JPH06238152A - 真空容器 - Google Patents

真空容器

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Publication number
JPH06238152A
JPH06238152A JP3006493A JP3006493A JPH06238152A JP H06238152 A JPH06238152 A JP H06238152A JP 3006493 A JP3006493 A JP 3006493A JP 3006493 A JP3006493 A JP 3006493A JP H06238152 A JPH06238152 A JP H06238152A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
thin film
contact
vacuum container
heat generator
Prior art date
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Pending
Application number
JP3006493A
Other languages
English (en)
Inventor
Noriyuki Takeuchi
則行 竹内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 発熱体への通電部材の耐久性を向上する。 【構成】 発熱体４に第１の電極５を設け、該電極５に
着脱自在な第２の電極８を設け、該電極８の他端に可動
電極２７の接触用電極１１を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工程などに
使用される表面に薄膜状の発熱体を一体に設けた真空容
器に関する。
【０００２】
【従来の技術】かかる真空容器においては、図２及び図
３に示すように、容器本体２０の外周に絶縁層２１を介
して一体に設けた薄膜状の発熱体２２の表面に、保護層
２３と薄膜状の導電層２４を設け、その導電層２４に電
極２５を直接圧接するようにしている。
【０００３】又は、図４に示すように、前記導電層２４
の一部に固定電極２６をろう付けなどの手段で取付け、
その固定電極２６に可動電極２７を圧接するようにして
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記の導電層２４に電
極２５を直接圧接する態様は、薄膜状の導電層２４の強
度が不足する不具合がある。
【０００５】また、後者の固定電極２６に可動電極２７
を圧接する態様は、固定電極２６の導電層２４へのろう
付けの強度が不足する不具合がある。
【０００６】本発明は、発熱体への通電部材の耐久性を
向上する真空容器を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、表面に
薄膜状の発熱体を一体に設けた真空容器において、該発
熱体上に第１の電極を設け、該第１の電極に着脱自在な
第２の電極を設け、該第２の電極の他端に可動電極の接
触用電極を設けている。
【０００８】上記第１の電極は、容器本体の略全周にわ
たり一体に設けた薄膜状の発熱体の両端縁の全幅にわた
って形成した金属薄膜と、これら金属薄膜の一方に端部
にそれぞれ接続した金属片とで構成するのが好ましい。
【０００９】また、第２の電極は、一端にポイント電極
を設けた金属片で構成し、絶縁体を介して容器本体に着
脱自在に取付けるのが好ましい。
【００１０】
【作用】上記のように構成された真空容器においては、
第１の電極に第２の電極を接触させ、その第２の電極に
接触している可動電極の接触用電極に可動電極を接触さ
せるので、第１の電極と薄膜状の発熱体とには、何等の
力も作用しない。したがって、第１の電極及び発熱体の
耐久性が向上される。
【００１１】
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。
【００１２】図１において、真空容器の容器本体１の筒
部２には、略全周にわたり薄膜状の発熱体４が一体に設
けられている。その発熱体４の両端縁には、全幅にわた
り金属薄膜の電極層６が図示しない手段で結合され、そ
の電極層６の下側部には、金属片の固定電極７が溶着さ
れており、これら電極層６と固定電極７とにより第１の
電極５が構成されている。
【００１３】この第１の電極５、５に着脱自在に接触さ
れる第２の電極８、８が設けられている。その第２の電
極８は、固定電極７側から容器本体１のフランジ部３側
に延びるＬ字状の金属片で形成されている。その第２の
電極８の縦片９の端部には、固定電極７用の図示しない
ポイント電極が設けられ、横片１０の端部には、可動電
極２７（図４）の接触用電極１１が設けられている。そ
して、第２の電極８は、横片１０により二枚の絶縁片１
２、１３に挟持されてフランジ部３に取付けられてい
る。
【００１４】したがって、図示の状態で可動電極２７を
第２電極８の接触用電極１１に圧接して通電するので、
第１の電極の電極層６と発熱体４とには、何等の力も作
用しない。
【００１５】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、発熱体への通電部材の耐久性を向上するこ
とができる。
【００１６】また、洗浄時又は電極損傷時に、第２の電
極を取外すことができて便利である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図。
【図２】従来の真空容器の一例を示す側面断面図。
【図３】図１の発熱体回りの側面断面図。
【図４】従来の通電の別の態様を示す側面断面図。
【符号の説明】
１、２０・・・容器本体 ２・・・筒部 ３・・・フランジ部 ４、２２・・・発熱体 ５・・・第１の電極 ６・・・電極層 ７・・・固定電極 ８・・・第２の電極 ９・・・縦片 １０・・・横片 １２、１３・・・絶縁片 ２１・・・絶縁層 ２３・・・保護層 ２４・・・導電層 ２５・・・電極 ２６・・・固定電極 ２７・・・可動電極

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 表面に薄膜状の発熱体を一体に設けた真
    空容器において、該発熱体上に第１の電極を設け、該第
    １の電極に着脱自在な第２の電極を設け、該第２の電極
    の他端に可動電極の接触用電極を設けたことを特徴とす
    る真空容器。
JP3006493A 1993-02-19 1993-02-19 真空容器 Pending JPH06238152A (ja)

Priority Applications (1)

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JP3006493A JPH06238152A (ja) 1993-02-19 1993-02-19 真空容器

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3006493A JPH06238152A (ja) 1993-02-19 1993-02-19 真空容器

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Publication Number Publication Date
JPH06238152A true JPH06238152A (ja) 1994-08-30

Family

ID=12293388

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3006493A Pending JPH06238152A (ja) 1993-02-19 1993-02-19 真空容器

Country Status (1)

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JP (1) JPH06238152A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4832117A (en) * 1987-01-23 1989-05-23 Matsushita Refrigeration Company Fin tube heat exchanger

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4832117A (en) * 1987-01-23 1989-05-23 Matsushita Refrigeration Company Fin tube heat exchanger

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