JPH06246730A - Method and apparatus for laminating ceramic green sheet - Google Patents
Method and apparatus for laminating ceramic green sheetInfo
- Publication number
- JPH06246730A JPH06246730A JP6325793A JP6325793A JPH06246730A JP H06246730 A JPH06246730 A JP H06246730A JP 6325793 A JP6325793 A JP 6325793A JP 6325793 A JP6325793 A JP 6325793A JP H06246730 A JPH06246730 A JP H06246730A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic green
- carrier film
- green sheet
- positioning
- green sheets
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 117
- 238000010030 laminating Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 18
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 9
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 6
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、積層セラミックコンデ
ンサーや積層セラミックインダクター等の積層電子部品
を製造するに当り、セラミックグリーンシートを積層す
る方法と装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and apparatus for laminating ceramic green sheets in manufacturing laminated electronic parts such as laminated ceramic capacitors and laminated ceramic inductors.
【０００２】[0002]
【従来の技術】積層電子部品の最も代表的な例である積
層セラミックコンデンサーは、内部電極を有する誘電体
セラミック層が多数積み重ねられ、内部電極が積層体の
端面に交互に引き出されている。そして、これらの内部
電極が引き出された積層体の端面に外部電極が形成され
ている。2. Description of the Related Art A monolithic ceramic capacitor, which is the most typical example of a monolithic electronic component, has a large number of dielectric ceramic layers each having an internal electrode, which are alternately stacked on an end face of the laminate. Then, external electrodes are formed on the end faces of the stacked body from which these internal electrodes are drawn out.
【０００３】このような積層セラミックコンデンサー
は、例えば、図６に示すような層構造を有する。すなわ
ち、内部電極６５、６６を有する誘電体層６３、６３…
が図６で示す順序に積層され、さらにその両側に内部電
極が形成されてない誘電体層６７、６８が複数層積み重
ねられる。そして、このような積層体の内部電極６５、
６６が露出した端面に図示されてない外部電極が形成さ
れる。Such a monolithic ceramic capacitor has, for example, a layered structure as shown in FIG. That is, the dielectric layers 63, 63 ... Having the internal electrodes 65, 66.
Are laminated in the order shown in FIG. 6, and a plurality of dielectric layers 67 and 68 on which internal electrodes are not formed are stacked on both sides thereof. Then, the internal electrode 65 of such a laminated body,
An external electrode (not shown) is formed on the end surface where 66 is exposed.
【０００４】このような積層セラミック電子部品は、通
常、図６に示すような部品１個単位が個々に製造される
訳ではなく、実際は次に示すような製造方法がとられ
る。すなわち、まず微細化したセラミック粉末と有機バ
インダーとを混練してスラリーを作り、これをドクター
ブレード法によって長尺なテープ状のキャリアフィルム
上に薄く展開し、乾燥し、長尺なセラミックグリーンシ
ートを作る。次に、このキャリアフィルムの上に載った
セラミックグリーンシートの上にスクリーン印刷法によ
って導電ペーストを印刷し、乾燥し、第７図で示すよう
な内部電極パターン２ａ、２ｂが交互に印刷される。こ
の印刷済みの二層のテープは、一旦ロールに巻き取られ
る。そして、この二層のテープのロールを、供給ロール
として裁断積層装置にセットし、この供給ロールから二
層のテープを繰り出し、途中で上記キャリアテープから
グリーンシートを剥離する。キャリアテープから分離さ
れたセラミックグリーンシートは、キャリアベルトの上
に載せられ、ここで裁断吸着ユニットにより、図７に示
すようなセラミックグリーンシート１ａ、１ｂの如く所
定の寸法に裁断される。その後、この裁断されたセラミ
ックグリーンシート１ａ、１ｂは、別の積層位置に搬送
されて、交互に積層される。Such a monolithic ceramic electronic component is not usually manufactured individually as a unit as shown in FIG. 6, but in practice, the following manufacturing method is adopted. That is, first, finely divided ceramic powder and an organic binder are kneaded to form a slurry, which is thinly spread on a long tape-shaped carrier film by a doctor blade method and dried to form a long ceramic green sheet. create. Next, a conductive paste is printed on the ceramic green sheet placed on the carrier film by a screen printing method and dried, and internal electrode patterns 2a and 2b as shown in FIG. 7 are alternately printed. The printed double-layered tape is once wound into a roll. Then, this two-layer tape roll is set as a supply roll in a cutting and laminating apparatus, the two-layer tape is unwound from this supply roll, and the green sheet is peeled off from the carrier tape on the way. The ceramic green sheet separated from the carrier tape is placed on the carrier belt, and is cut into a predetermined size by the cutting and adsorbing unit like the ceramic green sheets 1a and 1b shown in FIG. Then, the cut ceramic green sheets 1a and 1b are conveyed to another stacking position and stacked alternately.
【０００５】次に、図７に示すように、前記内部電極パ
ターン２ａ、２ｂを有する複数枚のセラミックグリーン
シート１ａ、１ｂを積層し、さらに、内部電極パターン
２ａ、２ｂを有しない何枚かのセラミックグリーンシー
ト１、１を上下に積み重ね、さらにこれらを圧着し、積
層体を作る。ここで、前記セラミックグリーンシート１
ａ、１ｂは、内部電極パターン２ａ、２ｂが長手方向に
半分の長さ分だけずれたもの１ａ、１ｂを交互に積み重
ね、圧着する。その後、この積層体を所望のサイズに切
断して、積層生チップを製作し、この生チップを焼成す
る。こうして得られた積層チップは、両端面に交互に露
出した電極２ａ、２ｂを有する立方体形の積層体であ
る。次に、この焼成済みの積層チップの両端に導電ペー
ストを塗布し、焼付けることにより、両端に電極端子が
形成され、積層セラミックコンデンサーが完成する。Next, as shown in FIG. 7, a plurality of ceramic green sheets 1a and 1b having the internal electrode patterns 2a and 2b are laminated, and further some ceramic green sheets 1a and 1b which do not have the internal electrode patterns 2a and 2b are laminated. The ceramic green sheets 1 and 1 are stacked on top of each other, and these are pressure-bonded to each other to form a laminated body. Here, the ceramic green sheet 1
For a and 1b, the internal electrode patterns 2a and 2b, which are displaced by half the length in the longitudinal direction, are alternately stacked and crimped. After that, the laminated body is cut into a desired size to produce a laminated raw chip, and the raw chip is fired. The laminated chip thus obtained is a cube-shaped laminated body having electrodes 2a and 2b alternately exposed on both end faces. Next, a conductive paste is applied to both ends of the fired multilayer chip and baked to form electrode terminals on both ends, thus completing the multilayer ceramic capacitor.
【０００６】このような積層セラミックコンデンサーに
代表される積層電子部品は、前記のような内部電極パタ
ーン等の導体パターンが精度よく積み重ねられているこ
とが必要であり、さもなくば所望の電気特性が得られな
い。そこで、従来では、導体パターンと同時に位置決め
パターンを印刷し、これをセンサー等で検知して位置決
めを行いながら裁断する方法がとられている。また、セ
ラミックグリーンシートの供給軌道を精度よく維持する
ため、セラミックグリーンシートの縁を検知しながら、
その供給軌道の修正を行う方法もとられている。A laminated electronic component typified by such a laminated ceramic capacitor requires that the conductor patterns such as the internal electrode patterns as described above are accurately stacked, or otherwise desired electrical characteristics will be obtained. I can't get it. Therefore, conventionally, a method has been adopted in which a positioning pattern is printed at the same time as the conductor pattern, and the positioning pattern is detected by a sensor or the like and positioned while cutting. Also, in order to maintain the supply path of the ceramic green sheet with high accuracy, while detecting the edge of the ceramic green sheet,
A method of correcting the supply orbit is also taken.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとしている課題】前記従来の積層方
法では、位置決めパターンやセラミックグリーンシート
の縁を基準としてそれを裁断するため、セラミックグリ
ーンシートを裁断して時点では或る程度正確な位置合わ
せが可能である。In the above-mentioned conventional laminating method, the positioning pattern and the edges of the ceramic green sheet are cut as a reference, and therefore, the ceramic green sheet is cut to a certain degree at a certain time. It is possible.
【０００８】しかし、裁断したセラミックグリーンシー
トを搬送し、積層し、さらに加圧して仮圧着するとき
に、セラミックグリーンシートの位置ずれが起こりやす
い。これは、薄いセラミックグリーンシートを取り扱う
ため、それを搬送し、積層し、加圧する間にずれが起こ
ることによる。特に最近では、回路部品の小形化に対応
するため、きわめて薄いセラミックグリーンシートが使
用されるようになる一方、細密化した内部電極パターン
を高精度で位置合わせすることが要求されるようになっ
ている。前記従来の積層方法では、薄いセラミックグリ
ーンシートを高精度で積層しにくいため、積層回路部品
の小形化に対応しにくいという課題があった。そこで本
発明は、薄いセラミックグリーンシートをより高精度で
積層することが可能なセラミックグリーンシート積層方
法と装置を提供することを目的とする。However, when the cut ceramic green sheets are conveyed, laminated, further pressed and temporarily pressed, the ceramic green sheets are likely to be displaced. This is because a thin ceramic green sheet is handled, and a shift occurs while it is transported, laminated and pressed. In particular, in recent years, extremely thin ceramic green sheets have been used to cope with the miniaturization of circuit components, while it has become necessary to align finely-divided internal electrode patterns with high accuracy. There is. The conventional lamination method has a problem that it is difficult to stack thin ceramic green sheets with high precision, and thus it is difficult to reduce the size of a laminated circuit component. Therefore, an object of the present invention is to provide a ceramic green sheet laminating method and apparatus capable of laminating thin ceramic green sheets with higher accuracy.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】すなわち本発明では、前
記の目的を達成するため、セラミックグリーンシートを
積層する方法において、キャリアフィルムごと一定形状
に打ち抜かれたセラミックグリーンシートを、キャリア
フィルムを上に向けて積み重ねてマガジンに収納し、こ
のキャリアフィルム付セラミックグリーンシートを位置
決め台に載せて所定の位置に位置決めし、この位置決め
台と対応する位置決め手段を有する積層ステージの上に
キャリアフィルム付セラミックグリーンシートを載せ、
積層ステージ上で重ね合わせたキャリアフィルム付セラ
ミックグリーンシートを同積層ステージ上で加圧して仮
圧着した後、加圧されたセラミックグリーンシート上の
キャリアフィルムを剥離し、以下前記工程を所定の回数
だけ繰り返して所定の枚数のセラミックグリーンシート
を積層することを特徴とするセラミックグリーンシート
積層方法を提供する。[Means for Solving the Problems] That is, in the present invention, in order to achieve the above-mentioned object, in a method of laminating ceramic green sheets, a ceramic green sheet punched into a constant shape together with a carrier film is placed on top of the carrier film. The ceramic green sheet with carrier film is placed on a positioning stand and positioned at a predetermined position, and the ceramic green sheet with carrier film is placed on a laminated stage having a positioning means corresponding to the positioning stand. Put
After the ceramic green sheets with carrier films stacked on the lamination stage are pressed on the same lamination stage to temporarily press-bond, the carrier film on the pressed ceramic green sheets is peeled off, and the above steps are repeated a predetermined number of times. A ceramic green sheet laminating method characterized by repeatedly laminating a predetermined number of ceramic green sheets.
【００１０】さらに、セラミックグリーンシートを積層
する装置において、キャリアフィルムごと一定形状に打
ち抜かれたセラミックグリーンシートを、キャリアフィ
ルムを上に向けて積み重ねて収納するマガジンを置くマ
ガジン置場と、前記キャリアフィルム付セラミックグリ
ーンシートを所定の位置に位置決めして載せる位置決め
台と、前記マガジン置台上のマガジンからキャリアフィ
ルム付グリーンシートを取り出し、位置決め台へ搬送す
る第一の搬送手段と、前記位置決め台と対応する位置決
め手段を有する積層ステージと、前記位置決め台から積
層ステージへキャリアフィルム付セラミックグリーンシ
ートを搬送する第二の搬送手段と、積層ステージ上で重
ね合わせたキャリアフィルム付セラミックグリーンシー
トを同積層ステージ上で加圧するプレス機と、加圧され
たセラミックグリーンシート上のキャリアフィルムを剥
離するキャリアフィルム剥離手段とを有することを特徴
とするセラミックグリーンシート積層装置を提供する。Further, in a device for laminating ceramic green sheets, a magazine storage for placing a magazine for accommodating the ceramic green sheets punched in a certain shape together with the carrier film with the carrier film facing upward, and the carrier film A positioning base for positioning and placing the ceramic green sheet at a predetermined position, a first transfer means for transferring the green sheet with the carrier film from the magazine on the magazine mounting base and transferring it to the positioning base, and a positioning corresponding to the positioning base. A stacking stage having a means, a second carrying means for carrying the ceramic green sheet with a carrier film from the positioning table to the stacking stage, and a ceramic green sheet with a carrier film superposed on the stacking stage. A pressing machine for pressing above, to provide a ceramic green sheet laminating apparatus characterized by having a carrier film peeling unit for peeling the carrier film on the ceramic green sheet pressurized.
【００１１】[0011]
【作用】本発明によるセラミックグリーンシートの積層
方法と装置では、セラミックグリーンシートをキャリア
フィルムごと搬送し、これを一旦位置決め台上で位置決
めした後、この位置決め台と対応する位置決め手段を有
する積層ステージの上にキャリアフィルム付セラミック
グリーンシートを載せて順次積層し、さらにこの積層ス
テージ上で重ね合わせたセラミックグリーンシートを加
圧して仮圧着するため、高い位置精度をもってセラミッ
クグリーンシートを積層することが可能となる。In the method and apparatus for laminating the ceramic green sheets according to the present invention, the ceramic green sheets are conveyed together with the carrier film, the carrier films are once positioned on the positioning base, and then the lamination stage having the positioning means corresponding to the positioning base is used. A ceramic green sheet with a carrier film is placed on top of it and laminated in order, and the ceramic green sheets that have been stacked on this lamination stage are pressed and temporarily pressed together, so it is possible to laminate the ceramic green sheets with high positional accuracy. Become.
【００１２】[0012]
【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明の実施例
について詳細に説明する。図１は、本発明によるセラミ
ックグリーンシートの積層装置の全体を示す平面図であ
る。この装置では、予めキャリアフィルムごと所定の形
状に裁断されたキャリアフィルム付セラミックグリーン
シートａを上下に重ねて収納するマガジン１１が用いら
れ、このマガジン１１は、マガジン置場１０に置かれ
る。このマガジン１１は、図２に示すように、垂直に立
設した支柱１２の間に裁断された矩形のキャリアフィル
ム付セラミックグリーンシートａを上下に積み重ねて収
納するもので、キャリアフィルム付セラミックグリーン
シートａの対向する各辺が前記支柱１２により両側から
挟まれた状態で位置決めされ、且つ保持される。また、
キャリアフィルム付セラミックグリーンシートａは、キ
ャリアフィルム側が上になるようマガジン１１に収納さ
れる。Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view showing the entire ceramic green sheet laminating apparatus according to the present invention. In this apparatus, a magazine 11 is used which stores ceramic green sheets a with a carrier film, which are cut into a predetermined shape together with a carrier film, in a vertically stacked manner, and the magazine 11 is placed in a magazine storage space 10. As shown in FIG. 2, this magazine 11 is for accommodating vertically stacked ceramic green sheets a with carrier films cut between vertically-arranged stanchions 12 and storing them. The opposite sides of a are positioned and held while being sandwiched by the columns 12 from both sides. Also,
The ceramic green sheet a with a carrier film is stored in the magazine 11 with the carrier film side facing up.
【００１３】図１に示すように、マガジン置場１０に
は、複数のマガジン１１が置かれるが、各マガジン１１
には、同じ内部電極パターンを有するセラミックグリー
ンシートが各々まとめて収納されており、さらに内部電
極パターンを有しないセラミックグリーンシートもまと
めて別のマガジン１１に収納されている。As shown in FIG. 1, a plurality of magazines 11 are placed in the magazine storage space 10.
, The ceramic green sheets having the same internal electrode pattern are collectively stored, and the ceramic green sheets having no internal electrode pattern are also collectively stored in another magazine 11.
【００１４】これらマガジン１１に収納されたキャリア
フィルム付セラミックグリーンシートａには、所定の位
置に位置決め孔ｂが穿孔されている。図１に示すよう
に、前記マガジン置場１０の脇に別のマガジン置場７０
が配置されているが、このマガジン置場７０は、積層済
みのセラミックグリーンシートｄを収納したマガジン１
１を置くものである。The ceramic green sheet a with a carrier film housed in these magazines 11 is provided with positioning holes b at predetermined positions. As shown in FIG. 1, another magazine storage 70 is provided beside the magazine storage 10.
Are arranged in the magazine storage area 70. The magazine storage area 70 is a magazine 1 in which stacked ceramic green sheets d are stored.
1 is put.
【００１５】このマガジン置場７０の反対側に、位置決
め台３０が配置されており、この位置決め台３０の上に
は、前記キャリアフィルム付セラミックグリーンシート
ａに穿孔された位置決め孔ｂに対応して位置決めピン３
１が突設されている。この位置決めピン３１は、位置決
め台３０上から適時突出し、没入する。A positioning table 30 is arranged on the opposite side of the magazine storage 70, and the positioning table 30 is positioned in correspondence with the positioning holes b formed in the ceramic green sheet a with the carrier film. Pin 3
1 is projected. The positioning pins 31 project from the positioning table 30 at appropriate times and are immersed therein.
【００１６】前記マガジン置場１０、７０及び位置決め
台３０にわたってキャリアフィルム付セラミックグリー
ンシートａを搬送する第一の搬送手段であるマニプレー
ター２０が備えられている。図２に示すように、このマ
ニプレーター２０は、回転機構２３により回転されるア
ーム２１を有し、このアーム２１は伸縮し、その先端に
上下シリーンダー２４を有する。さらに、この上下シリ
ンダー２４の上下するプランジャーの先端にキャリアフ
ィルム付セラミックグリーンシートａのキャリアフィル
ム表面に吸着し、同フィルムを保持する吸着ヘッド２２
が設けられている。A manipulator 20, which is a first conveying means for conveying the ceramic green sheet a with a carrier film, is provided over the magazine storages 10, 70 and the positioning table 30. As shown in FIG. 2, the manipulator 20 has an arm 21 that is rotated by a rotating mechanism 23. The arm 21 extends and contracts, and has an upper and lower cylinder 24 at its tip. Further, the suction head 22 that holds the film by adsorbing it on the surface of the carrier film of the ceramic green sheet a with a carrier film at the tip of the plunger that moves up and down of the upper and lower cylinders 24.
Is provided.
【００１７】このマニプレーター２０の吸着ヘッド２２
は、マガジン置場１０、７０及び位置決め台３０の全範
囲にわたって移動可能であり、このマニプレーター２０
が例えばコンピューターで駆動制御されることにより、
マガジン置場１０上のマガジン１１から予め定めれた順
序でキャリアフィルム付セラミックグリーンシートａを
取り出し、前記位置決め台３０上に搬送する。The suction head 22 of this manipulator 20
Is movable over the entire range of the magazine storages 10, 70 and the positioning table 30, and the manipulator 20
Is controlled by a computer, for example,
The ceramic green sheet a with a carrier film is taken out from the magazine 11 on the magazine yard 10 in a predetermined order and conveyed onto the positioning table 30.
【００１８】図１及び図３に示されたように、位置決め
台３０の近くには、積層ステージ４０が配置されてい
る。この積層ステージ４０は、ガイドレール４３に沿っ
て図１の左右方向に移動自在に配置され、ボールネジと
モーター等からなる移動機構４１により移動される。こ
の積層ステージ４０上には、前記積層ステージ３０上の
位置決めピン３１に対応して位置決めピン４７が突設さ
れている。この位置決めピン４７は、積層ステージ４０
上から適時突出し、没入する。As shown in FIGS. 1 and 3, a stacking stage 40 is arranged near the positioning table 30. The stacking stage 40 is movably arranged in the left-right direction in FIG. 1 along a guide rail 43, and is moved by a moving mechanism 41 including a ball screw and a motor. Positioning pins 47 are provided on the stacking stage 40 so as to correspond to the positioning pins 31 on the stacking stage 30. The positioning pin 47 is used for the stacking stage 40.
Protrude from above and immerse.
【００１９】さらに、この積層ステージ４０が位置決め
台３０の近くに停止したとき、位置決め台３０上から積
層ステージ４０へキャリアフィルム付セラミックグリー
ンシートａを搬送する第二の搬送手段である積層用マニ
プレーター４４が備えられている。図３に示すように、
この積層用マニプレーター４４は、水平シリンダー４６
により図３において左右に移動される上下シリンダー４
２と、この上下シリンダー４２により上下動される吸着
ユニット４５とを有し、この吸着ユニット４５の下面に
キャリアフィルム付セラミックグリーンシートａのキャ
リアフィルム側を吸着保持し、位置決め台３０上から積
層ステージ４０上にキャリアフィルム付セラミックグリ
ーンシートａを搬送する。Further, when the stacking stage 40 stops near the positioning table 30, the stacking manipulator 44 serving as a second carrying means for carrying the ceramic green sheet a with a carrier film from the positioning table 30 to the stacking stage 40. Is provided. As shown in FIG.
The stacking manipulator 44 includes a horizontal cylinder 46.
The upper and lower cylinders 4 are moved left and right in FIG. 3 by the
2 and an adsorption unit 45 that is moved up and down by the up and down cylinder 42. The lower surface of the adsorption unit 45 adsorbs and holds the carrier film side of the ceramic green sheet a with a carrier film, and the stacking stage is placed on the positioning table 30. The ceramic green sheet a with a carrier film is conveyed onto 40.
【００２０】前記ガイドレール４３の図１において右端
側にプレス機６０が配置されている。図４に示すよう
に、このプレス機６０は、ヒーター（図示せず）を内蔵
する押型板６１を上下させて、その下に積層ステージ４
０が挿入されたとき、同積層ステージ４０上に積層され
たセラミックグリーンシートａを上から加熱しながら加
圧するものである。A pressing machine 60 is arranged on the right end side of the guide rail 43 in FIG. As shown in FIG. 4, the press 60 is configured such that a pressing plate 61 containing a heater (not shown) is moved up and down, and the stacked stage 4 is placed under the pressing plate 61.
When 0 is inserted, the ceramic green sheets a stacked on the stacking stage 40 are pressed from above while heating.
【００２１】さらに図１に示すように、このプレス機６
０と前記積層用マニプレーター４４との間に、積層され
たセラミックグリーンシートからキャリアフィルムを剥
離する手段として剥離ローラー５０が配置されている。
図５に示すように、この剥離ローラー５０は、周面が負
圧とされると共に、回転される円筒形のローラーヘッド
５２を有しており、ガイド５１に沿って図１において上
下に移動されるものである。図２に示すように、ローラ
ーヘッド５２は、その周面の一部に平坦部５３を有して
いる。Further, as shown in FIG.
0 and the laminating manipulator 44, a peeling roller 50 is arranged as a means for peeling the carrier film from the laminated ceramic green sheets.
As shown in FIG. 5, the peeling roller 50 has a cylindrical roller head 52 whose peripheral surface has a negative pressure and is rotated, and is vertically moved in FIG. 1 along a guide 51. It is something. As shown in FIG. 2, the roller head 52 has a flat portion 53 on a part of its peripheral surface.
【００２２】次に、この装置を用いたセラミックグリー
ンシートの積層方法について装置の動作と共に説明す
る。図１に示すように、マガジン置場１０の所定の位置
に各々マガジン１１が置かれる。これら各マガジン１１
には、各々所定の内部電極パターンを有するセラミック
グリーンシートと内部電極パターンを有しないセラミッ
クグリーンシートとが収納されている。Next, a method of laminating ceramic green sheets using this apparatus will be described together with the operation of the apparatus. As shown in FIG. 1, each magazine 11 is placed at a predetermined position in the magazine storage space 10. Each of these magazines 11
A ceramic green sheet having a predetermined internal electrode pattern and a ceramic green sheet having no internal electrode pattern are housed in each.
【００２３】この状態で、図２に実線で示すように、ま
ずマニプレーター２０の吸着ヘッド２２がマガジン置場
１０に置かれた所定のマガジン１１の上に移動し、そこ
からキャリアフィルム付セラミックグリーンシートａを
取り出し、二点鎖線で示すように、位置決め台３０上に
搬送する。なお、吸着ヘッド２２は、キャリアフィルム
側を吸着して位置決め台３０上にキャリアフィルム付セ
ラミックグリーンシートａを搬送し、その位置決め孔ｂ
を位置決め台３０上の位置決めピン３１に通して位置決
めする。In this state, as shown by a solid line in FIG. 2, the suction head 22 of the manipulator 20 first moves onto a predetermined magazine 11 placed in the magazine storage space 10, and from there, the ceramic green sheet a with a carrier film a. Is taken out and conveyed onto the positioning table 30 as indicated by a chain double-dashed line. The suction head 22 sucks the carrier film side and conveys the ceramic green sheet a with the carrier film onto the positioning table 30, and the positioning hole b thereof.
Is passed through the positioning pins 31 on the positioning table 30 to perform positioning.
【００２４】次に、図３に示す積層用マニプレーター４
４の吸着ヘッド４５が位置決め台３０の上に移動し、そ
こで位置決めされたキャリアフィルム付セラミックグリ
ーンシートａを吸着、保持する。このとき、位置決めピ
ン３１は、位置決め台３０上から没入する。さらに、位
置決め台３０上からキャリアフィルム付セラミックグリ
ーンシートａを引き上げ、これを積層ステージ４０へ搬
送してそこに置く。ここでは、位置決めピン４７がキャ
リアフィルム付セラミックグリーンシートａの位置決め
孔ｂに嵌合し、同セラミックグリーンシートａが位置決
めされる。Next, the laminating manipulator 4 shown in FIG.
The suction head 45 of No. 4 moves onto the positioning table 30 and sucks and holds the ceramic green sheet a with the carrier film positioned there. At this time, the positioning pin 31 is retracted from above the positioning table 30. Further, the ceramic green sheet a with a carrier film is pulled up from the positioning table 30, and this is conveyed to the laminating stage 40 and placed there. Here, the positioning pin 47 is fitted into the positioning hole b of the ceramic green sheet a with a carrier film, and the ceramic green sheet a is positioned.
【００２５】次に、駆動機構４１により、積層ステージ
４０が剥離ローラー５０の下に移動される。ここで、図
５（ａ）に示されたように、剥離ローラー５０のローラ
ーヘッド５２の周面の平坦部５３がキャリアフィルムｃ
の端縁に吸着する。その後、図５（ｂ）に示されたよう
に、ローラーヘッド５２が矢印で示す方向に回転すると
共に、矢印で示すように、剥離ローラー５０全体がロー
ラーヘッド５２の周速と等速度で図５（ｂ）において右
方向に移動し、キャリアフィルムｃをセラミックグリー
ンシートｄから剥離する。その後、ローラーヘッド５２
の周面の負圧が解除され、キャリアフィルムｃが廃棄さ
れる。Next, the driving mechanism 41 moves the stacking stage 40 to below the peeling roller 50. Here, as shown in FIG. 5A, the flat portion 53 on the peripheral surface of the roller head 52 of the peeling roller 50 is the carrier film c.
Adsorb to the edge of. After that, as shown in FIG. 5B, the roller head 52 rotates in the direction shown by the arrow, and as shown by the arrow, the entire peeling roller 50 moves at the same speed as the peripheral speed of the roller head 52. In (b), it moves to the right and peels the carrier film c from the ceramic green sheet d. Then the roller head 52
The negative pressure on the peripheral surface is released, and the carrier film c is discarded.
【００２６】次に、積層ステージ４０が積層用マニプレ
ーター４４の位置に戻り、前記の動作と同様にしてその
上に別のキャリアフィルム付セラミックグリーンシート
ａが乗せられる。次いで、駆動機構４１により、積層ス
テージ４０がプレス機６０に移動され、ここで押型板６
１が下降し、積層ステージ４０上に積層されたセラミッ
クグリーンシートａを上から加熱しながら加圧する。Next, the laminating stage 40 is returned to the position of the laminating manipulator 44, and another ceramic green sheet a with a carrier film is placed thereon in the same manner as the above-mentioned operation. Next, the driving mechanism 41 moves the stacking stage 40 to the pressing machine 60, where the stamping plate 6 is moved.
1 descends, and the ceramic green sheets a stacked on the stacking stage 40 are pressed from above with heating.
【００２７】次に、駆動機構４１により、積層ステージ
４０が剥離ローラー５０の下に移動され、ここで前記と
同様にしてキャリアフィルムｃがセラミックグリーンシ
ートｄから剥離される。以下、同様にしてキャリアフィ
ルム付セラミックグリーンシートａの積層ステージ４０
上への重ね合わせ、加熱・加圧及びキャリアフィルムｃ
の剥離が所定の順序で繰り返され、定められた順序でセ
ラミックグリーンシートが積層された積層体ｄが完成す
る。その後、マニプレーター２０が積層体ｄをマガジン
置場７０上のマガジン１１に収納する。Next, the driving stage 41 moves the laminating stage 40 to below the peeling roller 50, where the carrier film c is peeled from the ceramic green sheet d in the same manner as described above. Hereinafter, in the same manner, the laminated stage 40 of the ceramic green sheet a with a carrier film
Overlay on top, heating / pressurizing and carrier film c
The peeling is repeated in a predetermined order to complete the laminated body d in which the ceramic green sheets are laminated in the determined order. Then, the manipulator 20 stores the stacked body d in the magazine 11 on the magazine storage area 70.
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、セ
ラミックグリーンシートをキャリアフィルムごと搬送
し、これを位置決め台上で位置決めし、さらに積層ステ
ージで積層、仮圧着することから、高い位置精度をもっ
てセラミックグリーンシートを積層することが可能とな
る。As described above, according to the present invention, the ceramic green sheet is conveyed together with the carrier film, the carrier film is positioned on the positioning table, and further stacked and temporarily pressure-bonded on the stacking stage, resulting in high positional accuracy. It becomes possible to stack the ceramic green sheets.
【図１】本発明の実施例によるセラミックグリーンシー
ト積層装置の全体を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing an entire ceramic green sheet laminating apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】同実施例によるセラミックグリーンシート積層
装置のマガジン置場と位置決め台付近の要部側面図であ
る。FIG. 2 is a side view of essential parts near a magazine storage and a positioning base of the ceramic green sheet laminating apparatus according to the embodiment.
【図３】同実施例によるセラミックグリーンシート積層
装置の位置決め台と積層ステージ付近の要部側面図であ
る。FIG. 3 is a side view of essential parts near a positioning base and a stacking stage of the ceramic green sheet stacking apparatus according to the embodiment.
【図３】同実施例によるセラミックグリーンシート積層
装置のプレス機の要部側面図である。FIG. 3 is a side view of a main part of a pressing machine of the ceramic green sheet laminating apparatus according to the embodiment.
【図４】同実施例によるセラミックグリーンシート積層
装置のキャリアフィルム剥離機構の要部側面図である。FIG. 4 is a side view of an essential part of a carrier film peeling mechanism of the ceramic green sheet laminating apparatus according to the embodiment.
【図６】積層セラミックコンデンサーの層構造の例を示
す分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view showing an example of a layer structure of a monolithic ceramic capacitor.
【図７】セラミックコンデンサーを製造するときのセラ
ミックグリーンシートの積層順序を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing a stacking order of ceramic green sheets when a ceramic capacitor is manufactured.
ｃ キャリアフィルム ａ キャリアフィルム付セラミックグリーンシート ｂ キャリアフィルム付セラミックグリーンシートの
位置決め孔 １１ マガジン １０ マガジン置場 ３０ 位置決め台 ２０ マニフレーター ４０ 積層ステージ ４４ 積層用マニプレーター ６０ プレス機 ５０ 剥離ローラーc Carrier film a Ceramic green sheet with carrier film b Positioning holes for ceramic green sheet with carrier film 11 Magazine 10 Magazine storage 30 Positioning stand 20 Maniflator 40 Laminating stage 44 Laminating manipulator 60 Press machine 50 Peeling roller
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成６年１月２４日[Submission date] January 24, 1994
【手続補正２】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】図面の簡単な説明[Name of item to be corrected] Brief description of the drawing
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】本発明の実施例によるセラミックグリーンシー
ト積層装置の全体を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing an entire ceramic green sheet laminating apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図２】同実施例によるセラミックグリーンシート積層
装置のマガジン置場と位置決め台付近の要部側面図であ
る。FIG. 2 is a side view of essential parts near a magazine storage and a positioning base of the ceramic green sheet laminating apparatus according to the embodiment.
【図３】同実施例によるセラミックグリーンシート積層
装置の位置決め台と積層ステージ付近の要部側面図であ
る。FIG. 3 is a side view of essential parts near a positioning base and a stacking stage of the ceramic green sheet stacking apparatus according to the embodiment.
【図４】同実施例によるセラミックグリーンシート積層
装置のプレス機の要部側面図である。FIG. 4 is a side view of a main part of a pressing machine of the ceramic green sheet laminating apparatus according to the embodiment.
【図５】同実施例によるセラミックグリーンシート積層
装置のキャリアフィルム剥離機構の要部側面図である。FIG. 5 is a side view of essential parts of a carrier film peeling mechanism of the ceramic green sheet laminating apparatus according to the embodiment.
【図６】積層セラミックコンデンサーの層構造の例を示
す分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view showing an example of a layer structure of a monolithic ceramic capacitor.
【図７】セラミックコンデンサーを製造するときのセラ
ミックグリーンシートの積層順序を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing a stacking order of ceramic green sheets when a ceramic capacitor is manufactured.
【符号の説明】 ｃ キャリアフィルム ａ キャリアフィルム付セラミックグリーンシート ｂ キャリアフィルム付セラミックグリーンシートの
位置決め孔 １１ マガジン １０ マガジン置場 ３０ 位置決め台 ２０ マニフレーター ４０ 積層ステージ ４４ 積層用マニプレーター ６０ プレス機 ５０ 剥離ローラー[Explanation of symbols] c Carrier film a Ceramic green sheet with carrier film b Positioning hole for ceramic green sheet with carrier film 11 Magazine 10 Magazine storage 30 Positioning stand 20 Manipulator 40 Laminating stage 44 Laminating manipulator 60 Press machine 50 Peeling roller
Claims (2)
法において、キャリアフィルムごと一定形状に打ち抜か
れたセラミックグリーンシートを、キャリアフィルムを
上に向けて積み重ねてマガジンに収納し、このキャリア
フィルム付セラミックグリーンシートを位置決め台に載
せて所定の位置に位置決めし、この位置決め台と対応す
る位置決め手段を有する積層ステージの上にキャリアフ
ィルム付セラミックグリーンシートを載せ、積層ステー
ジ上で重ね合わせたキャリアフィルム付セラミックグリ
ーンシートを同積層ステージ上で加圧して仮圧着した
後、加圧されたセラミックグリーンシート上のキャリア
フィルムを剥離し、以下前記工程を所定の回数だけ繰り
返して所定の枚数のセラミックグリーンシートを積層す
ることを特徴とするセラミックグリーンシート積層方
法。1. A method of laminating ceramic green sheets, wherein ceramic green sheets punched into a certain shape together with a carrier film are stacked with the carrier film facing upward and stored in a magazine. The ceramic green sheet with carrier film is placed on a positioning stand and positioned at a predetermined position, the ceramic green sheet with a carrier film is placed on a laminated stage having a positioning means corresponding to this positioning stand, and the ceramic green sheet with a carrier film is stacked on the laminated stage. After pressurizing and pressure-bonding on the same stacking stage, the carrier film on the pressed ceramic green sheets is peeled off, and the above steps are repeated a predetermined number of times to stack a predetermined number of ceramic green sheets. Characteristic Lamic green sheet lamination method.
置において、キャリアフィルムごと一定形状に打ち抜か
れたセラミックグリーンシートを、キャリアフィルムを
上に向けて積み重ねて収納するマガジンを置くマガジン
置場と、前記キャリアフィルム付セラミックグリーンシ
ートを所定の位置に位置決めして載せる位置決め台と、
前記マガジン置台上のマガジンからキャリアフィルム付
グリーンシートを取り出し、位置決め台へ搬送する第一
の搬送手段と、前記位置決め台と対応する位置決め手段
を有する積層ステージと、前記位置決め台から積層ステ
ージへキャリアフィルム付セラミックグリーンシートを
搬送する第二の搬送手段と、積層ステージ上で重ね合わ
せたキャリアフィルム付セラミックグリーンシートを同
積層ステージ上で加圧するプレス機と、加圧されたセラ
ミックグリーンシート上のキャリアフィルムを剥離する
キャリアフィルム剥離手段とを有することを特徴とする
セラミックグリーンシート積層装置。2. A device for laminating ceramic green sheets, a magazine storage for placing a magazine for accommodating ceramic green sheets punched in a fixed shape together with a carrier film with the carrier films facing upward, and a carrier film. Positioning stand for positioning and placing the ceramic green sheet at a predetermined position,
A first carrying means for taking out a green sheet with a carrier film from a magazine on the magazine stand and carrying it to a positioning stand, a stacking stage having a positioning means corresponding to the positioning stand, and a carrier film from the positioning stand to the stacking stage Second conveying means for conveying the attached ceramic green sheet, a press machine for pressing the laminated ceramic green sheet on the laminating stage on the laminating stage, and a carrier film on the pressed ceramic green sheet And a carrier film peeling means for peeling the ceramic green sheet laminating device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6325793A JP3283091B2 (en) | 1993-02-27 | 1993-02-27 | Ceramic green sheet laminating method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6325793A JP3283091B2 (en) | 1993-02-27 | 1993-02-27 | Ceramic green sheet laminating method and apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06246730A true JPH06246730A (en) | 1994-09-06 |
| JP3283091B2 JP3283091B2 (en) | 2002-05-20 |
Family
ID=13224035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6325793A Expired - Lifetime JP3283091B2 (en) | 1993-02-27 | 1993-02-27 | Ceramic green sheet laminating method and apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3283091B2 (en) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6797092B2 (en) | 2001-04-26 | 2004-09-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacturing monolithic ceramic electronic component |
| KR100761992B1 (en) * | 2006-03-13 | 2007-09-28 | 삼성전기주식회사 | Ceramic Green Sheet Automatic Lamination Unit |
| US7383866B2 (en) | 2000-07-31 | 2008-06-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Manufacturing apparatus for manufacturing electronic monolithic ceramic components |
| KR100891844B1 (en) * | 2007-07-02 | 2009-04-07 | 삼성전기주식회사 | Apparatus and method for manufacturing laminated electronic components |
| JP2009246298A (en) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Tdk Corp | Method for manufacturing ceramic laminated body, manufacturing apparatus of ceramic laminated body, and method for manufacturing ceramic laminated electronic component |
| KR101018348B1 (en) * | 2005-11-25 | 2011-03-04 | 호와 머시너리, 리미티드 | Manufacturing Method of Sheet Laminate and Apparatus for Manufacturing Sheet Laminate |
| JP2023500142A (en) * | 2019-11-08 | 2023-01-04 | レイセオン カンパニー | Printed circuit board automatic layup system |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9814481B2 (en) | 2013-03-14 | 2017-11-14 | Saphena Medical, Inc. | Unitary endoscopic vessel harvesting devices |
-
1993
- 1993-02-27 JP JP6325793A patent/JP3283091B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7383866B2 (en) | 2000-07-31 | 2008-06-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Manufacturing apparatus for manufacturing electronic monolithic ceramic components |
| US8657987B2 (en) | 2000-07-31 | 2014-02-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Manufacturing apparatus for manufacturing electronic monolithic ceramic components |
| US6797092B2 (en) | 2001-04-26 | 2004-09-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacturing monolithic ceramic electronic component |
| KR101018348B1 (en) * | 2005-11-25 | 2011-03-04 | 호와 머시너리, 리미티드 | Manufacturing Method of Sheet Laminate and Apparatus for Manufacturing Sheet Laminate |
| KR100761992B1 (en) * | 2006-03-13 | 2007-09-28 | 삼성전기주식회사 | Ceramic Green Sheet Automatic Lamination Unit |
| KR100891844B1 (en) * | 2007-07-02 | 2009-04-07 | 삼성전기주식회사 | Apparatus and method for manufacturing laminated electronic components |
| JP2009246298A (en) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Tdk Corp | Method for manufacturing ceramic laminated body, manufacturing apparatus of ceramic laminated body, and method for manufacturing ceramic laminated electronic component |
| JP2023500142A (en) * | 2019-11-08 | 2023-01-04 | レイセオン カンパニー | Printed circuit board automatic layup system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3283091B2 (en) | 2002-05-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100828488B1 (en) | Manufacturing method and manufacturing apparatus of thin film laminated article | |
| JP2504277B2 (en) | Method and apparatus for manufacturing ceramic green sheet for laminated ceramic electronic component | |
| US5274916A (en) | Method of manufacturing ceramic multilayer electronic component | |
| US4802945A (en) | Via filling of green ceramic tape | |
| EP0530052A1 (en) | Method of manufacturing multilayer electronic component | |
| US5505809A (en) | Method of preparing a plurality of ceramic green sheets having conductor films thereon | |
| JPH06246730A (en) | Method and apparatus for laminating ceramic green sheet | |
| JPH03142910A (en) | Lamination of ceramic green sheet and device therefor | |
| JP3528045B2 (en) | Manufacturing equipment for multilayer ceramic electronic components | |
| US5772838A (en) | Apparatus and method for making laminated electrical or electronic devices from a continuous tape coated on one side with ceramic material | |
| JPH0710277A (en) | Method for laminating ceramic green sheet | |
| JPH0786746A (en) | Manufacture of ceramic multilayer board and device | |
| JPH10284346A (en) | Laminating apparatus for ceramic green sheet | |
| JPH08244019A (en) | Lamination of ceramic green sheet | |
| JPH079425A (en) | Ceramic green sheet lamnating method and apparatus | |
| JPS61219125A (en) | Method and apparatus for manufacturing laminate ceramic electronic component | |
| JPS6331104A (en) | Manufacture of laminated ceramic capacitor | |
| JP4006932B2 (en) | Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component | |
| JP3417376B2 (en) | Manufacturing method and manufacturing apparatus for multilayer ceramic electronic component | |
| JPH0581404B2 (en) | ||
| JP2751056B2 (en) | Method and apparatus for peeling ceramic green sheet carrier film | |
| JPH10321457A (en) | Method and apparatus for manufacturing ceramic laminated component | |
| JP2009246268A (en) | Apparatus and method for manufacturing laminate ceramic electronic component | |
| KR20240178192A (en) | Apparatus for manufacturing electronic component and method for manufacturing electronic component | |
| JPH0793231B2 (en) | Green sheet printing lamination method and its equipment |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020129 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080301 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090301 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100301 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100301 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110301 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120301 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130301 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |