を開放
すれば、マニホールド１および所望の各部内にヘリウム
ガス又はチッ素ガスを導入することができる。
開閉弁ＨおよびＮを除く所望の電磁開閉弁を開放するこ
とにより、マニホールド１および所望の各部内を真空排
気することができる。また、電磁開閉弁ＶＡＣを閉じ、
電磁開閉弁Ｈ又はＮを開放し、所望の電磁開閉弁を開放
すれば、マニホールド１および所望の各部内にヘリウム
ガス又はチッ素ガスを導入することができる。
各電磁開閉弁の開閉指令信号および真空ポンプ４の駆動
指令信号は、それぞれバルブ用の入出力インターフェー
ス１１およびポンプ用の入出力インターフェース１２を
介して、制御部１３から供給される。また、圧力計２お
よび真空計３の出力は、マルチプレクサ１４およびＡ−
Ｄ変換器１５を介して制御部１３に採り込まれる。
指令信号は、それぞれバルブ用の入出力インターフェー
ス１１およびポンプ用の入出力インターフェース１２を
介して、制御部１３から供給される。また、圧力計２お
よび真空計３の出力は、マルチプレクサ１４およびＡ−
Ｄ変換器１５を介して制御部１３に採り込まれる。
制御部１３はマイクロコンピュータで構成され、各種プ
ログラムの実行や演算処理および各周辺機器の制御を行
うＣＰＵ１３ａ、測定用プログラムや後述するリークチ
ェック用プログラムが書き込まれたＲＯＭ１３ｂ、およ
びＡ−Ｄ変換器１５からのデジタル変換データやＣＰＵ
１３ａによる演算結果等を格納するエリアを有するＲＡ
Ｍ１３ｃ等を備え、これらは互いにバスラインによって
接続されている。なお、制御部１３には、プリンタ等の
外部機器との接続の為の入出力ターミナル１７が、ＵＡ
ＲＴ１６を介して接続されている。
ログラムの実行や演算処理および各周辺機器の制御を行
うＣＰＵ１３ａ、測定用プログラムや後述するリークチ
ェック用プログラムが書き込まれたＲＯＭ１３ｂ、およ
びＡ−Ｄ変換器１５からのデジタル変換データやＣＰＵ
１３ａによる演算結果等を格納するエリアを有するＲＡ
Ｍ１３ｃ等を備え、これらは互いにバスラインによって
接続されている。なお、制御部１３には、プリンタ等の
外部機器との接続の為の入出力ターミナル１７が、ＵＡ
ＲＴ１６を介して接続されている。
次に本発明実施例の作用を説明する。なお、吸着量測定
時における各部の動作およびその作用は、従来装置と同
じであるからその説明を省略し、ここではリークチェッ
ク時における作用をＲＯＭ１３ｂに書き込まれたリーク
チェック用プログラムを参照しつつ説明する。第２図に
そのフローチャートを示す。また、第２図における「排
気」、「昇圧速度測定」、「注入」および「終了処理」
のサブルーチンを、それぞれ第３図、第４図、第５図お
よび第６図にフローチャートで示す。
時における各部の動作およびその作用は、従来装置と同
じであるからその説明を省略し、ここではリークチェッ
ク時における作用をＲＯＭ１３ｂに書き込まれたリーク
チェック用プログラムを参照しつつ説明する。第２図に
そのフローチャートを示す。また、第２図における「排
気」、「昇圧速度測定」、「注入」および「終了処理」
のサブルーチンを、それぞれ第３図、第４図、第５図お
よび第６図にフローチャートで示す。
チェックに先立ち、全てのセル接続部７…に空の試料セ
ル８又はプラグ９を取り付けておく。チェック開始を指
示すると、電磁開閉弁Ｈ、Ｎを除く全電磁開閉弁を開放
して真空ポンプ４による系内の排気が行なわれる。この
とき、第３図に示す如く、所定時間（例えば２０分間）
内で到達真空度が例えば0.01mmＨｇを満足しなければ、
電磁開閉弁Ｈ又はＮ、あるいは配管系にリークがあるこ
とを検知したことになる。更に、第２図のＩおよび第４
図に示す如く、到達真空度が0.01mmＨｇを満足したと
き、電磁開閉弁ＶＡＣを閉じた直後の圧力Ｐ１を測定
し、その状態で所定時間、例えば１分間待機して再度そ
の圧力Ｐ２を測定し、Ｐ２とＰ１との差があらかじめ設
定された許容値、例えば0.01mmＨｇを越えているか否か
を判別すれば、より厳密なチェックとなる。許容値を越
えた昇圧速度であれば、その旨を例えばプリンタ等によ
って検知し、この場合、以後のチェックは困難であるか
ら、全ての弁を閉じてチェックを終了する。
ル８又はプラグ９を取り付けておく。チェック開始を指
示すると、電磁開閉弁Ｈ、Ｎを除く全電磁開閉弁を開放
して真空ポンプ４による系内の排気が行なわれる。この
とき、第３図に示す如く、所定時間（例えば２０分間）
内で到達真空度が例えば0.01mmＨｇを満足しなければ、
電磁開閉弁Ｈ又はＮ、あるいは配管系にリークがあるこ
とを検知したことになる。更に、第２図のＩおよび第４
図に示す如く、到達真空度が0.01mmＨｇを満足したと
き、電磁開閉弁ＶＡＣを閉じた直後の圧力Ｐ１を測定
し、その状態で所定時間、例えば１分間待機して再度そ
の圧力Ｐ２を測定し、Ｐ２とＰ１との差があらかじめ設
定された許容値、例えば0.01mmＨｇを越えているか否か
を判別すれば、より厳密なチェックとなる。許容値を越
えた昇圧速度であれば、その旨を例えばプリンタ等によ
って検知し、この場合、以後のチェックは困難であるか
ら、全ての弁を閉じてチェックを終了する。
次に、以上のチェックにおいて異常がない場合、電磁開
閉弁Ｅ、Ｐｓ、Ｓ１、Ｓ２およびＳ３のチェックが行な
われる。各電磁開閉弁のチェックは、第２図のフローチ
ャートにおいてII、III、IV、Ｖ、VIでそれぞれ単独に
実施されるが、全て同じ手順で行なわれるので、IIに示
す電磁開閉弁Ｅのチェックを例にとって説明する。
閉弁Ｅ、Ｐｓ、Ｓ１、Ｓ２およびＳ３のチェックが行な
われる。各電磁開閉弁のチェックは、第２図のフローチ
ャートにおいてII、III、IV、Ｖ、VIでそれぞれ単独に
実施されるが、全て同じ手順で行なわれるので、IIに示
す電磁開閉弁Ｅのチェックを例にとって説明する。
電磁開閉弁ＨおよびＮが閉じられ、かつ、他の電磁開閉
弁が開かれた状態から、第５図に示す如く、先ず電磁開
閉弁Ｈを開放して全系内にヘリウムガスを導入し、系内
の圧力が７６０mmＨｇを越えれば、電磁開閉弁Ｈを閉じ
る。このようなヘリウムガスの注入後、チェックすべき
弁、すなわちこの場合電磁開閉弁Ｅ、を閉じ、次に真空
ポンプ４により真空排気を行う。この状態では、電磁開
閉弁Ｅを介して一方のマニホールド側が真空状態、他方
のエキストラ容積器５側が１気圧となっている。そして
その状態で上述の昇圧速度測定ルーチンを実行し、Ｐ２
とＰ１との差が例えば0.01mmＨｇ以下であれば弁Ｅが正
常である旨を報知して次の弁のチェックに移り、0.01mm
Ｈｇを越えいれば弁Ｅにリークが発生しいる旨を報知
し、この場合、弁Ｅを開いた状態で次の弁のチェックに
移行する。
弁が開かれた状態から、第５図に示す如く、先ず電磁開
閉弁Ｈを開放して全系内にヘリウムガスを導入し、系内
の圧力が７６０mmＨｇを越えれば、電磁開閉弁Ｈを閉じ
る。このようなヘリウムガスの注入後、チェックすべき
弁、すなわちこの場合電磁開閉弁Ｅ、を閉じ、次に真空
ポンプ４により真空排気を行う。この状態では、電磁開
閉弁Ｅを介して一方のマニホールド側が真空状態、他方
のエキストラ容積器５側が１気圧となっている。そして
その状態で上述の昇圧速度測定ルーチンを実行し、Ｐ２
とＰ１との差が例えば0.01mmＨｇ以下であれば弁Ｅが正
常である旨を報知して次の弁のチェックに移り、0.01mm
Ｈｇを越えいれば弁Ｅにリークが発生しいる旨を報知
し、この場合、弁Ｅを開いた状態で次の弁のチェックに
移行する。
以上のような手順で残る全ての弁のチェックを行うと、
第６図に示す如く、全ての弁を閉じ、チェック終了を報
知する。
第６図に示す如く、全ての弁を閉じ、チェック終了を報
知する。
なお、以上の実施例では、弁を介してマニホールド側を
減圧状態とし、他の側を１気圧としたが、その逆の差圧
を与えてもよいことは勿論で、更に、差圧付与直後の圧
力Ｐ１と所定時間後の圧力Ｐ２の差が所定値を越えてい
るか否かでリークチェックを行ったが、差は比であって
もよい。
減圧状態とし、他の側を１気圧としたが、その逆の差圧
を与えてもよいことは勿論で、更に、差圧付与直後の圧
力Ｐ１と所定時間後の圧力Ｐ２の差が所定値を越えてい
るか否かでリークチェックを行ったが、差は比であって
もよい。
また、チェックすべき弁を複数個づつ群にわけ、一旦そ
の群ごとの弁のチェックを行い、リークのある群につい
てのみ個々の弁のリークチェックを行うよう構成するこ
ともでき、この場合チェック時間を短縮することができ
る。
の群ごとの弁のチェックを行い、リークのある群につい
てのみ個々の弁のリークチェックを行うよう構成するこ
ともでき、この場合チェック時間を短縮することができ
る。
更に、差圧を与える前後の時間的圧力変化をそれぞれ測
定し、その比又は差からリークチェックを行うよう構成
すれば、圧力計又は真空計のドリフトや配管からの自然
のアウトガス等の影響を除去することができ、高精度の
チェックが可能となる。
定し、その比又は差からリークチェックを行うよう構成
すれば、圧力計又は真空計のドリフトや配管からの自然
のアウトガス等の影響を除去することができ、高精度の
チェックが可能となる。
（ヘ）効果 以上説明したように、本発明によれば、吸着量の測定時
においてマニホールドと各気相質源や試料セル等とを仕
切る各開閉弁に対して所定の手順で開閉指令を与えると
ともに、それと同期して真空ポンプに動作指令を与える
制御部を備えた吸着量測定装置において、その制御部と
各開閉弁および真空ポンプを含む制御機構をそのまま利
用して、自動的に各開閉弁を定められた順序で閉じつ
つ、その閉じられた開閉弁の両側に差圧を与え、その状
態でのマニホールド内の経時的圧力変化の判定によって
各開閉弁のリークの有無を個別に検査してその結果を報
知するから、従来のように各開閉弁を取り出してリーク
チェック用の装置に装着する等の煩雑な作業を要すると
なく、随時に各開閉弁のリークの有無を個別に、しかも
正確にチェックすることが可能となり、開閉弁のリーク
の発生を知らずに誤った測定を行うといった恐れがなく
なり、測定の無駄を省くと同時に、測定の信頼性を向上
させることができる。また、例えば多数個の試料の一連
の吸着量測定時に、いくつかの試料を測定するごとにリ
ークチェックを行う等の使用も可能となり、この種の測
定作業の全自動化に対して寄与するところ大である。
においてマニホールドと各気相質源や試料セル等とを仕
切る各開閉弁に対して所定の手順で開閉指令を与えると
ともに、それと同期して真空ポンプに動作指令を与える
制御部を備えた吸着量測定装置において、その制御部と
各開閉弁および真空ポンプを含む制御機構をそのまま利
用して、自動的に各開閉弁を定められた順序で閉じつ
つ、その閉じられた開閉弁の両側に差圧を与え、その状
態でのマニホールド内の経時的圧力変化の判定によって
各開閉弁のリークの有無を個別に検査してその結果を報
知するから、従来のように各開閉弁を取り出してリーク
チェック用の装置に装着する等の煩雑な作業を要すると
なく、随時に各開閉弁のリークの有無を個別に、しかも
正確にチェックすることが可能となり、開閉弁のリーク
の発生を知らずに誤った測定を行うといった恐れがなく
なり、測定の無駄を省くと同時に、測定の信頼性を向上
させることができる。また、例えば多数個の試料の一連
の吸着量測定時に、いくつかの試料を測定するごとにリ
ークチェックを行う等の使用も可能となり、この種の測
定作業の全自動化に対して寄与するところ大である。
第１図は本発明実施例の構成図、第２図はそのＲＯＭ１
３ｂに書き込まれたリークチェック用プログラムを示す
フローチャート、第３図、第４図、第５図および第６図
は、それぞれその「排気」、「昇圧速度測定」、「注
入」及び「終了処理」のサブルーチンを示すフローチャ
ートである。 １……マニホールド ２……圧力計 ３……真空計 ４……真空ポンプ ５……エキストラ容積器 ６……飽和蒸気圧測定管 ７……セル接続部 ８……試料セル ９……プラグ １１，１２……入出力インターフェース １３……制御部 １３ａ……ＣＰＵ １３ｂ……ＲＯＭ １３ｃ……ＲＡＭ １５……Ａ−Ｄ変換器 １６……ＵＡＲＴ Ｈ、Ｎ、Ｅ、Ｐｓ、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３……電磁開閉弁
３ｂに書き込まれたリークチェック用プログラムを示す
フローチャート、第３図、第４図、第５図および第６図
は、それぞれその「排気」、「昇圧速度測定」、「注
入」及び「終了処理」のサブルーチンを示すフローチャ
ートである。 １……マニホールド ２……圧力計 ３……真空計 ４……真空ポンプ ５……エキストラ容積器 ６……飽和蒸気圧測定管 ７……セル接続部 ８……試料セル ９……プラグ １１，１２……入出力インターフェース １３……制御部 １３ａ……ＣＰＵ １３ｂ……ＲＯＭ １３ｃ……ＲＡＭ １５……Ａ−Ｄ変換器 １６……ＵＡＲＴ Ｈ、Ｎ、Ｅ、Ｐｓ、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３……電磁開閉弁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 矢野 省三 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所三条工場内 (56)参考文献 特開 昭50−147385（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−92324（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】気相吸着質源、気相非吸着質源、真空ポン
プ、試料セルおよびエキストラ容積器等に対してそれぞ
れの開閉弁によって仕切られ、内部の圧力又は真空度を
計測するセンサを備えたマニホールドを有するととも
に、上記各開閉弁を所定の手順で開閉するべく各開閉弁
に対して開閉指令を与え、かつ、それと同期して上記真
空ポンプに対して駆動指令を与える制御部を備え、上記
マニホールドおよび上記試料セル内等の真空排気と気相
吸着質又は気相非吸着質の充填を交互に行い、各気相質
の充填時における上記センサの出力から、上記試料セル
内の試料への吸着量を求める装置において、上記制御部
に対して各開閉弁をあらかじめ設定された順序で閉じる
べく開閉指令を発生させるとともに、その閉じた開閉弁
の両側に差圧を与える手段と、その差圧付与動作に同期
して、上記センサの出力から上記マニホールド内の時間
的圧力変化があらかじめ設定された許容値を越えている
か否かを判別する手段と、その判別結果を報知する手段
を有し、自動的に上記各開閉弁のリークの有無を個別に
検査してその結果を報知し得るよう構成されていること
を特徴とする吸着量測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59202699A JPH0623676B2 (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | 吸着量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59202699A JPH0623676B2 (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | 吸着量測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6179130A JPS6179130A (ja) | 1986-04-22 |
| JPH0623676B2 true JPH0623676B2 (ja) | 1994-03-30 |
Family
ID=16461691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59202699A Expired - Lifetime JPH0623676B2 (ja) | 1984-09-27 | 1984-09-27 | 吸着量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0623676B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (2)
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| JPS5992324A (ja) * | 1982-11-19 | 1984-05-28 | Hitachi Ltd | ガス漏れ検出装置 |
-
1984
- 1984-09-27 JP JP59202699A patent/JPH0623676B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6179130A (ja) | 1986-04-22 |
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