JPH06249933A - 磁気力顕微鏡用カンチレバー - Google Patents

磁気力顕微鏡用カンチレバー

Info

Publication number
JPH06249933A
JPH06249933A JP5040318A JP4031893A JPH06249933A JP H06249933 A JPH06249933 A JP H06249933A JP 5040318 A JP5040318 A JP 5040318A JP 4031893 A JP4031893 A JP 4031893A JP H06249933 A JPH06249933 A JP H06249933A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
sample
magnetization
iron
cantilever
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5040318A
Other languages
English (en)
Inventor
Eisuke Tomita
英介 冨田
Naoto Moriya
尚登 守屋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Priority to JP5040318A priority Critical patent/JPH06249933A/ja
Priority to US08/200,820 priority patent/US6081113A/en
Publication of JPH06249933A publication Critical patent/JPH06249933A/ja
Priority to US09/559,376 priority patent/US6373246B1/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
    • G01Q60/50—MFM [Magnetic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. MFM probes
    • G01Q60/54—Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders
    • G01Q60/56—Probes with magnetic coating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y35/00—Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/038—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using permanent magnets, e.g. balances, torsion devices
    • G01R33/0385—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using permanent magnets, e.g. balances, torsion devices in relation with magnetic force measurements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y25/00—Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
    • G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
    • G11B11/10502—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing characterised by the transducing operation to be executed
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
    • G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
    • G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B19/00—Driving, starting, stopping record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor; Control thereof; Control of operating function ; Driving both disc and head
    • G11B19/02—Control of operating function, e.g. switching from recording to reproducing
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B2005/0002—Special dispositions or recording techniques
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S977/00—Nanotechnology
    • Y10S977/84—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
    • Y10S977/849—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure with scanning probe
    • Y10S977/86—Scanning probe structure
    • Y10S977/865—Magnetic force probe

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
  • Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
  • Thin Magnetic Films (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 従来技術では測定困難であった垂直磁気記録
媒体の記録状態を明確に測定することが可能である。 【構成】 探針と板バネからなる磁気力顕微鏡用カンチ
レバ−として、ステンレス鋼箔１を加工して形成された
板バネ２の先端部に探針３を取り付け、探針を硬磁性薄
膜でコ−ティングしたものを用いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気力顕微鏡に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、磁気力顕微鏡において、磁気力を
検出するためのカンチレバーの探針先端膜としては鉄／
ニッケル合金等の軟磁性薄膜または白金／コバルト／ク
ロム合金薄膜などが使用されていた。例えば、Appl.Phy
s.Lett.57,1820(1990)にこのような例が開示されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来のカンチレバーでは以下の課題があった。鉄／ニッケ
ル合金等の軟磁性薄膜では、保磁力Ｈｃが小さいため、
探針先端の磁化方向が試料表面の磁力線の方向と一致す
るように変動する。試料表面を走査した場合、表面磁力
線の向きによらず常に引力のみを検出するため、磁力線
の方向を判別することが不可能であった。すなはち、こ
のような探針では磁気強度のみを検出し画像化するた
め、例えば、磁力線の強度が一様で磁力方向の反転を記
録情報とする光磁気ディスク等の垂直磁気記録媒体の記
録状態を測定することが不可能であった。また、白金／
コバルト／クロム合金薄膜では、探針先端の磁化方向が
試料面と平行になるため、試料表面を走査した場合、試
料表面に垂直方向の磁力線の強度を検出することが困難
である。このため、垂直磁気記録媒体の記録状態を測定
することが困難であった。以下に、探針の動作を図で説
明する。
【０００４】図４は、従来技術である鉄／ニッケル合金
探針での動作状態を表した模式図である。鉄／ニッケル
合金は軟磁性材であり保磁力Ｈｃが小さいため、探針の
磁化方向は、試料の磁化方向と一致するように変動す
る。このため、試料の磁化方向によらず、探針に常に一
定の引力が働き、図４のような探針の動作となる。した
がって、磁気分布の測定は不可能となっていた。
【０００５】また、図５は、従来技術であるマイクロカ
ンチレバー上に白金／コバルト／クロム合金薄膜を形成
した探針の動作状態を表した模式図である。探針の磁化
方向が試料面と平行になっているため、試料の磁化方向
と直交するため、磁気力を検出することが不可能であ
る。このため、探針は図５のように、試料の磁化分布を
検出できない結果となる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明では、先端に硬磁性薄膜が形成された探針
と板バネからなるカンチレバーを磁気力顕微鏡用カンチ
レバーとした。
【０００７】
【作用】上記のように、探針先端に硬磁性薄膜を形成す
ることにより、探針先端の磁化方向が試料表面の磁力線
の方向によらず一定で、かつ試料表面に垂直となる。こ
のため、探針に作用する磁気力としては、試料表面の磁
力線の方向が探針磁化方向と一致する場合に引力、試料
表面の磁力線の方向が探針磁化と逆方向である場合に斥
力が働く。したがって、例えば、垂直磁気記録媒体の未
記録状態を斥力、記録状態を引力として検出するため、
従来の技術では困難であった光磁気ディスク等の垂直磁
気記録媒体の記録状態を測定することが可能となる。
【０００８】
【実施例】以下に、この発明の実施例を図面に基づいて
説明する。 （実施例１）図１は、本発明の磁気力顕微鏡用カンチレ
バーの斜視図である。ステンレス鋼箔１を図１のような
板バネの形状に加工し、板バネ２の先端に探針３を接着
した。
【０００９】図２は、本発明の磁気力顕微鏡用カンチレ
バーの探針先端の断面を拡大した模式図である。鉄線を
電解研磨し針状に加工した鉄探針４の表面に、鉄コバル
ト合金薄膜５を電解メッキ法で形成した。図３は、本発
明の鉄／コバルト合金探針を用いて磁気力顕微鏡の測定
を行う場合の動作状態を表した模式図である。測定試料
は垂直磁気記録媒体である。図３では、試料および探針
の磁化方向を矢印→で表示し、試料については磁性層断
面の磁化分布を表示している。
【００１０】鉄／コバルト合金は硬磁性材であり、保磁
力Ｈｃが大きいため、探針を試料表面に接近し、試料面
に対し平行に走査すると、探針の磁化方向は常に一定に
保持され、探針に対して、試料磁化分布にしたがって引
力と斥力が働くことになる。探針と試料間には、数Ｖの
直流電圧を印加され常に磁気力以上の静電引力が働く。
このため探針に働く力は、静電引力と磁気力の和であ
る。磁気力が引力の場合、全引力は増大し、磁気力が斥
力の場合は静電引力を一部打ち消して全引力は減少す
る。
【００１１】図３では、試料と探針の磁化方向が同方向
である場合に磁気引力、逆方向である場合磁気斥力が働
くため、探針に働く力は、同じ磁化方向で増大し、逆方
向で減少する。静電力および磁気力は探針と試料間の距
離に依存し、探針が試料に接近すると増大する。
【００１２】探針を圧電素子で上下方向に微動させ力一
定に制御する。この状態で試料面と平行に走査すると、
図３のように、磁化が同方向で探針が上方位置に制御さ
れ、磁化が逆方向で下方位置に制御される。このように
して、探針を試料面の微小領域上で走査し、探針の上下
動を画像化すると試料の磁化分布が測定できることにな
る。
【００１３】図６は本発明のカンチレバーを用いて測定
した磁気力顕微鏡による垂直磁気記録媒体の測定例であ
る。楕円形のマーク（記録信号）が明確に測定できた。
このように、本発明により、垂直磁気記録媒体の記録状
態を明確に測定できるようになった。
【００１４】（実施例２）板バネおよび探針としてシリ
コンを微細加工したマイクロカンチレバーを用い、探針
先端にスパッタリング法にて鉄／コバルト合金薄膜を形
成した。探針先端は針状に加工しているため、探針の磁
化方向は探針の軸方向と一致している。このカンチレバ
ーを用い、実施例１の垂直磁気記録媒体を磁気力顕微鏡
で測定した。図６と同様、記録状態を明確に測定するこ
とができた。
【００１５】（実施例３）板バネとしてステンレス鋼箔
を用い、探針としてタングステンの電解研磨針を用い
た。探針先端に電解メッキ法で鉄／コバルト合金薄膜を
形成した。このカンチレバーを用い、実施例１の垂直磁
気記録媒体を磁気力顕微鏡で測定した。図６と同様、記
録状態を明確に測定することができた。
【００１６】（実施例４）板バネとしてステンレス鋼箔
を用い、探針としてタングステンの電解研磨針を用い
た。探針先端に電解メッキ法でコバルト／ニッケル合金
薄膜を形成した。このカンチレバーを用い、実施例１の
垂直磁気記録媒体を磁気力顕微鏡で測定した。図６と同
様、記録状態を明確に測定することができた。
【００１７】（実施例５）板バネおよび探針としてシリ
コンを微細加工したマイクロカンチレバーを用い、探針
先端にスパッタリング法にてコバルト／ニッケル合金薄
膜を形成した。探針先端は針状に加工しているため、探
針の磁化方向は探針の軸方向と一致している。このカン
チレバーを用い、実施例１の垂直磁気記録媒体を磁気力
顕微鏡で測定した。図６と同様、記録状態を明確に測定
することができた。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、先端に硬磁性薄膜
が形成された探針と板バネからなるカンチレバーを磁気
力顕微鏡用カンチレバーとすることで、従来技術では測
定困難であった垂直磁気記録媒体の記録状態を明確に測
定することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気力顕微鏡用カンチレバーの斜視図
【図２】本発明のカンチレバーの探針断面図
【図３】本発明の鉄コバルト合金探針の動作模式図
【図４】従来の鉄ニッケル合金探針の動作模式図
【図５】従来の白金コバルトクロム合金探針の動作模式
図
【図６】垂直磁気記録媒体の磁気力顕微鏡像 １ ステンレス鋼箔 ２ 板バネ ３ 探針 ４ 鉄探針 ５ 鉄コバルト合金薄膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｈ０１Ｊ 37/28 Ｚ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 先端に硬磁性薄膜が形成された探針と板
    バネとからなる磁気力顕微鏡用カンチレバー
JP5040318A 1993-03-01 1993-03-01 磁気力顕微鏡用カンチレバー Pending JPH06249933A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5040318A JPH06249933A (ja) 1993-03-01 1993-03-01 磁気力顕微鏡用カンチレバー
US08/200,820 US6081113A (en) 1993-03-01 1994-02-23 Cantilever magnetic force sensor for magnetic force microscopy having a magnetic probe coated with a hard-magnetic material
US09/559,376 US6373246B1 (en) 1993-03-01 2000-04-27 Cantilever magnetic force sensor for magnetic force microscopy and method of manufacturing magnetic force sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5040318A JPH06249933A (ja) 1993-03-01 1993-03-01 磁気力顕微鏡用カンチレバー

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06249933A true JPH06249933A (ja) 1994-09-09

Family

ID=12577269

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5040318A Pending JPH06249933A (ja) 1993-03-01 1993-03-01 磁気力顕微鏡用カンチレバー

Country Status (2)

Country Link
US (2) US6081113A (ja)
JP (1) JPH06249933A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006267113A (ja) * 2006-04-10 2006-10-05 Yoshikazu Nakayama 先端被覆ナノチューブ、走査型顕微鏡用先端被覆プローブ、これを用いた加工装置及び加工方法
JP2007527507A (ja) * 2003-07-08 2007-09-27 キューナノ エービー ナノウィスカーを組み込んだプローブ構造体、その製造方法及びナノウィスカーを形成する方法
CN104492760A (zh) * 2015-01-16 2015-04-08 长春理工大学 一种磁力显微镜探针磁性污染的清洗方法

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19811347A1 (de) * 1998-03-16 1999-09-23 Ibm Verfahren und Vorrichtung zur gezielten Detektierung und Charakterisierung von Defekten auf Oberflächen von Magnetplatten
US6676813B1 (en) * 2001-03-19 2004-01-13 The Regents Of The University Of California Technology for fabrication of a micromagnet on a tip of a MFM/MRFM probe
NL1019638C2 (nl) * 2001-12-21 2003-06-24 Stichting Tech Wetenschapp Probe en werkwijze voor de vervaardiging van een dergelijke probe.
KR100499125B1 (ko) * 2002-04-25 2005-07-04 삼성전자주식회사 커패시턴스 변화를 이용하는 정보 재생 장치 및 방법
CN1829654B (zh) 2003-04-04 2013-04-17 库纳诺公司 精确定位的纳米晶须和纳米晶须阵列及其制备方法
JP5519572B2 (ja) * 2011-05-09 2014-06-11 株式会社日立ハイテクノロジーズ 磁気力顕微鏡用カンチレバー

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5103174A (en) * 1990-02-26 1992-04-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Magnetic field sensor and device for determining the magnetostriction of a material based on a tunneling tip detector and methods of using same
US5043578A (en) * 1990-04-05 1991-08-27 International Business Machines Corporation Writing atomic scale features with fine tip as source of deposited atoms
US5171992A (en) * 1990-10-31 1992-12-15 International Business Machines Corporation Nanometer scale probe for an atomic force microscope, and method for making same
US5375087A (en) * 1991-02-04 1994-12-20 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce Tunneling-stabilized magnetic reading and recording
DE4126380A1 (de) * 1991-08-09 1993-02-11 Basf Ag Verfahren zur durchfuehrung ortsselektiver katalytischer reaktionen mit oder auf festkoerperoberflaechen im nanometer- und subnanometer-bereich
US5218262A (en) * 1992-04-06 1993-06-08 The Perkin-Elmer Corporation Apparatus for retaining an electrode by a magnetically shielded magnet

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007527507A (ja) * 2003-07-08 2007-09-27 キューナノ エービー ナノウィスカーを組み込んだプローブ構造体、その製造方法及びナノウィスカーを形成する方法
JP2006267113A (ja) * 2006-04-10 2006-10-05 Yoshikazu Nakayama 先端被覆ナノチューブ、走査型顕微鏡用先端被覆プローブ、これを用いた加工装置及び加工方法
CN104492760A (zh) * 2015-01-16 2015-04-08 长春理工大学 一种磁力显微镜探针磁性污染的清洗方法

Also Published As

Publication number Publication date
US6373246B1 (en) 2002-04-16
US6081113A (en) 2000-06-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0866341B1 (en) Alternating current magnetic force microscopy system with probe having integrated coil
EP0866307B1 (en) Magnetic force microscopy probe
JPH06242130A (ja) サンプルの磁気構造乃至磁区をイメージ化する方法及びこれを応用した記憶装置
US5375087A (en) Tunneling-stabilized magnetic reading and recording
JPH06249933A (ja) 磁気力顕微鏡用カンチレバー
Lu et al. Nanoindentation hardness tests using a point contact microscope
Hoffmann et al. Eddy current microscopy.
Grütter et al. High resolution magnetic force microscopy
JP3141555B2 (ja) 走査表面磁気顕微鏡
Chong et al. Scanning Hall probe microscopy on an atomic force microscope tip
US6448766B1 (en) Method of imaging a magnetic field emanating from a surface using a conventional scanning force microscope
Babcock et al. Magnetic force microscopy: recent advances and applications
Rice et al. Magnetic imaging reference sample
Rice et al. dc magnetic force microscopy imaging of thin‐film recording head
US6476386B1 (en) Method and device for tunnel microscopy
Persch et al. Applications of magnetic force microscopy in magnetic storage device manufacturing
JPH10247118A (ja) マイクロダンパ、及び該マイクロダンパを有するセンサ、アクチュエータ、プローブ、並びに該プローブを有する走査型プローブ顕微鏡、加工装置、情報処理装置
JPH09152474A (ja) 磁気プローブ及びその製造方法
Persch et al. Applications of scanning probe microscopies in technology and manufacturing
JP2997497B2 (ja) 磁気情報検出装置
JP2834212B2 (ja) 磁性探針
Abraham et al. High‐resolution force microscopy of in‐plane magnetization
JPH03274481A (ja) 磁気情報検出装置
JPH05203626A (ja) 磁気力顕微鏡及び記録再生装置
JPH0821870A (ja) 走査表面磁気検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20040302

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20040526

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20040526