JPH06253203A - Solid-state image pickup element inspecting instrument - Google Patents
Solid-state image pickup element inspecting instrumentInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像素子の検査装
置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solid-state image pickup device inspection apparatus.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、ビデオカメラは、多機能化及び高
性能化が進み、手ぶれ防止及び電子ズームといった機能
は必要不可欠になっている。2. Description of the Related Art In recent years, video cameras have become more multifunctional and more sophisticated, and functions such as camera shake prevention and electronic zoom have become indispensable.
【0003】2行分のフォトダイオードすなわち2行分
の光電変換素子の信号電荷が垂直CCD上において垂直
方向に混合された垂直方向の信号電荷ラインの数がテレ
ビジョン方式の走査線の数よりも多い固体撮像素子(以
下、EIS−CCDと称する。)をモニタに出画して検
査する場合、通常のモニタでは全画素を同時に出画する
ことができない。The number of vertical signal charge lines in which the signal charges of two rows of photodiodes, that is, the photoelectric conversion elements of two rows are vertically mixed on the vertical CCD is larger than the number of scanning lines of the television system. When a large number of solid-state image pickup devices (hereinafter referred to as EIS-CCD) are displayed on a monitor for inspection, all pixels cannot be displayed simultaneously on a normal monitor.
【0004】以下、上記のようなEIS−CCDの出画
検査法について、図3のEIS−CCD画面出力例を用
いて説明する。EIS−CCDを検査する場合、図3に
示すように、まずEIS−CCDの上部(A)をモニタ
に出画し、次にEIS−CCDの下部(B)をモニタに
出画することにより、EIS−CCDの全フォトダイオ
ードを出画して検査する。The image output inspection method of the above EIS-CCD will be described below with reference to the EIS-CCD screen output example of FIG. When inspecting the EIS-CCD, as shown in FIG. 3, first, the upper part (A) of the EIS-CCD is displayed on the monitor, and then the lower part (B) of the EIS-CCD is displayed on the monitor. All the photodiodes of the EIS-CCD are displayed and inspected.
【0005】以下、このときに使用されるEIS−CC
D検査装置を図2のEIS−CCD検査装置のブロック
図を用いて説明する。Hereinafter, the EIS-CC used at this time
The D inspection device will be described with reference to the block diagram of the EIS-CCD inspection device in FIG.
【0006】図2のEIS−CCD検査装置は、EIS
−CCD1、レンズ等により被写体をEIS−CCD1
上に結像させる光学部2、CCD駆動パルスとテレビジ
ョン信号との同期信号を発生する回路(以下、TGと称
する。)3、TG3から出力されたCCD駆動パルスの
電圧をEIS−CCD1に印加するパルスの電圧に変換
するドライバ4、出力場所のアドレスデータをTG3に
送信するマイコン又はエミュレータ(以下、マイコンと
称する。)5、出力場所のアドレスをマイコン5に設定
するスイッチ6、同期信号をCCD出力に合成等を行な
いテレビジョン信号として出力する信号処理部7とから
構成されている。The EIS-CCD inspection device shown in FIG.
-CCD1, EIS-CCD1 for the subject with a lens, etc.
An optical unit 2 for forming an image on the upper side, a circuit (hereinafter referred to as TG) 3 for generating a synchronizing signal of a CCD driving pulse and a television signal, and a voltage of the CCD driving pulse output from TG3 is applied to the EIS-CCD1. Driver 4 for converting the voltage of the pulse to be output, a microcomputer or an emulator (hereinafter referred to as a microcomputer) 5 for transmitting the address data of the output location to the TG 3, a switch 6 for setting the address of the output location in the microcomputer 5, and a sync signal for CCD It is composed of a signal processing unit 7 which performs synthesis or the like on the output and outputs it as a television signal.
【0007】以下、上記従来のEIS−CCD検査装置
の動作を説明する。The operation of the conventional EIS-CCD inspection device will be described below.
【0008】まず、光学部2によって被写体がEIS−
CCD1に結像される。First, the subject is EIS-ed by the optical unit 2.
An image is formed on the CCD 1.
【0009】次に、EIS−CCD1から出力したい画
像部分のアドレスを数ビット(垂直ライン数が300本
の場合には9ビットが必要である。)のスイッチ6に設
定し、EIS−CCD1から出力される垂直方向の信号
電荷ラインの数を決定する。そして、スイッチ6の設定
に従ってマイコン5からTG3へ出力アドレスデータが
送信される。Next, the address of the image portion desired to be output from the EIS-CCD 1 is set in the switch 6 of several bits (9 bits are required when the number of vertical lines is 300), and output from the EIS-CCD 1. Determines the number of vertical signal charge lines to be applied. Then, the output address data is transmitted from the microcomputer 5 to the TG 3 according to the setting of the switch 6.
【0010】上記の出力アドレスデータによりTG3の
駆動パルスは変化し、変化した駆動パルスはドライバ4
を介してEIS−CCD1に印加される。そして、出力
アドレスのデータに従って出力されたCCD出力を信号
処理部7へ出力する。CCD出力は信号処理部7により
テレビジョン信号に変換された後、モニタに出画されて
検査される。The drive pulse of TG3 changes according to the above output address data, and the changed drive pulse is applied to the driver 4
Is applied to the EIS-CCD 1 via. Then, the CCD output that is output according to the data of the output address is output to the signal processing unit 7. The CCD output is converted into a television signal by the signal processing unit 7 and then displayed on a monitor for inspection.
【0011】[0011]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成では、画像の出力アドレスを決定するのに、
マイコンを介してのデータ転送が必要となり、検査装置
の構成が複雑になるという問題がある。However, in the above-mentioned configuration, in determining the output address of the image,
There is a problem that the data transfer via the microcomputer is required and the structure of the inspection device becomes complicated.
【0012】また、300本の信号電荷ラインを有する
CCDの場合には、スイッチは9ビットが必要になり、
スイッチのビット数が多くなるという問題もある。In the case of a CCD having 300 signal charge lines, the switch requires 9 bits,
There is also a problem that the number of bits of the switch increases.
【0013】上記に鑑み、本発明は、従来の検査装置の
構成からマイコンを取り除くと共にスイッチのビット数
を低減し、これにより検査装置及び操作の簡素化を図る
ことを目的としている。In view of the above, it is an object of the present invention to remove the microcomputer from the structure of the conventional inspection device and reduce the number of bits of the switch, thereby simplifying the inspection device and the operation.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、光電変換部を予め垂直方向に複数個に分
割しておき、スイッチにより指定された光電変換部にお
ける分割された部分毎に順次モニタに出力して検査する
ものである。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention divides a photoelectric conversion part into a plurality of parts in the vertical direction in advance and divides the divided part in the photoelectric conversion part designated by a switch. The data is sequentially output to the monitor for inspection.
【0015】具体的に請求項1の発明が講じた解決手段
は、複数の光電変換素子が二次元的に配列され信号電荷
が蓄積される光電変換部と、該光電変換部から転送され
てくる信号電荷を垂直方向へ転送するための垂直転送部
と、該垂直転送部の信号電荷を垂直方向へ転送させる垂
直駆動部と、上記垂直転送部から転送されてくる信号電
荷を水平方向へ転送するための水平転送部と、該水平転
送部から転送されてくる信号電荷を信号電圧又は信号電
流に変換して出力する信号電荷検出部とを有し、上記光
電変換素子の2行分の信号電荷が混合されてなる信号電
荷ラインの数がテレビジョン方式の走査線の数よりも多
い固体撮像素子を検査する固体撮像素子検査装置を対象
とし、上記光電変換部が垂直方向に複数個に分割されそ
れぞれが上記テレビジョン方式の走査線の数以下の信号
電荷ラインを有する分割光電変換部のうちの一の分割光
電変換部を順次指定する指定手段と、上記垂直駆動部が
上記指定手段により指定された分割光電変換部に属する
信号電荷ラインの信号電荷を転送させるように制御する
制御手段とを備えている構成である。Specifically, in the solution means taken by the invention of claim 1, a plurality of photoelectric conversion elements are arranged two-dimensionally and a photoelectric conversion portion in which signal charges are accumulated, and a photoelectric conversion portion are transferred. A vertical transfer unit for transferring the signal charges in the vertical direction, a vertical drive unit for transferring the signal charges of the vertical transfer unit in the vertical direction, and a signal charge transferred from the vertical transfer unit in the horizontal direction. And a signal charge detection unit for converting the signal charge transferred from the horizontal transfer unit into a signal voltage or a signal current and outputting the signal voltage or signal current. For a solid-state image sensor inspecting device for inspecting a solid-state image sensor in which the number of mixed signal charge lines is larger than the number of scanning lines of a television system, the photoelectric conversion unit is divided into a plurality of vertically divided parts. Each of the above Specifying unit for sequentially specifying one of the divided photoelectric conversion units having signal charge lines less than the number of scanning lines of the John system, and the divided photoelectric conversion unit specified by the specifying unit for the vertical drive unit. Control means for controlling the signal charge of the signal charge line belonging to the unit to be transferred.
【0016】請求項2の発明は、請求項1の構成に、上
記制御手段は、上記指定手段が指定した分割光電変換部
に属する信号電荷ラインの信号電荷を転送する駆動パル
スを上記垂直駆動部に出力する駆動パルス発生手段を有
しているという構成を付加するものである。According to a second aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, the control means applies the drive pulse for transferring the signal charge of the signal charge line belonging to the divided photoelectric conversion section designated by the designating means to the vertical drive section. In addition, a configuration in which a driving pulse generating means for outputting to is provided is added.
【0017】[0017]
【作用】請求項1の構成により、指定手段が複数個の分
割光電変換部のうちの一の分割光電変換部を指定する
と、制御手段は垂直駆動部が指定手段により指定された
分割光電変換部に属する信号電荷ラインの信号電荷を転
送させるように制御するので、固体撮像素子において
は、垂直転送部に存在する信号電荷のうち上記一の分割
光電変換部に属する信号電荷のみが水平転送部に転送さ
れ、信号電荷検出部から信号電圧又は信号電流として出
力される。そして、指定手段が複数個の分割光電変換部
のうちの他の分割光電変換部を指定すると、垂直転送部
に存在する信号電荷のうち上記他の分割光電変換部に属
する信号電荷が水平転送部に転送され、信号電荷検出部
から信号電圧又は信号電流として出力される。このよう
にして、複数個の分割光電変換部が順次指定されること
により、光電変換部のすべての信号電荷が転送され、出
力される。According to the structure of claim 1, when the designating unit designates one of the plurality of divided photoelectric conversion units, the control unit causes the vertical driving unit to designate the divided photoelectric conversion unit. In the solid-state image sensor, only the signal charges belonging to the one division photoelectric conversion unit among the signal charges existing in the vertical transfer unit are transferred to the horizontal transfer unit in the solid-state imaging device. The signal is transferred and output from the signal charge detection unit as a signal voltage or a signal current. When the designating unit designates another divided photoelectric conversion unit of the plurality of divided photoelectric conversion units, the signal charges belonging to the other divided photoelectric conversion unit among the signal charges existing in the vertical transfer unit are transferred to the horizontal transfer unit. And is output as a signal voltage or a signal current from the signal charge detection unit. In this way, by sequentially designating the plurality of divided photoelectric conversion units, all the signal charges of the photoelectric conversion units are transferred and output.
【0018】請求項2の発明によると、制御手段の駆動
パルス発生手段は、指定手段が指定した分割光電変換部
に属する信号電荷ラインの信号電荷を転送する駆動パル
スを垂直駆動部に出力するので、垂直駆動部は上記駆動
パルスに基づき垂直転送部の指定された信号電荷を順次
水平転送部に転送する。According to the invention of claim 2, the drive pulse generating means of the control means outputs the drive pulse for transferring the signal charge of the signal charge line belonging to the divided photoelectric conversion part designated by the designating means to the vertical drive part. The vertical drive unit sequentially transfers the designated signal charges of the vertical transfer unit to the horizontal transfer unit based on the drive pulse.
【0019】[0019]
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0020】まず、図1のブロック図に基づきEIS−
CCD検査装置を説明する。First, based on the block diagram of FIG. 1, EIS-
The CCD inspection device will be described.
【0021】同図において、11はEIS−CCDであ
って、該EIS−CCD11は、複数の光電変換素子が
二次元的に配列され信号電荷が蓄積される光電変換部、
該光電変換部から転送されてくる信号電荷を垂直方向へ
転送するための垂直転送部、該垂直転送部から転送され
てくる信号電荷を水平方向へ転送するための水平転送
部、及び該水平転送部から転送されてくる信号電荷を信
号電圧又は信号電流に変換して出力する信号電荷検出部
を有している。In the figure, reference numeral 11 denotes an EIS-CCD, and the EIS-CCD 11 is a photoelectric conversion unit in which a plurality of photoelectric conversion elements are two-dimensionally arranged and signal charges are accumulated,
A vertical transfer unit for vertically transferring the signal charges transferred from the photoelectric conversion unit, a horizontal transfer unit for horizontally transferring the signal charges transferred from the vertical transfer unit, and the horizontal transfer And a signal charge detection unit that converts the signal charge transferred from the unit into a signal voltage or a signal current and outputs the signal voltage or signal current.
【0022】また、同図において、12はレンズ等によ
り被写体をEIS−CCD11上に結像させる光学部、
13は後述するスイッチ15の指定により垂直方向の信
号電荷ラインの転送数を決定し、それに従ったCCD駆
動パルス及びテレビジョン信号の同期信号を発生する制
御手段としての制御回路(以下、EIS−TGと称す
る。)、14はEIS−TG13から出力されたCCD
駆動パルスの電圧をEIS−CCD11に印加するパル
スの電圧に変換する垂直駆動部としてのドライバ、15
はEIS−CCD11の出力場所のアドレスを設定する
指定手段としてのスイッチ、16は同期信号をCCD出
力に合成等を行ないテレビジョン信号を出力する信号処
理部である。In the figure, reference numeral 12 denotes an optical unit for forming an image of a subject on the EIS-CCD 11 by a lens or the like.
Reference numeral 13 designates a transfer number of signal charge lines in the vertical direction by designating a switch 15 which will be described later, and a control circuit (hereinafter, referred to as EIS-TG) as a control means for generating a CCD drive pulse and a synchronizing signal of a television signal in accordance therewith. , 14 is a CCD output from the EIS-TG13.
A driver as a vertical drive unit for converting the voltage of the drive pulse into the voltage of the pulse applied to the EIS-CCD 11, 15
Is a switch as designating means for setting the address of the output location of the EIS-CCD 11, and 16 is a signal processing section for synthesizing the synchronizing signal with the CCD output and outputting a television signal.
【0023】以下、本実施例に係るEIS−CCD検査
装置の動作を説明する。The operation of the EIS-CCD inspection apparatus according to this embodiment will be described below.
【0024】ここでは、一例としてEIS−CCDの垂
直方向の信号電荷ラインの数が300本であり、テレビ
ジョン方式の1フィールド(60Hz)の走査線の数が
250本である場合について説明する。そして、図3に
示したEIS−CCDの上部(A)は垂直方向の信号電
荷ラインの1段目から250段目までであり、EIS−
CCDの下部(B)は垂直方向の信号電荷ラインの51
段目から300段目までであるとする。Here, as an example, a case where the number of signal charge lines in the vertical direction of the EIS-CCD is 300 and the number of scanning lines in one field (60 Hz) of the television system is 250 will be described. The upper part (A) of the EIS-CCD shown in FIG. 3 is from the first stage to the 250th stage of the signal charge line in the vertical direction.
The lower part (B) of the CCD is 51 of the vertical signal charge line.
It is assumed that it is from the third stage to the 300th stage.
【0025】まず、光学部12によって被写体がEIS
−CCD11上に結像される。First of all, the subject is subjected to EIS by the optical unit 12.
Imaged on CCD 11.
【0026】次に、スイッチ15によりEIS−CCD
11の上部(A)を選択すると、EIS−TG13に内
蔵された出力アドレス設定回路は、信号電荷ラインの2
51段目から300段目までを垂直ブランキング内に高
速排出(約400kHz)し、信号電荷ラインの1段目
から250段目までを通常転送速度(約16kHz)で
映像期間内に出力するようにEIS−TG13の駆動パ
ルスを変化させる。そして、ドライバ14により電圧変
換された駆動パルスをEIS−CCD11に印加するこ
とによって、EIS−CCD11から信号電荷ラインの
上部の250段分が出力され、そのCCD出力は信号処
理部16において同期信号と合成されテレビジョン信号
として出力される。そして、モニタにはEIS−CCD
11の上部(A)が映像として出力され検査される。Next, the switch 15 is used to switch the EIS-CCD.
When the upper part (A) of 11 is selected, the output address setting circuit built in the EIS-TG 13 is set to 2 of the signal charge line.
High-speed discharge (about 400 kHz) from the 51st to 300th steps into the vertical blanking, and output from the 1st to 250th steps of the signal charge line at the normal transfer rate (about 16 kHz) within the video period. The drive pulse of the EIS-TG 13 is changed to. Then, by applying the drive pulse voltage-converted by the driver 14 to the EIS-CCD 11, the upper 250 stages of the signal charge line are output from the EIS-CCD 11, and the CCD output is used as a synchronization signal in the signal processing unit 16. They are combined and output as a television signal. And EIS-CCD is on the monitor
The upper part (A) of 11 is output as an image and inspected.
【0027】同様に、スイッチ15によりEIS−CC
Dの下部(B)を選択すると、EIS−TG13に内蔵
された出力アドレス設定回路は、信号電荷ラインの51
段目から300段目までを通常転送速度(約16kH
z)で映像期間内に出力し、信号電荷ラインの1段目か
ら50段目までを垂直ブランキング内に高速排出(約4
00kHz)するようにEIS−TG13の駆動パルス
を決定する。そして、ドライバ14によって電圧変換さ
れた駆動パルスをEIS−CCD11に印加することに
よって、EIS−CCD11から信号電荷ラインの下部
250段分が出力され、そのCCD出力は信号処理部1
6において同期信号と合成されテレビジョン信号として
出力される。そして、モニタにはEIS−CCD11の
下部(B)が映像として出力され検査される。Similarly, the switch 15 is used to switch the EIS-CC.
When the lower part (B) of D is selected, the output address setting circuit built in the EIS-TG 13 is connected to the signal charge line 51
Normal transfer speed (about 16kHz)
z) in the video period, and the first to the 50th stages of the signal charge line are rapidly discharged into the vertical blanking (about 4
Drive pulse of the EIS-TG 13 is determined so as to set the frequency to 00 kHz). Then, by applying the drive pulse voltage-converted by the driver 14 to the EIS-CCD 11, the lower 250 steps of the signal charge line is output from the EIS-CCD 11, and the CCD output is the CCD output.
In 6, it is combined with the synchronizing signal and output as a television signal. Then, the lower part (B) of the EIS-CCD 11 is output to the monitor as an image and inspected.
【0028】このように本実施例に係る固体撮像装置の
検査装置は、スイッチ15により直接EIS−CCD1
1の出力アドレスを切り替えることにより、EIS−C
CD11の全ての信号電荷ラインを出力し、全フォトダ
イオードの出画検査を行なうものである。As described above, in the inspection apparatus for the solid-state image pickup device according to this embodiment, the EIS-CCD 1 is directly operated by the switch 15.
EIS-C by switching the output address of 1
All the signal charge lines of the CD 11 are output, and the image output inspection of all the photodiodes is performed.
【0029】従って、出力場所を決定する際、スイッチ
15によってEIS−TG13に内蔵された垂直転送設
定回路を介して転送段数を直接に決定できるので、マイ
コンやエミュレータ等を省くことができる。Therefore, when the output location is determined, the number of transfer stages can be directly determined by the switch 15 through the vertical transfer setting circuit built in the EIS-TG 13, so that the microcomputer and the emulator can be omitted.
【0030】また、スイッチ15は、EIS−CCD1
1の上部(A)又は下部(B)を選択するだけでよいた
め、スイッチ15としては1ビットの設定ができれば全
フォトダイオードを出力することが可能になる。The switch 15 is the EIS-CCD 1
Since it is only necessary to select the upper part (A) or the lower part (B) of 1, it is possible to output all the photodiodes if the switch 15 can be set to 1 bit.
【0031】尚、本実施例ではCCD出力場所はEIS
−CCD11の上部(A)及び下部(B)つまり画面上
部及び画面下部の2種類であったが、これに代えて、C
CD出力場所を画面上部、画面下部及び画面中央部とい
うように2種類以上に設定してもよい。In this embodiment, the CCD output location is EIS.
-There were two types of upper part (A) and lower part (B) of the CCD 11, that is, the upper part of the screen and the lower part of the screen, but instead of this, C
The CD output location may be set to two or more types, such as an upper screen portion, a lower screen portion, and a central screen portion.
【0032】[0032]
【発明の効果】以上説明したように、発明に係る固体撮
像素子検査装置によると、光電変換部が垂直方向に複数
個に分割された分割光電変換部のうちの一の分割光電変
換部を順次指定する指定手段と、垂直駆動部が指定手段
により指定された分割光電変換部に属する信号電荷ライ
ンの信号電荷を転送させるように制御する制御手段とを
備えているため、指定手段が一の分割光電変換部を指定
すると、制御手段は垂直駆動部に指定手段により指定さ
れた分割光電変換部に属する信号電荷ラインの信号電荷
を転送させるので、垂直転送部に存在する信号電荷のう
ち指定手段により指定された分割光電変換部に属する信
号電荷ラインの信号電荷が順次水平転送部に転送され、
信号電荷検出部から信号電圧又は信号電流として出力さ
れる。As described above, according to the solid-state image pickup device inspection apparatus of the present invention, one of the divided photoelectric conversion units is divided into a plurality of photoelectric conversion units in the vertical direction, and one of the divided photoelectric conversion units is sequentially arranged. Since the vertical drive unit includes the control unit that controls the vertical drive unit to transfer the signal charge of the signal charge line belonging to the divided photoelectric conversion unit designated by the designating unit, the designating unit divides into one. When the photoelectric conversion unit is designated, the control unit causes the vertical drive unit to transfer the signal charges of the signal charge lines belonging to the divided photoelectric conversion unit designated by the designation unit. The signal charges of the signal charge lines belonging to the specified divided photoelectric conversion unit are sequentially transferred to the horizontal transfer unit,
The signal charge detection unit outputs the signal voltage or signal current.
【0033】このため、本発明によると、指定手段によ
り分割光電変換部を順次指定するだけで光電変換部のす
べての信号電荷を順次転送することができるので、マイ
コンやエミュレータ等が不要になると共に、マイコンや
エミュレータ等が出力するアドレスを決定するための多
数ビットのスイッチが不要になる上に、複雑な操作も不
要になるので、本発明の固体撮像素子検査装置の実用的
効果はきわめて大である。Therefore, according to the present invention, all the signal charges of the photoelectric conversion units can be sequentially transferred only by sequentially designating the divided photoelectric conversion units by the designating means, so that a microcomputer, an emulator and the like are not required. Since the multi-bit switch for determining the address output by the microcomputer, the emulator, etc. is not necessary and the complicated operation is not necessary, the practical effect of the solid-state image sensor inspection apparatus of the present invention is extremely large. is there.
【図1】本発明の一実施例に係る固体撮像素子検査装置
の構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a solid-state image pickup device inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図2】従来の固体撮像素子検査装置の構成を示すブロ
ック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of a conventional solid-state image pickup device inspection apparatus.
【図3】従来の固体撮像素子の検査時における出力アド
レスの設定の一例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of setting an output address when testing a conventional solid-state image sensor.
1 EIS−CCD 2 光学部 3 EIS−TG 4 ドライバ 5 マイコン 6 スイッチ又はエミュレータ 7 信号処理部 11 EIS−CCD(固体撮像素子) 12 光学部 13 EIS−TG(制御手段) 14 ドライバ(駆動手段) 15 スイッチ(指定手段) 16 信号処理部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 EIS-CCD 2 Optical part 3 EIS-TG 4 Driver 5 Microcomputer 6 Switch or emulator 7 Signal processing part 11 EIS-CCD (solid-state image sensor) 12 Optical part 13 EIS-TG (control means) 14 Driver (driving means) 15 Switch (designating means) 16 Signal processing unit
Claims (2)
れ信号電荷が蓄積される光電変換部と、該光電変換部か
ら転送されてくる信号電荷を垂直方向へ転送するための
垂直転送部と、該垂直転送部の信号電荷を垂直方向へ転
送させる垂直駆動部と、上記垂直転送部から転送されて
くる信号電荷を水平方向へ転送するための水平転送部
と、該水平転送部から転送されてくる信号電荷を信号電
圧又は信号電流に変換して出力する信号電荷検出部とを
有し、上記光電変換素子の2行分の信号電荷が混合され
てなる信号電荷ラインの数がテレビジョン方式の走査線
の数よりも多い固体撮像素子を検査する固体撮像素子検
査装置であって、上記光電変換部が垂直方向に複数個に
分割されそれぞれが上記テレビジョン方式の走査線の数
以下の信号電荷ラインを有する分割光電変換部のうちの
一の分割光電変換部を順次指定する指定手段と、上記垂
直駆動部が上記指定手段により指定された分割光電変換
部に属する信号電荷ラインの信号電荷を転送させるよう
に制御する制御手段とを備えていることを特徴とする固
体撮像素子検査装置。1. A photoelectric conversion unit in which a plurality of photoelectric conversion elements are two-dimensionally arranged and signal charges are accumulated, and a vertical transfer unit for vertically transferring the signal charges transferred from the photoelectric conversion unit. A vertical drive unit for vertically transferring the signal charges of the vertical transfer unit, a horizontal transfer unit for horizontally transferring the signal charges transferred from the vertical transfer unit, and a transfer from the horizontal transfer unit. And a signal charge detection unit for converting the received signal charge into a signal voltage or a signal current and outputting the signal voltage or signal current, and the number of signal charge lines formed by mixing the signal charges for two rows of the photoelectric conversion elements is equal to the number of televisions. A solid-state image sensor inspecting device for inspecting a solid-state image sensor having more than the number of scanning lines of the system, wherein the photoelectric conversion unit is vertically divided into a plurality of parts, each of which is equal to or less than the number of scanning lines of the television system. Signal charge line Specifying means for sequentially specifying one of the divided photoelectric conversion parts having a plurality of divided photoelectric conversion parts, and the vertical drive part transfers the signal charges of the signal charge lines belonging to the divided photoelectric conversion parts specified by the specifying means. A solid-state image sensor inspection device, comprising:
た分割光電変換部に属する信号電荷ラインの信号電荷を
転送する駆動パルスを上記垂直駆動部に出力する駆動パ
ルス発生手段を有していることを特徴とする請求項1に
記載の固体撮像素子検査装置。2. The control means includes drive pulse generation means for outputting to the vertical drive section drive pulses for transferring the signal charges of the signal charge lines belonging to the divided photoelectric conversion section designated by the designation section. The solid-state image sensor inspection device according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5035119A JPH06253203A (en) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | Solid-state image pickup element inspecting instrument |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5035119A JPH06253203A (en) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | Solid-state image pickup element inspecting instrument |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06253203A true JPH06253203A (en) | 1994-09-09 |
Family
ID=12433047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5035119A Pending JPH06253203A (en) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | Solid-state image pickup element inspecting instrument |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06253203A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105301471A (en) * | 2015-11-30 | 2016-02-03 | 苏州佳像视讯科技有限公司 | CCD testing device |
-
1993
- 1993-02-24 JP JP5035119A patent/JPH06253203A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105301471A (en) * | 2015-11-30 | 2016-02-03 | 苏州佳像视讯科技有限公司 | CCD testing device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010508 |