JPH0624837Y2 - Pellicle storage container - Google Patents
Pellicle storage containerInfo
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- JPH0624837Y2 JPH0624837Y2 JP1988045727U JP4572788U JPH0624837Y2 JP H0624837 Y2 JPH0624837 Y2 JP H0624837Y2 JP 1988045727 U JP1988045727 U JP 1988045727U JP 4572788 U JP4572788 U JP 4572788U JP H0624837 Y2 JPH0624837 Y2 JP H0624837Y2
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Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、フォトマスクやレチクルの防塵に使用される
ペリクルの収納容器に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial field of use] The present invention relates to a container for a pellicle used for dustproofing a photomask or reticle.
［従来の技術］ ペリクルは光学的に透明な薄膜であって、半導体製造の
ための露光焼付によるリソグラフィー工程において、フ
ォトマスク或はレチクル上に微細な塵埃が付着するのを
防止し、半導体の製品歩留りを向上させることを目的と
して使用される。このペリクルは厚さ０．５〜１０μｍ
の極めて薄い高分子薄膜であって、金属又はプラスチッ
クの支持枠に周囲を支持させた状態で使用する。このペ
リクル自体は外部からの衝撃に弱いものであり、またペ
リクル自体に塵埃が付着し、リソグラフィー工程に持ち
込まれることも好ましくないので、適当な容器内に収納
した状態で、保存、輸送が行われている。[Prior Art] A pellicle is an optically transparent thin film, which prevents fine dust from adhering to a photomask or a reticle in a lithography process by exposure printing for semiconductor production, and is a semiconductor product. It is used for the purpose of improving the yield. This pellicle has a thickness of 0.5 to 10 μm.
Is an extremely thin polymer thin film, and is used in a state in which the periphery is supported by a metal or plastic support frame. This pellicle itself is vulnerable to external shocks, and it is also undesirable for dust to adhere to the pellicle itself and to bring it into the lithography process. ing.
第２図は従来より使用されているペリクルの収納容器を
示す断面図である。この収納容器は下面にペリクル３１
が張着された環状の支持枠３２が載置される基板３３
と、支持枠３２を基板３３方向に押圧する突起３４ａが
形成されて基板３３に嵌合又は圧着されるプラスチック
製のカバー体３４とから構成されている。そしてこの収
納容器は、これらが組み付けられた状態で全体を外袋３
５で覆うことによりペリクル収納時の保存状況を良好に
保つことが可能となっている。FIG. 2 is a sectional view showing a conventional pellicle storage container. This storage container has a pellicle 31 on the bottom.
Substrate 33 on which an annular support frame 32 to which is attached is placed
And a plastic cover body 34 which is formed with a protrusion 34a for pressing the support frame 32 toward the substrate 33 and is fitted or pressure-bonded to the substrate 33. And, this storage container is entirely assembled with the outer bag 3 in the assembled state.
By covering it with 5, it is possible to maintain a good storage condition when storing the pellicle.
［考案が解決しようとする課題］ しかし従来の収納容器ではペリクルが張着された支持枠
を収納容器から出し入れする場合、例えば支持枠を容器
に収納セットしたり、フォトマスクやレチクルあるいは
露光装置への装着のため支持枠を容器から取り出す場合
などにおいては、基板３３とカバー体３４との接触部分
（矢印Ａで示す部分）が相互に摩擦して、微細な塵埃が
発生、飛散する。そして、この塵埃が基板上のペリクル
に付着し、ペリクルを汚染する問題がある。本考案は上
記事情を考慮してなされ、容器の開封の際に摩擦による
塵埃の発生をなくすことができるペリクル収納容器を提
供することを目的とする。[Problems to be Solved by the Invention] However, in the conventional storage container, when the support frame to which the pellicle is attached is taken in and out of the storage container, for example, the support frame is stored and set in the container, or a photomask, a reticle, or an exposure device is set. When the support frame is taken out of the container for mounting, the contact portions (the portions indicated by the arrow A) between the substrate 33 and the cover body 34 rub against each other, and fine dust is generated and scattered. Then, there is a problem that the dust adheres to the pellicle on the substrate and contaminates the pellicle. The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a pellicle storage container capable of eliminating dust generation due to friction when the container is opened.
［課題を解決するための手段］ 本考案は、下面にペリクルが張着された支持枠の上面に
粘着剤を介して貼着される可撓性シートと、前記支持枠
の下面が当接する棚部を有して支持枠を収納すると共に
外周にフランジ部が形成されたケースと、このケースの
フランジ部上面および前記可撓性シートの上面に粘着材
を介して貼着されるカバーとを備えていることを特徴と
する。[Means for Solving the Problem] The present invention provides a shelf in which a flexible sheet attached to the upper surface of a support frame having a pellicle attached to the lower surface via an adhesive and a lower surface of the support frame contact each other. A case in which the support frame is housed and a flange portion is formed on the outer periphery, and a cover which is attached to the upper surface of the flange portion of the case and the upper surface of the flexible sheet via an adhesive material. It is characterized by
［作用］ 以上の通りに構成された本考案では、粘着剤の粘着力に
より支持枠の固定が行われ、嵌合あるいは圧着にする接
触部分がなく、容器の開封の際に摩擦による塵埃が発生
しないようになっている。[Operation] In the present invention configured as described above, the support frame is fixed by the adhesive force of the adhesive, there is no contact portion for fitting or crimping, and dust is generated due to friction when the container is opened. It is supposed not to.
［実施例］ 第１図は本考案の一実施例の断面図を示す。[Embodiment] FIG. 1 shows a sectional view of an embodiment of the present invention.
円環状の支持枠２の下面にはペリクル１が張着されてお
り、ペリクル張着面と反対側の上面には粘着剤３を介し
て平板状の可撓性シート４が貼着されている。粘着剤３
は着脱可能な程度の粘着力を有するものが使用されてお
り、可撓性シート４は粘着剤３によって支持枠２に対し
て着脱可能となっている。従って、ペリクル１を露光装
置に使用する場合には可撓性シート４は剥離されるが、
その他の場合、例えば容器から支持枠を取り出す時や支
持枠収納時においては支持枠２に貼着されて支持枠２側
のペリクルの内面に塵埃が付着するのを防止している。
なお、ここで可撓性シート４は前記支持枠２と略同径に
成形される。かかる可撓性シート４の材質はポリエステ
ル、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、
ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレートなどのプラ
スチックフィルムが良好であり、厚さ６０〜４００μｍ
が好適である。A pellicle 1 is attached to the lower surface of an annular support frame 2, and a flat flexible sheet 4 is attached via an adhesive 3 to the upper surface opposite to the pellicle attachment surface. . Adhesive 3
Is used, and the flexible sheet 4 is attachable to and detachable from the support frame 2 by the adhesive 3. Therefore, when the pellicle 1 is used in the exposure apparatus, the flexible sheet 4 is peeled off,
In other cases, for example, when the support frame is taken out of the container or when the support frame is stored, it is attached to the support frame 2 to prevent dust from adhering to the inner surface of the pellicle on the support frame 2 side.
Here, the flexible sheet 4 is formed to have substantially the same diameter as the support frame 2. The material of the flexible sheet 4 is polyester, polypropylene, ethylene-vinyl acetate copolymer,
Good plastic films such as polyethylene and polyethylene terephthalate, with a thickness of 60-400 μm
Is preferred.
このように下面にペリクルが張着され、上面に可撓性シ
ート４が貼着された支持枠２はケース５内に収納され、
さらにその上面がカバー６で押えられるようになってい
る。ケース５は中央部分が最も凹んでおり、この凹み部
分の外側に棚部５ａが形成され、さらにその外側に棚部
５ａよりも高くなったフランジ部５ｂが形成された階段
状となっている。棚部５ａは支持枠２が当接して載置さ
れるものであり、支持枠２の外形々状および外形寸法に
合わせて形成される。この場合、支持枠２はペリクル１
が張着された下面が棚部５ａに当接するように載置され
る。前記フランジ部５ｂはこの棚部５ａよりも高い位置
に形成されている。フランジ部５ｂの高さは支持枠２、
粘着剤３および可撓性シート４を合わせた厚さと略同一
となっており、支持枠２を棚部５ａ上に載置すると、支
持枠２および支持枠２に貼着された可撓性シート４全体
がケース５内に収納されるようになっている。かかるケ
ース５はプラスチックによって上記形状に成形される
が、その材質としてはポリ塩化ビニル、ポリメチルメタ
アクリレート、ポリカーボネート、ポリスチレン、アク
リルニトリル／スチレンコポリマー、酢酸セルロースな
どが使用でき、これらの内、透明なものの方がペリクル
の状態や塵埃の有無などを外部より確認することができ
るので好ましい。Thus, the support frame 2 having the pellicle attached to the lower surface and the flexible sheet 4 attached to the upper surface is housed in the case 5.
Further, the upper surface of the cover 6 is pressed by the cover 6. The case 5 has the most recessed portion in the center, and a shelf portion 5a is formed outside the recessed portion, and a flange portion 5b higher than the shelf portion 5a is formed outside the recessed portion. The shelf 5a is placed on the support frame 2 in contact therewith, and is formed according to the outer shape and the outer dimension of the support frame 2. In this case, the support frame 2 is the pellicle 1
It is placed so that the lower surface to which is attached abuts the shelf 5a. The flange portion 5b is formed at a position higher than the shelf portion 5a. The height of the flange portion 5b is the support frame 2,
The thickness of the adhesive 3 and the flexible sheet 4 is approximately the same, and when the support frame 2 is placed on the shelf 5a, the support frame 2 and the flexible sheet attached to the support frame 2 are attached. The whole 4 is housed in the case 5. The case 5 is formed of plastic into the above-mentioned shape, and as the material thereof, polyvinyl chloride, polymethylmethacrylate, polycarbonate, polystyrene, acrylonitrile / styrene copolymer, cellulose acetate, etc. can be used. It is preferable to use the thing because the state of the pellicle and the presence or absence of dust can be confirmed from the outside.
前記カバー６はこのようなケース５のフランジ部５ｂ上
面およびケース５内に収納された支持枠２の可撓性シー
ト４に貼着される。すなわち、カバー６は中央部分が可
撓性シート４に、周辺部分がケース５のフランジ部５ｂ
に貼着され、これにより支持枠２はケース５内に固定さ
れる。このカバー６の材質として前記可撓性シート４と
同一のものが使用することができ、その厚みは２０〜２
００μｍの範囲内で適宜、選択される。このカバー６の
貼着は粘着剤８によって行われる。粘着剤８としてはア
クリル系粘着剤、ゴム系粘着剤などが好適であり、これ
らの内、３〜４００g/cm、好ましくは５〜１００g/cmの
粘着力を有する貼着剤が良好である。粘着力が３g/cm以
下の場合にはカバー６が剥れ易く、衝撃、振動などによ
って支持枠２がケース５から落下する一方、４００g/cm
以上ではカバー６の剥離に大きな力を要し、支持枠２の
取り出しの作業性を阻害するからである。なお、粘着力
とはカバー６を１cm/分の速度で剥取る場合に要する力
をカバーの巾のcm単位で表わしたものである。The cover 6 is attached to the upper surface of the flange 5 b of the case 5 and the flexible sheet 4 of the support frame 2 housed in the case 5. That is, in the cover 6, the central portion is the flexible sheet 4 and the peripheral portion is the flange portion 5 b of the case 5.
And the supporting frame 2 is fixed in the case 5. The same material as the flexible sheet 4 can be used as the material of the cover 6, and the thickness thereof is 20 to 2
It is appropriately selected within the range of 00 μm. The cover 6 is attached by the adhesive 8. As the pressure-sensitive adhesive 8, an acrylic pressure-sensitive adhesive, a rubber pressure-sensitive adhesive or the like is preferable, and among these, a pressure-sensitive adhesive having a pressure-sensitive adhesive force of 3 to 400 g / cm, preferably 5 to 100 g / cm is preferable. When the adhesive strength is 3 g / cm or less, the cover 6 is easily peeled off, and the support frame 2 drops from the case 5 due to impact, vibration, etc.
This is because the peeling of the cover 6 requires a large force and impairs the workability of taking out the support frame 2. The adhesive force means the force required for peeling the cover 6 at a speed of 1 cm / min in cm of the width of the cover.
このようにケース５に収納された支持枠２をカバー６で
ケース５内に押え込んで固定する構造では、組み付けが
粘着剤によって行われ、嵌合、圧着などの機械的接触部
分がないため、開封の際の摩擦による塵埃が生じること
がなく、ペリクルは清浄な状態で保存される。又、支持
枠２の確実な固定が行われるため、輸送中の振動、摩擦
によっても塵埃が発生せず、ペリクルの汚染がなくな
る。なお、以上のようにして組み付けられた容器はポリ
エチレン、ポリプロピレン等の透明フィルムからなる外
袋７内に収納され、外袋７の開口部分をシート７ａする
ことで収納容器全体が密封される。In the structure in which the support frame 2 housed in the case 5 is pressed and fixed in the case 5 by the cover 6 as described above, the assembly is performed by an adhesive and there is no mechanical contact portion such as fitting and crimping. The pellicle is stored in a clean state without generating dust due to friction when opening. Further, since the support frame 2 is securely fixed, dust is not generated due to vibration and friction during transportation, and the pellicle is not contaminated. The container assembled as described above is housed in the outer bag 7 made of a transparent film such as polyethylene or polypropylene, and the opening part of the outer bag 7 is seated 7a to seal the entire container.
以上のような包装体からペリクル１を張着した支持枠２
を取り出すには、まず外袋７を破って、組み付け状態の
収納容器を取り出すことで行われる。次に、カバー６を
剥して容器を開封し、ケース５内にロボットハンドある
いはホルダ等の取り出し治具を挿入して支持枠２を挟持
し、支持枠２、可撓性シート４と共にペリクル１をケー
ス５から取り出す。そして、露光装置にペリクル１を装
着するには、支持枠２から可撓性シート４を剥離した後
に行うことができる。A support frame 2 in which a pellicle 1 is attached from a package as described above.
In order to take out the container, the outer bag 7 is first broken and the storage container in the assembled state is taken out. Next, the cover 6 is peeled off, the container is opened, and a take-out jig such as a robot hand or a holder is inserted into the case 5 to hold the support frame 2, and the pellicle 1 is held together with the support frame 2 and the flexible sheet 4. Remove from case 5. Then, the pellicle 1 can be attached to the exposure apparatus after the flexible sheet 4 is peeled from the support frame 2.
［考案の効果］ 以上のとおり本考案は、ペリクルを張着した支持枠をケ
ース内に収納し、粘着剤の粘着力でカバーを貼着して、
ケースとカバーとの間に強固に固定するので収納状態が
安定し、かつカバーのケースへの取り付け部分には、嵌
合、圧着などの接触部分がなく、この部分から塵埃が生
じることがない。このため、ペリクルの汚染を防止する
ことができる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the support frame to which the pellicle is attached is housed in the case, and the cover is attached by the adhesive force of the adhesive.
Since it is firmly fixed between the case and the cover, the housed state is stable, and there is no contact part such as fitting and crimping in the part where the cover is attached to the case, and dust is not generated from this part. Therefore, it is possible to prevent the pellicle from being contaminated.
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２図は従来
例の断面図である。 １……ペリクル、２……支持枠、３，８……粘着剤、 ４……可撓性シート、５……ケース、６……カバー。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of a conventional example. 1 ... Pellicle, 2 ... Support frame, 3,8 ... Adhesive, 4 ... Flexible sheet, 5 ... Case, 6 ... Cover.
Claims (1)
に粘着剤を介して貼着される可撓性シートと、前記支持
枠の下面が当接する棚部を有して支持枠を収納すると共
に外周にフランジ部が形成されたケースと、このケース
のフランジ部上面および前記可撓性シートの上面に粘着
材を介して貼着されるカバーとを備えていることを特徴
とするペリクル収納容器。1. A support frame having a flexible sheet attached to the upper surface of a support frame having a pellicle attached to the lower surface via an adhesive, and a shelf portion with which the lower surface of the support frame abuts. A pellicle that is provided with a case that is housed and has a flange portion formed on the outer periphery, and a cover that is attached to the upper surface of the flange portion of the case and the upper surface of the flexible sheet via an adhesive material. Storage container.
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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| JPH01149646U JPH01149646U (en) | 1989-10-17 |
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Family
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Family Applications (1)
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| JP1988045727U Expired - Lifetime JPH0624837Y2 (en) | 1988-04-06 | 1988-04-06 | Pellicle storage container |
Country Status (1)
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