JPH06249809A - ガス濃度測定装置 - Google Patents
ガス濃度測定装置Info
- Publication number
- JPH06249809A JPH06249809A JP6284993A JP6284993A JPH06249809A JP H06249809 A JPH06249809 A JP H06249809A JP 6284993 A JP6284993 A JP 6284993A JP 6284993 A JP6284993 A JP 6284993A JP H06249809 A JPH06249809 A JP H06249809A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- measured
- temperature
- glass surface
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 安価に種々のガスの濃度測定のみができるよ
うにする。 【構成】 被測定ガスの測定に先立って被測定ガス成分
の濃度が既知の標準ガスをガラス面１１，１２と接触さ
せ、ガラス面１１に凝縮が起こってガラス面１１の反射
率又は透過率があらかじめ定めた値になるときのガラス
面１１の温度を測定する。この測定を被測定ガス成分濃
度を変えた複数の標準試料について行なうことにより、
あらかじめ定めた反射率又は透過率における被測定ガス
成分濃度とガラス面温度との関係を示す検量線が求ま
る。被測定ガスの測定にあたっては、濃度が未知の被測
定ガスがガラス面１１，１２に接触し、ガラス面１１で
の反射率又は透過率が検量線を作成したときの値になる
ように温調器１３を介してガラス面１１の温度が調節さ
れる。そのときの温度から検量線を用いてガス濃度が求
められる。
うにする。 【構成】 被測定ガスの測定に先立って被測定ガス成分
の濃度が既知の標準ガスをガラス面１１，１２と接触さ
せ、ガラス面１１に凝縮が起こってガラス面１１の反射
率又は透過率があらかじめ定めた値になるときのガラス
面１１の温度を測定する。この測定を被測定ガス成分濃
度を変えた複数の標準試料について行なうことにより、
あらかじめ定めた反射率又は透過率における被測定ガス
成分濃度とガラス面温度との関係を示す検量線が求ま
る。被測定ガスの測定にあたっては、濃度が未知の被測
定ガスがガラス面１１，１２に接触し、ガラス面１１で
の反射率又は透過率が検量線を作成したときの値になる
ように温調器１３を介してガラス面１１の温度が調節さ
れる。そのときの温度から検量線を用いてガス濃度が求
められる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプラント内のガス管を流
れる被測定ガスや、ガスセル内にある被測定ガスのガス
濃度を測定する装置に関するものである。
れる被測定ガスや、ガスセル内にある被測定ガスのガス
濃度を測定する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ガス管を流れるガスやその他のガスの濃
度を測定するガス濃度測定方法には種々の方法がある。
例えば半導体式検出器を用いる方法は、安価で手軽にガ
ス濃度を測定することができるが、半導体式検出器はガ
スの種類によって選択性をもっているため、それぞれの
検出器で測定できるガスの種類が固定又は制約され、ガ
スの種類に応じてそれぞれの専用検出器が必要となる。
度を測定するガス濃度測定方法には種々の方法がある。
例えば半導体式検出器を用いる方法は、安価で手軽にガ
ス濃度を測定することができるが、半導体式検出器はガ
スの種類によって選択性をもっているため、それぞれの
検出器で測定できるガスの種類が固定又は制約され、ガ
スの種類に応じてそれぞれの専用検出器が必要となる。
【０００３】他の測定方法としては赤外線分光光度計を
用いたりガスクロマトグラフを用いる方法がある。赤外
線分光光度計やガスクロマトグラフは種々のガスに対し
て汎用の分析装置であり、種々のガスの定性測定も定量
測定も可能である。しかし、これらの測定装置は大がか
りになり、高価になる。
用いたりガスクロマトグラフを用いる方法がある。赤外
線分光光度計やガスクロマトグラフは種々のガスに対し
て汎用の分析装置であり、種々のガスの定性測定も定量
測定も可能である。しかし、これらの測定装置は大がか
りになり、高価になる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】プラント中のガス管を
流れるガスの種類は予め分かっており、そのため赤外線
分光光度計やガスクロマトグラフのように定性分析機能
を備えた測定装置は必要ではない。そこで、本発明は定
性分析の機能を備えずに、安価に種々のガスの定量測
定、すなわち濃度測定のみができるガス濃度測定装置を
提供することを目的とするものである。
流れるガスの種類は予め分かっており、そのため赤外線
分光光度計やガスクロマトグラフのように定性分析機能
を備えた測定装置は必要ではない。そこで、本発明は定
性分析の機能を備えずに、安価に種々のガスの定量測
定、すなわち濃度測定のみができるガス濃度測定装置を
提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明では光を用い、被
測定ガス成分の凝縮による反射率や透過率の変化を利用
して被測定ガス濃度を測定する。本発明のガス濃度測定
装置は、被測定ガスと接すように配置されたガラス面
と、そのガラス面の温度を変化させる温度調節手段と、
測定光をそのガラス面に照射する光源部及びそのガラス
面による測定光の反射光又は透過光を検出する光検出器
を少なくとも含む光学系と、予め定められた反射率又は
透過率における前記ガラス面温度と被測定ガス濃度との
関係を保持し、前記光検出器の出力を取り込みその光検
出器出力に基づく測定光の反射率又は透過率が前記予め
定められた反射率又は透過率になるように前記温度調節
手段を介して前記ガラス面の温度を調節するとともに、
その調節された前記ガラス面温度をガラス面温度と被測
定ガス濃度との前記関係にあてはめて被測定ガス濃度を
求める制御・演算手段とを備えている。
測定ガス成分の凝縮による反射率や透過率の変化を利用
して被測定ガス濃度を測定する。本発明のガス濃度測定
装置は、被測定ガスと接すように配置されたガラス面
と、そのガラス面の温度を変化させる温度調節手段と、
測定光をそのガラス面に照射する光源部及びそのガラス
面による測定光の反射光又は透過光を検出する光検出器
を少なくとも含む光学系と、予め定められた反射率又は
透過率における前記ガラス面温度と被測定ガス濃度との
関係を保持し、前記光検出器の出力を取り込みその光検
出器出力に基づく測定光の反射率又は透過率が前記予め
定められた反射率又は透過率になるように前記温度調節
手段を介して前記ガラス面の温度を調節するとともに、
その調節された前記ガラス面温度をガラス面温度と被測
定ガス濃度との前記関係にあてはめて被測定ガス濃度を
求める制御・演算手段とを備えている。
【０００６】
【作用】被測定ガスと接するガラス面の温度を下げてい
くと、被測定ガスの濃度がそのガラス面温度における飽
和蒸気圧となった時点でガラス面には被測定ガス成分が
凝縮する。ガラス面にガス成分が凝縮することによりそ
のガラス面による測定光の反射率や透過率が低下する。
くと、被測定ガスの濃度がそのガラス面温度における飽
和蒸気圧となった時点でガラス面には被測定ガス成分が
凝縮する。ガラス面にガス成分が凝縮することによりそ
のガラス面による測定光の反射率や透過率が低下する。
【０００７】被測定ガスの測定に先立って被測定ガス成
分の濃度が既知の標準ガスをガラス面と接触させ、その
ガラス面に凝縮が起こってそのガラス面の反射率又は透
過率があらかじめ定めた値になるときのそのガラス面の
温度を測定する。この測定を被測定ガス成分濃度を変え
た複数の標準試料について行なうことにより、あらかじ
め定めた反射率又は透過率における被測定ガス成分濃度
とガラス面温度との関係が求まる。この関係が検量線と
なる。
分の濃度が既知の標準ガスをガラス面と接触させ、その
ガラス面に凝縮が起こってそのガラス面の反射率又は透
過率があらかじめ定めた値になるときのそのガラス面の
温度を測定する。この測定を被測定ガス成分濃度を変え
た複数の標準試料について行なうことにより、あらかじ
め定めた反射率又は透過率における被測定ガス成分濃度
とガラス面温度との関係が求まる。この関係が検量線と
なる。
【０００８】被測定ガスの測定にあたっては、濃度が未
知の被測定ガスがガラス面に接触し、ガラス面での反射
率又は透過率が検量線を作成したときの値になるように
温度調節手段を介してガラス面の温度が調節される。そ
のときの温度から検量線を用いてガス濃度が求められ
る。
知の被測定ガスがガラス面に接触し、ガラス面での反射
率又は透過率が検量線を作成したときの値になるように
温度調節手段を介してガラス面の温度が調節される。そ
のときの温度から検量線を用いてガス濃度が求められ
る。
【０００９】
【実施例】図１は一実施例を表わしたものである。１４
はプラント内におけるガス管であり、その中を被測定ガ
ス１５が流れる。ガス管１４はこの測定装置が設置され
る部分では透明ガラス製にするか、少なくとも測定光が
透過する部分には透明ガラス製の窓板が設けられるよう
にする。ガス管１４の壁面の一部には測定側平面鏡１１
がその鏡面をガス管１４内に露出させてガス管１４内を
流れるガス１５と直接接触するように取りつけられてい
る。平面鏡１１の裏面にはペルチェ素子などの温調器１
３が取りつけられており、平面鏡１１の温度を調整す
る。ガス管１４の他の部分の壁面には参照側平面鏡１２
がその鏡面をガス管１４内に露出させてガス管１４内を
流れるガス１５と直接接触するように取りつけられてい
る。
はプラント内におけるガス管であり、その中を被測定ガ
ス１５が流れる。ガス管１４はこの測定装置が設置され
る部分では透明ガラス製にするか、少なくとも測定光が
透過する部分には透明ガラス製の窓板が設けられるよう
にする。ガス管１４の壁面の一部には測定側平面鏡１１
がその鏡面をガス管１４内に露出させてガス管１４内を
流れるガス１５と直接接触するように取りつけられてい
る。平面鏡１１の裏面にはペルチェ素子などの温調器１
３が取りつけられており、平面鏡１１の温度を調整す
る。ガス管１４の他の部分の壁面には参照側平面鏡１２
がその鏡面をガス管１４内に露出させてガス管１４内を
流れるガス１５と直接接触するように取りつけられてい
る。
【００１０】平面鏡１１，１２による反射光を測定して
反射率を検出するための光学系がガス管１４を挾んで平
面鏡１１，１２と反対側に設けられている。１は白色光
源であり、その光源１からの測定光を平行光束とするた
めにコリメータレンズ２が配置されている。測定光を測
定側平面鏡１１側と参照側平面鏡１２側とに分離するた
めに、半透鏡４がその測定光の光路に配置され、半透鏡
４を透過した測定光がガス管１４を透過して測定側平面
鏡１１に入射し、平面鏡１１で反射されるように光学系
が配置されている。平面鏡１１からの反射光を測定側光
検出器９へ導くために、光路に半透鏡５が配置され、半
透鏡５で反射された測定光を光検出器９に集光するため
に集光レンズ７が配置されている。
反射率を検出するための光学系がガス管１４を挾んで平
面鏡１１，１２と反対側に設けられている。１は白色光
源であり、その光源１からの測定光を平行光束とするた
めにコリメータレンズ２が配置されている。測定光を測
定側平面鏡１１側と参照側平面鏡１２側とに分離するた
めに、半透鏡４がその測定光の光路に配置され、半透鏡
４を透過した測定光がガス管１４を透過して測定側平面
鏡１１に入射し、平面鏡１１で反射されるように光学系
が配置されている。平面鏡１１からの反射光を測定側光
検出器９へ導くために、光路に半透鏡５が配置され、半
透鏡５で反射された測定光を光検出器９に集光するため
に集光レンズ７が配置されている。
【００１１】一方、半透鏡４で反射された測定光を方向
を変えて参照側平面鏡１２に入射させるために、半透鏡
６が配置され、平面鏡１２で反射された測定光を参照側
光検出器１０に導くために、集光レンズ８が配置されて
いる。
を変えて参照側平面鏡１２に入射させるために、半透鏡
６が配置され、平面鏡１２で反射された測定光を参照側
光検出器１０に導くために、集光レンズ８が配置されて
いる。
【００１２】測定側光検出器９の検出出力と、参照側光
検出器１０の検出出力は制御・演算装置１６に取り込ま
れる。制御・演算装置１６は平面鏡１２からの反射光強
度を参照光として平面鏡１１からの反射光の反射率を算
出する。制御・演算装置１６はまた温調器１３を制御し
て測定側平面鏡１１の温度を変化させるとともに、測定
側平面鏡１１の温度を検出する。
検出器１０の検出出力は制御・演算装置１６に取り込ま
れる。制御・演算装置１６は平面鏡１２からの反射光強
度を参照光として平面鏡１１からの反射光の反射率を算
出する。制御・演算装置１６はまた温調器１３を制御し
て測定側平面鏡１１の温度を変化させるとともに、測定
側平面鏡１１の温度を検出する。
【００１３】次に、図１の実施例の動作について説明す
る。検量線作成 ガス管１４内を被測定ガス成分濃度が既知の標準ガスを
流す。平面鏡１２はガス温度になっており、平面鏡１２
上には被測定ガス成分は凝縮しない。平面鏡１１は温調
器１３によって温度が低下させられ、平面鏡１１上にガ
ス成分が凝縮して平面鏡１１が曇った状態となる。平面
鏡１１上にガス成分が凝縮する温度は、ガス管１４内の
ガスの濃度がその成分の飽和蒸気圧となる温度又はそれ
以下の温度である。
る。検量線作成 ガス管１４内を被測定ガス成分濃度が既知の標準ガスを
流す。平面鏡１２はガス温度になっており、平面鏡１２
上には被測定ガス成分は凝縮しない。平面鏡１１は温調
器１３によって温度が低下させられ、平面鏡１１上にガ
ス成分が凝縮して平面鏡１１が曇った状態となる。平面
鏡１１上にガス成分が凝縮する温度は、ガス管１４内の
ガスの濃度がその成分の飽和蒸気圧となる温度又はそれ
以下の温度である。
【００１４】光学系では、光源１を出た光がコリメータ
レンズ２で平行光となり、その一部はガス管内の測定側
平面鏡１１で反射され、半透鏡５で方向を変えて集光レ
ンズ７を経て光検出器９に到達する。半透鏡４で反射さ
れた測定光は、半透鏡６で方向を変えて温調されない平
面鏡１２で反射し、半透鏡６を素通りして集光レンズ８
を経て光検出器１０に到達する。これにより、平面鏡１
２を反射した光を参照光とする平面鏡１１の反射率（Ｒ
％）が制御・演算装置１６で求められる。
レンズ２で平行光となり、その一部はガス管内の測定側
平面鏡１１で反射され、半透鏡５で方向を変えて集光レ
ンズ７を経て光検出器９に到達する。半透鏡４で反射さ
れた測定光は、半透鏡６で方向を変えて温調されない平
面鏡１２で反射し、半透鏡６を素通りして集光レンズ８
を経て光検出器１０に到達する。これにより、平面鏡１
２を反射した光を参照光とする平面鏡１１の反射率（Ｒ
％）が制御・演算装置１６で求められる。
【００１５】いま、被測定ガス成分濃度がＣ1で既知の
標準ガスをガス管１４に流したとき、平面鏡１１を温調
器１３で冷却して反射率があらかじめ定めた値Ｒ1にな
るときの平面鏡１１の温度をＴ1とする。同様にして別
の濃度Ｃ2，Ｃ3，……の各標準ガスについても同様に反
射率がＲ1になるときの平面鏡１１の温度Ｔ2，Ｔ3，…
…を求める。このように、標準ガス測定によって図２に
示されるようにある反射率Ｒ1に対する検量線が得られ
る。反射率は他の値に設定することもできる。求められ
た検量線のデータは制御・演算装置１６に保持される。
標準ガスをガス管１４に流したとき、平面鏡１１を温調
器１３で冷却して反射率があらかじめ定めた値Ｒ1にな
るときの平面鏡１１の温度をＴ1とする。同様にして別
の濃度Ｃ2，Ｃ3，……の各標準ガスについても同様に反
射率がＲ1になるときの平面鏡１１の温度Ｔ2，Ｔ3，…
…を求める。このように、標準ガス測定によって図２に
示されるようにある反射率Ｒ1に対する検量線が得られ
る。反射率は他の値に設定することもできる。求められ
た検量線のデータは制御・演算装置１６に保持される。
【００１６】被測定ガス測定 次に、濃度が未知の被測定ガスの測定を行なう場合につ
いて説明する。ガス管１４に濃度が未知の被測定ガスを
流す。制御・演算装置１６は温調器１３を介して平面鏡
１１の反射率がＲ1となるように、平面鏡１１の温度を
調節する。制御・演算装置１６ではそのときの平面鏡１
１の温度Ｔ’が求められ、保持されている検量線に従っ
て図３のようにガス濃度Ｃ’が求められる。
いて説明する。ガス管１４に濃度が未知の被測定ガスを
流す。制御・演算装置１６は温調器１３を介して平面鏡
１１の反射率がＲ1となるように、平面鏡１１の温度を
調節する。制御・演算装置１６ではそのときの平面鏡１
１の温度Ｔ’が求められ、保持されている検量線に従っ
て図３のようにガス濃度Ｃ’が求められる。
【００１７】実施例では検量線の作成及びその検量線を
用いて被測定ガスの濃度を求める演算操作を制御・演算
装置１６で行なわせるようにしているので、測定が容易
である。しかし、この演算操作を測定者がするようにし
てもよい。
用いて被測定ガスの濃度を求める演算操作を制御・演算
装置１６で行なわせるようにしているので、測定が容易
である。しかし、この演算操作を測定者がするようにし
てもよい。
【００１８】図１の実施例では平面鏡１１を直接被測定
ガスと接触させているが、例えば図４に示されるよう
に、ガス管１４には透明ガラス窓板１７を取りつけ、被
測定ガスの凝縮をその窓板１７の表面に生じさせるとと
もに、平面鏡１１はその窓板１７の外部に配置するよう
にしてもよい。その場合には窓板１７の温度を変化させ
ることになるので、窓板１７の周囲に温調器１３を配置
する。この場合は窓板１７の透過率（吸収率）をパラメ
ータとしてガス濃度を測定することになる。また、図４
の実施例において、平面鏡１１の位置に測定側集光レン
ズ７と光検出器９を配置するようにしてもよい。
ガスと接触させているが、例えば図４に示されるよう
に、ガス管１４には透明ガラス窓板１７を取りつけ、被
測定ガスの凝縮をその窓板１７の表面に生じさせるとと
もに、平面鏡１１はその窓板１７の外部に配置するよう
にしてもよい。その場合には窓板１７の温度を変化させ
ることになるので、窓板１７の周囲に温調器１３を配置
する。この場合は窓板１７の透過率（吸収率）をパラメ
ータとしてガス濃度を測定することになる。また、図４
の実施例において、平面鏡１１の位置に測定側集光レン
ズ７と光検出器９を配置するようにしてもよい。
【００１９】装置の安定性を向上させ、設置を容易にす
るために、図１における平面鏡１１，１２をコーナーキ
ューブに置き換えてもよい。測定するガスによっては測
定光を白色光とせず、制限された波長域の光の方が有利
な場合や、複数成分のガス中のあるガスについてのみ選
択的に測定する場合には、平面鏡１１又は窓板１７上に
凝縮したガス成分に特有の測定光を照射できるように、
図１の光学系でコリメートレンズ２と半透鏡４の間の光
路上にバンドパスフィルタ３を設けるようにすればよ
い。また、被測定ガス成分に応じた特定の単一波長の光
を測定光とした方が好都合な場合は、光源１に代えてレ
ーザを用いることもできる。実施例はガス管１４中を流
れる被測定ガスの濃度を測定する実施例を示している
が、ガス管１４に代えてガスセル中の被測定ガスを測定
するために本発明を適用することもできる。
るために、図１における平面鏡１１，１２をコーナーキ
ューブに置き換えてもよい。測定するガスによっては測
定光を白色光とせず、制限された波長域の光の方が有利
な場合や、複数成分のガス中のあるガスについてのみ選
択的に測定する場合には、平面鏡１１又は窓板１７上に
凝縮したガス成分に特有の測定光を照射できるように、
図１の光学系でコリメートレンズ２と半透鏡４の間の光
路上にバンドパスフィルタ３を設けるようにすればよ
い。また、被測定ガス成分に応じた特定の単一波長の光
を測定光とした方が好都合な場合は、光源１に代えてレ
ーザを用いることもできる。実施例はガス管１４中を流
れる被測定ガスの濃度を測定する実施例を示している
が、ガス管１４に代えてガスセル中の被測定ガスを測定
するために本発明を適用することもできる。
【００２０】
【発明の効果】本発明では被測定ガス中のガス成分の凝
縮温度とガス濃度との関係を利用してガス濃度を測定す
るようにしたので、従来のガスクロマトグラフや赤外分
光光度計のような大がかりな装置を用いる必要がなく、
簡単な構成で、ガス濃度を連続的に監視することができ
るようになる。この測定装置は連続運転されるプラント
においてガス管を流れるガス濃度を監視する場合に特に
有効である。また、ガスに特有の検出器を使用しないの
で、種々のガスに対応することができる。さらに、分光
フィルタを追加すれば、多成分のガスの濃度測定にも適
用することができる。
縮温度とガス濃度との関係を利用してガス濃度を測定す
るようにしたので、従来のガスクロマトグラフや赤外分
光光度計のような大がかりな装置を用いる必要がなく、
簡単な構成で、ガス濃度を連続的に監視することができ
るようになる。この測定装置は連続運転されるプラント
においてガス管を流れるガス濃度を監視する場合に特に
有効である。また、ガスに特有の検出器を使用しないの
で、種々のガスに対応することができる。さらに、分光
フィルタを追加すれば、多成分のガスの濃度測定にも適
用することができる。
【図１】一実施例を示す概略構成図である。
【図２】本発明における検量線を示す図である。
【図３】検量線を用いてガス濃度を測定する方法を示す
図である。
図である。
【図４】他の実施例を示す要部の概略正面断面図であ
る。
る。
１ 光源 ２ コリメートレンズ ３ バンドパスフィルタ ４，５，６ 半透鏡 ７，８ 集光レンズ ９，１０ 光検出器 １１，１２ 平面鏡 １３ 温調器 １４ ガス管 １５ 被測定ガスの流れ １６ 制御・演算装置
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定ガスと接すように配置されたガラ
ス面と、 前記ガラス面の温度を変化させる温度調節手段と、 測定光を前記ガラス面に照射する光源部及びそのガラス
面による測定光の反射光又は透過光を検出する光検出器
を少なくとも含む光学系と、 予め定められた反射率又は透過率における前記ガラス面
温度と被測定ガス濃度との関係を保持し、前記光検出器
の出力を取り込みその光検出器出力に基づく測定光の反
射率又は透過率が前記予め定められた反射率又は透過率
になるように前記温度調節手段を介して前記ガラス面の
温度を調節するとともに、その調節された前記ガラス面
温度をガラス面温度と被測定ガス濃度との前記関係にあ
てはめて被測定ガス濃度を求める制御・演算手段と、を
備えたことを特徴とするガス濃度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6284993A JPH06249809A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | ガス濃度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6284993A JPH06249809A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | ガス濃度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06249809A true JPH06249809A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=13212174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6284993A Pending JPH06249809A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | ガス濃度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06249809A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003042981A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-13 | Paloma Ind Ltd | ガス種判別装置 |
| JP2011232210A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Toyota Motor Corp | ガス組成検出システム及びエンジンの制御システム |
-
1993
- 1993-02-26 JP JP6284993A patent/JPH06249809A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003042981A (ja) * | 2001-08-02 | 2003-02-13 | Paloma Ind Ltd | ガス種判別装置 |
| JP2011232210A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Toyota Motor Corp | ガス組成検出システム及びエンジンの制御システム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US12261030B2 (en) | Normal-incidence in-situ process monitor sensor | |
| US6741348B2 (en) | Ultrasensitive spectrophotometer | |
| RU2437719C2 (ru) | Устройство и способ для спектрофотометрического анализа | |
| JP3059262B2 (ja) | ガス中の微量水分分析装置 | |
| US4781456A (en) | Absorption photometer | |
| JPS6116010B2 (ja) | ||
| JP2010517043A (ja) | 工業プロセス制御用の化学分析装置 | |
| JPH08304282A (ja) | ガス分析装置 | |
| US6368560B1 (en) | Photometric gas detection system and method | |
| JPS58103625A (ja) | 光度計 | |
| EP2344862B1 (en) | An arrangement adapted for spectral analysis of high concentrations of gas | |
| JPH0688782A (ja) | 濃度測定方法および濃度測定装置 | |
| US20250383234A1 (en) | No-ref-signal slope spectroscopic measurement | |
| WO2005038436A2 (en) | System and method for cavity ring-down spectroscopy using continuously varying continuous wave excitation | |
| JP3609029B2 (ja) | 検出装置及び液体試料測定装置 | |
| JPH06249809A (ja) | ガス濃度測定装置 | |
| CN111220587B (zh) | 一种基于激发荧光的便携式农残检测仪器 | |
| CN119438114A (zh) | 一种二氧化碳气体检测装置、方法、电子设备及存储介质 | |
| JPH07151685A (ja) | 非分散形赤外線ガス分析計 | |
| RU103400U1 (ru) | Лабораторный стенд для создания и контроля концентраций газообразных веществ при формировании базы спектральных данных и оценке технических характеристик фурье-спектрорадиометров | |
| JP2002257723A (ja) | 液体試料の濃度定量方法及び装置 | |
| JPH0843301A (ja) | 液体試料の吸光度、成分濃度又は比重を測定する方法及び装置 | |
| US20230375468A1 (en) | Multi-monochromatic light source system for slope spectroscopy | |
| JPH07218507A (ja) | 免疫比濁分析方法 | |
| US12422356B2 (en) | Variable path length absorption spectrometer having automated continuous slope measurement |