JPH06240499A - メッキ方法及びその装置 - Google Patents

メッキ方法及びその装置

Info

Publication number
JPH06240499A
JPH06240499A JP5024529A JP2452993A JPH06240499A JP H06240499 A JPH06240499 A JP H06240499A JP 5024529 A JP5024529 A JP 5024529A JP 2452993 A JP2452993 A JP 2452993A JP H06240499 A JPH06240499 A JP H06240499A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plating
tank
plating solution
metal ions
inert gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5024529A
Other languages
English (en)
Inventor
Seiya Nishimura
清矢 西村
Yoshihisa Maejima
義久 前嶋
Atsuyoshi Oota
篤佳 太田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yamaha Corp
Original Assignee
Yamaha Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yamaha Corp filed Critical Yamaha Corp
Priority to JP5024529A priority Critical patent/JPH06240499A/ja
Priority to US08/192,722 priority patent/US5431801A/en
Publication of JPH06240499A publication Critical patent/JPH06240499A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D21/00Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
    • C25D21/04Removal of gases or vapours ; Gas or pressure control
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/004Sealing devices
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/003Electroplating using gases, e.g. pressure influence

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 メッキ液、メッキ陽極、メッキ陰極及び被メ
ッキ面の酸化を防止することができるメッキ方法及びそ
の装置を提供することを目的とする。 【構成】 メッキ槽(1)は蓋(2)によって覆われて
おり、メッキ槽(1)の内部はメッキ槽(1)と蓋
(2)の間に封入されたシール(3)によって外部雰囲
気から遮蔽され、かつ、不活性気体によって満たされて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、メッキ方法及びその装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の装置を図3に示す。この図におい
て、20はメッキ槽であり、このメッキ槽20は、被メ
ッキ物23にメッキを施すための金属イオンが含まれた
メッキ液20aによって満たされている。陽極22及び
被メッキ物23は、各々、支持具24,25に把持され
て、メッキ液20aに浸されている。これらの支持具2
4,25は、導電性のものであり、各々の接続端子24
a,25aが直流電源26の正極端子および負極端子に
接続されている。
【0003】このような構成において、被メッキ物23
にメッキを施す場合には、直流電源26による通電を行
う。すると、メッキ槽20内においてはメッキ液20a
中で電解反応が起こる。これにより、メッキ液20aに
溶出している金属イオンが金属皮膜として被メッキ物2
3に析出する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図3に
示す従来の装置では、メッキ液20aの表面において空
気中の主に酸素との反応が起こり、メッキ反応に関与で
きない物質が生成していた。このような生成物が増加す
ると、被メッキ物23に施されるメッキの品質に問題が
発生する。本発明は、このような事情に鑑みてなされた
ものであり、メッキ液、メッキ陽極、メッキ陰極及び被
メッキ面の酸化を防止することができるメッキ方法及び
その装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項1に記載の発明にあっては、金属イオンを含ん
だメッキ液によって満たされたメッキ槽中で、還元反応
を行わせることにより、前記金属イオンを金属皮膜とし
て当該メッキ液に浸された被メッキ物に積層させるメッ
キ方法において、前記メッキ液、陽極及び陰極を含む前
記メッキ槽内が不活性気体の雰囲気下となる環境でメッ
キを行うことを特徴とする。
【0006】また、請求項2に記載の発明にあっては、
金属イオンを含んだメッキ液によって満たされたメッキ
槽中で、還元反応を行わせることにより、前記金属イオ
ンを金属皮膜として当該メッキ液に浸された被メッキ物
に積層させるメッキ装置において、前記メッキ漕を外気
から遮断すると共に、前記メッキ漕内の気体を抜き取る
排気手段と、前記メッキ漕内に不活性気体を導入する不
活性気体導入手段とを設けたことを特徴とする。
【0007】また、請求項3に記載の発明にあっては、
金属イオンを含んだメッキ液によって満たされたメッキ
槽中で、還元反応を行わせることにより、前記金属イオ
ンを金属皮膜として当該メッキ液に浸された被メッキ物
に積層させるメッキ装置において、前記メッキ液の液面
に対して不活性気体を噴出する噴出手段を備えたことを
特徴とする。
【0008】
【作用】上記構成による請求項1に記載の発明によれ
ば、メッキ液、陽極及び陰極を含む前記メッキ槽内が不
活性気体の雰囲気下となる環境でメッキを行うことがで
きるため、当該メッキ槽のメッキ液面と空気とが非接触
状態に置かれる。そのため、前記メッキ槽内部は空気中
に含まれる酸素との接触が防止される。
【0009】請求項2に記載の発明によれば、メッキ漕
は外気から遮断される。排気手段は前記メッキ漕内の気
体を抜き取る。不活性気体導入手段は前記メッキ漕内に
不活性気体を導入する。
【0010】請求項3に記載の発明によれば、メッキ液
の液面に対して不活性気体を噴出する噴出手段を備えた
ので、メッキ槽のメッキ液面と空気に含まれる酸素との
接触が防止される。
【0011】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例につ
いて説明する。
【0012】A:第1の実施例の構成 図1は本実施例のメッキ装置の構成を示す図である。こ
の図において、メッキ槽1の中は、被メッキ物11にメ
ッキを施すための金属イオンが含まれたメッキ液1aに
よって満たされている。陽極13及び被メッキ物11
は、線12及び線14によって直流電源10に接続され
ている。この直流電源10は外部に引き出されたスイッ
チ15によってオン/オフ切り換えを行うことができ
る。このメッキ槽1には蓋2がかぶせられており、メッ
キ槽1の内部はメッキ槽1と蓋2の間に封入されたシー
ル3によって外部雰囲気と接触できないようになってい
る。
【0013】21a及び21bはメッキ槽1の床面に設
けられた円柱状の孔であり、メッキ液1aの流路になっ
ている。これらの孔21a,21bは、各々、管27,
28により貯槽29の側面部に設けられた孔29a及び
29bに連結されている。符号28aはポンプであり、
管28の途中に設けられており、メッキ液1aを貯槽2
9から孔29bを介して取り込み、孔21bからメッキ
槽20へメッキ液1aを供給する。30は、貯槽29に
かぶせられる蓋である。
【0014】2a及び2bは蓋2に設けられた孔であ
り、各々、空気及び窒素ガスの流路になっている。これ
らの孔2a,2bは、各々、管4,5により、各々、メ
ッキ槽1内の空気を抜く真空ポンプ7及びメッキ槽1に
対して供給する窒素ガスが充填された窒素タンク6に連
結されている。符号4a及び5aはバルブである。ま
た、真空ポンプ7の上部には管4以外に管8が連結され
ており、この管8はバルブ8aを介して図示せぬ排気処
理部に接続されている。
【0015】B:第1の実施例の動作 このような構成において、被メッキ物11にメッキを施
す場合には、蓋2を締め、バルブ4aを開状態にする。
これにより、真空ポンプ7によるメッキ槽1内の空気ぬ
き作業が開始され、空気は矢印v1で示す方向へ流れ
る。そして、所定量の空気がメッキ槽1から抜かれる
と、バルブ4aを閉状態にする。
【0016】次に、バルブ5aを開状態にする。これに
より、窒素タンク6によるメッキ槽1内への窒素ガス供
給作業が開始され、窒素ガスは矢印v2方向へ流れる。
そして、所定量の窒素ガスをメッキ槽1に充填すると共
にポンプ28aを作動させてメッキ液1aの循環を開始
させる。これにより、メッキ液温を50°C以上とする
高速メッキが実現可能になる。その後、スイッチ15に
よって直流電源10をオン状態にする。この結果、不活
性気体の雰囲気下でのメッキ処理が行われる。電界反応
後のメッキ液1aは孔21aおよび29aを介して貯槽
29に戻され、ポンプ28aを介してメッキ槽1に新た
なメッキ液1aが供給される。このような不活性気体の
雰囲気下でのメッキ処理は高温で攪拌される高速メッキ
の場合に特に顕著な効果を奏する。
【0017】C:第2の実施例の構成 図2は第2の実施例のメッキ装置の構成を示す図であ
る。第2の実施例が第1の実施例と異なるところは蓋9
がメッキ槽1の内部雰囲気が外部雰囲気と接触可能にか
ぶせられていることと、この蓋9に設けられた孔が複数
設けられているのではなく、一つの孔9aのみから成る
こと、メッキ装置が通常のメッキ装置であり、ポンプ圧
送配管系を有する高速メッキ装置と異なることである。
【0018】D:第2の実施例の動作 このような構成において、被メッキ物11にメッキを施
す場合には、蓋9をメッキ槽1の上部に開放状態で載
せ、バルブ5aを開状態にする。これにより、窒素タン
ク6に貯蔵された窒素ガスのメッキ槽1内への供給作業
が開始される。このようにしてメッキ槽1に窒素ガスが
供給されると、この窒素ガスは図中、矢印v3からv6
で示す方向、すなわち、メッキ槽1の内部からメッキ槽
1の外部へ抜ける方向へ流れていく。このように窒素ガ
スがメッキ液1aの界面を流れることによって、メッキ
液1aの界面、被メッキ物11及び陽極13が空気と非
接触の状態でメッキ処理を行うことができる。
【0019】なお、上記実施例では直流電源10を使用
したメッキ装置について説明したが本発明は直流電源1
0に代えて整流器を装置にも適用可能である。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、メッキ液、陽極及び陰極を含むメッキ槽内が不活性
気体の雰囲気下となる環境でメッキを行うから、メッキ
液、陽極及び陰極の酸化を防止することができ、メッキ
品質を向上させることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の第1の実施例によるメッキ装置の
構成を示す図である。
【図2】 この発明の第2の実施例によるメッキ装置の
構成を示す図である。
【図3】 従来のメッキ装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
2a……孔(不活性気体導入手段)、2b……孔(排気
手段)、4a……バルブ、5……管、5a……バルブ、
6……窒素タンク(噴出手段)。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 金属イオンを含んだメッキ液によって満
    たされたメッキ槽中で、還元反応を行わせることによ
    り、前記金属イオンを金属皮膜として当該メッキ液に浸
    された被メッキ物に積層させるメッキ方法において、前
    記メッキ液、陽極及び陰極を含む前記メッキ槽内が不活
    性気体の雰囲気下となる環境でメッキを行うことを特徴
    とするメッキ方法。
  2. 【請求項2】 金属イオンを含んだメッキ液によって満
    たされたメッキ槽中で、還元反応を行わせることによ
    り、前記金属イオンを金属皮膜として当該メッキ液に浸
    された被メッキ物に積層させるメッキ装置において、前
    記メッキ漕を外気から遮断すると共に、前記メッキ漕内
    の気体を抜き取る排気手段と、前記メッキ漕内に不活性
    気体を導入する不活性気体導入手段を設けたことを特徴
    とするメッキ装置。
  3. 【請求項3】 金属イオンを含んだメッキ液によって満
    たされたメッキ槽中で、還元反応を行わせることによ
    り、前記金属イオンを金属皮膜として当該メッキ液に浸
    された被メッキ物に積層させるメッキ装置において、前
    記メッキ液の液面に対して不活性気体を噴出する噴出手
    段を備えたことを特徴とするメッキ装置。
JP5024529A 1993-02-12 1993-02-12 メッキ方法及びその装置 Pending JPH06240499A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5024529A JPH06240499A (ja) 1993-02-12 1993-02-12 メッキ方法及びその装置
US08/192,722 US5431801A (en) 1993-02-12 1994-02-07 Electroplating method and apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5024529A JPH06240499A (ja) 1993-02-12 1993-02-12 メッキ方法及びその装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06240499A true JPH06240499A (ja) 1994-08-30

Family

ID=12140689

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5024529A Pending JPH06240499A (ja) 1993-02-12 1993-02-12 メッキ方法及びその装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5431801A (ja)
JP (1) JPH06240499A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015137374A (ja) * 2014-01-21 2015-07-30 株式会社荏原製作所 めっき装置およびめっき方法

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69533245D1 (de) * 1994-03-25 2004-08-19 Nec Electronics Corp Vorrichtung zur elektrolytischen Behandlung
US6610189B2 (en) * 2001-01-03 2003-08-26 Applied Materials, Inc. Method and associated apparatus to mechanically enhance the deposition of a metal film within a feature
US7166941B2 (en) * 2004-11-18 2007-01-23 General Electric Company Electroplated stator bar end and fitting
JP5267526B2 (ja) * 2010-09-24 2013-08-21 株式会社デンソー めっき装置及びめっき方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5226324A (en) * 1975-08-21 1977-02-26 Siemens Ag Aluminum electrodeposition apparatus
JPS5235723A (en) * 1975-08-21 1977-03-18 Siemens Ag Electrodeposition process of aluminum and its apparatus
JPS55113894A (en) * 1979-02-23 1980-09-02 Seiko Epson Corp Preventing method for oxidation of tin in gold-tin alloy electroplating

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1786398A (en) * 1925-08-12 1930-12-23 Chemical Treat Company Inc Protective metal coating and process and apparatus for producing the same
US2439491A (en) * 1942-06-02 1948-04-13 Schiffl Charles Enclosed electroplating tank
US2465747A (en) * 1945-04-30 1949-03-29 Rca Corp Apparatus for electroplating metal
JPS57145999A (en) * 1981-03-03 1982-09-09 Yamaha Motor Co Ltd Plating device
IT1199898B (it) * 1985-07-22 1989-01-05 Ginatta Marco Elettrochim Impianto per la produzione elettrolitica in bagno di sali fusi di metalli reattivi
US5104496A (en) * 1990-10-18 1992-04-14 Optical Radiation Corporation Low mist chromium plating method and system

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5226324A (en) * 1975-08-21 1977-02-26 Siemens Ag Aluminum electrodeposition apparatus
JPS5235723A (en) * 1975-08-21 1977-03-18 Siemens Ag Electrodeposition process of aluminum and its apparatus
JPS55113894A (en) * 1979-02-23 1980-09-02 Seiko Epson Corp Preventing method for oxidation of tin in gold-tin alloy electroplating

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015137374A (ja) * 2014-01-21 2015-07-30 株式会社荏原製作所 めっき装置およびめっき方法

Also Published As

Publication number Publication date
US5431801A (en) 1995-07-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW564265B (en) Plating device and method
US8172989B2 (en) Prevention of substrate edge plating in a fountain plating process
KR102078121B1 (ko) 애노드 홀더 및 도금 장치
WO2002045476A3 (en) Apparatus and method for electrochemically depositing metal on a semiconductor workpiece
TW554396B (en) Plating apparatus
JPH06240499A (ja) メッキ方法及びその装置
WO2022123648A1 (ja) めっき装置及びめっき処理方法
JP2023501797A (ja) 基板の化学的及び/又は電解的表面処理用電気化学的堆積システム
JP4521147B2 (ja) 互いに隔離されたシートや箔の材料片の導電性表面の電解処理のための方法と装置並びに前記方法の適用法
JPH06235093A (ja) 金属、特にアルミニウムまたはアルミニウム合金製の缶の表面処理方法、デバイス及び装置
JP3589090B2 (ja) 成膜方法
US6841056B2 (en) Apparatus and method for treating a substrate electrochemically while reducing metal corrosion
JP4087839B2 (ja) めっき装置
US20040009670A1 (en) Apparatus and method for reducing oxidation of polished metal surfaces in a chemical mechanical polishing process
JP2000328297A (ja) 基板メッキ装置
JPH08253892A (ja) めっき装置およびめっき方法
JPH0261089A (ja) めっき装置
US6340422B1 (en) Method for electroplating metallic and non-metallic endless products and device for carrying out said method
JP2001316870A (ja) 液処理装置及び液処理方法
JP3578204B2 (ja) 基板メッキ装置
JP2001316871A5 (ja)
JP3813774B2 (ja) 基板メッキ装置
US2993848A (en) Method of forming a dielectric oxide film on a porous metal strip
JP3169054B2 (ja) アルカリ性過マンガン酸塩溶液の電解装置
EP1540044A2 (en) Apparatus and method for treating a substrate electrochemically while reducing metal corrosion

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19980811