JPH0624733Y2 - 位相弁別式静電容量検出器 - Google Patents
位相弁別式静電容量検出器Info
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- JPH0624733Y2 JPH0624733Y2 JP16109588U JP16109588U JPH0624733Y2 JP H0624733 Y2 JPH0624733 Y2 JP H0624733Y2 JP 16109588 U JP16109588 U JP 16109588U JP 16109588 U JP16109588 U JP 16109588U JP H0624733 Y2 JPH0624733 Y2 JP H0624733Y2
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- lead
- electrode plate
- transmitting
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Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、位相弁別式静電容量検出器に関する。
詳しくは、送信電極と受信電極とを有する一方電極板と
結合電極を有する他方電極板とを対面かつ相対移動可能
に配設し、各送信電極要素に互いに位相の異なる電源を
印加し、受信電極に誘起された電気信号の位相弁別によ
り静電容量結合の変化を検出するものである。
結合電極を有する他方電極板とを対面かつ相対移動可能
に配設し、各送信電極要素に互いに位相の異なる電源を
印加し、受信電極に誘起された電気信号の位相弁別によ
り静電容量結合の変化を検出するものである。
変位検出器、測定器等に利用される。
［従来の技術］ 第１０図〜第１３図に従来位相弁別式静電容量検出器の
一般的構成を示す。
一般的構成を示す。
第１３図において、一方電極板１０と他方電極板２０と
電源３０と検出回路４０とから位相弁別式静電容量検出
器が構成されている。
電源３０と検出回路４０とから位相弁別式静電容量検出
器が構成されている。
一方電極板１０には、第１１図に示す如く複数の送信電
極要素ユニット（送信電極要素１１ａ〜１１ｈ）からな
る送信電極１１と受信電極１７とが設けられ、位相同一
の各送信電極要素（例えば、１１ａ，１１ａ，…）は、
各引出リード１２を介して各連結リード１３に接続され
かつフレキシブル配線１６を通して電源３０に接続され
ている。
極要素ユニット（送信電極要素１１ａ〜１１ｈ）からな
る送信電極１１と受信電極１７とが設けられ、位相同一
の各送信電極要素（例えば、１１ａ，１１ａ，…）は、
各引出リード１２を介して各連結リード１３に接続され
かつフレキシブル配線１６を通して電源３０に接続され
ている。
また、受信電極１７は検出リード１８を介して検出回路
４０に接続される。
４０に接続される。
一方、他方電極板２０には、第１２図に示す如く、複数
の結合電極２１と短絡パターン２３で短絡結合された複
数のアース電極２２とが交互に整列配設されており、各
結合電極２１の大きさは、４つの送信電極要素（例えば
１１ａ〜１１ｄ）に及ぶ長さと、送信電極１１と受信電
極１７とに渡る幅をもつ。
の結合電極２１と短絡パターン２３で短絡結合された複
数のアース電極２２とが交互に整列配設されており、各
結合電極２１の大きさは、４つの送信電極要素（例えば
１１ａ〜１１ｄ）に及ぶ長さと、送信電極１１と受信電
極１７とに渡る幅をもつ。
両電極板１０，２０は、第１０図に見られるように対面
配設されかつ長手方向に相対移動可能である。
配設されかつ長手方向に相対移動可能である。
ここに、図中ＡＲは、静電容量結合エリアであり、各リ
ード１２，１３はこの静電容量結合エリアＡＲ外に設け
られ、フレキシブル配線１６に接続されている。
ード１２，１３はこの静電容量結合エリアＡＲ外に設け
られ、フレキシブル配線１６に接続されている。
第１３図に示す如く、電源３０は発振器３１と複数
（８）の相互に位相の異なる信号を生成する信号発生器
３２とから構成され、また、検出回路４０は、受信電極
１７に接続された積分器４１，コンパレータ４２，エッ
ジ検出器４３，位相弁別を行なう位相差検出器４４，カ
ウンタ４５および表示器４７とから構成されている したがって、一方電極板１０、電源３０、検出回路４０
を例えばダイヤルゲージ型測定器の本体に取付け、この
本体に摺動自在に装着されたスピンドルに他方電極板２
０を取付ければ、スピンドルの変位量を表示器４７で読
取ることができる。
（８）の相互に位相の異なる信号を生成する信号発生器
３２とから構成され、また、検出回路４０は、受信電極
１７に接続された積分器４１，コンパレータ４２，エッ
ジ検出器４３，位相弁別を行なう位相差検出器４４，カ
ウンタ４５および表示器４７とから構成されている したがって、一方電極板１０、電源３０、検出回路４０
を例えばダイヤルゲージ型測定器の本体に取付け、この
本体に摺動自在に装着されたスピンドルに他方電極板２
０を取付ければ、スピンドルの変位量を表示器４７で読
取ることができる。
かかる位相弁別式静電容量検出器は、例えば光電方式等
他の検出器に比較して電力消費が少なく、外乱に強く、
高分解能等の長所を有するが、さらに特性安定かつ高精
度とするには、両電極板１０，２０の相対位置関係を正
確とすればよい。
他の検出器に比較して電力消費が少なく、外乱に強く、
高分解能等の長所を有するが、さらに特性安定かつ高精
度とするには、両電極板１０，２０の相対位置関係を正
確とすればよい。
このため、送信電極１１，受信電極１７と結合電極２１
との静電容量結合状態の確実安定性を高めたり、あるい
は一層積極的にそれらの平行度を向上させるために、第
６図に示す如く、受信電極１７を送信電極１１を挟む一
対の受信電極要素１７Ａ，１７Ｂから構成し各受信電極
要素に構成された一対の積分器５１Ａ，５１Ｂとコンパ
レータ５２とメータ５３とからなる平行度検出手段５０
を設けたシステムを本出願人は先に提案している。
との静電容量結合状態の確実安定性を高めたり、あるい
は一層積極的にそれらの平行度を向上させるために、第
６図に示す如く、受信電極１７を送信電極１１を挟む一
対の受信電極要素１７Ａ，１７Ｂから構成し各受信電極
要素に構成された一対の積分器５１Ａ，５１Ｂとコンパ
レータ５２とメータ５３とからなる平行度検出手段５０
を設けたシステムを本出願人は先に提案している。
因に第６図における４６は加算器である。
［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、送信電極１１を挟む一対の受信電極要素
１７Ａ，１７Ｂを有する検出器では、大型化や加工技術
や加工経済が不利となる問題があった。
１７Ａ，１７Ｂを有する検出器では、大型化や加工技術
や加工経済が不利となる問題があった。
すなわち、各引出リード１２、連結リード１３を、第１
１図に示す如く送信電極１１の側方でかつ静電容量結合
エリアＡＲ外にパターン形成することが不能となる。そ
のために、第７図の如く一担送信電極１１，受信電極１
７（１７Ａ，１７Ｂ）よりも長手遠方に引廻さなければ
ならない。したがって、一方電極板１０が長大となりコ
スト高となるばかりか、例えば携帯型測定器には組込み
できないというような利用面の制限を生じる。
１図に示す如く送信電極１１の側方でかつ静電容量結合
エリアＡＲ外にパターン形成することが不能となる。そ
のために、第７図の如く一担送信電極１１，受信電極１
７（１７Ａ，１７Ｂ）よりも長手遠方に引廻さなければ
ならない。したがって、一方電極板１０が長大となりコ
スト高となるばかりか、例えば携帯型測定器には組込み
できないというような利用面の制限を生じる。
これに対して、静電容量結合エリアＡＲ内とするため
に、本出願人は先に、一方電極板１０を形成する基材１
９の一側端１９ａに段差１９ｂを設け、この凹部を利用
してフレキシブル配線１６を接続する構造を提供した。
しかし、この場合には、ガラス板から形成された基材１
９そのものに段差加工を施さなければならないので、加
工技術・経済の負担が大きく、安定性にも欠ける。ま
た、フレキシブル配線１６の寸法誤差や接着不良がある
と送信電極１１，受信電極１７と結合電極２１との間隙
にフレキシブル配線１６が突出し、これらの円滑相対移
動を妨げたり信号不安定を引起こすなど信頼性を低下さ
せるという問題がある。
に、本出願人は先に、一方電極板１０を形成する基材１
９の一側端１９ａに段差１９ｂを設け、この凹部を利用
してフレキシブル配線１６を接続する構造を提供した。
しかし、この場合には、ガラス板から形成された基材１
９そのものに段差加工を施さなければならないので、加
工技術・経済の負担が大きく、安定性にも欠ける。ま
た、フレキシブル配線１６の寸法誤差や接着不良がある
と送信電極１１，受信電極１７と結合電極２１との間隙
にフレキシブル配線１６が突出し、これらの円滑相対移
動を妨げたり信号不安定を引起こすなど信頼性を低下さ
せるという問題がある。
ここに本考案の目的は、高精度，特性・運用の安定化お
よびコスト低減を図りつつ小型化を達成できる位相弁別
式静電容量検出器を提供することにある。
よびコスト低減を図りつつ小型化を達成できる位相弁別
式静電容量検出器を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 本考案は、送信電極およびこの送信電極を挟む一対の受
信電極要素からなる受信電極を有する一方電極板とこれ
に対面かつ相対移動可能な結合電極を有する他方電極と
送信電極に接続された電源と受信電極に接続された検出
回路とを含み形成された位相弁別式静電容量検出器にお
いて、 前記送信電極を形成する複数送信電極要素ユニットの位
相同一の各送信電極要素を結ぶ連結リードを前記両受信
電極要素間を通して前記一方電極板の一側端に引出し、 各連結リードの先端に設けられた各連結リードと前記電
源とを接続するための各端子リードを前記一方電極板の
起立面または裏面に密接された導電皮膜から構成したこ
とを特徴とする。
信電極要素からなる受信電極を有する一方電極板とこれ
に対面かつ相対移動可能な結合電極を有する他方電極と
送信電極に接続された電源と受信電極に接続された検出
回路とを含み形成された位相弁別式静電容量検出器にお
いて、 前記送信電極を形成する複数送信電極要素ユニットの位
相同一の各送信電極要素を結ぶ連結リードを前記両受信
電極要素間を通して前記一方電極板の一側端に引出し、 各連結リードの先端に設けられた各連結リードと前記電
源とを接続するための各端子リードを前記一方電極板の
起立面または裏面に密接された導電皮膜から構成したこ
とを特徴とする。
［作用］ 上記構成の本考案では、各連結リードは両受信電極要素
間を通し一方電極板の一側端に引出されるのであるから
一方電極板の幅寸法を大きくする必要がなく、かつ各連
結リードと電源とを結ぶ各端子リードは一方電極板の起
立面または裏面に密接された導電皮膜から形成されてい
るので長さ寸法も大きくならず小型化でき、フレキシブ
ル配線が電極間に突出したり、接続不良を引起すことも
ないから所定の静電容量結合と両電極板の円滑相対移動
を保持しつつ高精度で安定した検出をすることができ
る。
間を通し一方電極板の一側端に引出されるのであるから
一方電極板の幅寸法を大きくする必要がなく、かつ各連
結リードと電源とを結ぶ各端子リードは一方電極板の起
立面または裏面に密接された導電皮膜から形成されてい
るので長さ寸法も大きくならず小型化でき、フレキシブ
ル配線が電極間に突出したり、接続不良を引起すことも
ないから所定の静電容量結合と両電極板の円滑相対移動
を保持しつつ高精度で安定した検出をすることができ
る。
［実施例］ 以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。
本実施例の位相弁別式静電容量検出器は、本出願人が先
に提案した第６図に示す構造と同様に、一方電極板１０
と他方電極板２０と電源３０と検出回路４０と平行度検
出手段５０とから構成されている。
に提案した第６図に示す構造と同様に、一方電極板１０
と他方電極板２０と電源３０と検出回路４０と平行度検
出手段５０とから構成されている。
但し、電源３０、検出回路４０は、前出第１３図に示す
従来公知のものとかわりはないのでその説明は省略する
ものとする。
従来公知のものとかわりはないのでその説明は省略する
ものとする。
さて、一方電極板１０は、ガラス板からなる基材１９
と、複数（８）の送信電極要素１１ａ〜１１ｈからなる
送信電極要素ユニットを整列配設した送信電極１１と、
この送信電極１１を幅方向に挟む一対の受信電極要素１
７Ａ，１７Ｂからなる受信電極１７とから形成されてい
る。これに対して、他方電極板２０は、ガラス板からな
る基材２９と、４つの送信電極要素（１１ａ〜１１ｄ、
１１ｅ〜１１ｈ）に渡る長さ寸法で両受信電極要素１７
Ａ，１７Ｂに渡る幅寸法の結合電極２１と、この結合電
極２１と同形の交互に配設されたアース電極２２とから
なり、各アース電極２２は短絡パターン２３で短絡され
ている。
と、複数（８）の送信電極要素１１ａ〜１１ｈからなる
送信電極要素ユニットを整列配設した送信電極１１と、
この送信電極１１を幅方向に挟む一対の受信電極要素１
７Ａ，１７Ｂからなる受信電極１７とから形成されてい
る。これに対して、他方電極板２０は、ガラス板からな
る基材２９と、４つの送信電極要素（１１ａ〜１１ｄ、
１１ｅ〜１１ｈ）に渡る長さ寸法で両受信電極要素１７
Ａ，１７Ｂに渡る幅寸法の結合電極２１と、この結合電
極２１と同形の交互に配設されたアース電極２２とから
なり、各アース電極２２は短絡パターン２３で短絡され
ている。
ここに、本考案の技術的特長事項は、第１図、第２図に
示す如く、各連結リード１３を受信電極要素１７Ａ，１
７Ｂ間を通して一方電極板１０の一側端１９ａに引出
し、かつ各端子リード１４を一方電極板１１の基材１９
の起立面９Ｖまたは裏面９Ｂに密接させた導電皮膜から
構成したことである。
示す如く、各連結リード１３を受信電極要素１７Ａ，１
７Ｂ間を通して一方電極板１０の一側端１９ａに引出
し、かつ各端子リード１４を一方電極板１１の基材１９
の起立面９Ｖまたは裏面９Ｂに密接させた導電皮膜から
構成したことである。
すなわち、各送信電極要素ユニットの位相を同じくする
各送信電極要素、例えば１１ａと１１ａ、は各引出リー
ド１２を介して同一の連結リード１３に接続され、各連
結リード１３は両受信電極要素１７Ａ，１７Ｂ間を通し
て、第２図で下方に引出される。
各送信電極要素、例えば１１ａと１１ａ、は各引出リー
ド１２を介して同一の連結リード１３に接続され、各連
結リード１３は両受信電極要素１７Ａ，１７Ｂ間を通し
て、第２図で下方に引出される。
具体的には第４図に示す如く、各引出リード１２は基材
１９の表面に形成されるとともに、二酸化ケイ素（Ｓｉ
ｏ２）膜からなる第１絶縁層１で被覆されている。各連
結リード１３はこの第１絶縁層１上に形成され、対応引
出リード１２とは第１絶縁層１のスルーホール３を通し
て接続されている。また、全体として二酸化ケイ素（Ｓ
ｉｏ２）膜からなる第２絶縁層２で被覆されている。も
とより、各送信電極要素と各受信電極要素とは引出リー
ド１２と同じく基板１９上に形成されている。
１９の表面に形成されるとともに、二酸化ケイ素（Ｓｉ
ｏ２）膜からなる第１絶縁層１で被覆されている。各連
結リード１３はこの第１絶縁層１上に形成され、対応引
出リード１２とは第１絶縁層１のスルーホール３を通し
て接続されている。また、全体として二酸化ケイ素（Ｓ
ｉｏ２）膜からなる第２絶縁層２で被覆されている。も
とより、各送信電極要素と各受信電極要素とは引出リー
ド１２と同じく基板１９上に形成されている。
そして、各連結リード１３の先端に設けられる端子つま
り各連結リード１３とフレキシブル配線１６とを接続す
る各端子リード１４は、第４図に示す如く、基材１９の
表面、起立面９Ｖ、裏面９Ｂに亘る一体のものとして密
接形成されている。この実施例ではメタルマスクを用い
たスパッタリング方法によって形成されている。
り各連結リード１３とフレキシブル配線１６とを接続す
る各端子リード１４は、第４図に示す如く、基材１９の
表面、起立面９Ｖ、裏面９Ｂに亘る一体のものとして密
接形成されている。この実施例ではメタルマスクを用い
たスパッタリング方法によって形成されている。
ここに、各連結リード１３と電源３０（位相発生器３
２）とは、これら各端子リード１４に一方電極板１０の
裏面９Ｂ側において接続されたフレキシブル配線１６を
介して接続される。
２）とは、これら各端子リード１４に一方電極板１０の
裏面９Ｂ側において接続されたフレキシブル配線１６を
介して接続される。
平行度検出手段５０は、他方電極板２０を、例えばダイ
ヤルゲージ型測定器のスピンドルに固定した場合のよう
に具体的機構に組込んだ際の両電極板１０，２０の平行
度調整や運転中の変化等を検出する手段であって、各積
分器５１Ａ，５１Ｂにチャージされた信号レベルをコン
パレータ５２で比較しつつ、その差分の大きさと方向と
から両電極板１０と２０との相対傾きをメータ５３で目
視可能に形成されている。各積分器５１Ａ，５１Ｂに
は、出力リード１８，１８を介して対応する受信電極要
素１７Ａ，１７Ｂに誘起された信号が入力される。
ヤルゲージ型測定器のスピンドルに固定した場合のよう
に具体的機構に組込んだ際の両電極板１０，２０の平行
度調整や運転中の変化等を検出する手段であって、各積
分器５１Ａ，５１Ｂにチャージされた信号レベルをコン
パレータ５２で比較しつつ、その差分の大きさと方向と
から両電極板１０と２０との相対傾きをメータ５３で目
視可能に形成されている。各積分器５１Ａ，５１Ｂに
は、出力リード１８，１８を介して対応する受信電極要
素１７Ａ，１７Ｂに誘起された信号が入力される。
なお、本実施例で受信電極１７を一対の受信電極要素１
７Ａ，１７Ｂとから形成したのは、上記平行度検出手段
５０を設けるための他、両電極板１０，２０に多少の傾
きが生じたとしても、所定の静電容量結合状態を一定に
保持するためである。このため検出回路４０には、第６
図に示す如く加算器４９を設けているのである。
７Ａ，１７Ｂとから形成したのは、上記平行度検出手段
５０を設けるための他、両電極板１０，２０に多少の傾
きが生じたとしても、所定の静電容量結合状態を一定に
保持するためである。このため検出回路４０には、第６
図に示す如く加算器４９を設けているのである。
かかる構成の位相弁別式静電容量検出器では、一方電極
板１０を、例えばダイヤルゲージ型測定器の静止体とし
ての本体に電源３０、検出回路４０とともに取付け、か
つ他方電極板２０を可動体としてのスピンドルに取付け
る際に、平行度検出手段５０によって容易かつ正確に平
行度を確立できる。しかも、各送信電極要素（１１ａ，
１１ｂ，…）と電源３０との接続は、一方電極板１０の
裏面９Ｂに密接された端子リード１４にフレキシブル配
線１６を結合させればよいので、迅速かつ容易となる。
板１０を、例えばダイヤルゲージ型測定器の静止体とし
ての本体に電源３０、検出回路４０とともに取付け、か
つ他方電極板２０を可動体としてのスピンドルに取付け
る際に、平行度検出手段５０によって容易かつ正確に平
行度を確立できる。しかも、各送信電極要素（１１ａ，
１１ｂ，…）と電源３０との接続は、一方電極板１０の
裏面９Ｂに密接された端子リード１４にフレキシブル配
線１６を結合させればよいので、迅速かつ容易となる。
ここに、電源３０をＯＮして、フレキシブル配線１６、
各端子リード１４、各連結リード１３、各引出リード１
２を介し位相同一の各送信電極要素にそれぞれ印加すれ
ば、本体に対するスピンドルの移動変位量を検出しつつ
検出回路４０を形成する表示器４７にデジタル表示する
ことができる。
各端子リード１４、各連結リード１３、各引出リード１
２を介し位相同一の各送信電極要素にそれぞれ印加すれ
ば、本体に対するスピンドルの移動変位量を検出しつつ
検出回路４０を形成する表示器４７にデジタル表示する
ことができる。
しかして、この実施例によれば、位相同一の各送信電極
要素を結ぶ各連結リード１３を一対の受信電極要素１７
Ａ，１７Ｂ間を通して一方電極板１０の一側端１９ａに
引出すとともに各端子リード１４を基材１９の起立面９
Ｖおよび裏面９Ｂに密接させた導電皮膜から構成したの
で、第７図に示したように各連結リード３を容量結合エ
リアＡＲ外に引廻してフレキシブル配線１６と接続する
従来方式に比べて一方電極板１０を大型化しなくともよ
く、また、第８図に示す如く一方電極板１０の基材１９
に静電容量結合エリアＡＲ内で段差１９ｂを設ける必要
がないから加工コストも増大することなく、安定した高
精度検出ができる経済的で小型の位相弁別式静電容量検
出器を確立することができる。
要素を結ぶ各連結リード１３を一対の受信電極要素１７
Ａ，１７Ｂ間を通して一方電極板１０の一側端１９ａに
引出すとともに各端子リード１４を基材１９の起立面９
Ｖおよび裏面９Ｂに密接させた導電皮膜から構成したの
で、第７図に示したように各連結リード３を容量結合エ
リアＡＲ外に引廻してフレキシブル配線１６と接続する
従来方式に比べて一方電極板１０を大型化しなくともよ
く、また、第８図に示す如く一方電極板１０の基材１９
に静電容量結合エリアＡＲ内で段差１９ｂを設ける必要
がないから加工コストも増大することなく、安定した高
精度検出ができる経済的で小型の位相弁別式静電容量検
出器を確立することができる。
また、各端子リード１４は、スパッタリング方式による
超薄で密着性のよい導電皮膜から形成されているので、
送信電極１１と電源３０との確実接続が保障されかつ端
子リード１４、フレキシブル配線１６が両電極板１０，
２０間の隙間に突出することがなく、信頼性を一段と高
めることができる。
超薄で密着性のよい導電皮膜から形成されているので、
送信電極１１と電源３０との確実接続が保障されかつ端
子リード１４、フレキシブル配線１６が両電極板１０，
２０間の隙間に突出することがなく、信頼性を一段と高
めることができる。
また、フレキシブル配線１６は、一方電極板１０の裏面
９Ｂ側で端子リード１４に接続される構成ゆえ、接続作
業が容易かつ迅速に行なえ、かつその信頼性を高めるこ
とができる。また、フレキシブル配線１６の寸法、特に
厚さが問題とならないので、電気容量的、機械強度的選
択基準が大幅に拡大され性能的にもコスト的にも非常に
有利となる。
９Ｂ側で端子リード１４に接続される構成ゆえ、接続作
業が容易かつ迅速に行なえ、かつその信頼性を高めるこ
とができる。また、フレキシブル配線１６の寸法、特に
厚さが問題とならないので、電気容量的、機械強度的選
択基準が大幅に拡大され性能的にもコスト的にも非常に
有利となる。
さらに、平行度検出手段５０が設けられているので、両
電極板１０，２０の組立・調整が容易となるばかりか、
受信電極１７を送信電極１１を挟む一対の受信電極要素
１７Ａ，１７Ｂから形成したことと相俟って両電極板１
０，２０の相対位置を所定保持し、十分な静電容量結合
を安定して維持することができる。
電極板１０，２０の組立・調整が容易となるばかりか、
受信電極１７を送信電極１１を挟む一対の受信電極要素
１７Ａ，１７Ｂから形成したことと相俟って両電極板１
０，２０の相対位置を所定保持し、十分な静電容量結合
を安定して維持することができる。
なお、以上の実施例では、端子リード１４は一方電極板
１０の起立面９Ｖから裏面９Ｂに連なるものと構成した
が、起立面９Ｖで打切った形態としてもよい。
１０の起立面９Ｖから裏面９Ｂに連なるものと構成した
が、起立面９Ｖで打切った形態としてもよい。
また、端子リード１４は連結リード１３の先端に設けら
れるものとされたが、連結リード１３の幅を一定して作
成する場合にはその先端が端子リード（１４）と解すべ
きこと明白である。但し、上記実施例の如く連結リード
１３よりも幅広の部分をもって端子リード１４と形成す
れば、フレキシブル配線１６との接続作業が容易で接触
抵抗を一段と小さくできる効果がある。とともに、素材
１９の起立面９Ｖおよび裏面９Ｂに亘る各端子リード１
４をスパッタリングにより直接形成できる。
れるものとされたが、連結リード１３の幅を一定して作
成する場合にはその先端が端子リード（１４）と解すべ
きこと明白である。但し、上記実施例の如く連結リード
１３よりも幅広の部分をもって端子リード１４と形成す
れば、フレキシブル配線１６との接続作業が容易で接触
抵抗を一段と小さくできる効果がある。とともに、素材
１９の起立面９Ｖおよび裏面９Ｂに亘る各端子リード１
４をスパッタリングにより直接形成できる。
また、出力リード１８Ａ，１８Ｂを一方電極板１０の幅
方向に一側端に引出したが、連結リード１３と同様に、
一方電極板１０の長手方向に引出し、基材１９の起立面
９Ｖおよび裏面９Ｂに形成することによって、より一方
電極板１０の幅方向寸法を小さくしてもよい。
方向に一側端に引出したが、連結リード１３と同様に、
一方電極板１０の長手方向に引出し、基材１９の起立面
９Ｖおよび裏面９Ｂに形成することによって、より一方
電極板１０の幅方向寸法を小さくしてもよい。
さらに、連結リード１３は、送信電極１１を中心として
左右に４本づつ振分け配設されたが、そのルートは任意
に選択できる。例えば、第５図に示す如く送信電極１１
の左側に集中して設けてもよい。要は、両受信電極要素
１７Ａ，１７Ｂ間において基材１９の一側端１９ａに引
出されればよいわけである。
左右に４本づつ振分け配設されたが、そのルートは任意
に選択できる。例えば、第５図に示す如く送信電極１１
の左側に集中して設けてもよい。要は、両受信電極要素
１７Ａ，１７Ｂ間において基材１９の一側端１９ａに引
出されればよいわけである。
［考案の効果］ 本考案は、各連結リードを両受信電極要素間を通して一
方電極板の一側端に引出すとともにその起立面または裏
面に密接された導電皮膜からなる端子リードを介してフ
レキシブル配線・電源に接続できる構成であるから、コ
スト低減，組立容易化，特性安定・高精度検出を保障し
つつ小型で信頼性ある位相弁別式静電容量検出器を提供
することができる。
方電極板の一側端に引出すとともにその起立面または裏
面に密接された導電皮膜からなる端子リードを介してフ
レキシブル配線・電源に接続できる構成であるから、コ
スト低減，組立容易化，特性安定・高精度検出を保障し
つつ小型で信頼性ある位相弁別式静電容量検出器を提供
することができる。
第１図は本考案の実施例を示す要部の正面図、第２図は
同じく第１図の矢視線II−IIに基づく平面図、第３図は
同じく第１図の矢視線III−IIIに基づく平面図、第４図
は同じく第２図の矢視線IV−IVに基づく一部を省略した
側断面図、第５図は同じく連結リードの配設パターンを
変えた変形例を示す図、第６図は同じく全体構成を示す
ブロック図、第７図〜第１３図は従来の位相弁別式静電
容量検出器を示し、第７図は端子リードを静電容量結合
エリア外に設けた場合の一方電極板の平面図、第８図は
端子リードとフレキシブル配線とを接続するための段差
を設けた場合の一方電極の平面図、第９図は第８図の矢
視線IX−IXに基づく側面図、第１０図は一方電極板と他
方電極板との配設状態を示す図、第１１図は第１０図の
矢視線XI−XIに基づく一方電極板の平面図、第１２図は
第１０図の矢視線XII−XIIに基づく他方電極板の平面図
および第１３図は全体構成を示すブロック図である。 ９Ｖ……起立面、 ９Ｂ……裏面、 １０……一方電極板、 １１……送信電極、 １１ａ〜１１ｈ……送信電極要素（送信電極要素ユニッ
ト）、 １３……連結リード、 １４……端子リード、 １６……フレキシブル配線、 １７……受信電極、 １７Ａ，１７Ｂ……受信電極要素、 １９……基材、 １９ａ……一側端、 １９ｂ……段差、 ２０……他方電極板、 ２１……結合電極、 ３０……電源、 ４０……検出回路、 ５０……平行度検出手段。
同じく第１図の矢視線II−IIに基づく平面図、第３図は
同じく第１図の矢視線III−IIIに基づく平面図、第４図
は同じく第２図の矢視線IV−IVに基づく一部を省略した
側断面図、第５図は同じく連結リードの配設パターンを
変えた変形例を示す図、第６図は同じく全体構成を示す
ブロック図、第７図〜第１３図は従来の位相弁別式静電
容量検出器を示し、第７図は端子リードを静電容量結合
エリア外に設けた場合の一方電極板の平面図、第８図は
端子リードとフレキシブル配線とを接続するための段差
を設けた場合の一方電極の平面図、第９図は第８図の矢
視線IX−IXに基づく側面図、第１０図は一方電極板と他
方電極板との配設状態を示す図、第１１図は第１０図の
矢視線XI−XIに基づく一方電極板の平面図、第１２図は
第１０図の矢視線XII−XIIに基づく他方電極板の平面図
および第１３図は全体構成を示すブロック図である。 ９Ｖ……起立面、 ９Ｂ……裏面、 １０……一方電極板、 １１……送信電極、 １１ａ〜１１ｈ……送信電極要素（送信電極要素ユニッ
ト）、 １３……連結リード、 １４……端子リード、 １６……フレキシブル配線、 １７……受信電極、 １７Ａ，１７Ｂ……受信電極要素、 １９……基材、 １９ａ……一側端、 １９ｂ……段差、 ２０……他方電極板、 ２１……結合電極、 ３０……電源、 ４０……検出回路、 ５０……平行度検出手段。
Claims (1)
- 【請求項１】送信電極およびこの送信電極を挟む一対の
受信電極要素からなる受信電極を有する一方電極板とこ
れに対面かつ相対移動可能な結合電極を有する他方電極
と送信電極に接続された電源と受信電極に接続された検
出回路とを含み形成された位相弁別式静電容量検出器に
おいて、 前記送信電極を形成する複数送信電極要素ユニットの位
相同一の各送信電極要素を結ぶ連結リードを前記両受信
電極要素間を通して前記一方電極板の一側端に引出し、 各連結リードの先端に設けられた各連結リードと前記電
源とを接続するための各端子リードを前記一方電極板の
起立面または裏面に密接された導電皮膜から構成したこ
とを特徴とする位相弁別式静電容量検出器。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16109588U JPH0624733Y2 (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 | 位相弁別式静電容量検出器 |
| US07/446,419 US5049824A (en) | 1988-12-12 | 1989-12-05 | Phase discrimination type electrostatic capacity detector |
| GB8927550A GB2226639B (en) | 1988-12-12 | 1989-12-06 | Phase discrimination type electrostatic capacity detector |
| DE3941029A DE3941029C2 (de) | 1988-12-12 | 1989-12-12 | Elektrostatischer Kapazitätsdetektor des Phasendiskriminierungstyps |
| GB9224550A GB2260197B (en) | 1988-12-12 | 1992-11-23 | Phase discrimination type electrostatic capacity detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16109588U JPH0624733Y2 (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 | 位相弁別式静電容量検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0281415U JPH0281415U (ja) | 1990-06-22 |
| JPH0624733Y2 true JPH0624733Y2 (ja) | 1994-06-29 |
Family
ID=31443742
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16109588U Expired - Lifetime JPH0624733Y2 (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 | 位相弁別式静電容量検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0624733Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-12-12 JP JP16109588U patent/JPH0624733Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0281415U (ja) | 1990-06-22 |
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