JPH06252247A - 小物品の移し替え方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 小物品の移し替え作業時に、小物品を良好に
貼着シートから離脱でき、また、所定位置に良好に移載
できる小物品の移し替え技術を提供する。 【構成】 貼着シート３のペレット２上に停止されたコ
レット１０が、ニードル７によるペレットの突き上げ時
にニードルの上昇速度よりも遅い速度で上昇する。そし
て、シートから分離されたペレットを真空吸着したコレ
ットがペレットを収納トレー４０へ移載する際に、ペレ
ットを一旦、トレーの載置面に接触させた後、ペレット
の厚さ以下の範囲内でコレットを上昇させ、その状態で
コレットから空気を吹き出しペレットを離脱させる。 【効果】 ニードルのペレット突き上げ時にペレットに
かかる荷重が軽減し、ペレットの損傷等が防止される。
また、ペレットの収納トレーへの移載時に、ペレットが
確実に離脱され、かつ、コレットと収納トレーの載置面
がガイドとなってペレットが確実に収納トレーへ整列さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、小物品の移し替え方
法、特に、貼着シートに貼着されている小物品を、ニー
ドルによって貼着シートから離脱させ、コレットにその
小物品を吸着させて所定位置に移載する小物品の移し替
え方法に関するもので、半導体装置の製造において、貼
着シートからピックアップした半導体ペレット（以下、
ペレットという。）を収納トレーへ整列させる工程や、
貼着シートからピックアップしたペレットをリードフレ
ーム等へ直接ボンディングする際の工程等に利用して有
効なものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程においては、貼着
シートからペレットをピックアップし、収納トレーへ移
し替える移し替え作業が実施されている。すなわち、貼
着シートに貼着されている複数個のペレットを、貼着シ
ートから個々にピックアップして収納トレーへ整列させ
る工程では、ピックアップ用コレットはコレット軸が上
下に配置する各一対の軸受に接触され、かつ、バネでコ
レット軸が軸受に押し付けられる構成を有しており、こ
のコレットがその上部に形成されている支持部の下面を
コレット駆動手段に保持されている。コレット駆動手段
はリンク機構によって上下動作可能に構成されており、
コレット駆動手段が上下動することにより、コレットも
上下動する。

【０００３】上記において、コレット駆動手段が下動し
てコレットがペレットの表面に下降後、コレットが真空
に引かれ、ニードルにてペレットを貼着シートから分離
した後、コレット駆動手段が上動してコレットが上昇
し、ペレットがピックアップされていた。

【０００４】また、ペレットのピックアップ後、収納ト
レーへの整列作業は、コレット駆動手段が収納トレー位
置へ移動されて、コレット駆動手段が下動されることに
よりコレットが収納トレー上に下降し、この状態でコレ
ットから空気が吹き出されて、コレットからペレットが
分離されて収納トレーに整列させられていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ペ
レットの移し替え作業においては、微少で脆弱なペレッ
トを取り扱う際に下記の問題点が発生していた。

【０００６】（１） ペレット上にコレットが下降後、
ニードルの突き上げにより貼着シートからペレットを分
離する際に、ニードルの突き上げによってペレットと一
緒にコレットも押し上げられる。このとき、コレットを
動かすための初期駆動荷重がペレット面への負荷として
加わり、ペレットの裏面にニードルによって傷が付いた
り、時には割れや欠けが発生する。

【０００７】（２） また、ペレットのピックアップ
後、収納トレーへの整列作業時に、コレットでピックア
ップされたペレットが収納トレーの定位置で下降され、
ペレットが収納トレー上に接触された状態で、コレット
から空気が吹き出されコレット内の真空がブレークされ
る場合は、ペレットがコレットに貼り付いてコレットか
ら分離できずにペレットを持ち帰ることがあった。

【０００８】本発明の目的は、小物品の移し替え作業時
に、小物品を良好に貼着シートから離脱でき、また、所
定位置に良好に移載することができる小物品の移し替え
技術を提供することにある。

【０００９】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【００１１】すなわち、コレットがコレットを上昇およ
び下降させるコレット駆動手段に上下動可能なように保
持されており、小物品の移し替え時に、前記コレットが
コレット駆動手段によって下降され、貼着シートに貼着
されている小物品の表面に接触された状態で、貼着シー
トの裏面からニードルが突き上げることにより貼着シー
トから前記小物品を離脱させ、コレットにその小物品を
吸着させて所定位置に搬送する小物品の移し替え方法に
おいて、前記ニードルの小物品突き上げ時に、前記コレ
ットをニードルの突き上げ速度よりも遅い速度で前記コ
レット駆動手段によって上昇させることを特徴とする。

【００１２】また、コレットがコレットを上昇および下
降させるコレット駆動手段に上下動可能なように保持さ
れており、小物品の移し替え時に、前記コレットがコレ
ット駆動手段によって下降され、貼着シートに貼着され
ている小物品の表面に接触された状態で、貼着シートの
裏面からニードルが突き上げることにより貼着シートか
ら前記小物品を離脱させ、コレットにその小物品を吸着
させて所定位置に搬送し、その所定の搬送位置でコレッ
トから離脱させる小物品の移し替え方法において、前記
コレットに吸着された小物品を所定の搬送位置でコレッ
トから離脱させる際に、前記コレットをコレット駆動手
段によって下降させて小物品を一旦、載置面に接触させ
た後、小物品の厚さ以下の範囲でコレット駆動手段によ
ってコレットを上昇させ、その位置で小物品をコレット
から離脱させることを特徴とする。

【００１３】

【作用】前記した第１の手段によれば、ニードルによる
小物品の突き上げ時に、コレットがニードルの突き上げ
速度よりも遅い速度で上昇するため、ニードルが小物品
と一緒にコレットを押し上げる際の荷重が軽減する。そ
の結果、ニードルによって小物品の裏面に加わる荷重が
軽減するので、小物品に傷が付いたり、割れや欠けが発
生するのが防止される。

【００１４】また、前記した第２の手段によれば、小物
品が載置面から少し上の位置に配置された状態でコレッ
トから空気が吹き出されることによって、小物品がコレ
ットから確実に分離でき、かつ、コレットと載置面とが
ガイドとなって小物品が裏返されたり、吹き飛ばされる
こともなく、良好に所定位置に配列される。

【００１５】

【実施例】図１は本発明の一実施例である小物品の移し
替え方法に使用されているコレットを駆動する上下動作
レバーとニードルの駆動プロファイルを示す図、図２は
ペレットをピックアップする部分を示す正面断面図であ
る。

【００１６】本実施例において、本発明に係る小物品の
移し替え方法は、半導体製造工程において、小物品とし
てのダイシングされた半導体ペレット（以下、ペレット
という。）を貼着シートから１個宛、ピックアップし、
所定位置へ移載するものとして使用されており、ワーク
としてのペレット付貼着シート１は次のようにして構成
されている。

【００１７】半導体装置の製造工程における所謂前工程
において、各ペレット２毎にトランジスタやダイオー
ド、半導体集積回路装置、光半導体装置等が作り込まれ
たウエハ（図示せず）には、その裏面に貼着シート３が
貼着される。貼着シート３は、樹脂等のような伸縮性を
有する材料を用いられてウエハよりも大径の薄膜形状に
形成されているシート基材の片側主面に適当な貼着剤が
塗布されている。

【００１８】続いて、ダイシング工程において、ウエハ
は各ペレット２に分断される。このとき、ウエハの裏面
に貼着されている貼着シート３は切断されないため、ペ
レット２群はばらばらにならずに一群にまとまった状態
になっている。

【００１９】次いで、治具装着工程において、ステンレ
ス鋼等からなる円形リング内に対向するようにして貼着
シート３が配された後、径方向外向きに貼着シート３が
引き伸ばされてその外周辺部が円形リング２５に固定さ
れる。このとき、貼着シート３の伸びに伴って隣合うペ
レット２、２間が離れることになる。

【００２０】ピックアップ装置は、ワーク１を保持する
ためのテーブル４を備えており、テーブル４はＸＹＺ方
向に移動し得るように構成されている。また、テーブル
４の下方に配置されているステージ５に設けられている
ガイド孔６にニードル７が上下動自在に挿入されてい
る。ニードル７は図示しない駆動装置によって上下動さ
れるようになっており、その下限位置ではガイド孔６内
に格納されるが、その上限位置においてはステージ５の
上面から突出するように構成されている。

【００２１】ニードル７の真上にはコレット１０が配置
されるようになっており、このコレット１０はニードル
７によって突き上げられたペレット２を上から真空吸着
保持し得るように構成されている。また、コレット１０
は移載装置によってニードル７の真上位置からペレット
２を移送すべき位置まで移動されるように構成されてい
る。

【００２２】コレット１０のコレット軸１１の内部には
上下方向に貫通する空気孔が設けられており、上端部に
接続されている真空駆動源（図示せず）によって真空に
引かれることにより、コレット１０の下端面が吸着面を
形成するように構成されている。

【００２３】コレット軸１１の上部と下部にはそれぞれ
一対の軸受１２、１３が配置されている。各一対の軸受
１２、１３はＸＹＺ方向に移動可能な移動アーム１４に
固定されているブラケット１５によってそれぞれ垂直面
内を回転自在に支持されており、かつ、それぞれ平面視
でハ字状に配置されており（図面ではハ字状に配置され
ているうちの一方の軸受が示されている）、これらの各
一対の軸受１２、１３にコレット軸１１の外周面が接触
するように配設されている。

【００２４】そして、コレット軸１１は引っ張りばね１
６によって各一対の軸受１２、１３の外周面に押し付け
られている。引っ張りばね１６は、コレット軸１１にお
いて上下の軸受１２、１３間の位置に挿入固定されてい
るリング状のブラケット１７の突出端と、移動アーム１
４の下面から垂下する支持杆１８との間に張設されてい
る。１９は前記ばね用ブラケット１７とばね１６の逃げ
用の孔で、軸受用ブラケット１５に形成されている。

【００２５】コレット軸１１の上端部の外周にはレバー
受け２０がリング状に突出して設けられており、このレ
バー受け２０の下面が上下動作レバー２１によって保持
されている。上下動作レバー２１はＬ字形状をなしてお
り、その屈曲部が移動アーム１４にピン２２によって垂
直面内を回動可能に支持されている。レバー２１の先端
部にはローラ２３が回動可能に支持されており、ローラ
２３の上面がコレット軸１１のレバー受け２０の下面に
接触されることにより、コレット軸１１がレバー２１に
支持されている。

【００２６】レバー２１の他端にはロッド２４の一端が
連結されており、ロッド２４の他端はカム（図示せず）
に連結されている。そして、ロッド２４が進退移動され
ることによって、上下動作レバー２１がピン２２を中心
として揺動され、レバー２１先端のローラ２３部分が上
下動されるようになっている。このローラ２３の上下動
作によってコレット軸１１が上下動することになる。

【００２７】また、図示しないが、カムはニードル７の
前記駆動装置と連携されている。したがって、上下動作
レバー２１はカムおよびニードル駆動装置を介してニー
ドル７と連動して動作するように構成されている。そし
て、上下動作レバー２１とニードル７の駆動のプロファ
イルが図１に示されている。

【００２８】ところで、従来は、コレットおよびニード
ルの駆動は、図４に示されている上下動作レバーとニー
ドルの駆動プロファイルを示す図に基づいて実施されて
いた。以下、コレットおよびニードルの従来の駆動を図
４に基づいて説明する。なお、以下の説明において、前
記ピックアップ装置と同様の構成要素は同一の符号をも
って示されている。

【００２９】ワーク１がテーブル４に保持されて適正に
アラインメントされると、テーブル４が下降されて貼着
シート３の裏面がステージ５の上面に配置される。以
降、図４に示されているプロファイルに基づいて、コレ
ット１０とニードル７が次のように動作する。なお、図
４の（１）〜（９）は次の作動に対応している。

【００３０】（１） 移動アーム１４によってニードル
７の真上位置に配置されているコレット１０が、上下動
作レバー２１が下動することによって下降され、ペレッ
ト２の表面に接触して停止される。このとき、ニードル
７は停止した状態にある。

【００３１】（２） コレット１０に接続されている真
空駆動源が作動するとともに、ニードル７がステージ５
のガイド孔６内を上昇し始める。そして、ニードル７が
ステージ５の上面から突出し、貼着シート３を突き破
り、ペレット２を貼着シート３から分離する。このと
き、コレット１０は停止した状態にあり、ニードル７の
突き上げによってペレット２と一緒にコレット１０も押
し上げられる。この際に、コレット１０を動かすための
初期駆動荷重がペレット２面への負荷として加わり、ペ
レット２の裏面にニードル７によって傷が付いたり、時
には割れや欠けが発生していた。

【００３２】（３） ニードル７が上限位置に達する
と、コレット１０と共にニードル７も少しの間その位置
に停止されることによって、コレット１０の吸着面に対
するペレット２の吸着が安定される。

【００３３】（４） 上下動作レバー２１が上動し始め
ることによって、ペレット２を吸着しているコレット１
０が上昇し始める。その少し後にニードル７が下動し始
め、コレット１０が上限位置に達すると同時に、ニード
ル７が下限位置に達してその位置でニードル７は停止さ
れる。

【００３４】（５） 上下動作レバー２１の上動により
上昇されたコレット１０は、移動アーム１４が移動する
ことによって、収納トレー４０の真上位置に移動され
る。

【００３５】（６） 収納トレー４０の真上位置に移動
されたコレット１０は、上下動作レバー２１が下動する
ことにより下降してペレット２が収納トレー４０の底面
に接触される。

【００３６】（７） この状態で、コレット１０内の真
空がブレークされて、コレット１０から空気が吹き出さ
れる。この空気の吹き出しにより、ペレット２がコレッ
ト１０の吸着面から離脱される。この際、ペレット２は
収納トレー４０の底面に接触されているため、ペレット
２がコレット１０から離脱されない場合がある。

【００３７】（８） コレット１０は上下動作レバー２
１が上動することによって上昇され、元の位置に戻され
て、待機される。この際に、コレット１０から離脱され
ずにペレット２が持ち帰られる場合がある。

【００３８】（９） 上記（５）〜（８）の間、ニード
ル７は停止されている。

【００３９】上記（２）、（７）および（８）における
従来の問題点を解決するために、本実施例に係る小物品
の移し替え方法にあっては、コレットおよびニードルの
駆動が図１に示されている上下動作レバーとニードルの
駆動プロファイルに基づいて実施される。

【００４０】以下、本実施例に係る小物品の移し替え方
法によるコレットおよびニードルの駆動を図１に示され
ているプロファイルに基づいて説明する。

【００４１】ワーク１がテーブル４に保持されて適正に
アラインメントされると、テーブル４が下降されて貼着
シート３の裏面がステージ５の上面に配置される。以
降、次のようにしてコレット１０とニードル７が動作す
る。なお、図１の（１）〜（１０）は次の作動に対応し
ている。

【００４２】（１） コレット１０が移動アーム１４に
よってニードル７の真上位置に配置される。続いて、コ
レット１０が上下動作レバー２１が下動することによっ
て下降され、ペレット２の表面に接触して停止される。
このとき、ニードル７は停止した状態にある。

【００４３】（２） コレット１０に接続されている真
空駆動源が作動されるとともに、ニードル７がステージ
５のガイド孔６内を上昇し始める。そして、ニードル７
がステージ５の上面に達すると同時に、カムにより、上
下動作レバー２１がニードル７の上昇速度よりも遅い速
度で上動されることによって、コレット１０がニードル
７の上昇速度よりも遅い速度で上昇する。この際に、ニ
ードル７が貼着シート３を突き破り、ペレット２を貼着
シート３から分離してペレット２をコレット１０と一緒
に持ち上げる。このニードル７のペレット２突き上げ時
に、コレット１０はニードル７よりも遅い速度で上昇し
ているため、コレット１０はペレット２と共に持ち上げ
られつつ、ニードル７の突き上げ時にペレット２にかか
る荷重が軽減される。したがって、ニードル７の突き上
げによってペレット２の裏面に傷が付いたり、割れや欠
けが発生するのが防止される。

【００４４】（３） ニードル７が上限位置に達する少
し前に上下動作レバー２１の上動は停止され、ニードル
７が上限位置に達すると、上下動作レバー２１に加えて
ニードル７も少しの間その位置に停止される。この上下
動作レバー２１とニードル７との停止によって、コレッ
ト１０の吸着面に対するペレット２の吸着が安定され
る。

【００４５】（４） ニードル７が下動する少し前に上
下動作レバー２１がカムによって上動され始める。この
レバー２１の上動によって、ペレット２を吸着している
コレット１０が上昇し始める。コレット１０が上昇し始
めた少し後に、ニードル７が下動し始める。コレット１
０が上限位置に達すると同時に、ニードル７が下限位置
に達してその位置でニードル７は停止される。

【００４６】（５） 上下動作レバー２１の上動により
上昇されたコレット１０は、移動アーム１４が移動する
ことによって、収納トレー４０の真上位置に移動され
る。

【００４７】（６） 収納トレー４０の真上位置に移動
されたコレット１０は、上下動作レバー２１が下動する
ことにより下降されて、収納トレー４０の底面にペレッ
ト２が一旦接触される。

【００４８】（７） 接触後、カムにより、上下動作ア
ーム２１はペレット２の厚さ以下の範囲内で上動される
ことによって、ペレット２は収納トレー４０の底面から
ペレット２の厚さ以下の範囲内の高さ位置に保持され
る。ペレット２が収納トレー４０の底面に接触されてか
ら所定高さ、コレット１０がカムにより上昇されること
によって、ペレット２の厚さのばらつきによらず、ペレ
ット２は収納トレー４０の底面から一定高さ位置に配置
される状態になる。

【００４９】（８） この状態で、コレット１０内の真
空がブレークされるとともに、コレット１０から空気が
吹き出される。この空気の吹き出しにより、ペレット２
がコレット１０の吸着面から離脱される。この際、ペレ
ット２は収納トレー４０の底面から離れているため、ペ
レット２はコレット１０の吸着面から容易に離脱され、
かつ、コレット１０の吸着面と収納トレー４０の底面と
がガイドとなるので、ペレット２は吹き飛ばされたり、
裏返されたりすることなく、収納トレー４０内に良好に
整列される。

【００５０】（９） ペレット２が分離されたコレット
１０は、カムにより、上下動作レバー２１が上動される
ことによって上昇され、元の位置に戻されて、待機され
る。

【００５１】（１０） 上記（５）〜（９）の間、ニー
ドル７は停止されている。

【００５２】前記実施例によれば次の効果が得られる。 ニードルのペレット突き上げ時に、コレットをニー
ドルの上昇速度よりも遅い速度で上昇させることによ
り、ニードルがペレットと一緒にコレットを押し上げる
際の荷重を軽減させることができる。その結果、ニード
ルによってペレットの裏面に加わる荷重が軽減するの
で、ペレットに傷が付いたり、割れや欠けが発生するの
を防止することができる。

【００５３】 収納トレーの底面からペレットをペレ
ットの厚さ以下の範囲内で浮かせた状態で、コレットか
ら空気を吹き出すことにより、コレットからペレットが
確実に離脱され、かつ、コレットから分離されたペレッ
トはコレットの吸着面と収納トレーの底面とでガイドさ
れることによって、吹き飛ばされたりすることなく収納
トレー上に整列される。

【００５４】 上記およびにより、ペレットを良
好に貼着シートから離脱させることができ、また、所定
位置に良好にペレットを移載することができる。

【００５５】図３は本発明の一実施例である小物品の移
し替え方法に使用されるコレット部分の実施例２を示す
正面断面図である。

【００５６】図３において、コレット１０Ａは上記実施
例１と同様に、ニードルによって突き上げられたペレッ
トを上から真空吸着保持し得るように構成されており、
また、移載装置によってニードルの真上位置からペレッ
トを移送すべき位置まで移動されるように構成されてい
る。

【００５７】コレット１０Ａのコレット軸１１Ａの内部
には上下方向に貫通する空気孔が設けられており、上端
部に接続されている真空駆動源（図示せず）によって真
空に引かれることにより、コレット１０Ａの下端面が吸
着面を形成するように構成されている。コレット軸１１
Ａはブラケット３０の軸受保持孔３１内に挿入固定され
ている軸受３２内を挿通して軸受３２に支持されてい
る。

【００５８】コレット軸１１Ａの上端部の外周にはレバ
ー受け２０Ａがリング状に突出して設けられており、こ
のレバー受け２０Ａの側面から突出しているピン３３が
上下動作レバー２１Ａの上面に保持されている。上下動
作レバー２１ＡはＬ字形状をなしており、その屈曲部が
図示外の移動アームにピン２２によって垂直面内を回動
可能に支持されている。

【００５９】レバー２１Ａの他端にはロッド２４の一端
が連結されており、ロッド２４の他端はカム（図示せ
ず）に連携されている。そして、ロッド２４が進退移動
されることによって上下動作レバー２１Ａがピン２２を
中心として揺動し、レバー２１Ａの先端部分が上下動す
る。このレバー２１Ａの先端部分の上下動作によってコ
レット軸１１Ａが上下動することになる。

【００６０】さらに、レバー受け２０Ａの下面から下方
に回り止めピン３４が垂下されており、この回り止めピ
ン３４がブラケット３０に上下方向に貫通するように開
設されているピン孔３５内に挿入されていることによっ
て、コレット１１Ａ軸の回り止めがなされている。

【００６１】そして、上下動作レバー２１Ａも前記実施
例１と同様に、カム手段によってニードルと連動するよ
うに構成されており、その駆動のプロファイルは図１に
示すものと同一である。したがって、ペレットの貼着シ
ートからの移載作業は前記実施例１で説明したのと同様
にして実施される。

【００６２】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００６３】例えば、コレットとニードルの連動手段
は、カム手段に限らず、電磁石装置を使用することによ
ってコレット保持手段をニードルの上昇に合わせて上昇
させる手段や、コレット保持手段に螺着されたねじ軸を
コンピュータによるサーボモータによって回動させてニ
ードルの上昇に合わせてコレット保持手段を上昇させる
手段などを採用することが可能である。

【００６４】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野である半導体
ペレットの移載技術に適用した場合について説明した
が、それに限定されるものではなく、微少な電子部品や
電子機器等のような小物品の貼着シートからの移載技術
全般に適用することができる。

【００６５】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００６６】ニードルの小物品突き上げ時に、ニードル
の突き上げ速度よりも遅い速度でコレットを上昇させる
ことにより、小物品を良好に貼着シートから離脱するこ
とができる。

【００６７】また、コレットに吸着された小物品を所定
の搬送位置でコレットから離脱させる際に、前記コレッ
トをコレット駆動手段によって下降させて小物品を一
旦、載置面に接触させた後、小物品の厚さ以下の範囲で
コレット駆動手段によってコレットを上昇させ、その位
置で小物品をコレットから離脱させることにより、小物
品を所定位置に良好に移載することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である小物品の移し替え方法
に使用されているコレットを駆動する上下動作レバーと
ニードルの駆動プロファイルを示す図である。

【図２】ペレットをピックアップする部分を示す正面断
面図である。

【図３】本発明の一実施例である小物品の移し替え方法
に使用されるコレット部分の実施例２を示す正面断面図
である。

【図４】コレットを駆動する上下動作レバーとニードル
の駆動の従来のプロファイルを示す図である。

【符号の説明】

１…ワーク、２…ペレット（小物品）、３…貼着シー
ト、４…テーブル、５…ステージ、６…ガイド孔、７…
ニードル、１０、１０Ａ…コレット、１１、１１Ａ…コ
レット軸、１２、１３、３２…軸受、１４…移動アー
ム、１５、１７、３０…ブラケット、１６…引っ張りば
ね、１８…支持杆、１９…逃げ孔、２０、２０Ａ…レバ
ー受け、２１、２１Ａ…上下動作レバー、２２、３３…
ピン、２３…ローラ、２４…ロッド、２５…リング、３
１…軸受保持孔、３４…回り止めピン、３５…ピン孔、
４０…収納トレー。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 コレットがコレットを上昇および下降さ
   せるコレット駆動手段に上下動可能なように保持されて
   おり、小物品の移し替え時に、前記コレットがコレット
   駆動手段によって下降され、貼着シートに貼着されてい
   る小物品の表面に接触された状態で、貼着シートの裏面
   からニードルが突き上げることにより貼着シートから前
   記小物品を離脱させ、コレットにその小物品を吸着させ
   て所定位置に搬送する小物品の移し替え方法において、 前記ニードルの小物品突き上げ時に、前記コレットをニ
   ードルの突き上げ速度よりも遅い速度で前記コレット駆
   動手段によって上昇させることを特徴とする小物品の移
   し替え方法。
2. 【請求項２】 コレットがコレットを上昇および下降さ
   せるコレット駆動手段に上下動可能なように保持されて
   おり、小物品の移し替え時に、前記コレットがコレット
   駆動手段によって下降され、貼着シートに貼着されてい
   る小物品の表面に接触された状態で、貼着シートの裏面
   からニードルが突き上げることにより貼着シートから前
   記小物品を離脱させ、コレットにその小物品を吸着させ
   て所定位置に搬送し、その所定の搬送位置でコレットか
   ら離脱させる小物品の移し替え方法において、 前記コレットに吸着された小物品を所定の搬送位置でコ
   レットから離脱させる際に、前記コレットをコレット駆
   動手段によって下降させて小物品を一旦、載置面に接触
   させた後、小物品の厚さ以下の範囲でコレット駆動手段
   によってコレットを上昇させ、その位置で小物品をコレ
   ットから離脱させることを特徴とする小物品の移し替え
   方法。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の小物品の移し替え方法
   において、 前記ニードルの小物品突き上げ時に、前記コレットをニ
   ードルの突き上げ速度よりも遅い速度で前記コレット駆
   動手段によって上昇させることを特徴とする小物品の移
   し替え方法。