JPH06242087A - 超音波探傷装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 自由曲面を有する被検体に対して、簡易な機
構でありながら高分解能でかつ高速な超音波探傷動作を
行うことを可能にする。 【構成】 Ｚ方向に移動可能に設けられ、被検体３との
間で超音波の送受信を行う超音波探触子１を、走査手段
４によりＺ方向と直交する方向に走査して被検体３から
の超音波信号を得る超音波探傷装置において、走査手段
４を被検体３に対してＺ方向に移動可能に支持する支持
手段１９〜２１と、被検体３の表面形状に模した表面形
状を有するダミー被検体３３と、ダミー被検体３３の表
面形状に倣ってＺ方向に上下動して走査手段４をＺ方向
に移動させる倣い手段２２とを設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被検体と超音波探触子
との間で超音波を送受信しつつ、この超音波探触子を走
査することにより特定深さの被検体の超音波画像などを
得る超音波探傷装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図４は、この種の超音波探傷装置の従来
例を示す図であって、その回路構成を示すブロック図で
ある。図４において、１は被検体３との間で超音波の送
受信を行う超音波探触子であり、この超音波探触子１は
３次元走査装置４に取り付けられている。走査装置４
は、定盤１０と、この定盤１０の上に固定されたフレー
ム１１と、このフレーム１１に取り付けられたＹ軸スキ
ャナ１２、Ｘ軸スキャナ１３およびＺ軸スキャナ１４と
を備えている。Ｙ軸スキャナ１２は、駆動モータ１７ａ
の駆動力によりフレーム１１に対してＹ方向（図４の紙
面に直交する方向）に移動可能とされ、Ｘ軸スキャナ１
３は、駆動モータ１７ｂの駆動力によりＹ軸スキャナ１
２に対してＸ方向（図４の左右方向）に移動可能とさ
れ、さらにＺ軸スキャナ１４は、駆動モータ１７ｃの駆
動力によりＸ軸スキャナ１３に対してＺ方向（図４の上
下方向）に移動可能とされている。Ｚ軸スキャナ１４に
は治具１８が固設されており、この治具１８の先端に上
述の超音波探触子１が取り付けられている。１６は水１
５が満たされた水槽であり、その深さ方向が走査装置４
のＺ方向に一致するように定盤１０上に配置されてい
る。被検体３はこの水槽１６内に水没した状態で配置さ
れる。

【０００３】２は超音波送受信部であり、パルサレシー
バ２ａおよびピーク検出器２ｂを備える。パルサレシー
バ２ａは、探触子１にパルス状の電圧を印加してこの探
触子１から被検体３に向けて超音波を照射するととも
に、探触子１で受信されて電気信号に変換された被検体
３からの反射超音波信号を増幅する。ピーク検出器２ｂ
は、パルサレシーバ２ａからの受信信号から、任意の伝
播時間内の信号のピーク値に比例した直流電圧を出力す
る。コンピュータ５は超音波探傷装置全体の制御を行
い、操作者からの指示データ等はキーボード８を介して
入力される。コンピュータ５は、コントローラ６を介し
て走査装置４の各駆動モータ１７ａ、１７ｂ、１７ｃを
駆動制御し、超音波探触子１を走査して被検体３の各測
定点（通常はＸＹ平面、ＸＺ平面あるいはＹＺ平面上に
存在する）からの反射超音波を受信し、測定点毎に取り
込んで画像化したデータをモニタ７に表示する。

【０００４】図５は、図４に適用される従来の超音波探
触子の一例を示す図である。図５に示すように、超音波
探触子１は、薄板あるいは薄膜状に形成された圧電素子
３０と、この圧電素子３０で発生した超音波を収束する
凹面３１ａが下端に形成された音響レンズ３１とを備え
ている。超音波探触子１の音響レンズ３１の下端から照
射される超音波ビームＵＢは、凹面３１ａの曲率で定ま
る各探触子固有の焦点距離ｆの位置Ｆで収束すべく水１
５内を伝播するが、超音波ビームＵＢが被検体３内に進
入するときは、被検体３と水１５との音響インピーダン
スが異なることからこれらの界面で屈折し、通常は焦点
距離ｆより短い距離の焦点位置Ｆ′で収束する（図５に
実線で示す）。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の超音波探傷装置にあっては、被検体３の表面と
探触子１との間の距離（水距離）が変動するとこれに連
れて超音波ビームの焦点位置も変動し、超音波画像が不
鮮明になる等して分解能の劣化を招く、という問題があ
った。すなわち、近年、航空機等に用いられる３次元曲
面を有する複合材料の材料特性の測定に超音波探傷装置
が適用されつつあり、このような３次元曲面を有する材
料を測定すると、超音波探触子１がＸＹ平面に沿って走
査された場合でも、被検体３の表面位置が各測定点で異
なるために被検体３の表面と超音波探触子１との間の距
離は必ずしも一定しない。このような場合、上述のごと
く超音波ビームＵＢが被検体３内に進入するときは、被
検体３と水１５との音響インピーダンス差に基づく屈折
により超音波ビームＵＢは位置Ｆ′に収束され、被検体
３の表面と探触子１との間の距離が変動すると被検体３
への入射角がこれに連れて変動し、焦点位置Ｆ′も変動
する。そして、焦点位置が変動すると超音波画像が不鮮
明になる等して分解能の劣化を招くおそれがある。な
お、図５において被検体３の表面と焦点位置Ｆとが一致
する場合を二点鎖線で示す。

【０００６】このため、従来の超音波探傷装置にあって
は、凹面３１ａの曲率が小さくて焦点距離の長い探触子
１を使用することにより被検体３への入射角を小さく
し、被検体３の表面と探触子１との間の距離が変動して
も焦点位置が大きく変動しないようにしていた。しかし
ながら、焦点距離が長い探触子は分解能が本来的に低い
ため、結果として本質的な解決策となっていない。

【０００７】焦点距離が短くて分解能が高い探触子を使
用しつつ、超音波画像の不鮮明化等を防止する手法とし
ては、被検体３の表面と探触子１との間の距離を常に一
定に保持しつつ超音波探触子１を走査する手法が挙げら
れる。被検体３の表面と探触子１との間の距離を測定し
てこれを一定に保持する技術としては、例えば実開昭59
ー166164号公報、実開昭59ー194063号公報などに開示され
た技術がある。しかしながら、これら従来技術にあって
は、超音波により被検体と探触子との間の距離を測定
し、この距離が一定となるように被検体または探触子を
移動制御するものであるため、超音波探触子の走査機構
に加えて被検体または探触子の移動制御機構が加わり、
制御手順、機構が複雑になるとともに被検体の高速走査
が困難である、という問題があった。

【０００８】本発明の目的は、自由曲面を有する被検体
に対して簡易な機構でありながら高分解能でかつ高速な
超音波探傷動作を行うことの可能な超音波探傷装置を提
供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】一実施例を示す図１およ
び図３に対応付けて説明すると、請求項１の発明は、Ｚ
方向に移動可能に設けられ、被検体３との間で超音波の
送受信を行う超音波探触子１を、走査手段４により前記
Ｚ方向と直交する方向に走査して前記被検体３からの超
音波信号を得る超音波探傷装置に適用される。そして、
上述の目的は、前記走査手段４を前記被検体３に対して
Ｚ方向に移動可能に支持する支持手段１９、２０、２１
と、前記被検体３の表面形状に模した表面形状を有する
ダミー被検体３３と、前記ダミー被検体３３の表面形状
に倣って前記Ｚ方向に上下動して前記走査手段４をＺ方
向に移動させる倣い手段２２とを設けることにより達成
される。また、請求項２の発明は、前記被検体３の表面
形状に模した表面形状を有するダミー被検体３３と、前
記ダミー被検体３３の表面形状に応じた倣い信号を出力
する倣い信号出力手段２４と、前記倣い信号出力手段２
４から出力される倣い信号に基づいて、前記超音波探触
子１と前記被検体３の表面との間の距離が略所定値とな
るように前記超音波探触子１を移動させる移動手段１４
とを設けることにより上述の目的を達成する。

【００１０】

【作用】

−請求項１− 倣い手段２２は、ダミー被検体３３の表面形状に倣って
Ｚ方向に上下動し、この上下動により走査手段４をＺ方
向に移動させる。走査手段４のＺ方向への移動に伴って
超音波探触子１もＺ方向に移動し、これにより、超音波
探触子１がダミー被検体３３、すなわち被検体３の表面
形状に倣ってＺ方向に上下動する。 −請求項２− 移動手段１４は、倣い信号出力手段２４が出力するダミ
ー被検体３３の表面形状に応じた倣い信号に基づき、超
音波探触子１と被検体３の表面との間の距離が略所定値
となるように前記超音波探触子１を移動させる。

【００１１】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段と作用の項では、本発明を分かり易
くするために実施例の図を用いたが、これにより本発明
が実施例に限定されるものではない。

【００１２】

【実施例】

−第１実施例− 図１は、本発明による超音波探傷装置の第１実施例を示
す図であって、その全体構成を示す図である。なお、以
下の説明において、従来例と同様の機能、作用を有する
構成要素については同一の符号を付してその説明を簡略
化する。

【００１３】本実施例においても、超音波探触子１は３
次元走査装置４の治具１８の先端に取り付けられてお
り、この走査装置４は、定盤１０の上に設けられた１対
のフレーム１１と、これらフレーム１１の間に図中Ｙ方
向に移動可能に架設されたＹ軸スキャナ１２と、Ｙ軸ス
キャナ１２の上に図中Ｘ方向に移動可能に載置されたＸ
軸スキャナ１３と、このＸ軸スキャナ１３に設けられ、
治具１８を図中Ｚ方向に移動可能に支持するＺ軸スキャ
ナ１４とを備えている。しかし、本実施例では、フレー
ム１１がスプリング１９およびダンパ２０を介して定盤
１０の上に支持されており、かつ、各フレーム１１の側
方に設けられた一対のガイド機構２１（図１では一方の
み図示）により図中Ｚ方向にのみ移動が許容されてい
る。これにより、各フレーム１１は定盤１０に対してＺ
方向にのみ移動し、かつ、スプリング１９およびダンパ
２０により微動、振動が減衰される。任意の３次元自由
曲面を有する被検体３は、従来例と同様に水１５が満た
された水槽１６内に配置されている。

【００１４】定盤１０上には、水槽１６の底面と平行な
上面を有するテーブル２３が設けられ、このテーブル２
３上には、水槽１６内に配置された被検体３の表面形状
と全く同一の表面形状を有するダミー被検体３３が配置
されている。テーブル２３の上面の広さは、少なくとも
走査装置４によるＸＹ平面上の最大走査範囲よりも広く
形成されている。

【００１５】一方、Ｘ軸スキャナ１３からは、その先端
部２２ａがテーブル２３に向かって延びる探針２２が突
設されている。探針２２は、Ｘ軸スキャナ１３からＸ方
向に略水平に延出する腕部２２ｂと、この腕部２２ｂの
先端からＺ方向に下降する検出部２２ｃとからなる。検
出部２２ｃは、図２に示すように内ロッド４０に外管４
１が外嵌されることにより外管４１が内ロッド４０に対
して所定範囲だけ伸縮可能に構成されている。外管４１
内にはスプリング４２が配設されている。内ロッド４０
には、その長手方向に沿ってスリット４０ａが形成され
る一方、外管４１にはスリット４０ａを臨む位置に貫通
孔４１ａが形成され、これらスリット４０ａおよび貫通
孔４１ａを通ってボルト４３が貫通されてナット４４で
緊締、固定されることにより内ロッド４０に対する外管
４１の伸縮位置が固定可能に構成されている。また、探
針２２の先端部２２ａは後述のごとくダミー被検体３３
の表面上を摺動するため、ローラ等の転動手段、あるい
はテフロン（登録商標）加工等の摩擦低減手段が設けら
れていることが好ましい。

【００１６】水槽１６の底面とテーブル２３の上面とに
はそれぞれ同一ピッチの桝目が形成されており、かつ、
探触子１のＸＹ座標値と探針２２の先端部２２ａの位置
との対応をつけるための手段、たとえばＸＹ座標値の目
盛がテーブル２３の上面に形成されている。

【００１７】なお、超音波送受信部２、コンピュータ
５、コントローラ６、モニタ７、キーボード８および駆
動モータ１７ａ〜１７ｃの構成は従来例とほぼ同様であ
るためその説明を省略する。

【００１８】次に、図１を参照して、本実施例の超音波
探傷装置による被検体の探傷動作を説明する。なお、以
下に説明する被検体の探傷は、ＸＹ平面上の複数の測定
点からのデータを収集することにより行われる。

【００１９】まず、図１に示すように、水槽１６の底面
の所定位置上に被検体３を配置するとともに、これに対
応するテーブル２３上の所定位置にダミー被検体３３を
配置する。さらに、探針２２の検出部２２ｃ、すなわち
外管４１を伸縮させて先端部２２ａをダミー被検体３３
の表面に当接させ、この状態で検出部２２ｃの伸縮位置
をボルト４３、ナット４４（図１では不図示）により固
定する。検出部２２ｃの伸縮位置は、フレーム１１、各
軸スキャナ１２〜１４の自重によりスプリング１９が撓
んだつりあい位置において探針２２の先端部２２ａがダ
ミー被検体３３の最も窪んだ位置よりも下方に位置する
ように定められる。これにより、後述のごとく、ダミー
被検体３３の最も窪んだ位置にも探針２２の検出部２２
ｃが当接可能となる。この後、駆動モータ１７ａ、１７
ｂを駆動してＸ軸スキャナ１３およびＹ軸スキャナ１２
により探触子１を検査開始位置まで移動させる。

【００２０】次いで、駆動モータ１７ｃを駆動してＺ軸
スキャナ１４により探触子１をＺ方向に下降させつつ、
目的とする表面深さの位置に探触子１の焦点位置が設定
されたか否かをモニタ７に表示される超音波信号を操作
者が観察して確認することにより、被検体３の表面と探
触子１との間の距離（水距離）を調整、設定する。この
後、焦点位置に相当する伝播時間（遅延時間）近傍の超
音波信号のピーク値を検出できるようにピーク検出器２
ｂを設定する。

【００２１】さらに、操作者はキーボード８を介してコ
ンピュータ５にＸＹ平面走査指令を送り、コンピュータ
５は、コントローラ６を介して駆動モータ１７ａ、１７
ｂを駆動し、Ｘ軸スキャナ１３およびＹ軸スキャナ１２
を介して探触子１をＸＹ平面に沿って移動させる。

【００２２】探触子１の移動に伴ってＹ軸スキャナ１２
に突設された探針２２も移動し、探針２２の先端部２２
ａが接触しているダミー被検体３３の表面位置に倣って
Ｚ方向に上下動する。したがって、Ｘ軸スキャナ１３、
Ｙ軸スキャナ１２およびＺ軸スキャナ１４は、探針２２
の上下動の変位と等しい変位をもってＺ方向に上下動
し、Ｚ軸スキャナ１４の治具１８に固定された探触子１
もこれに連れて上下動する。ダミー被検体３３は、水槽
１６の底面上にある被検体３の位置に対応するテーブル
２３上の位置に配置されているので、探触子１のＺ方向
の上下動は水槽１６内の被検体３の表面位置に倣ったも
のになる。よって、探触子１は被検体３の３次元自由曲
面に沿って移動し、探触子１と被検体３の表面との間の
距離が一定に保持されて探触子１の焦点位置は被検体３
の表面から一定深さの位置に維持される。

【００２３】特に、本実施例では、フレーム１１、各軸
スキャナ１２〜１４の自重によりスプリング１９が撓ん
だつりあい位置において探針２２の先端部２２ａがダミ
ー被検体３３の最も窪んだ位置よりも下方に位置するよ
うに検出部２２ｃの伸縮位置が定められているので、探
針２２の先端部２２ａがダミー被検体３３の表面に当接
している状態ではスプリング１９が伸長され、その反発
力により探針２２には下向きの力が作用する。そして、
この力は走査動作を通じて探針２２に作用するため、探
針２２の先端部２２ａは常にダミー被検体３３の表面に
押圧された状態にあり、ダミー被検体３３の表面位置が
上下に大きく変化してもこれに追従することが可能とな
る。

【００２４】したがって、本実施例によれば、探針２２
がダミー被検体３３の表面位置に倣って上下動する力を
直接各軸スキャナ１２〜１４の上下動に利用し、これら
各軸スキャナ１２〜１４の上下動により探触子１と被検
体３の表面との間の距離を一定に保持しているので、上
述した従来技術のように探触子１の位置制御機構を走査
機構と別に設ける必要がなく、あるいはＺ軸スキャナ１
４を探触子１の位置制御に用いる必要がないため、制御
手順、機構が簡易で従来の３次元走査装置４を流用する
ことができるとともに、被検体３の高速走査が可能とな
る。加えて、探触子１と被検体３の表面との間の距離を
常に一定に保持できるので、焦点距離が短く分解能が高
い探触子の適用が可能となり、これにより、簡易な機構
により自由曲面を有する被検体に対して高分解能でかつ
高速な超音波探傷動作を行うことができる。

【００２５】−第２実施例− 図３は、本発明による超音波探傷装置の第２実施例を示
す図であって、その全体構成を示す図である。なお、以
下の説明では第１実施例と第２実施例との相違点につい
て主に説明し、共通する部分についてはその説明を簡略
化する。

【００２６】本実施例では、探針２２の検出部２２ｃの
伸縮位置を固定するボルト４３、ナット４４が省略され
ているかわりに、この検出部２２ｃのＺ方向の伸縮を検
出する変位センサ２４が設けられている。変位センサ２
４は周知の構成、たとえばリニアエンコーダやロータリ
ーエンコーダなどを備え、内ロッド４０に対する外管４
１のＺ方向の変位、すなわち伸縮量が測定可能なもので
あればその構成に限定はない。変位センサ２４の検出信
号は変換器２５を介してコンピュータ５に入力される。
また、本実施例ではスプリング１９およびダンパ２０が
省略され、フレーム１１は定盤１０上に固設されてい
る。

【００２７】次に、図３を参照して、本実施例の超音波
探傷装置による被検体の探傷動作を説明する。まず、上
述の第１実施例と同様に、被検体３およびダミー被検体
３３を対応位置にそれぞれ配置した後、駆動モータ１７
ａ、１７ｂを駆動してＸ軸スキャナ１３およびＹ軸スキ
ャナ１２により探触子１を検査開始位置まで移動させ
る。なお、本実施例では検出部２２ｃの固定機構、すな
わちボルト４３、ナット４４が省略されているので、検
出部２２ｃの外管４１は自由に伸縮し、探触子１が検査
開始位置まで移動された状態では探針２２の先端部２２
ａはダミー被検体３３の表面に当接している。

【００２８】次いで、Ｚ軸スキャナ１４により探触子１
をＺ方向に下降させつつ、探触子１の焦点位置を操作者
が確認することにより、被検体３の表面と探触子１との
間の距離（水距離）を調整、設定する。この後、焦点位
置に相当する伝播時間（遅延時間）近傍の超音波信号の
ピーク値を検出できるようにピーク検出器２ｂを設定す
る。

【００２９】さらに、操作者はキーボード８を介してコ
ンピュータ５にＸＹ平面走査指令を送り、コンピュータ
５は、コントローラ６を介して駆動モータ１７ａ、１７
ｂを駆動し、Ｘ軸スキャナ１３およびＹ軸スキャナ１２
を介して探触子１をＸＹ平面に沿って移動させる。探触
子１の移動に伴ってＹ軸スキャナ１２に突設された探針
２２も移動し、探針２２の先端部２２ａが接触している
ダミー被検体３３の表面位置に倣って検出部２２ｃがＺ
方向に伸縮する。検出部２２ｃの伸縮は変位センサ２４
により検出され、伸縮量が変換器２５を介してコンピュ
ータ５に入力される。コンピュータ５は、変位センサ２
４の検出信号に基づき、探触子１と被検体３の表面との
間の距離が一定になるように駆動モータ１７ｃに指令を
発し、Ｚ軸スキャナ１４を介して探触子１をＺ方向に移
動させる。一例として、検出部２２ｃの伸縮量がΔ（Δ
は正負いずれの値をもとる）であるとすれば、探触子１
のＺ方向の移動量もΔとなるように駆動モータ１７ｃに
指令を発すればよい。探触子１のＺ方向の移動により、
探触子１は被検体３の３次元自由曲面に沿って移動し、
探触子１と被検体３の表面との間の距離が一定に保持さ
れて探触子１の焦点位置は被検体３の表面から一定深さ
の位置に維持される。

【００３０】したがって、本実施例によれば、ダミー被
検体３３の表面位置に倣って伸縮する探針２２の検出部
２２ｃの伸縮量を変位センサ２４により検出し、探触子
１と被検体３の表面との間の距離が一定になるようにＺ
軸スキャナ１４を駆動制御しているので、上述した従来
技術のように探触子の位置制御機構を走査機構と別に設
ける必要がなく、制御手順、機構が簡易で従来の３次元
走査装置４を流用することができるとともに、被検体３
の高速走査が可能となる。加えて、探触子１と被検体３
の表面との間の距離を常に一定に保持できるので、焦点
距離が短く分解能が高い探触子の適用が可能となり、こ
れにより、簡易な機構により自由曲面を有する被検体に
対して高分解能でかつ高速な超音波探傷動作を行うこと
ができる。

【００３１】以上説明した実施例と請求の範囲との対応
において、走査装置４は走査手段を、スプリング１９、
ダンパ２０およびガイド機構２１は支持手段を、探針２
２は倣い手段を、変位センサ２４は倣い信号出力手段
を、Ｚ軸スキャナ１４は移動手段をそれぞれ構成してい
る。

【００３２】なお、本発明の超音波探傷装置は、その細
部が上述の各実施例に限定されず、種々の変形が可能で
ある。一例として、探針２２の形状、構成は各実施例の
それに限定されず、ダミー被検体３３の表面形状に倣っ
てＺ方向に上下動するものであればよい。また、第２実
施例においては、非接触型センサなどによりダミー被検
体３３の表面形状を実時間的に計測し、これをＺ軸スキ
ャナ１４の駆動制御に用いることもできる。

【００３３】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、被検体の表面形状に模した表面形状を有するダミ
ー被検体の表面形状に倣って、走査手段あるいは探触子
をＺ方向に移動させて探触子と被検体の表面との間の距
離を略所定値に保持しているので、上述した従来技術の
ように探触子の位置制御手段を走査手段と別に設ける必
要がなく、制御手順、機構が簡易で従来の走査装置を流
用することができるとともに、被検体の高速走査が可能
となる。加えて、探触子と被検体の表面との間の距離を
常に略所定値に保持できるので、焦点距離が短く分解能
が高い探触子の適用が可能となり、これにより、簡易な
機構により自由曲面を有する被検体に対して高分解能で
かつ高速な超音波探傷動作を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例である超音波探傷装置の全
体構成を示す図である。

【図２】探針の検出部の詳細を示す一部断面正面図であ
る。

【図３】本発明の第２実施例である超音波探傷装置の全
体構成を示す図である。

【図４】従来の超音波探傷装置の一例の回路構成を示す
ブロック図である。

【図５】超音波探触子の概略構成を示す断面図である。

【符号の説明】

１ 探触子 ３ 被検体 ４ 走査装置 １０ 定盤 １１ フレーム １２ Ｙ軸スキャナ １３ Ｘ軸スキャナ １４ Ｚ軸スキャナ １５ 水 １６ 水槽 １７ａ、１７ｂ、１７ｃ 駆動モータ １９ スプリング ２０ ダンパ ２１ ガイド機構 ２２ 探針 ２２ａ 先端部 ２２ｂ 腕部 ２２ｃ 検出部 ２３ テーブル ２４ 変位センサ ３３ ダミー被検体

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｚ方向に移動可能に設けられ、被検体と
   の間で超音波の送受信を行う超音波探触子を、走査手段
   により前記Ｚ方向と直交する方向に走査して前記被検体
   からの超音波信号を得る超音波探傷装置において、 前記走査手段を前記被検体に対してＺ方向に移動可能に
   支持する支持手段と、 前記被検体の表面形状に模した表面形状を有するダミー
   被検体と、 前記ダミー被検体の表面形状に倣って前記Ｚ方向に上下
   動して前記走査手段をＺ方向に移動させる倣い手段とを
   備えたことを特徴とする超音波探傷装置。
2. 【請求項２】 Ｚ方向に移動可能に設けられ、被検体と
   の間で超音波の送受信を行う超音波探触子を、走査手段
   により前記Ｚ方向と直交する方向に走査して前記被検体
   からの超音波信号を得る超音波探傷装置において、 前記被検体の表面形状に模した表面形状を有するダミー
   被検体と、 前記ダミー被検体の表面形状に応じた倣い信号を出力す
   る倣い信号出力手段と、 前記倣い信号出力手段から出力される倣い信号に基づい
   て、前記超音波探触子と前記被検体の表面との間の距離
   が略所定値となるように前記超音波探触子を移動させる
   移動手段とを備えたことを特徴とする超音波探傷装置。