JPH06252246A

JPH06252246A - 板状体搬送装置

Info

Publication number: JPH06252246A
Application number: JP6320693A
Authority: JP
Inventors: Hisashi Kikuchi; 寿菊地; Noboru Sato; 昇佐藤
Original assignee: Tokyo Electron Ltd; Tokyo Electron Tohoku Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd; Tokyo Electron Tohoku Ltd
Priority date: 1993-02-26
Filing date: 1993-02-26
Publication date: 1994-09-09

Abstract

(57)【要約】【目的】半導体ウエハ等の板状体の配列ピッチを無段
階に可変できる構造を備えた板状体搬送装置を提供する
ことにある。【構成】本発明では、複数の板状体を一括して保持した
状態で搬送する構造において、等間隔を以って奇数個配
列され、中央部に位置するものが不動状態にされている
保持アーム１２を設け、この保持アーム１２の外周縁側
で配列方向両側に位置するアームをそれぞれ相反する方
向にひとしい距離で駆動する構造２６，３０を備えてい
る。そして、この駆動による各保持アーム１２の移動
は、平行移動手段４６によって平行かつ等間隔を以って
行なうようになっている。従って、駆動量に応じて配列
方向両側の保持アーム１２に連動して中央部のものを除
いて残りの保持アームを相反する方向に移動させること
ができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、板状体搬送装置に関
し、さらに詳しくは、半導体ウエハ等の移載機構に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、半導体ウエハ等、板状体
の処理装置においては、処理部に対してロード／アンロ
ードされる半導体ウエハをカセット等の収容部に搬送す
る機構が設けられることが多い。

【０００３】このような搬送機構を用いる装置の一つに
熱処理装置がある。この熱処理装置は、酸化、拡散、ア
ニールや成膜に用いられるものである。この装置では、
複数の半導体ウエハをカセットからボートに移し換えて
ボートを熱処理炉にロードしたり、あるいは、この逆に
アンロードされたボートからカセット内に向け半導体ウ
エハを移し換えることが行われている。

【０００４】このため、熱処理装置のロード／アンロー
ド部には、カセットとボートとの間で半導体ウエハを受
渡しする半導体ウエハ搬送装置が装備されている。

【０００５】ところで、この半導体ウエハ搬送装置に
は、複数の半導体ウエハ等の板状体を一括して搬送する
ことにより、半導体製造行程でのスループットを改善す
ることのできる構造がある。

【０００６】この構造の一例としては、図８に示すよう
に、回転昇降及び進退可能なアーム機構８０が装備され
ており、このアーム機構８０は、アーム先端に、例え
ば、５段の半導体ウエハ載置部を備ている。そしてアー
ム機構８０は、カセット８２とボート８４との間で半導
体ウエハ８６の受渡しを行うようになっている。

【０００７】また、近年では、一括搬送する場合の構造
として、半導体ウエハ同士のピッチをカセットおよびボ
ートの収納ピッチに応じて可変することのできる構造が
提案されている（例えば、実開昭６４−３５７４６号公
報あるいは、特開平４−３０５５２号公報）。これは、
ユーザ毎、および熱処理の種類等によりカセットピッチ
とボートピッチが異なる場合がある。

【０００８】そして、ピッチ可変のための構造として、
前者には、軸上で送りネジのピッチが異なるリード部を
複数箇所に形成し、この各リード部に嵌合するナットを
設けると共に、このナットには、半導体ウエハの載置部
を有する吸着プレートを取付けた構造が示されている。

【０００９】また、後者には、半導体ウエハを載置支持
するために並列されている支持アームの最上位または最
下位のものをネジ軸に嵌合させ、他方をネジ軸の回転に
影響されない構造とし、その支持アームの間に位置する
支持アーム同士を連結する交差部が中央に設けられた平
行移動可能な連動アームを備えた構造が示されている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
搬送装置には、次のような問題があった。

【００１１】すなわち、前者に記載された構成では、リ
ード部が多くなるほどピッチ誤差が大きくなる。しか
も、このことは、アームの段数によって影響されるの
で、一括搬送できる板状体の枚数を増加した場合には、
ピッチを変更した際の誤差が大きくなりやすい。ちなみ
に、誤差を少なくしようとすると、加工精度を上げなけ
ればならずこの結果、コストアップを招く。また、リー
ド部を備えた軸は、半導体ウエハの載置部の中央部を貫
通しているので、半導体ウエハの載置部に近い。従っ
て、リード部とナットとの嵌合部からの発塵が起こった
場合は、その箇所が多いと半導体ウエハへ達する確率が
高くなり、歩留まりを低下させる。

【００１２】また、後者に記載された構成では、最下位
に位置する可動板にナットが取付けられ、このナットが
ネジ軸の回転に応じて軸方向に変位する。そして、この
ネジ軸とナットとの嵌合によって可動板が変位する方向
に併せて複数段数アームを伸縮駆動させて半導体ウエハ
の支持アームのピッチを変更している。しかし、この構
造では、最上位または最下位のアームを駆動側として他
方のアームに至までの駆動伝達距離が長くなる。従っ
て、その間で、伝達部での誤差が生じると、最終位置で
の駆動量の誤差が大きくなり、結果として、等間隔での
ピッチ変更が行えなくなる。

【００１３】また、後者の構成においても、前者の構成
と同様に、ネジ軸が支持アームの中央部に貫通させてあ
り、半導体ウエハの載置部に近い。従って、ナットの嵌
合部からの発塵があった場合には、半導体ウエハへ達す
る確率が高くなり歩留まりを低下させる。

【００１４】そこで、本発明の目的とするところは、半
導体ウエハ等の板状体の配列ピッチを無段階に可変でき
る構造を備えた板状体搬送装置を提供することにある。

【００１５】また、本発明の他の目的は、配列ピッチを
可変する際のピッチ誤差や発塵を防止することのできる
構造を備えた板状体搬送装置を提供することにある。

【００１６】

【問題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、複数の板状体を一括して保
持した状態で搬送する構造を備えた板状体搬送装置にお
いて、上記板状体を保持するために等間隔を以て奇数個
配列され、そのうちの中央に位置するものが配列方向で
不動状態にされている保持アームと、上記保持アームの
うちの配列方向両端のものにそれぞれ設けられている従
動手段と、上記従動手段に係合し、上記従動手段を相反
する方向にそれぞれ駆動する駆動手段と、上記保持アー
ムに連結され、保持アームのうち中央部と両端部の間に
位置する保持アームを、平行かつ等間隔を以て上記従動
部と連動させる平行移動手段と、を備えていることを特
徴としている。

【００１７】請求項２記載の発明は、請求項１記載の板
状体搬送装置において、上記保持アームは、一端に上記
フォーク部が、他端に従動手段がそれぞれ配置され、こ
れら各端部の間に平行移動手段が配置されていることを
特徴としている。

【００１８】請求項３記載の発明は、請求項２記載の板
状体搬送装置において、上記平行駆動手段は、フォーク
部と従動手段との位置を結ぶ線上で中間部に位置して形
成された切欠き部の内部に配置されていることを特徴と
している。

【００１９】請求項４記載の発明は、請求項２記載の板
状体搬送装置において、平行移動手段は、平面視におい
てコ字状のリンクと、このコ字状リンクに囲まれた領域
内に位置するリンクとを特徴としている。

【００２０】請求項５記載の発明は、請求項１乃至４記
載の板状体搬送装置のうちのひとつにおいて、上記保持
アームは、板状体を載置保持するフォーク部が着脱可能
に設けられ、この着脱部に上記フォーク部との取付け角
度を調整するための調整機構が設けられていることを特
徴としている。

【００２１】請求項６記載の発明は、請求項１乃至４記
載の板状体搬送装置のうちのひとつにおいて、上記従動
手段には、駆動手段に対する保持アームの配列方向に沿
った位置関係を調整する位置調整機構が設けらている。

【００２２】

【作用】本発明では、複数配列された保持アームの配列
ピッチを無段階に行える。すなわち、保持アームには、
回転量を変化させることができる駆動手段に係合する従
動手段、および、各保持アーム同士を平行移動かつ等間
隔を以て移動させる平行移動手段が設けられている。そ
して、この保持アームは、奇数個配列されているなか
で、中央位置のものが不動状態にされている。また、駆
動に際しては、配列方向両側の保持アームが駆動手段に
よる駆動される。従って、駆動手段での回転量の設定に
応じて配列方向両側の保持アームが駆動されると、配列
方向一方側と中央部との間に位置する保持アームが、配
列方向他方側のものとともに均等に相対移動することが
できる。

【００２３】また本発明では、保持アームの一端にフォ
ーク部がそして他端に従動手段がさらに、これら端部の
中間部に切欠き部が設けられ、この切欠き部内に平行移
動手段が配置されている。従って、保持アームのうち、
最上位及び最下位のものと中央位置のものとの間に位置
するアームを連動させる場合には、保持アームの面の中
央位置で配列方向に連動させることができるので、最少
限の数の平行移動手段を設けるだけで円滑な変位を行え
る。

【００２４】さらに本発明では、保持アームに有するフ
ォーク部及び従動手段には、それぞれ調整機構が備えら
れているので、フォーク部の角度調整及び駆動手段に対
する位置調整によって対向関係を最適化することができ
る。

【００２５】

【実施例】以下、図１乃至図７に示す実施例による本発
明の詳細を説明する。

【００２６】図１は、本発明による板状体搬送装置の全
体構成を模式的に示す斜視図である。

【００２７】板状体搬送装置１０は、図において、図示
しない筐体部内に収容され、縦方向に沿って奇数個配列
された保持アーム１２を備えている。本実施例では、５
個の保持アームが備えられている。なお、図において、
これら保持アーム１２は、上から順に、符号１２Ａ、１
２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄ、１２Ｅによって示されている。

【００２８】そして、これら保持アーム１２Ａ乃至１２
Ｅのうち、配列方向中央に位置する保持アーム１２Ｃ
は、板状体搬送装置１０内の高さ方向中央位置で装置本
体側に固定されることにより、縦方向では不動なアーム
とされている。

【００２９】そして、残りの保持アームは、ガイド軸１
４、１６によって摺動可能に設けられている。すなわ
ち、ガイド軸１４、１６は、保持アーム１２の四隅でそ
れぞれ一対に配置されている。一対のガイド軸のうち、
一方のガイド軸１４は、図２に示されているように、保
持アームのうちの配列方向両側、つまり、最上位と最下
位に位置する保持アーム１２Ａ、１２Ｅを摺動させるた
めに設けられており、また、他方のガイド軸１６は配列
方向両側の保持アームと中央位置の保持アーム１２Ｃと
の間に位置する保持アーム１２Ｂ、１２Ｄを摺動させる
ために設けられている。このため、一方のガイド軸１４
には、図２に示されているように、保持アーム１２Ａ、
１２Ｅに固定されているリニアガイド１８が嵌合し、ま
た、他方のガイド軸１６には保持アーム１２Ｂ、１２Ｄ
に固定されているリニアガイド２０が嵌合している。リ
ニアガイドは、移動を安定させるために、保持アームの
厚さよりも長くされ、他のアームにはリニアガイドと干
渉しない孔が形成されている。

【００３０】そして、保持アーム１２の一方端には、半
導体ウエハ等の板状体を載置保持するためのフォーク２
２が設けられている。このフォーク２２は、例えば、ア
ルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）製のウエハ載置部２２Ａとこのウ
エハ載置部２２Ａを固定する基部２２Ｂとを備えてい
る。ウエハ載置部２２Ａには、半導体ウエハの外周縁を
係止するための凹部２２Ａ１が形成されている。また、
基部２２Ｂは、後述する取付け基板２４に載置されて側
面をクランプされる。

【００３１】取付け基板２４は、図３に示されているよ
うに、平面視においてＣ型に形状設定された部材であ
り、保持アーム１２の先端に形成されている舌片１２Ｆ
に締結されることにより保持アーム１２と一体化され
る。そして、取付け基板２４の対向片には、フォーク２
２の基板２２Ｂをクランプするためのボルト２４Ａの先
端が圧接するようになっており、また、基部にはフォー
ク２２の調整機構が設けられている。この調整機構は、
基板２２Ｂの傾きを調整して水平度を維持させるための
機構である。このため、フォーク２２の基板２２Ｂの基
端には、図４に示されているように、溝２２Ｂ１が形成
され、この溝２２Ｂ１には、取付け基板２４の対向片か
ら挿入されたピン２２Ｃが配置されている。従って、フ
ォーク２２の両側でのクランプ力を弱めれば、ピン２２
Ｃを支点としてフォーク２２の揺動を許容できるので、
保持アーム１２の設置角度に拘らず、フォーク２２を水
平状態に調整することができる。

【００３２】一方、保持アーム１２において、フォーク
２２と対向する端部には、保持アーム１２を移動させる
ための構造が設けられている。

【００３３】すなわち、保持アーム１２を移動させるた
めの構造は、従動手段２６および駆動手段２８を備えて
いる。

【００３４】従動手段２６は、配列方向両側、つまり、
最上位および最下位に位置する保持アーム１２Ａ、１２
Ｅの外周縁に位置する保持ブラケット２６Ａおよびこれ
に固定されている支持板２６Ｂを有し、保持ブラケット
２６Ａには、保持アーム１２Ａ、１２Ｅの外側縁に固定
されているボルト３０が挿通される長孔２６Ａ１が形成
されている。

【００３５】この長孔２６Ａ１は、従動手段２６と駆動
手段２８との初期位置を調整するためのものである。従
って、長孔２６Ａ１に挿通されているボルト３０を弛め
れば、保持ブラケット２６Ａを縦方向に変位させること
ができる。なお、これら支持板２６Ｂの対向面には、図
示しないが、所定の間隔、この場合には、保持アーム同
士が重畳された状態が得られた時の支持板間の間隔を設
定するストッパが取付けられている。

【００３６】また、従動手段２６における支持板２６Ｂ
には、遮光部材３２が固定されている。この遮光部材３
２は、後で詳しく述べるが、駆動手段２８による保持ア
ーム１２間のピッチを設定する際に用いられる部材であ
る。

【００３７】一方、駆動手段２８は、駆動ネジ３４およ
びこの駆動ネジ３４の回転駆動手段３６を備えている。
駆動ネジ３４は、本実施例の場合、装置本体の高さ方向
に沿った軸方向を設定され、その軸方向端部は、図２に
示されているように、装置の不動部によってそれぞれ回
転可能に支持されている。そして、駆動ネジ３４は、装
置の高さ方向中央に相当する軸方向中央部を境にして一
方側と他方側とに、相反する方向のリード方向および同
じリード量に設定されたリード部が形成されている。

【００３８】そして、これら各リード部には、支持板２
６Ｂに取付けられたボールナット３８が嵌合している。
従って、駆動ネジ３４を回転させた場合には、ボールナ
ット３８を介して従動手段２６が互いに相反する方向に
等しい距離だけ移動することができる。このため、駆動
ネジ３４の軸方向一端には、従動プーリ４０が取付けら
れている。そして、この従動プーリ４０は、回転駆動手
段３６をなすパルスモータ側に設けられている駆動プー
リ４２との間に掛けられたベルト４４によってパルスモ
ータの回転力が伝達される。

【００３９】また、保持アーム１２には、最上位および
最下位のものが変位した場合に、その間に位置する保持
アームを平行かつ等間隔を以て連動させるための構造が
設けられている。

【００４０】すなわち、保持アーム１２の面で、フォー
ク２２が位置する一端と従動手段２６が位置する他端と
の間の中央部には、図３に示されているように、矩形の
孔が形成され、この孔の内部に平行移動手段４６が設け
られている。

【００４１】平行移動手段４６は、図５に示されている
ように、複数のアームを段違い状に繋ぎ合わせた複数の
リンク４６Ａ、４６Ｂ、４６Ｃ、４６Ｄ、４６Ｅを有す
るリンク機構であり、各アームの交差する中央部がピン
４６Ｆを介して保持アーム１２に連結されている。この
平行移動手段４６は、図３に示されているように、平面
視において、コ字状に形状設定された外側リンク４６
Ｂ、４６Ｄとこれに囲まれた領域内に位置するリンク４
６Ａ、４６Ｃ、４６Ｅとがその両端を互いにピン４６Ｇ
により連結されて伸縮できるようになっている。本実施
例では、最上位および最下位そして、中央部に位置する
保持アームに連結されるリンクが内側に位置し、これら
保持アームの間に位置する保持アームに連結されたリン
クが外側のコ字状に形成されている。このように、外側
とこの外側に囲まれた位置にそれぞれリンクを配置する
ことにより、収縮させて保持アーム同士を密着させた場
合にリンクに交差部がないので、互いのリンクが干渉す
るようなことがない。

【００４２】そして、これらリンクは、両端を支点とし
て伸縮することができ、伸縮した時にリンクの中央部に
発生する昇降変位が保持アーム１２に伝達される。

【００４３】一方、上記プーリ４０および４２の近傍に
は、バキューム機構４８に接続された吸込み口５０が対
面して設けられている。この吸込み口５０は、例えば、
装置内に設けられているワイヤハーネス取付け用壁５２
に固定されている。

【００４４】ところで、本実施例では、フォーク２２同
士のピッチを変更する場合の構造が設けられている。す
なわち、フォーク２２のピッチを変更する場合として
は、半導体ウエハの仕様に応じてボートとカセット内の
収納ピッチに合せる場合がある。そして、本実施例で
は、例えば、３／１６インチ、６／１６インチおよび９
／１６インチの３種類のピッチが選択される。

【００４５】このため、本実施例では、図６に示されて
いるように、一方の従動手段２６に有する支持板２６Ｂ
の遮光部材３２とこの遮光部材３２の通路上に配置され
ている原点センサ５４およびこれをはさんで対向する位
置に配置されている上限センサ５６、下限センサ５８が
設けられている。これら各センサは、共に、光学センサ
で構成されている。従って、原点センサ５４の光路が遮
光部材３２によって遮断された時点から所定パルスを回
転駆動手段３６であるパルスモータに与えることで上記
各ピッチを設定できるようになっている。また、上限、
下限各センサ５６、５８は、従動部材２６のオーバーラ
ン検知用として設けられており、これらセンサによって
従動部材の通過が検知された場合には、即座に回転駆動
手段３６への通電を停止する。

【００４６】次に作用について説明する。

【００４７】まず、板状体搬送装置１０が組み立てられ
る場合には、保持アーム１２Ａ乃至１２Ｅが重畳された
状態で平行移動手段４６のリンクの中央部に連結され、
また、リニアガイド１８、２０に対して選択的に取り付
けられる。そして、各保持アームのうち、配列方向中央
に位置する保持アーム１２Ｃが装置内の不動部に固定さ
れ、さらに、最上位および最下位の保持アーム１２Ａ、
１２Ｅが従動手段２６の保持ブラケット２６Ａとボルト
３０を介して連結される。リニアガイド１８、２０は、
装置本体内に固定されたガイド軸１４、１６に嵌合させ
られ、また、従動手段２６の支持板２６Ｂに固定されて
いるボールナット３８は、駆動ネジ３４に嵌合させられ
る。このとき、ボルト３０を弛めて保持ブラケット２６
Ａの位置を調整することにより、駆動ネジ３４に対する
従動手段２６の初期位置調整が行われる。

【００４８】さらに、半導体ウエハ等の板状体を載置す
るフォーク２２は、ウエハ載置部２２Ａが基部２２Ｂに
固定され、この基部２２Ｂが取付け基板２４を介して保
持アーム１２に取り付けられることによって保持アーム
１２と一体化される。このとき、基部２２Ｂの溝２２Ｂ
１に嵌合しているピン２２Ｃを支点としてフォーク２２
の傾きを矯正することができる。従って、フォーク２２
は、延長方向を水平に維持されることになる。

【００４９】一方、上記板状体搬送装置１０は、例え
ば、図８に示した回転および昇降可能なアーム機構８０
に装備されて、搬送のために用いられる。

【００５０】そして、搬送すべき板状体の載置ピッチに
応じて保持アーム１２のフォーク２２のピッチを設定す
る場合には、予め、回転駆動手段３６であるパルスモー
タへの駆動パルスの数が選択される。従って、回転駆動
手段３６は、現段階で停止している位置から回転を開始
し、これに応じて従動手段２６が変位したときに、遮光
部材３２が原点センサ５４の光路を遮断した時点から上
記駆動パルスに応じた量の回転を行なう。このため、駆
動ネジ３４は、駆動プーリ４０および従動プーリ４２に
より回転駆動手段３６からの回転が伝達されると、ボー
ルナット３８を介して従動手段２６および保持アーム１
２Ａ、１２Ｅを相反する方向に等しい距離だけ変位させ
る。このとき、例えば、図７に示すように、平行移動手
段４６の各リンク４６Ａ乃至４６Ｅが伸長されてフォー
ク２２同士のピッチが設定される。

【００５１】また、フォーク２２同士のピッチ設定は、
予め固定されたものではなく、例えば、搬送途中におい
て変更される場合もある。

【００５２】すなわち、図８に示した熱処理装置におい
て、カセット８２での半導体ウエハの載置ピッチとボー
ト８４での半導体ウエハの載置ピッチとが異なる場合、
カセット８２からの半導体ウエハの取り出しあるいはボ
ート８４からの半導体ウエハの取り出し後にボートある
いはカセット８２側での載置ピッチに合わせることが必
要になる。このため、本実施例では、例えば、アーム機
構８０の回転開始にあわせて回転駆動手段３６であるパ
ルスモータが回転し、これに伴い従動手段２６側の遮光
部材３２による原点センサ５４の光路遮断が行なわれた
時点から所定パルスに応じた回転量が回転駆動手段３６
に設定される。従って、従動手段２６は、駆動ネジ３４
の回転に応じて互いに相反する方向に変位し、フォーク
２２を所期のピッチに設定する。

【００５３】以上のように本実施例によれば、奇数個配
列された保持アームのうち、不動状態にある中央部のも
のと最上位および最下位のものとの間に位置する保持ア
ームの数を単一とした場合には、最上位および最下位の
ものが変位した場合にこれら保持アームにかかる負荷を
最小限にして円滑な変位を可能にすることができる。

【００５４】しかも、最上位および最下位のものと中央
部のものとの間に位置する保持アームのみを対象として
連動さればよいので、連動する保持アームの駆動長さが
短くてすみ、これによって、ピッチ誤差を低減させるこ
とができる。

【００５５】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々変形実施す
ることが可能である。例えば、保持アームの数に関し
て、上記実施例では５段の配列を対象としたが、これ以
外の奇数個とすることも可能である。また、多数の場
合、最上段と最下段を駆動することだけと限らず、リン
クの構成による誤差の許される反ｊ−いで保持アームを
上段・下段に設置することも可能になる。

【００５６】また多数の場合、最上段と最下段を駆動す
ることだけと限らず、リンクの構成による誤差の許され
る範囲で保持アームを上段・下段に設置することも可能
になる。

【００５７】また、保持アーム側に位置するフォーク
は、単に板状体の周縁を係止する構造とするだけでな
く、例えば、真空吸着が行なえる構造としても良い。こ
の場合には、板状体が縦置きにされて並べられた場合に
本発明を適用することが可能になる。また、板状体は、
半導体ウエハに限らず、ガラス基板などでも良く、形状
においても、半導体ウエハと異なる形状とすることも可
能である。

【００５８】さらに、本発明による板状体搬送装置は、
熱処理装置だけでなく、半導体製造装置、液晶製造装置
の各工程で活用できるものであり、ＣＶＤ装置やプラズ
マ処理装置あるいはキャリアストッカ装置、ボートスト
ッカー装置などにも適用することが可能である。

【００５９】また、本実施例において説明した平行移動
手段４６は、リンクの中央部と端部との間の距離を変更
できる構造としてもよい。この場合には、例えば、アー
ムの端部にアームの長手方向に沿って複数段の係合溝を
形成し、この係合溝に対してソレノイド等の突出し部材
により支点軸の位置を変更する構造等が考えられる。こ
のようなリンク側での揺動半径を変更することにより、
駆動のためのトルクやピッチはばを得るための増幅率等
を選択して最摘なピッチ変更条件を設定することができ
る。

【００６０】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、板状体の
一括搬送を行なう場合の配列ピッチを無段階に変更する
ことができる。すなわち、保持アームには、回転量を変
化させることができる駆動手段に係合する従動手段、お
よび、各保持アーム同士を平行移動かつ等間隔を以て移
動させる平行移動手段が設けられている。そして、この
保持アームは、奇数個配列されているなかで、中央位置
のものが不動状態にされている。また、駆動に際して
は、配列方向両側の保持アームが駆動手段による駆動さ
れる。従って、駆動手段での回転量の設定に応じて配列
方向両側の保持アームが駆動されると、配列方向一方側
と中央部との間に位置する保持アームが、配列方向他方
側のものとともに均等に相対移動することができる。

【００６１】また本発明では、保持アームの一端にフォ
ーク部がそして他端に従動手段がさらに、これら端部の
中間部に切欠き部が設けられ、この切欠き部内に平行移
動手段が配置されている。従って、保持アームのうち、
最上位および最下位のものと中央位置のものとの間に位
置するアームを連動させる場合には、保持アームの面の
中央位置で配列方向に行連動させることができるので、
最小限の数の平行移動手段を設けるだけで円滑な変位を
行える。

【００６２】さらに本発明では、保持アームに有するフ
ォーク部および従動手段には、それぞれ調整機構が備え
られているので、フォーク部の角度調整および駆動手段
に対する位置調整によって対応関係を最適化することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による板状態搬送装置の実施例の要部構
成を示す模式的な斜視図である。

【図２】図１中、符号Ａ−Ａで示す方向の矢視断面図で
ある。

【図３】図１中、符号Ｂで示す方向の矢視断面図であ
る。

【図４】図３中、符号Ｃで示す箇所の拡大断面図であ
る。

【図５】図１に示した構成の一部のみを抽出して示した
断面図である。

【図６】図１中、符号Ｄで示す方向の矢視図である。

【図７】図５に示した構造の動作を示す断面図である。

【図８】板状態搬送装置が用いられる装置の一例を示す
概略斜視図である。

【符号の説明】

１０板状体搬送装置１２保持アーム２２フォーク２６従動手段２８駆動手段３４駆動ネジ３８ボールナット４６平行移動手段４８バキューム機構

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の板状体を一括して保持した状態で
搬送する構造を備えた板状体搬送装置において、上記板状体を保持するために等間隔を以て奇数個配列さ
れ、そのうちの中央に位置するものが配列方向で不動状
態にされている保持アームと、上記保持アームのうちの配列方向両端のものにそれぞれ
設けられている従動手段と、上記従動手段に係合し、上記従動手段を相反する方向に
それぞれ駆動する駆動手段と、上記保持アームに連結され、保持アームのうち中央部と
両端部の間に位置する保持アームを、平行かつ等間隔を
以て上記従動部と連動させる平行移動手段と、を備えていることを特徴とする板状体搬送装置。
【請求項２】請求項１記載の板状体搬送装置におい
て、上記保持アームは、一端にフォーク部が、他端に上記従
動手段がそれぞれ配置され、これら各端部の間に上記平
行移動手段が配置されていることを特徴とする板状体搬
送装置。
【請求項３】請求項２記載の板状体搬送装置において、上記駆動手段は、フォーク部と従動手段との位置を結ぶ
線上で中間部に位置して上記保持アームに形成された切
欠き部の内部に配置されていることを特徴とする板状体
搬送装置。
【請求項４】請求項２記載の板状体搬送装置におい
て、平行移動手段は、平面視においてコ字状のリンクと、こ
のコ字状リンクに囲まれた領域内に位置するリンクと
を、交互に連結して構成したことを特徴とする板状体搬
送装置。
【請求項５】請求項１乃至４記載の板状体搬送装置の
うちのひとつにおいて、上記保持アームは、板状体を載置保持するフォーク部が
着脱可能に設けられ、この着脱部に上記フォーク部との
取付け角度を調整するための調整機構が設けられている
ことを特徴とする板状体搬送装置。
【請求項６】請求項１乃至４記載の板状体搬送装置の
うちのひとつにおいて、上記従動手段には、駆動手段に対する保持アームの配列
方向に沿った位置関係を調整する位置調整機構が設けら
れていることを特徴とする板状体搬送装置。