JPH06241908A - 波長測定方法及びそれを用いた波長測定装置、並びにレーザ装置 - Google Patents
波長測定方法及びそれを用いた波長測定装置、並びにレーザ装置Info
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- JPH06241908A JPH06241908A JP4993393A JP4993393A JPH06241908A JP H06241908 A JPH06241908 A JP H06241908A JP 4993393 A JP4993393 A JP 4993393A JP 4993393 A JP4993393 A JP 4993393A JP H06241908 A JPH06241908 A JP H06241908A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 単一の検出器のみを用いた１．０８〜
３．３μｍの波長領域のレーザ光の波長測定方法と、こ
れを利用した波長測定器の提供とこれを用いたレーザ装
置の提供を目的とする。 【構成】 レーザ光５を和周波発生用非線形光学素
子１１に入射し、発生した和周波光１３の波長を求め、
該和周波光１３の波長より該和周波発生用非線形光学素
子１１に入射したレーザ光５の波長を求める。 【効果】 簡便で、かつ素早く、連続的により広範
囲の波長のレーザ光を測定でき、装置の小型化が可能と
なる。また、本発明のレーザ装置を用いれば種々の波長
のレーザー光を単一のレーザ装置より任意に発生させる
ことができ、かつ発生しているレーザー光の波長を随時
確認できる。
３．３μｍの波長領域のレーザ光の波長測定方法と、こ
れを利用した波長測定器の提供とこれを用いたレーザ装
置の提供を目的とする。 【構成】 レーザ光５を和周波発生用非線形光学素
子１１に入射し、発生した和周波光１３の波長を求め、
該和周波光１３の波長より該和周波発生用非線形光学素
子１１に入射したレーザ光５の波長を求める。 【効果】 簡便で、かつ素早く、連続的により広範
囲の波長のレーザ光を測定でき、装置の小型化が可能と
なる。また、本発明のレーザ装置を用いれば種々の波長
のレーザー光を単一のレーザ装置より任意に発生させる
ことができ、かつ発生しているレーザー光の波長を随時
確認できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光パラメトリック発振
器を利用した波長可変レーザ装置より出射されるレーザ
光の波長の測定に関する。
器を利用した波長可変レーザ装置より出射されるレーザ
光の波長の測定に関する。
【０００２】
【従来の技術】非線形光学素子（結晶）にコヒーレント
な励起光（λｐ）を入射すると、以下の式に示された関
係を満たす波長の異なるコヒーレント光を発生すること
は良く知られており、光パラメトリック効果と称されて
いる。 式１ １／λｐ＝１／λｓ＋１／λｉ 式２ ｎｐ／λｐ＝ｎｓ／λｓ＋ｎｉ／λｉ ここにおいて、λｓはシグナル光であり、λｉはアイド
ラ光で、λｓ＜λｉである。さらに、ｎｐ、ｎｓ、ｎｉ
はそれぞれの光に対する非線形光学素子の屈折率を示
す。
な励起光（λｐ）を入射すると、以下の式に示された関
係を満たす波長の異なるコヒーレント光を発生すること
は良く知られており、光パラメトリック効果と称されて
いる。 式１ １／λｐ＝１／λｓ＋１／λｉ 式２ ｎｐ／λｐ＝ｎｓ／λｓ＋ｎｉ／λｉ ここにおいて、λｓはシグナル光であり、λｉはアイド
ラ光で、λｓ＜λｉである。さらに、ｎｐ、ｎｓ、ｎｉ
はそれぞれの光に対する非線形光学素子の屈折率を示
す。
【０００３】この光パラメトリック効果を用いた発振器
は、図３に示すように、励起光源１と、光パラメトリッ
ク発振用非線形光学素子２と、該非線形光学素子２の入
射側と出射側とに配置された一対の反射鏡３，４とから
構成されている。そして、その作用機構は以下の通りで
ある。
は、図３に示すように、励起光源１と、光パラメトリッ
ク発振用非線形光学素子２と、該非線形光学素子２の入
射側と出射側とに配置された一対の反射鏡３，４とから
構成されている。そして、その作用機構は以下の通りで
ある。
【０００４】励起光源より出射されたレーザ光５は光パ
ラメトリック発振用非線形光学素子２に設けられた一対
の反射鏡３，４間で共振し、波長が変換され、変換され
た波長は反射鏡４より出射される。
ラメトリック発振用非線形光学素子２に設けられた一対
の反射鏡３，４間で共振し、波長が変換され、変換され
た波長は反射鏡４より出射される。
【０００５】従来、この種の光パラメトリック発振起用
非線形光学素子２としてはＫＴｉＯ4（ＫＴＰ）、Ｒｂ
ＴｉＯＰＯ4（ＲＴＰ）といった非線形光学結晶が用い
られ、励起光源としては、波長１．０４７〜１．０７９
６μｍで発振するＮｄドープＹＬＦ、ＮｄドープＹＡ
Ｇ、ＮｄドープＧＳＧＧ、ＮｄドープＹＡＰ等のレーザ
ロッドを用いた個体レーザ装置が多用されている。
非線形光学素子２としてはＫＴｉＯ4（ＫＴＰ）、Ｒｂ
ＴｉＯＰＯ4（ＲＴＰ）といった非線形光学結晶が用い
られ、励起光源としては、波長１．０４７〜１．０７９
６μｍで発振するＮｄドープＹＬＦ、ＮｄドープＹＡ
Ｇ、ＮｄドープＧＳＧＧ、ＮｄドープＹＡＰ等のレーザ
ロッドを用いた個体レーザ装置が多用されている。
【０００６】ところで、レーザ光は波長分布も狭く、直
進性の良いことが大きな特徴であり、用いるレーザロッ
ドの材質により発振されるレーザ光の波長は特定され
る。近年、このレーザ光の持つ直進性の良さと、波長分
布の狭さを生かしつつ種々の波長のレーザ光を一つの装
置より発振しうる装置や、現状のレーザロッドでは発振
できない領域の波長を発振しうる装置が要望されるよう
になってきた。例えば、大気中の種々の有害成分の検出
や定量に用いるためである。
進性の良いことが大きな特徴であり、用いるレーザロッ
ドの材質により発振されるレーザ光の波長は特定され
る。近年、このレーザ光の持つ直進性の良さと、波長分
布の狭さを生かしつつ種々の波長のレーザ光を一つの装
置より発振しうる装置や、現状のレーザロッドでは発振
できない領域の波長を発振しうる装置が要望されるよう
になってきた。例えば、大気中の種々の有害成分の検出
や定量に用いるためである。
【０００７】このような要求を満たすべく、種々の検討
がなされている。例えば、ＫＴＰやＲＴＰを用いた光パ
ラメトリック発振器を用いて、該発振器の中の非線形光
学素子内でのレーザ光の伝播角を変えるものがある。こ
れは、ＫＴＰやＲＴＰを用いた光パラメトリック発振で
は、伝播角を４０〜９０度の範囲（伝播角の変化量とし
て最大５０゜）で変化させることにより例えば波長１．
０６４μｍの入射レーザ光を波長１．０８〜３．３μｍ
のレーザ光に波長変換可能であることによる。
がなされている。例えば、ＫＴＰやＲＴＰを用いた光パ
ラメトリック発振器を用いて、該発振器の中の非線形光
学素子内でのレーザ光の伝播角を変えるものがある。こ
れは、ＫＴＰやＲＴＰを用いた光パラメトリック発振で
は、伝播角を４０〜９０度の範囲（伝播角の変化量とし
て最大５０゜）で変化させることにより例えば波長１．
０６４μｍの入射レーザ光を波長１．０８〜３．３μｍ
のレーザ光に波長変換可能であることによる。
【０００８】この様に波長変換して得られてレーザ光
は、初期の目的の波長となっているかどうかの検定が必
要とされる。例えば、図４は従来の測定装置の基本構成
を示した概念図の１例であり、モノクロメーター６と、
検出器７と、コンピュータ８とから成り、被測定光であ
る入射光９はモノクロメーター６を経て検出器７に至る
が、モノクロメーター６内の回折格子（図示せず。）の
回転量を示す出力信号と検出器７の出力信号とがコンピ
ューター８に入力され、これらの入力信号に基づいて入
射光９の波長が決定されるようになっている。
は、初期の目的の波長となっているかどうかの検定が必
要とされる。例えば、図４は従来の測定装置の基本構成
を示した概念図の１例であり、モノクロメーター６と、
検出器７と、コンピュータ８とから成り、被測定光であ
る入射光９はモノクロメーター６を経て検出器７に至る
が、モノクロメーター６内の回折格子（図示せず。）の
回転量を示す出力信号と検出器７の出力信号とがコンピ
ューター８に入力され、これらの入力信号に基づいて入
射光９の波長が決定されるようになっている。
【０００９】このような従来の一つのモノクロメーター
６を用いた測定装置で上記１．０８〜３．３μｍという
広範囲な波長領域のレーザ光を測定しようとすると、該
測定器に用いる検出器７を、測定すべき波長に合わせ順
次Ｓｉ製、ＩｎＳｂ製、ＰｂＳ製、Ｇｅ製の検出器７に
取り替えて行かなければならなかった。検出器の感度か
らいえば、光パラメトリック発振器はパルス幅が数十ns
ecの励起光を用いているために、Ｓｉ、ＩｎＳｂ製の検
出器を除き、立ち上がり速度が数μsec以上と遅く、一
つのレーザー光パルスの検出器への照射のみでは測定不
可能である。加えて、Ｓｉ製検出器以外の検出器はいず
れも検出素子自体を冷却しなければ十分な感度が得られ
ず、このための冷却装置や温度制御装置が不可欠とされ
るという欠点があり、装置自体の小型化は困難であっ
た。
６を用いた測定装置で上記１．０８〜３．３μｍという
広範囲な波長領域のレーザ光を測定しようとすると、該
測定器に用いる検出器７を、測定すべき波長に合わせ順
次Ｓｉ製、ＩｎＳｂ製、ＰｂＳ製、Ｇｅ製の検出器７に
取り替えて行かなければならなかった。検出器の感度か
らいえば、光パラメトリック発振器はパルス幅が数十ns
ecの励起光を用いているために、Ｓｉ、ＩｎＳｂ製の検
出器を除き、立ち上がり速度が数μsec以上と遅く、一
つのレーザー光パルスの検出器への照射のみでは測定不
可能である。加えて、Ｓｉ製検出器以外の検出器はいず
れも検出素子自体を冷却しなければ十分な感度が得られ
ず、このための冷却装置や温度制御装置が不可欠とされ
るという欠点があり、装置自体の小型化は困難であっ
た。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記状況に
鑑みなされたものであり、単一の検出器のみを用いて
１．０８〜３．３μｍの波長領域のレーザ光の波長を測
定する方法と、この測定方法を利用した波長測定器の提
供と、この波長測定器を用いたレーザ装置の提供を目的
とする。
鑑みなされたものであり、単一の検出器のみを用いて
１．０８〜３．３μｍの波長領域のレーザ光の波長を測
定する方法と、この測定方法を利用した波長測定器の提
供と、この波長測定器を用いたレーザ装置の提供を目的
とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の波長測定方法はレーザ光を和周波発生用非線形光学
素子に入射し、発生した和周波光の波長を求め、該和周
波光の波長より入射レーザ光の波長を求めるものであ
り、この方法を利用した本発明の波長測定装置は、モノ
クロメーターのレーザー光入射側に和周波発生用非線形
光学素子を、あるいはビームスプリッターを介して和周
波発生用非線形光学素子を設けたことを特徴とするもの
であり、本発明のレーザ装置は、励起光源と、光パラメ
トリック発振器と、和周波発生用非線形光学素子とビー
ムスプリッターとを用いて構成した本発明の波長測定装
置とからなり、光パラメトリック発振器より出射された
レーザ光が和周波発生用非線形光学素子に入射し、ビー
ムスプリッターにより入射レーザ光は系外に出射され、
和周波光がモノクロメーターに入射されるように構成さ
れたものである。
明の波長測定方法はレーザ光を和周波発生用非線形光学
素子に入射し、発生した和周波光の波長を求め、該和周
波光の波長より入射レーザ光の波長を求めるものであ
り、この方法を利用した本発明の波長測定装置は、モノ
クロメーターのレーザー光入射側に和周波発生用非線形
光学素子を、あるいはビームスプリッターを介して和周
波発生用非線形光学素子を設けたことを特徴とするもの
であり、本発明のレーザ装置は、励起光源と、光パラメ
トリック発振器と、和周波発生用非線形光学素子とビー
ムスプリッターとを用いて構成した本発明の波長測定装
置とからなり、光パラメトリック発振器より出射された
レーザ光が和周波発生用非線形光学素子に入射し、ビー
ムスプリッターにより入射レーザ光は系外に出射され、
和周波光がモノクロメーターに入射されるように構成さ
れたものである。
【００１２】
【作用】本発明の方法は波長１．０８〜３．３μｍの範
囲のレーザ光の波長測定に適する。というのは、この波
長範囲のレーザ光を和周波発生用非線形光学素子に入射
した場合、発生する和周波光の波長は０．５３６〜０．
８０６μｍであり、センサとしてＳｉ製の検出器を用い
るのみで波長の測定は可能となるからである。すなわ
ち、励起光源としてＮｄドープＹＡＧレーザ（波長（λ
ｐ）＝１．０６４μｍ）を用た例により本発明の方法を
説明するならば、該レーザ光は光パラメトリック発振器
中の非線形光学素子での伝播角を変化させることにより
式１、２に従う例えば、波長１．６２２〜１．６５２μ
ｍのシグナル光Ａと波長３．０９２〜２．９８９μｍの
アイドラ光Ｂとを発生させることが可能である。これら
の光Ａ，Ｂは和周波発生用非線形光学素子を通過するに
際し、それぞれ式３を満たす波長０．６４３〜０．６４
７μｍの和周波光（λｓｆ）Ａ’と波長０．７９２〜
０．７８５μｍの和周波光（λｓｆ）Ｂ’とを発生す
る。 式３ λｓ＝１／（１／λｓｆ−１／λｐ）
囲のレーザ光の波長測定に適する。というのは、この波
長範囲のレーザ光を和周波発生用非線形光学素子に入射
した場合、発生する和周波光の波長は０．５３６〜０．
８０６μｍであり、センサとしてＳｉ製の検出器を用い
るのみで波長の測定は可能となるからである。すなわ
ち、励起光源としてＮｄドープＹＡＧレーザ（波長（λ
ｐ）＝１．０６４μｍ）を用た例により本発明の方法を
説明するならば、該レーザ光は光パラメトリック発振器
中の非線形光学素子での伝播角を変化させることにより
式１、２に従う例えば、波長１．６２２〜１．６５２μ
ｍのシグナル光Ａと波長３．０９２〜２．９８９μｍの
アイドラ光Ｂとを発生させることが可能である。これら
の光Ａ，Ｂは和周波発生用非線形光学素子を通過するに
際し、それぞれ式３を満たす波長０．６４３〜０．６４
７μｍの和周波光（λｓｆ）Ａ’と波長０．７９２〜
０．７８５μｍの和周波光（λｓｆ）Ｂ’とを発生す
る。 式３ λｓ＝１／（１／λｓｆ−１／λｐ）
【００１３】よって、和周波発生用非線形光学素子より
出射されるレーザ光はシグナル光Ａとアイドラ光Ｂと和
周波光Ａ’，Ｂ’との混合光（Ａ＋Ａ’，Ｂ＋Ｂ’）と
なる。本発明では、この混合光中の和周波光の波長を測
定し、式３によりシグナル光やアイドラ光の波長を求め
る。なお、より精度良く和周波光の波長を測定するため
には、和周波発生用非線形光学素子とモノクロメーター
との間にビームスプリッターを設けることが好ましい。
出射されるレーザ光はシグナル光Ａとアイドラ光Ｂと和
周波光Ａ’，Ｂ’との混合光（Ａ＋Ａ’，Ｂ＋Ｂ’）と
なる。本発明では、この混合光中の和周波光の波長を測
定し、式３によりシグナル光やアイドラ光の波長を求め
る。なお、より精度良く和周波光の波長を測定するため
には、和周波発生用非線形光学素子とモノクロメーター
との間にビームスプリッターを設けることが好ましい。
【００１４】本発明の方法に適用するモノクロメーター
以降の装置は通常市販されているものをそのまま流用し
ても支障はなく、特にこだわるものではない。以下、本
発明の方法を用いた波長測定装置と該波長測定装置を用
いたレーザ装置とを実施例に基づき説明する。
以降の装置は通常市販されているものをそのまま流用し
ても支障はなく、特にこだわるものではない。以下、本
発明の方法を用いた波長測定装置と該波長測定装置を用
いたレーザ装置とを実施例に基づき説明する。
【００１５】
（実施例１）図１は本発明の波長測定装置の１例の概念
図である。本装置は、モノクロメーター６と、該モノク
ロメーター６より取り出された光を検出するＳｉ製の検
出器７と、モノクロメーター６の出力と検出器７の出力
より入射光９の波長を求めるコンピュータ８と、モノク
ロメーター６の入射光側に設けられた回転ステージ１０
上に設置された和周波発生用非線形光学素子１１（以
下、「和周波発生用素子」と略す。）と、該回転ステー
ジ１０とモノクロメーター６との間に設けられたビーム
スプリッター１２とから構成された波長測定装置であ
り、和周波発生用素子１１としてタイプ２（５０゜≦θ
≦９０゜，φ＝０゜ ただし、θは×（ａ）軸より測定
した極座標の角度であり、φはＺ（ｃ）軸より測定した
極座標の角度である。）にカットしたＫＴＰ結晶を用い
た。なお、本装置において用いられるビームスプリッタ
ー１２は和周波光１３のみに対して高い透過率を有し、
入射光９に対しては高い反射率を有するものである。
図である。本装置は、モノクロメーター６と、該モノク
ロメーター６より取り出された光を検出するＳｉ製の検
出器７と、モノクロメーター６の出力と検出器７の出力
より入射光９の波長を求めるコンピュータ８と、モノク
ロメーター６の入射光側に設けられた回転ステージ１０
上に設置された和周波発生用非線形光学素子１１（以
下、「和周波発生用素子」と略す。）と、該回転ステー
ジ１０とモノクロメーター６との間に設けられたビーム
スプリッター１２とから構成された波長測定装置であ
り、和周波発生用素子１１としてタイプ２（５０゜≦θ
≦９０゜，φ＝０゜ ただし、θは×（ａ）軸より測定
した極座標の角度であり、φはＺ（ｃ）軸より測定した
極座標の角度である。）にカットしたＫＴＰ結晶を用い
た。なお、本装置において用いられるビームスプリッタ
ー１２は和周波光１３のみに対して高い透過率を有し、
入射光９に対しては高い反射率を有するものである。
【００１６】本装置において、入射光９は和周波発生用
素子１１を通過し、ビームスプリッター１２を経てモノ
クロメーター６に至る。この間に入射光９の一部は和周
波発生用素子１１にて波長変換され、和周波光１３と入
射光９との混合光１４として該素子１１より出射され
る。該混合光１４はビームスプリッター１２により和周
波光１３と入射光９とに分離され、和周波光１３はモノ
クロメーター６に入射され、入射光９は系外に出射され
る。
素子１１を通過し、ビームスプリッター１２を経てモノ
クロメーター６に至る。この間に入射光９の一部は和周
波発生用素子１１にて波長変換され、和周波光１３と入
射光９との混合光１４として該素子１１より出射され
る。該混合光１４はビームスプリッター１２により和周
波光１３と入射光９とに分離され、和周波光１３はモノ
クロメーター６に入射され、入射光９は系外に出射され
る。
【００１７】モノクロメーター６では、内部の回折格子
（図示せず。）を回転して入射した和周波光１３を分光
して検出器７に出射する。この出射された和周波光１３
により生ずる検出器７の出力とモノクロメーター６より
の出力とがコンピューター８に入力され、検出器７の出
力が最大となる回折格子の回転角より和周波光１３の波
長が求められ、この値に基づき入射光９の波長が求めら
れる。
（図示せず。）を回転して入射した和周波光１３を分光
して検出器７に出射する。この出射された和周波光１３
により生ずる検出器７の出力とモノクロメーター６より
の出力とがコンピューター８に入力され、検出器７の出
力が最大となる回折格子の回転角より和周波光１３の波
長が求められ、この値に基づき入射光９の波長が求めら
れる。
【００１８】なお、本装置に用いる和周波発生用素子１
１としてはＫＴＰ、ＲＴＰ、ＫＴＡ、ＢＢＯ等が用いら
れ、入射光９の偏光状態によりタイプ１にカットしたも
のかタイプ２にカットしたものを用いる。
１としてはＫＴＰ、ＲＴＰ、ＫＴＡ、ＢＢＯ等が用いら
れ、入射光９の偏光状態によりタイプ１にカットしたも
のかタイプ２にカットしたものを用いる。
【００１９】（実施例２）図２は本発明のレーザ装置の
１例の構成を示した概念図である。図１の和周波発生用
素子１１の入射側に光パラメトリック発振装置を設けた
ものである。光パラメトリック発振装置は励起光源１
と、パラメトリック発振用非線形光学素子２、該非線形
光学素子２を載せた回転ステージ１５、該回転ステージ
１５の両側で、非線形光学素子１１の入射側と出射側と
に設けられた反射鏡３（以下「リアミラー」と示す。）
と反射鏡４（以下「出力ミラー」と示す。）とからなる
光パラメトリック発振器１６とから構成されている。
１例の構成を示した概念図である。図１の和周波発生用
素子１１の入射側に光パラメトリック発振装置を設けた
ものである。光パラメトリック発振装置は励起光源１
と、パラメトリック発振用非線形光学素子２、該非線形
光学素子２を載せた回転ステージ１５、該回転ステージ
１５の両側で、非線形光学素子１１の入射側と出射側と
に設けられた反射鏡３（以下「リアミラー」と示す。）
と反射鏡４（以下「出力ミラー」と示す。）とからなる
光パラメトリック発振器１６とから構成されている。
【００２０】本レーザー装置においては、励起光源１と
してＮｄドープＹＡＧ結晶を発振ロッドとする個体レー
ザ装置を用い、パラメトリック発振用非線形光学素子２
としてタイプ２（５０゜≦θ≦９０゜，φ＝０゜ ただ
し、θは×（ａ）軸より測定した極座標の角度であり、
φはＺ（ｃ）軸より測定した極座標の角度である。）に
カットしたＫＴＰ結晶を用い、リアミラー３として励起
レーザー光５に対して高い透過率を有し、シグナル光
（励起レーザ光の波長の２倍より短い波長の光）に対し
て高い反射率を有するダイクロイック反射鏡を用い、出
力ミラー４としてシグナル光に対して５０〜９８％の反
射率を有するダイクロイック反射鏡を用い、波長測定部
として和周波発生用素子１１としてタイプ１（５０゜≦
θ≦９０゜，０゜≦φ≦５０゜ただし、θは×（ａ）軸
より測定した極座標の角度であり、φはＺ（ｃ）軸より
測定した極座標の角度である。）にカットしたＫＴＰ結
晶を用いた図１の測定装置を用いた。
してＮｄドープＹＡＧ結晶を発振ロッドとする個体レー
ザ装置を用い、パラメトリック発振用非線形光学素子２
としてタイプ２（５０゜≦θ≦９０゜，φ＝０゜ ただ
し、θは×（ａ）軸より測定した極座標の角度であり、
φはＺ（ｃ）軸より測定した極座標の角度である。）に
カットしたＫＴＰ結晶を用い、リアミラー３として励起
レーザー光５に対して高い透過率を有し、シグナル光
（励起レーザ光の波長の２倍より短い波長の光）に対し
て高い反射率を有するダイクロイック反射鏡を用い、出
力ミラー４としてシグナル光に対して５０〜９８％の反
射率を有するダイクロイック反射鏡を用い、波長測定部
として和周波発生用素子１１としてタイプ１（５０゜≦
θ≦９０゜，０゜≦φ≦５０゜ただし、θは×（ａ）軸
より測定した極座標の角度であり、φはＺ（ｃ）軸より
測定した極座標の角度である。）にカットしたＫＴＰ結
晶を用いた図１の測定装置を用いた。
【００２１】本発明の装置において、励起光源１より出
射された励起レーザ光５はパラメトリク発振器１６内で
発振し、シグナル光が入射光９として励起レーザ光５と
ともに和周波発生用素子１１に入射する。入射光９は実
施例１に記載したように和周波光１３を発生し、この波
長が測定され、その結果よりレーザー装置の出力光（入
射光９）の波長が求められる。
射された励起レーザ光５はパラメトリク発振器１６内で
発振し、シグナル光が入射光９として励起レーザ光５と
ともに和周波発生用素子１１に入射する。入射光９は実
施例１に記載したように和周波光１３を発生し、この波
長が測定され、その結果よりレーザー装置の出力光（入
射光９）の波長が求められる。
【００２２】（実施例３）光パラメトリック発振用非線
形光学素子２としてａカット（θ＝９０゜、φ＝０゜）
で光路長１０ｍｍのＲＴＰを用い、波長１．６〜１．８
μｍで単共振状態になるようなミラーを用いて光パラメ
トリック発振を行い、和周波発生用素子１１としてタイ
プ１にカットしたＫＴＰを用いた図２のレーザ装置を用
い、ＲＴＰを回転し、伝播角を９０゜から７０まで回転
させ、発生する和周波光１３の波長を測定し、この結果
より光パラメトリック発振器で発生したシグナル光の波
長を求めた。次いで、検出器にＰｂＳを用いた従来の測
定方法で同じ伝播角でのシグナル光の波長を測定した。
その結果を表１に示した。表１の結果より、本発明の方
法で測定した値と従来法で測定した方法と差はないこと
がわかった。
形光学素子２としてａカット（θ＝９０゜、φ＝０゜）
で光路長１０ｍｍのＲＴＰを用い、波長１．６〜１．８
μｍで単共振状態になるようなミラーを用いて光パラメ
トリック発振を行い、和周波発生用素子１１としてタイ
プ１にカットしたＫＴＰを用いた図２のレーザ装置を用
い、ＲＴＰを回転し、伝播角を９０゜から７０まで回転
させ、発生する和周波光１３の波長を測定し、この結果
より光パラメトリック発振器で発生したシグナル光の波
長を求めた。次いで、検出器にＰｂＳを用いた従来の測
定方法で同じ伝播角でのシグナル光の波長を測定した。
その結果を表１に示した。表１の結果より、本発明の方
法で測定した値と従来法で測定した方法と差はないこと
がわかった。
【００２３】
【００２４】
【発明の効果】和周波光を発生させてこれを測定し、そ
の結果より元のレーザ光の波長を求めるという本発明の
方法、あるいは方法を用いた測定装置を用いれば、モノ
クロメーターに使用する検出器をＳｉ製一つとすること
ができるため、簡便で、かつ素早く、連続的により広範
囲の波長のレーザ光を測定でき、装置の小型化が可能と
なる。また、本発明のレーザ装置を用いれば種々の波長
のレーザー光を単一のレーザ装置より任意に発生させる
ことができ、かつ発生しているレーザー光の波長を随時
確認できる。
の結果より元のレーザ光の波長を求めるという本発明の
方法、あるいは方法を用いた測定装置を用いれば、モノ
クロメーターに使用する検出器をＳｉ製一つとすること
ができるため、簡便で、かつ素早く、連続的により広範
囲の波長のレーザ光を測定でき、装置の小型化が可能と
なる。また、本発明のレーザ装置を用いれば種々の波長
のレーザー光を単一のレーザ装置より任意に発生させる
ことができ、かつ発生しているレーザー光の波長を随時
確認できる。
【図１】本発明の波長測定装置の１例の概念図である。
【図２】本発明のレーザ装置の１例の構成を示した概念
図である。
図である。
【図３】光パラメトリック効果を用いたレーザ発振器の
構成を示した概念図である。
構成を示した概念図である。
【図４】従来の波長測定装置の構成を示した概念図であ
る。
る。
１−−励起光源、２−−光パラメトリック発振用非線形
光学素子、３，４−−反射鏡、５−−レーザ光、６−−
モノクロメーター、７−−検出器、８−−コンピュー
タ、９−−入射光、１０，１５−−回転ステージ、１１
−−和周波発生用非線形光学素子、１２−−ビームスプ
リッター、１３−−和周波光、１４−−混合光、１６−
−光パラメトリック発振器
光学素子、３，４−−反射鏡、５−−レーザ光、６−−
モノクロメーター、７−−検出器、８−−コンピュー
タ、９−−入射光、１０，１５−−回転ステージ、１１
−−和周波発生用非線形光学素子、１２−−ビームスプ
リッター、１３−−和周波光、１４−−混合光、１６−
−光パラメトリック発振器
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ光を和周波発生用非線形光学素子
に入射し、発生した和周波光の波長を求め、該和周波光
の波長より該和周波発生用非線形光学素子に入射したレ
ーザ光の波長を求めることを特徴とする波長測定方法。 - 【請求項２】 モノクロメーターの受光側に和周波発生
用非線形光学素子、あるいはビームスプリッターを介し
て和周波発生用非線形光学素子を設けたことを特徴とす
る波長測定装置。 - 【請求項３】 励起光源と、光パラメトリック発振器
と、和周波発生用非線形光学素子とビームスプリッター
とを用いて構成した請求項２記載の波長測定装置とから
なり、光パラメトリック発振器より出射されたレーザ光
が和周波発生用非線形光学素子に入射し、ビームスプリ
ッターにより入射レーザ光は系外に出射され、和周波光
がモノクロメーターに入射されるように構成されたこと
を特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4993393A JPH06241908A (ja) | 1993-02-17 | 1993-02-17 | 波長測定方法及びそれを用いた波長測定装置、並びにレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4993393A JPH06241908A (ja) | 1993-02-17 | 1993-02-17 | 波長測定方法及びそれを用いた波長測定装置、並びにレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06241908A true JPH06241908A (ja) | 1994-09-02 |
Family
ID=12844825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4993393A Pending JPH06241908A (ja) | 1993-02-17 | 1993-02-17 | 波長測定方法及びそれを用いた波長測定装置、並びにレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06241908A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6011809A (en) * | 1996-09-25 | 2000-01-04 | Terumo Kabushiki Kaisha | Multi-wavelength laser apparatus and continuous variable wavelength laser apparatus |
| JP2011017911A (ja) * | 2009-07-09 | 2011-01-27 | Nippon Signal Co Ltd:The | 光波長計測器及びそれを備えた光パラメトリック発振装置並びに光波長計測方法 |
| JP2019184302A (ja) * | 2018-04-04 | 2019-10-24 | 株式会社Ihi | 濃度測定装置 |
| JP2020008657A (ja) * | 2018-07-05 | 2020-01-16 | 信弘 梅村 | レーザ発生装置 |
-
1993
- 1993-02-17 JP JP4993393A patent/JPH06241908A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6011809A (en) * | 1996-09-25 | 2000-01-04 | Terumo Kabushiki Kaisha | Multi-wavelength laser apparatus and continuous variable wavelength laser apparatus |
| JP2011017911A (ja) * | 2009-07-09 | 2011-01-27 | Nippon Signal Co Ltd:The | 光波長計測器及びそれを備えた光パラメトリック発振装置並びに光波長計測方法 |
| JP2019184302A (ja) * | 2018-04-04 | 2019-10-24 | 株式会社Ihi | 濃度測定装置 |
| JP2020008657A (ja) * | 2018-07-05 | 2020-01-16 | 信弘 梅村 | レーザ発生装置 |
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