JPH06250073A - ミラーの位置調節取付機構 - Google Patents
ミラーの位置調節取付機構Info
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- JPH06250073A JPH06250073A JP3874193A JP3874193A JPH06250073A JP H06250073 A JPH06250073 A JP H06250073A JP 3874193 A JP3874193 A JP 3874193A JP 3874193 A JP3874193 A JP 3874193A JP H06250073 A JPH06250073 A JP H06250073A
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Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ミラーの反射面の中心を調整の基準位置とし
て、ミラーの位置を調整することを可能とし、ミラーの
調整を簡単な機構により効率的に正確な調整を短時間に
行うことができる手段を提供することを目的とするもの
である。 【構成】球面状をなすミラー本体側の当接部１３ｂを取
付部材１１の傾斜面１１ｂに対して複数箇所のスプリン
グ１８によって、圧接して取付けた状態において、反射
面１２ａの位置調整を要する場合、所定の調整用ねじ１
９の操作により、反射面１２ａは入射する光軸の中心と
一致するミラー表面の中心を基準点として調整すること
ができる構成からなる。
て、ミラーの位置を調整することを可能とし、ミラーの
調整を簡単な機構により効率的に正確な調整を短時間に
行うことができる手段を提供することを目的とするもの
である。 【構成】球面状をなすミラー本体側の当接部１３ｂを取
付部材１１の傾斜面１１ｂに対して複数箇所のスプリン
グ１８によって、圧接して取付けた状態において、反射
面１２ａの位置調整を要する場合、所定の調整用ねじ１
９の操作により、反射面１２ａは入射する光軸の中心と
一致するミラー表面の中心を基準点として調整すること
ができる構成からなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ミラーの反射面位置の
調整取付機構に関するものであり、レーザを使用した熱
処理装置の光路や走査光学系の光路等に配置されるミラ
ーの位置調整手段として使用することができるものであ
る。
調整取付機構に関するものであり、レーザを使用した熱
処理装置の光路や走査光学系の光路等に配置されるミラ
ーの位置調整手段として使用することができるものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】レーザ光を使用する切断・溶接装置にお
いて、図４（ａ），（ｂ）に示すように、レンズ１と加
工表面２との間に、ミラー３、４又はミラー３、放物鏡
５と、ノズル６を備えたヘッド部７が設けられ、レンズ
１からの光をヘッド部７のノズル６を介して加工表面に
導いている。また、図５に示すように、一般的分岐光路
系を有する光学装置として、レーザー発振器８の光路中
に、複数のミラー９ａ、９ｂ、９ｃを配置し、所定の位
置に光を導いている。
いて、図４（ａ），（ｂ）に示すように、レンズ１と加
工表面２との間に、ミラー３、４又はミラー３、放物鏡
５と、ノズル６を備えたヘッド部７が設けられ、レンズ
１からの光をヘッド部７のノズル６を介して加工表面に
導いている。また、図５に示すように、一般的分岐光路
系を有する光学装置として、レーザー発振器８の光路中
に、複数のミラー９ａ、９ｂ、９ｃを配置し、所定の位
置に光を導いている。
【０００３】ヘッド部７に配置されるミラー、レーザー
発振器８の光路中に配置されるミラーは、本来予定する
光路を形成するように、支持部材に適宜調整手段を介し
て取付けられている。しかし、このような調整手段は、
複雑な構成からなり、複雑な構成であっても、所定の精
度を得ることが不可能であった。
発振器８の光路中に配置されるミラーは、本来予定する
光路を形成するように、支持部材に適宜調整手段を介し
て取付けられている。しかし、このような調整手段は、
複雑な構成からなり、複雑な構成であっても、所定の精
度を得ることが不可能であった。
【０００４】ミラー面の位置の調整手段について、従来
のやり方について簡単に説明する。図６は、反射面１２
ａを有するミラー１２の裏面を冷却するため、ミラー１
２の裏面に空洞部を形成した冷却基台１３を結合し、取
付部材１１にミラー１２を取付けるため、該冷却基台１
３の裏面に取付用フランジ１４を一体的に結合してい
る。
のやり方について簡単に説明する。図６は、反射面１２
ａを有するミラー１２の裏面を冷却するため、ミラー１
２の裏面に空洞部を形成した冷却基台１３を結合し、取
付部材１１にミラー１２を取付けるため、該冷却基台１
３の裏面に取付用フランジ１４を一体的に結合してい
る。
【０００５】このミラーを取付ける取付部材１１には開
口１１ａを形成し、開口１１ａを介してその内部にミラ
ー１２の反射面１２ａを配置し、開口１１ａの外側に位
置する取付用フランジ１４の外周位置の複数箇所に、、
開口１１ａの周辺の取付部材１１との間隔を調整するた
めの一対の調整ねじ１５ａ，１５ｂを配置している。そ
して、複数箇所のいずれかの一対の調整ねじ１５ａ，１
５ｂの調節によって、ミラー表面の傾きを調整してい
る。
口１１ａを形成し、開口１１ａを介してその内部にミラ
ー１２の反射面１２ａを配置し、開口１１ａの外側に位
置する取付用フランジ１４の外周位置の複数箇所に、、
開口１１ａの周辺の取付部材１１との間隔を調整するた
めの一対の調整ねじ１５ａ，１５ｂを配置している。そ
して、複数箇所のいずれかの一対の調整ねじ１５ａ，１
５ｂの調節によって、ミラー表面の傾きを調整してい
る。
【０００６】図７は、前記した図６の構成において、反
射面１２ａを有するミラー１２と冷却基台１３とを一体
にし、開口１１ａを形成した取付部材１１には、取付用
フランジ１４を結合し、開口１１ａの位置で、冷却基台
１３の裏面と基準面となる取付用フランジ１４との間に
は、反射面１２ａの中心位置に相当する位置にセンター
・ボール１６を配置し、このセンター・ボール１６を中
心にミラー１２が移動するように、センター・ボール１
６の外周位置の複数箇所に一対の調整ねじ１５ａ，１５
ｂを配置し、この一対の調整ねじ１５ａ，１５ｂの調節
によって、ミラー表面の傾きを調整している。
射面１２ａを有するミラー１２と冷却基台１３とを一体
にし、開口１１ａを形成した取付部材１１には、取付用
フランジ１４を結合し、開口１１ａの位置で、冷却基台
１３の裏面と基準面となる取付用フランジ１４との間に
は、反射面１２ａの中心位置に相当する位置にセンター
・ボール１６を配置し、このセンター・ボール１６を中
心にミラー１２が移動するように、センター・ボール１
６の外周位置の複数箇所に一対の調整ねじ１５ａ，１５
ｂを配置し、この一対の調整ねじ１５ａ，１５ｂの調節
によって、ミラー表面の傾きを調整している。
【０００７】図６の場合には、ミラー１２の反射面１２
ａの変位に際して、回動の基準位置がなく、調整に時間
と手間がかかり、図７において、センター・ボールによ
る回動の基準位置が設けられているが、センター・ボー
ルの位置とミラーの反射面の中心との間に存在する距離
が、正確な調整を困難にしている。
ａの変位に際して、回動の基準位置がなく、調整に時間
と手間がかかり、図７において、センター・ボールによ
る回動の基準位置が設けられているが、センター・ボー
ルの位置とミラーの反射面の中心との間に存在する距離
が、正確な調整を困難にしている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ミラーの反
射面の中心を調整の基準位置として、ミラーの位置を調
整することを可能とし、ミラーの調整を簡単な機構によ
り効率的に正確な調整を短時間に行うことができる手段
を提供することを目的とするものである。
射面の中心を調整の基準位置として、ミラーの位置を調
整することを可能とし、ミラーの調整を簡単な機構によ
り効率的に正確な調整を短時間に行うことができる手段
を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、表面に反射面を形成してなるミラー本体
の位置を、取付部材に対して調節可能に取付けることが
できるミラーの位置調節取付機構において、取付部材側
とのミラー本体の当接部は、反射面の中心位置から取付
部材の取付面の中心位置までの距離を半径とする球面状
に形成し、該球面状からなる当接部を前記取付部材の取
付面に固定する圧接力調整手段と、反射面の位置を調整
することができる反射面調整手段とを、ミラー本体の背
面に設けた取付用フランジと取付部材との間に複数箇所
設けたことを特徴とするものである。
成するために、表面に反射面を形成してなるミラー本体
の位置を、取付部材に対して調節可能に取付けることが
できるミラーの位置調節取付機構において、取付部材側
とのミラー本体の当接部は、反射面の中心位置から取付
部材の取付面の中心位置までの距離を半径とする球面状
に形成し、該球面状からなる当接部を前記取付部材の取
付面に固定する圧接力調整手段と、反射面の位置を調整
することができる反射面調整手段とを、ミラー本体の背
面に設けた取付用フランジと取付部材との間に複数箇所
設けたことを特徴とするものである。
【００１０】そして、本発明では、前記圧接力調整手段
は、スプリングと調整用ねじとを組合せて構成し、反射
面調整手段は、調整用ねじで構成したことを特徴とする
ものである。
は、スプリングと調整用ねじとを組合せて構成し、反射
面調整手段は、調整用ねじで構成したことを特徴とする
ものである。
【００１１】
【作用】本発明の構成により、複数箇所に設けられたス
プリングによって、球面状をなすミラー本体側の当接部
を取付部材に対して圧接して取付けた状態において、反
射面の位置調整を要する場合、所定の反射面位置調整用
ねじの操作により、反射面は入射する光軸の中心と一致
するミラー表面の中心を基準点として変位し、調整する
ことができる。
プリングによって、球面状をなすミラー本体側の当接部
を取付部材に対して圧接して取付けた状態において、反
射面の位置調整を要する場合、所定の反射面位置調整用
ねじの操作により、反射面は入射する光軸の中心と一致
するミラー表面の中心を基準点として変位し、調整する
ことができる。
【００１２】
【実施例】以下、図１、図２に基づいて本発明の実施例
を説明する。本発明のミラーの位置調節機構の断面図
（図２のＸ−Ｘ断面）として示した図１において、反射
面１２ａの温度上昇を阻止するため、反射面１２ａを有
するミラー本体１２の裏面には、ミラー本体１２の裏面
との間に空洞部１３ａを形成した冷却基台１３を一体的
にねじ部材１７で結合する。そして、取付部材１１にミ
ラー本体１２を取付けるため、該冷却基台１３の裏面に
取付用フランジ１４をねじ部材２２で一体的に結合して
いる。
を説明する。本発明のミラーの位置調節機構の断面図
（図２のＸ−Ｘ断面）として示した図１において、反射
面１２ａの温度上昇を阻止するため、反射面１２ａを有
するミラー本体１２の裏面には、ミラー本体１２の裏面
との間に空洞部１３ａを形成した冷却基台１３を一体的
にねじ部材１７で結合する。そして、取付部材１１にミ
ラー本体１２を取付けるため、該冷却基台１３の裏面に
取付用フランジ１４をねじ部材２２で一体的に結合して
いる。
【００１３】このミラー本体を取付ける取付部材１１に
は開口１１ａが形成され、この開口１１ａは、ミラー本
体１２の位置調整に役立つための、冷却基台１３の外周
面１３ｂを支持しうる構成を有している。すなわち、取
付部材１１の開口１１ａには、冷却基台１３の外周面１
３ｂが嵌入され、この場合、冷却基台１３の外周面１３
ｂは、図３に示すように、ミラー本体１２の反射面１２
ａの中心位置Ｏを中心とし、外周面１３ｂに至る長さｒ
で描かれた球面状の表面からなり、一方、取付部材１１
の開口１１ａは、前記球面状の表面からなる冷却基台１
３の外周面１３ｂの移動を可能とする形状となってお
り、実施例では、傾斜面１１ｂを形成している。尚、傾
斜面の代わりに、同じ半径ｒの球面により構成すること
も可能である。
は開口１１ａが形成され、この開口１１ａは、ミラー本
体１２の位置調整に役立つための、冷却基台１３の外周
面１３ｂを支持しうる構成を有している。すなわち、取
付部材１１の開口１１ａには、冷却基台１３の外周面１
３ｂが嵌入され、この場合、冷却基台１３の外周面１３
ｂは、図３に示すように、ミラー本体１２の反射面１２
ａの中心位置Ｏを中心とし、外周面１３ｂに至る長さｒ
で描かれた球面状の表面からなり、一方、取付部材１１
の開口１１ａは、前記球面状の表面からなる冷却基台１
３の外周面１３ｂの移動を可能とする形状となってお
り、実施例では、傾斜面１１ｂを形成している。尚、傾
斜面の代わりに、同じ半径ｒの球面により構成すること
も可能である。
【００１４】冷却基台１３の裏面側に、ねじ部材２２で
一体的に結合された取付用フランジ１４には、冷却基台
１３の球面状の表面１３ｂを取付部材１１の傾斜面１１
ｂに当接すると共に、取付部材１１の傾斜面１１ｂに対
する冷却基台１３の球面状の表面１３ｂの当接位置を変
位させて、ミラー反射面１２ａの位置を調整するための
手段が設けられている。
一体的に結合された取付用フランジ１４には、冷却基台
１３の球面状の表面１３ｂを取付部材１１の傾斜面１１
ｂに当接すると共に、取付部材１１の傾斜面１１ｂに対
する冷却基台１３の球面状の表面１３ｂの当接位置を変
位させて、ミラー反射面１２ａの位置を調整するための
手段が設けられている。
【００１５】冷却基台１３とミラー本体１２との間に形
成された空洞部１３ａに冷却用媒体を供給、排出するた
めの手段が、取付用フランジ１４の位置に設けられてい
る。すなわち、取付用フランジ１４には、二つの開口１
４ａ，１４ｂが形成され、一方の開口１４ａの位置に
は、冷却基台１３を介して空洞部１３ａに冷却用媒体を
供給する供給接続部２０ａが、他方の開口１４ｂの位置
には、空洞部１３ａから冷却基台１３を介して冷却用媒
体を排出する排出接続部２０ｂが、それぞれ、冷却基台
１３に設けられている。２３は冷却媒体封止用のＯリン
グである。
成された空洞部１３ａに冷却用媒体を供給、排出するた
めの手段が、取付用フランジ１４の位置に設けられてい
る。すなわち、取付用フランジ１４には、二つの開口１
４ａ，１４ｂが形成され、一方の開口１４ａの位置に
は、冷却基台１３を介して空洞部１３ａに冷却用媒体を
供給する供給接続部２０ａが、他方の開口１４ｂの位置
には、空洞部１３ａから冷却基台１３を介して冷却用媒
体を排出する排出接続部２０ｂが、それぞれ、冷却基台
１３に設けられている。２３は冷却媒体封止用のＯリン
グである。
【００１６】ミラー本体１２を支持する冷却基台１３の
球面状の表面１３ｂと、取付部材１１の傾斜面１１ｂと
の間の圧接する力を所定圧にするために、実施例では、
取付部材１１と対向する取付用フランジ１４の外周位置
で、９０度の間隔を置いて４箇所の位置には、圧接力調
整手段として、スプリング１８と、このスプリング１８
の圧力を調整する圧接力調整用ねじ２１が設けられてい
る。
球面状の表面１３ｂと、取付部材１１の傾斜面１１ｂと
の間の圧接する力を所定圧にするために、実施例では、
取付部材１１と対向する取付用フランジ１４の外周位置
で、９０度の間隔を置いて４箇所の位置には、圧接力調
整手段として、スプリング１８と、このスプリング１８
の圧力を調整する圧接力調整用ねじ２１が設けられてい
る。
【００１７】その１箇所の構成は、取付部材１１と取付
用フランジ１４との対向位置には、夫々、凹状係止部１
１ｃと凹状係止部１４ｃとが形成され、それらの間に伸
長作用のスプリング１８が配置される。このスプリング
１８の強過ぎると、球面状の表面１３ｂと傾斜面１１ｂ
との間の圧接する力は大きく、弱過ぎると、圧接する力
は小さく、この圧接力は圧接力調整用ねじ２１の操作に
よって調節できる。
用フランジ１４との対向位置には、夫々、凹状係止部１
１ｃと凹状係止部１４ｃとが形成され、それらの間に伸
長作用のスプリング１８が配置される。このスプリング
１８の強過ぎると、球面状の表面１３ｂと傾斜面１１ｂ
との間の圧接する力は大きく、弱過ぎると、圧接する力
は小さく、この圧接力は圧接力調整用ねじ２１の操作に
よって調節できる。
【００１８】ミラー本体の反射面１２ａの位置を調整す
る手段として、実施例では、４箇所からなる反射面調整
手段が設けられている。この反射面調整手段は２箇所で
も良い。この反射面調整手段は、スプリング１８と圧接
力調整用ねじ２１が設置された位置とは異なる位置に、
一定の間隔を置いて設けられた反射面調整ねじ１９から
なる。この反射面調整ねじ１９は、取付用フランジ１４
のねじ孔１４ｂを介して、その先端を取付部材１１の表
面に形成された嵌合孔１１ｄに係合させている。反射面
調整ねじ１９の先端には、ボール部１９ａが形成されて
おり、該ボール部１９ａは、嵌合孔１１ｄに対する反射
面調整用ねじ１９の位置ずれを防止している。１９ｂは
調整用ねじ１９に設けられた操作つまみである。
る手段として、実施例では、４箇所からなる反射面調整
手段が設けられている。この反射面調整手段は２箇所で
も良い。この反射面調整手段は、スプリング１８と圧接
力調整用ねじ２１が設置された位置とは異なる位置に、
一定の間隔を置いて設けられた反射面調整ねじ１９から
なる。この反射面調整ねじ１９は、取付用フランジ１４
のねじ孔１４ｂを介して、その先端を取付部材１１の表
面に形成された嵌合孔１１ｄに係合させている。反射面
調整ねじ１９の先端には、ボール部１９ａが形成されて
おり、該ボール部１９ａは、嵌合孔１１ｄに対する反射
面調整用ねじ１９の位置ずれを防止している。１９ｂは
調整用ねじ１９に設けられた操作つまみである。
【００１９】４箇所に配置された圧接力調整手段におけ
る、前記スプリング１８は常時ミラー１２を取付部材１
１に固定的に取付ける作用をすると共に、スプリング１
８の作用に抗して、反射面調整手段としての反射面調整
ねじ１９を操作することにより、冷却基台１３の球面状
の表面１３ｂは取付部材１１の傾斜面１１ｂに対して所
定の方向に変位することができる。この結果、ミラー表
面１２ａは、入射する光軸の中心Ａと一致するミラー表
面の中心Ｏを基準点として、歳差的運動を行うことがで
きる。
る、前記スプリング１８は常時ミラー１２を取付部材１
１に固定的に取付ける作用をすると共に、スプリング１
８の作用に抗して、反射面調整手段としての反射面調整
ねじ１９を操作することにより、冷却基台１３の球面状
の表面１３ｂは取付部材１１の傾斜面１１ｂに対して所
定の方向に変位することができる。この結果、ミラー表
面１２ａは、入射する光軸の中心Ａと一致するミラー表
面の中心Ｏを基準点として、歳差的運動を行うことがで
きる。
【００２０】球面状の表面からなる冷却基台１３の外周
面１３ｂ及びこの球面状の表面１３ｂと当接する取付部
材１１の傾斜面１１ｂは、当接部の変形を阻止するた
め、真鍮又はステンレス鋼のような硬度を有する材料、
または同等の硬度をもつように表面処理された材料で構
成されている。
面１３ｂ及びこの球面状の表面１３ｂと当接する取付部
材１１の傾斜面１１ｂは、当接部の変形を阻止するた
め、真鍮又はステンレス鋼のような硬度を有する材料、
または同等の硬度をもつように表面処理された材料で構
成されている。
【００２１】本発明のミラーの位置調整手段のミラーに
関しては、実施例として平面ミラーについて言及した
が、平面ミラーに限られるものでなく、放物鏡等の非平
面ミラーについても、同様の調整が可能であることは当
然である。実施例において、それぞれ４箇所に配置され
た圧接力調整手段、反射面調整手段について説明した
が、４箇所に限られることなく、それぞれ２箇所、３箇
所でも良く、等間隔で複数の位置に設けることにより、
同様な調整を可能とするものである。
関しては、実施例として平面ミラーについて言及した
が、平面ミラーに限られるものでなく、放物鏡等の非平
面ミラーについても、同様の調整が可能であることは当
然である。実施例において、それぞれ４箇所に配置され
た圧接力調整手段、反射面調整手段について説明した
が、４箇所に限られることなく、それぞれ２箇所、３箇
所でも良く、等間隔で複数の位置に設けることにより、
同様な調整を可能とするものである。
【００２２】
【発明の効果】本発明の構成により、ミラー本体の反射
面の位置調整が、光軸の中心位置である反射面の中心点
を起点として行える利点を有し、この結果、結像位置に
移動を生じることなく、しかも、ミラーの光軸に対する
調節を容易に行うことができる効果を有する。
面の位置調整が、光軸の中心位置である反射面の中心点
を起点として行える利点を有し、この結果、結像位置に
移動を生じることなく、しかも、ミラーの光軸に対する
調節を容易に行うことができる効果を有する。
【図１】本発明のミラー位置調整機構の要部断面図を示
す。
す。
【図２】本発明のミラー位置調整機構の背面側平面図で
ある。
ある。
【図３】本発明のミラー位置調整機構についての説明図
である。
である。
【図４】ミラー位置調整機構の使用態様を示す図面であ
る。
る。
【図５】ミラー位置調整機構の他の使用態様を示す図面
である。
である。
【図６】従来のミラー位置調整機構の一例を示す断面図
である。
である。
【図７】従来のミラー位置調整機構の他の例を示す断面
図である。
図である。
１１ 取付部材 １１ｂ 傾斜面 １２ ミラー １２ａ 反射面 １３ 冷却基台 １３ｂ 球面状表面 １４ 取付用フランジ １８ スプリング １９ 反射面位置調整用ねじ １９ｂ 操作つまみ ２１ 圧接力調整用ねじ ２１ａ 操作つまみ
Claims (2)
- 【請求項１】 表面に反射面を形成してなるミラー本体
の位置を、取付部材に対して調節可能に取付けることが
できるミラーの位置調節取付機構において、取付部材側
とのミラー本体の当接部は、反射面の中心位置から取付
部材の取付面の中心位置までの距離を半径とする球面状
に形成し、該球面状からなる当接部を前記取付部材の取
付面に固定する圧接力調整手段と、反射面の位置を調整
することができる反射面調整手段とを、ミラー本体の背
面に設けた取付用フランジと取付部材との間に複数箇所
設けたことを特徴とするミラーの位置調節取付機構。 - 【請求項２】 前記圧接力調整手段は、スプリングと調
整用ねじとを組合せて構成し、反射面調整手段は、調整
用ねじで構成したことを特徴とする請求項１記載のミラ
ーの位置調節取付機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3874193A JPH06250073A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | ミラーの位置調節取付機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3874193A JPH06250073A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | ミラーの位置調節取付機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06250073A true JPH06250073A (ja) | 1994-09-09 |
Family
ID=12533748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3874193A Withdrawn JPH06250073A (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | ミラーの位置調節取付機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06250073A (ja) |
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1993
- 1993-02-26 JP JP3874193A patent/JPH06250073A/ja not_active Withdrawn
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