JPH0624724U - 排ガス浄化装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 エアロゾル状の白煙霧化を形成する酸性ガス
を高能率に処理可能とした排ガス浄化装置を提供する。 【構成】 排ガスの吸込口１と吐出口２を有する渦巻き
筒体３内に遠心回転羽根車４を具備したものにおいて、
吸込口前段に洗浄液ノズル５を配設するとともに、排ガ
スと洗浄液ノズルより噴霧された液を強制的に通過接触
させる多数の小孔６を全面に有する多孔円板７を配設し
たことを特徴とする排ガス浄化装置にある。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は微細なミストやヒュームを有害成分として含有する排ガスを浄化す る排ガス浄化装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

最近の金属や半導体の表面処理工程では、塩酸、硫酸、硝酸などの酸洗浄液を 使用して高温浴下で表面処理することが多く、この排ガス系統では反応生成ガス の他に前記酸性ガスの蒸気が絶えず排ガス中に同伴して排出されているのが現状 である。

【０００３】 これらの排ガスは、従来より、比較的簡易な充填塔や多孔塔などの湿式洗浄塔 で大部分は処理されている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところが上記する湿式洗浄塔による処理では、処理塔内の湿分と酸性ガスとが 会合して生成するエアロゾル状の微細なミストは排出側のミストセパレータでも 捕集することができず、煙突で白煙霧化して視界を妨げたり、周辺地域にたれこ めたりして公害上から問題がある。

【０００５】 この白煙霧化したエアロゾルを除去するためには、湿式洗浄装置の後段に高性 能のフィルターや電気集塵機などの高性能な除塵機能を持つ装置を付加的に設置 するほか解決手段はなく、これらは新たに大きな設置スペースを必要とし、処理 設備のイニシャルコストおよびランニングコストなどの経費が高くつき、既設の 排気設備の改良は勿論のこと、新規排気設備の公害防止上の対策としては容易に 実施し得ないものである。

【０００６】 また、微細な粉塵を含有するガスを処理する湿式集塵機としては送風機の回転 翼に直接、液をスプレーするものも従来からあるが、前記の白煙霧化する排ガス に対しての浄化効果は不充分であり、浄化効果が充分な程度にまで排ガス処理を しようとすれば他の湿式洗浄法ないしは電気集塵機の付加が必要であった。

【０００７】 この考案は上述の点に鑑み考案されたものであって、除去困難なエアロゾル状 の白煙霧化を形成する酸性ガスを含有する排ガスの処理手段について鋭意研究し た結果、従来の湿式洗浄法のみでは不可能とされていた前記排ガスを高能率に処 理可能とした排ガス浄化装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

上記の目的を達成するためのこの考案の要旨とするところは、排ガスの吸込口 と吐出口を有する渦巻き筒体内に遠心回転羽根車を具備したものにおいて、吸込 口前段に洗浄液ノズルを配設するとともに、排ガスと洗浄液ノズルより噴霧され た液を強制的に通過接触させる多数の小孔を全面に有する多孔円板を配設したこ とを特徴とする排ガス浄化装置にある。

【０００９】

【作用】

排ガスを吸込口の前段で洗浄液ノズルより噴霧された液と接触させ、この気液 混流物を多孔円板に全面散布させて強制的に通過させ、吸込口から渦巻き筒体内 に装備された遠心回転羽根車に吸引させて混合撹拌し、排ガス中の有害成分を吸 収および凝集分離除去し、吐出口より清浄ガスを排出させる。

【００１０】

【実施例】

以下、この考案の実施例を図面に基づいて説明する。

【００１１】 図１はこの考案の排ガス浄化装置の構成図である。

【００１２】 この考案の排ガス浄化装置は、排ガス吸込口１、排ガス吐出口２を有する渦巻 き筒体３、および前記渦巻き筒体３内に回転可能に配設された遠心回転羽根車４ 、前記排ガス吸込口１の前段に配設された洗浄液ノズル５、全面に多数の小孔６ を有する多孔円板７よりなる。

【００１３】 洗浄液ノズル５は多孔円板７に対向して該円板７の全面に液が噴霧されるよう に少なくとも１つ以上設けられる。この洗浄液ノズル５からの洗浄液の噴霧方法 としては、微細な洗浄液を作りだす手段であればどのような手段でも差支えなく 、洗浄液のみを噴霧する一流体ノズル、圧縮空気と洗浄液を混合して出す二流体 ノズル、超音波微粒子ノズルなどを用いることができる。

【００１４】 多孔円板７は吸込口１内に設けられるが、ガスの通過風速が最も速くなる最小 絞り部分に設けることが気液接触効果を高めるうえから望ましい。小孔６の形状 は丸孔、楕円孔、矩形孔、長矩形孔などを用いることができるが、目詰まり防止 、低圧力損失の面からすると丸孔のものが好ましく、流路抵抗を少なくするため 、テーパあるいはベルマウス状の孔を用いることもできる。そして、小孔６の配 置は円板７全面に気液が均等に分散するように均等な間隔に配置されることが望 ましい。

【００１５】 例えば、小孔を通過するガス流速は３０m ／sec 以上が好ましい。小孔６の最 小寸法は０．１〜３０mm、開口比５〜５０％のものが使用可能であるが、静圧損 失や気液接触効果を考慮した場合、０．５〜２０mm、開口比１０〜４０％のもの が好ましい。

【００１６】 また、多孔円板２の構成材としてはプラスチック、金属、セラミック、ガラス 等の耐蝕材料が利用できる。また、板材を加工したものの他にプラスチック、金 属、セラミック、ガラス等の小粒径物質を焼結積層した多孔質材料や連続気泡の 空隙を有する多孔質材料を用いることができる。流路抵抗が少なく、気液接触材 料としては、プラスチックを真球状のパール重合粒体を積層したものを用いれば 好適である。さらに、他の板材としては前記プラスチック、金属、セラミック、 ガラス等の繊維を網状に平面状に構成したものや多層に重ねたり、立体的に編み 、比較的均等な空隙をもつ材料を用いることができる。

【００１７】 遠心回転羽根車４は具体的には図示しないが、主板、副板および羽根から構成 され、羽根車中心からガスを吸い込み、遠心方向に吐き出す周知構成のもので、 翼形状としては放射状に伸びる径向き羽根、後向き羽根、前向き羽根等を用いる ことができるが、特にガス中に付着性の粉体や不純物が同伴する場合には羽根付 着時のアンバランスを防止するために径向き羽根が望ましい。

【００１８】 渦巻き筒体３は水平あるいは垂直いずれの方向でもかまわないが、気液の分離 を容易にするために、渦巻き筒体３を垂直配置にして液流が停滞しないように吐 出口２を横向きまたは下向きにするのが望ましい。

【００１９】 上記構成において、酸性ガスを含有する排ガスは、渦巻き筒体３の吸込口１前 段において洗浄液ノズル５より噴霧された液と並流して気液接触を行いながら多 孔円板７に対して全面散布され、該円板７の小孔６を強制的に通過することによ り混合して微細な液滴に再分散されてガス吸収と白煙の凝集が行われ、引き続い てこの気液混流物は吸込口１から渦巻き筒体３に吸い込まれる。渦巻き筒体３内 では遠心回転羽根車４が高速で回転しているので、前記の気液の混流物はきわめ て激しい遠心回転力を与えられながら円周方向に流れて混合撹拌が行われるため 、有害ガス成分の吸収および白煙霧体の凝集成長が行われ、前記有害成分を収集 した液成分は渦巻き室内でガス成分との質量差により分離されて吐出口２からは 清浄なガス成分だけが排出され、液成分は液流となり排出される

【００２０】

【考案の効果】

上記構成からなるこの考案によれば、次のような効果を奏する。

【００２１】 （１） 従来の湿式洗浄装置では完全に除去不可能であった白煙霧化する酸性 成分を含む排ガスを高い除去効率で除き、煙突で白煙を目立たなくすることがで きるので、高価な電気集塵機付加する必要がなく公害防止対策費も少なくて済み きわめて経済効果も大きい。

【００２２】 また、遠心回転羽根車直前の多孔円板はマルチベンチュリーに似た気液の激し い混流による気液の均等な分散を行う効果を有しているで、装置の大小に関わら ず、安定した性能を確保することできる。また、遠心回転羽根車は液によって常 時、洗浄されているので、ガス中に粘着性の粉塵があってもこれを洗い流し、粉 体付着によるアンバランスも防止でき、保守管理も容易である。

【００２３】 さらに、この考案の装置は単独で用いる以外に入口濃度が異常に高い場合には 前処理用として湿式洗浄塔を設けることができ、後続には筒体内で分離しきれな い液滴をとるエリミネータを設置することにより、より排ガス浄化効果を高める ことができる。

【００２４】 （２） 従来の充填塔その他の湿式洗浄装置に比較して排ガス中の有害ガス成 分を高能率に除去できるだけではなく、同伴するサブミクロンサイズのエアロゾ ル状の白煙霧体も有効に除去できる。また、硝酸、塩酸、硫酸などの蒸気発生ガ スの他、微粒子のエアロゾルを生じ、通常、除去困難とされている過塩素酸の煮 沸時の発生ガスに対しても有効に働き、各種エアロゾルに対しても清浄化効果を 期待できる。さらに、排ガスに同伴する粉塵に対しても除去効果は高く、従来の 湿式洗浄機ではほとんど素通りしていたサブミクロンサイズのシリカ、塩化アン モニウム、硝酸アンモニウムなどの固体エアロゾルに対しても除去効果を有して いる。

【００２５】 （３） 半導体製造、金属酸洗、メッキなどの工程のように各種有害ガスのほ かに液体エアロゾルや固定エアロゾルが同伴するケースが多い場合の排気洗浄装 置として従来の湿式洗浄機に比べ、浄化機能面で優れており、高性能の電気集塵 機の付加が不用であるので、経済的メリットも大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この考案の排ガス浄化装置の構成図である。

【符号の説明】

１…排ガス吸込口 ２…排ガス吐出口 ３…渦巻き筒体 ４…回転羽根車 ５…洗浄液ノズル ６…小孔 ７…多孔円板

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 排ガスの吸込口と吐出口を有する渦巻き
   筒体内に遠心回転羽根車を具備したものにおいて、吸込
   口前段に洗浄液ノズルを配設するとともに、排ガスと洗
   浄液ノズルより噴霧された液を強制的に通過接触させる
   多数の小孔を全面に有する多孔円板を配設したことを特
   徴とする排ガス浄化装置。