JPH06258019A - 光ｉｃ化アブソリュート測長器 - Google Patents
光ｉｃ化アブソリュート測長器Info
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- JPH06258019A JPH06258019A JP5046544A JP4654493A JPH06258019A JP H06258019 A JPH06258019 A JP H06258019A JP 5046544 A JP5046544 A JP 5046544A JP 4654493 A JP4654493 A JP 4654493A JP H06258019 A JPH06258019 A JP H06258019A
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- Japan
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- optical waveguide
- light
- measurement
- optical
- coupling
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型で高精度な絶対距離測定を可能とした光
ＩＣ化アブソリュート測長器を実現する。 【構成】 波長可変ＬＤと、この波長可変ＬＤの片面に
取り付けられ前記波長可変ＬＤの出力光をコリメートす
るコリメータレンズと、このコリメータレンズからの光
が入射される測定対象物と、この測定対象物からの反射
光をレンズを介して導波する測定光導波路と、前記波長
可変ＬＤの他方の出射面からの光を導波する参照光導波
路と、前記測定光導波路と参照光導波路を結合する結合
用光導波路と、この結合用光導波路で結合された光が入
射される受光素子とを備えた構成の光ＩＣ化干渉計部を
備え、前記受光素子で検出された干渉信号をＩ／Ｖ変換
回路で増幅した後、干渉位相の変化を演算装置で計算す
ることにより前記測定対象物までの絶対距離を求めるよ
うにしたことを特徴とする。
ＩＣ化アブソリュート測長器を実現する。 【構成】 波長可変ＬＤと、この波長可変ＬＤの片面に
取り付けられ前記波長可変ＬＤの出力光をコリメートす
るコリメータレンズと、このコリメータレンズからの光
が入射される測定対象物と、この測定対象物からの反射
光をレンズを介して導波する測定光導波路と、前記波長
可変ＬＤの他方の出射面からの光を導波する参照光導波
路と、前記測定光導波路と参照光導波路を結合する結合
用光導波路と、この結合用光導波路で結合された光が入
射される受光素子とを備えた構成の光ＩＣ化干渉計部を
備え、前記受光素子で検出された干渉信号をＩ／Ｖ変換
回路で増幅した後、干渉位相の変化を演算装置で計算す
ることにより前記測定対象物までの絶対距離を求めるよ
うにしたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、測定対象物までの絶対
距離を測定する光ＩＣ化干渉計を用いたアブソリュート
測長器に関し、小型で高精度な測定を可能とするもので
ある。
距離を測定する光ＩＣ化干渉計を用いたアブソリュート
測長器に関し、小型で高精度な測定を可能とするもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】このような光ＩＣ化干渉計の従来例とし
て、特開昭６４−１２２０４号『光ＩＣ干渉計』があ
る。図２は、その実施例の構成図である。図２におい
て、基板２１に光導波路２２と、参照光導波路３１，３
２，３３，３４と、干渉導波路４１，４２，４３，４４
と、分岐導波路２３とを形成し、参照光導波路３２，３
３，３４の光路長を参照光導波路３１，３２，３３の光
路長よりもそれぞれλ／８長く形成したものである。な
お、２４は発光素子、２５，２６，２７，２８はミラ
ー、２９はパワー分配器、３５は光導波路２２を伝搬す
る光束をコーナーキューブ３０に向けて射出する光ファ
イバ、３６はコーナーキューブ３０で反射した光束を分
岐導波路２３に導入させる光ファイバ、３７，３８，３
９，４０は受光素子である。
て、特開昭６４−１２２０４号『光ＩＣ干渉計』があ
る。図２は、その実施例の構成図である。図２におい
て、基板２１に光導波路２２と、参照光導波路３１，３
２，３３，３４と、干渉導波路４１，４２，４３，４４
と、分岐導波路２３とを形成し、参照光導波路３２，３
３，３４の光路長を参照光導波路３１，３２，３３の光
路長よりもそれぞれλ／８長く形成したものである。な
お、２４は発光素子、２５，２６，２７，２８はミラ
ー、２９はパワー分配器、３５は光導波路２２を伝搬す
る光束をコーナーキューブ３０に向けて射出する光ファ
イバ、３６はコーナーキューブ３０で反射した光束を分
岐導波路２３に導入させる光ファイバ、３７，３８，３
９，４０は受光素子である。
【０００３】このような構成において、図３は上記光Ｉ
Ｃ干渉計を利用してコーナーキューブ３０の移動距離な
どを求める信号処理回路を示したものであり、図４に示
す信号処理回路の各回路の出力信号の説明図を用いて簡
単に説明する。
Ｃ干渉計を利用してコーナーキューブ３０の移動距離な
どを求める信号処理回路を示したものであり、図４に示
す信号処理回路の各回路の出力信号の説明図を用いて簡
単に説明する。
【０００４】コーナーキューブ３０のＸ方向の移動によ
り、各シュミット回路５２〜５５から方形波信号Ｓ1 〜
Ｓ4 が出力される。ところで、参照光導波路３２〜３４
の光路長が参照光導波路３１〜３３の光路長よりもそれ
ぞれλ／８長く形成されているので、方形波信号Ｓ1 と
Ｓ3 、方形波信号Ｓ2 とＳ4 はそれぞれλ／４の位相差
がある。また、方形波信号Ｓ1 〜Ｓ3 と方形波信号Ｓ2
〜Ｓ4 はそれぞれλ／８の位相差がある。
り、各シュミット回路５２〜５５から方形波信号Ｓ1 〜
Ｓ4 が出力される。ところで、参照光導波路３２〜３４
の光路長が参照光導波路３１〜３３の光路長よりもそれ
ぞれλ／８長く形成されているので、方形波信号Ｓ1 と
Ｓ3 、方形波信号Ｓ2 とＳ4 はそれぞれλ／４の位相差
がある。また、方形波信号Ｓ1 〜Ｓ3 と方形波信号Ｓ2
〜Ｓ4 はそれぞれλ／８の位相差がある。
【０００５】そして、各方形波信号Ｓ1 〜Ｓ4 の立ち上
がり時および立ち下がり時にワンショット回路５７〜６
０，６１〜６４からカウントパルスが発生し、このカウ
ントパルスはアンド回路６５〜６８，７０〜７３を介し
てオア回路６９，７４から出力される。このオア回路６
９，７４から出力されるカウントパルスはコーナーキュ
ーブ３０がλ／４移動する毎に発生し、また、オア回路
６９から出力されるカウントパルスとオア回路７４から
出力されるカウントパルスとはλ／８の位相差がある。
したがって、オア回路８５からコーナーキューブ３０が
λ／８移動する毎にカウントパルスが出力されることに
なり、コーナーキューブ３０の移動距離をλ／８のオー
ダで求めることができる。
がり時および立ち下がり時にワンショット回路５７〜６
０，６１〜６４からカウントパルスが発生し、このカウ
ントパルスはアンド回路６５〜６８，７０〜７３を介し
てオア回路６９，７４から出力される。このオア回路６
９，７４から出力されるカウントパルスはコーナーキュ
ーブ３０がλ／４移動する毎に発生し、また、オア回路
６９から出力されるカウントパルスとオア回路７４から
出力されるカウントパルスとはλ／８の位相差がある。
したがって、オア回路８５からコーナーキューブ３０が
λ／８移動する毎にカウントパルスが出力されることに
なり、コーナーキューブ３０の移動距離をλ／８のオー
ダで求めることができる。
【０００６】コーナーキューブ３０が−Ｘ方向に移動し
た場合も、同様に、コーナーキューブ３０のλ／４の移
動毎にカウントパルスがワンショット回路５７〜６０，
６１〜６４から発生し、そのカウントパルスがアンド回
路７５〜７８，８０〜８３を介してオア回路７９，８４
から出力される。そして、上記と同様にオア回路７９か
ら出力されるカウントパルスとオア回路８４から出力さ
れるカウントパルスとはλ／８の位相差があるので、オ
ア回路８６から出力されるカウントパルスをカウントす
ることによりコーナーキューブ３０の移動距離をλ／８
のオーダで求めることができる。
た場合も、同様に、コーナーキューブ３０のλ／４の移
動毎にカウントパルスがワンショット回路５７〜６０，
６１〜６４から発生し、そのカウントパルスがアンド回
路７５〜７８，８０〜８３を介してオア回路７９，８４
から出力される。そして、上記と同様にオア回路７９か
ら出力されるカウントパルスとオア回路８４から出力さ
れるカウントパルスとはλ／８の位相差があるので、オ
ア回路８６から出力されるカウントパルスをカウントす
ることによりコーナーキューブ３０の移動距離をλ／８
のオーダで求めることができる。
【０００７】このように、上記従来例では、対象物の移
動距離をλ／２以上のオーダで求めることができ、ま
た、対象物の移動方向を判断することもできる。
動距離をλ／２以上のオーダで求めることができ、ま
た、対象物の移動方向を判断することもできる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術に示す『光ＩＣ干渉計』においては、 （１）測定対象の変位しか計れず、測定対象物までの絶
対距離の測定ができない。 （２）方向性結合器やＹ分波・結合器やクロス導波路な
ど多くの素子で構成されているため、複雑であり、小型
・低価格化が難しい。また、各素子でのパワーロス（散
乱）が積算されるため、Ｓ／Ｎの良い信号を得にくい。 （３）ミラー２５〜２８やクロス導波路で反射光が発生
し、その反射光が発光素子２４に戻ると発振波長が不安
定となるため、装置の動作が不安定となってしまう。ま
た、反射光が受光素子３７〜４０に入るとコヒーレント
ノイズとなり、測定値に周期的な誤差が発生する。 （４）位相シフタをニオブ酸リチウムの電気光学効果を
利用して実現しているが、ＤＣドリフトがあるので、安
定して動作させるのが難しい。また、 （５）アブソリュート測長器としては、本願出願人によ
る特願平３−９４０５６号『光源に３電極波長可変レー
ザダイオードを用いたアブソリュート測長器』がある
が、干渉計をディスクリート部品で構成しているため、
小型・低価格化が難しいことと、調整や組立が困難であ
った。などの欠点があった。
来技術に示す『光ＩＣ干渉計』においては、 （１）測定対象の変位しか計れず、測定対象物までの絶
対距離の測定ができない。 （２）方向性結合器やＹ分波・結合器やクロス導波路な
ど多くの素子で構成されているため、複雑であり、小型
・低価格化が難しい。また、各素子でのパワーロス（散
乱）が積算されるため、Ｓ／Ｎの良い信号を得にくい。 （３）ミラー２５〜２８やクロス導波路で反射光が発生
し、その反射光が発光素子２４に戻ると発振波長が不安
定となるため、装置の動作が不安定となってしまう。ま
た、反射光が受光素子３７〜４０に入るとコヒーレント
ノイズとなり、測定値に周期的な誤差が発生する。 （４）位相シフタをニオブ酸リチウムの電気光学効果を
利用して実現しているが、ＤＣドリフトがあるので、安
定して動作させるのが難しい。また、 （５）アブソリュート測長器としては、本願出願人によ
る特願平３−９４０５６号『光源に３電極波長可変レー
ザダイオードを用いたアブソリュート測長器』がある
が、干渉計をディスクリート部品で構成しているため、
小型・低価格化が難しいことと、調整や組立が困難であ
った。などの欠点があった。
【０００９】本発明は上記従来技術の課題を踏まえて成
されたものであり、小型で高精度な絶対距離測定を可能
とした光ＩＣ化アブソリュート測長器を提供することを
目的としたものである。
されたものであり、小型で高精度な絶対距離測定を可能
とした光ＩＣ化アブソリュート測長器を提供することを
目的としたものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の構成は、波長可変レーザダイオード（以下、
単に波長可変ＬＤという）と、この波長可変ＬＤの片面
に取り付けられ前記波長可変ＬＤの出力光をコリメート
するコリメータレンズと、このコリメータレンズからの
光が入射される測定対象物と、この測定対象物からの反
射光をレンズを介して導波する測定光導波路と、前記波
長可変ＬＤの他方の出射面からの光を導波する参照光導
波路と、前記測定光導波路と参照光導波路を結合する結
合用光導波路と、この結合用光導波路で結合された光が
入射される受光素子とを備えた構成の光ＩＣ化干渉計部
を備え、前記受光素子で検出された干渉信号をＩ／Ｖ変
換回路で増幅した後、干渉位相の変化を演算装置で計算
することにより前記測定対象物までの絶対距離を求める
ようにしたことを特徴とする。また、前記参照光導波
路、測定光導波路および結合用光導波路は、火炎堆積法
で製作したガラス導波路で構成したことを特徴とする。
また、前記参照光導波路、測定光導波路および結合用光
導波路の端面を斜めに加工したことを特徴とする。
の本発明の構成は、波長可変レーザダイオード（以下、
単に波長可変ＬＤという）と、この波長可変ＬＤの片面
に取り付けられ前記波長可変ＬＤの出力光をコリメート
するコリメータレンズと、このコリメータレンズからの
光が入射される測定対象物と、この測定対象物からの反
射光をレンズを介して導波する測定光導波路と、前記波
長可変ＬＤの他方の出射面からの光を導波する参照光導
波路と、前記測定光導波路と参照光導波路を結合する結
合用光導波路と、この結合用光導波路で結合された光が
入射される受光素子とを備えた構成の光ＩＣ化干渉計部
を備え、前記受光素子で検出された干渉信号をＩ／Ｖ変
換回路で増幅した後、干渉位相の変化を演算装置で計算
することにより前記測定対象物までの絶対距離を求める
ようにしたことを特徴とする。また、前記参照光導波
路、測定光導波路および結合用光導波路は、火炎堆積法
で製作したガラス導波路で構成したことを特徴とする。
また、前記参照光導波路、測定光導波路および結合用光
導波路の端面を斜めに加工したことを特徴とする。
【００１１】
【作用】本発明によると、 （１）光ＩＣ干渉計部を、一つの結合用光導波路で構成
し、小型・低価格化を実現している。 （２）波長可変ＬＤの両面から出射される光の一方を参
照光、他方を測定光として利用する構成を取ることによ
り、波長可変ＬＤへの戻り光およびコヒーレントノイズ
の発生を本質的になくしている。 （３）干渉位相の測定法として、光源の周波数を連続的
に変化させるＦＭ変調法（ホモダイン法）を用いること
により、光路の位相を変調するための位相変調器や複数
の光導波路を不要としている。
し、小型・低価格化を実現している。 （２）波長可変ＬＤの両面から出射される光の一方を参
照光、他方を測定光として利用する構成を取ることによ
り、波長可変ＬＤへの戻り光およびコヒーレントノイズ
の発生を本質的になくしている。 （３）干渉位相の測定法として、光源の周波数を連続的
に変化させるＦＭ変調法（ホモダイン法）を用いること
により、光路の位相を変調するための位相変調器や複数
の光導波路を不要としている。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。図
１は本発明の光ＩＣ化アブソリュート測長器の一実施例
を示す構成図である。図１において、参照光導波路１、
測定光導波路２、Ｙ形光導波路３は、特公昭６２−４８
８０６号『光導波路用薄膜の製造方法』で開示されてい
る火炎堆積法を用いて製作されたガラス導波路で構成さ
れている。
１は本発明の光ＩＣ化アブソリュート測長器の一実施例
を示す構成図である。図１において、参照光導波路１、
測定光導波路２、Ｙ形光導波路３は、特公昭６２−４８
８０６号『光導波路用薄膜の製造方法』で開示されてい
る火炎堆積法を用いて製作されたガラス導波路で構成さ
れている。
【００１３】波長可変ＬＤ４からの出射光は、波長可変
ＬＤ４の片面に取り付けられたセルフォックレンズ５で
コリメートされ、測定点に設置された測定対象物である
コーナーキューブ（以下、単にＣＣという）７で反射さ
れる。反射光は、セルフォックレンズ６で集光され、測
定光導波路２に入射する。一方、波長可変ＬＤ４の他方
の面から出射された光は、参照光導波路１に入射し、Ｙ
形光導波路３で測定光導波路２からの光と合波され、干
渉する。干渉波は、Ｙ形光導波路３を伝搬し、受光素子
８で受光され、電気信号に変換される。
ＬＤ４の片面に取り付けられたセルフォックレンズ５で
コリメートされ、測定点に設置された測定対象物である
コーナーキューブ（以下、単にＣＣという）７で反射さ
れる。反射光は、セルフォックレンズ６で集光され、測
定光導波路２に入射する。一方、波長可変ＬＤ４の他方
の面から出射された光は、参照光導波路１に入射し、Ｙ
形光導波路３で測定光導波路２からの光と合波され、干
渉する。干渉波は、Ｙ形光導波路３を伝搬し、受光素子
８で受光され、電気信号に変換される。
【００１４】受光素子８で検出されたフォト電流（干渉
信号）は、Ｉ／Ｖ変換回路９で増幅した後、干渉位相の
変化を演算装置１０で計算することにより、ＣＣ７まで
の絶対距離の測定を行う。
信号）は、Ｉ／Ｖ変換回路９で増幅した後、干渉位相の
変化を演算装置１０で計算することにより、ＣＣ７まで
の絶対距離の測定を行う。
【００１５】このような構成において、波長可変ＬＤ４
から出射し、セルフォックレンズ５→ＣＣ７→セルフォ
ックレンズ６→測定光導波路２を通って、Ｙ形光導波路
３の合波点まできた測定光の光路をＬm 、波長可変ＬＤ
４の他端から出射し、参照光導波路１を通って、Ｙ形光
導波路３の合波点まできた参照光の光路をＬr とする
と、Ｙ形光導波路３を通り、受光素子８で検出され、Ｉ
／Ｖ変換回路９で増幅される干渉位相の変化Δθは、次
式で表される。なお、式中のΔｆは周波数可変幅、ｃは
光の速度である。 Δθ＝２・π・Δｆ（Ｌm −Ｌr ）／ｃ
から出射し、セルフォックレンズ５→ＣＣ７→セルフォ
ックレンズ６→測定光導波路２を通って、Ｙ形光導波路
３の合波点まできた測定光の光路をＬm 、波長可変ＬＤ
４の他端から出射し、参照光導波路１を通って、Ｙ形光
導波路３の合波点まできた参照光の光路をＬr とする
と、Ｙ形光導波路３を通り、受光素子８で検出され、Ｉ
／Ｖ変換回路９で増幅される干渉位相の変化Δθは、次
式で表される。なお、式中のΔｆは周波数可変幅、ｃは
光の速度である。 Δθ＝２・π・Δｆ（Ｌm −Ｌr ）／ｃ
【００１６】ここで、波長可変ＬＤ４の周波数可変幅Δ
ｆをΔｔの時間で直線的に可変すると、受光素子８で得
られる干渉信号強度は、次式で示される。 ＩFM＝Ａ・ｃｏｓ（Δθ／Δｔ・ｔ）
ｆをΔｔの時間で直線的に可変すると、受光素子８で得
られる干渉信号強度は、次式で示される。 ＩFM＝Ａ・ｃｏｓ（Δθ／Δｔ・ｔ）
【００１７】干渉信号強度ＩFMは、正弦波状に変化する
ので、その干渉信号変化を演算装置１０で積算すること
により、ＣＣ７までの絶対距離を測定できる。
ので、その干渉信号変化を演算装置１０で積算すること
により、ＣＣ７までの絶対距離を測定できる。
【００１８】なお、上記実施例において、光導波路部の
端面を斜めに加工することにより、波長可変ＬＤや受光
素子への戻り光を低減することができ、ＬＤの出力損失
や受光素子へのノイズの混入を防止できる。また、Ｙ形
光導波路ではなく、方向性結合器を用いた構成としても
良い。
端面を斜めに加工することにより、波長可変ＬＤや受光
素子への戻り光を低減することができ、ＬＤの出力損失
や受光素子へのノイズの混入を防止できる。また、Ｙ形
光導波路ではなく、方向性結合器を用いた構成としても
良い。
【００１９】さらに、上記実施例では、波長可変ＬＤ４
からの出射光をセルフォックレンズ５を用いて平行光と
し、空間伝搬させる例を示したが、波長可変ＬＤ４から
の光をファイバなどの光導波路に入射させ、測定対象ま
で導き、反射光もファイバなどの光導波路に入射させて
検出することも可能である。
からの出射光をセルフォックレンズ５を用いて平行光と
し、空間伝搬させる例を示したが、波長可変ＬＤ４から
の光をファイバなどの光導波路に入射させ、測定対象ま
で導き、反射光もファイバなどの光導波路に入射させて
検出することも可能である。
【００２０】
【発明の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに、本発明によれば、 （１）波長可変ＬＤと一つの結合用光導波路で構成した
光ＩＣ化干渉計部だけでアブソリュート測長器を構成し
ているため、小型・低価格化が可能である。 （２）波長可変ＬＤの両面から出射される光の一方を参
照光に、他方を測定光として利用する構成としているた
め、波長可変ＬＤへの戻り光およびコヒーレントノイズ
の発生を本質的になくすことができる。 などの効果を有する光ＩＣ化アブソリュート測長器を実
現できる。
うに、本発明によれば、 （１）波長可変ＬＤと一つの結合用光導波路で構成した
光ＩＣ化干渉計部だけでアブソリュート測長器を構成し
ているため、小型・低価格化が可能である。 （２）波長可変ＬＤの両面から出射される光の一方を参
照光に、他方を測定光として利用する構成としているた
め、波長可変ＬＤへの戻り光およびコヒーレントノイズ
の発生を本質的になくすことができる。 などの効果を有する光ＩＣ化アブソリュート測長器を実
現できる。
【図１】本発明の光ＩＣ化アブソリュート測長器の一実
施例を示す構成図である。
施例を示す構成図である。
【図２】光ＩＣ干渉計の従来例である。
【図３】図２の光ＩＣ干渉計の信号処理回路の回路構成
図である。
図である。
【図４】図３の信号処理回路の各回路の出力信号の説明
図である。
図である。
１ 参照光導波路 ２ 測定光導波路 ３ Ｙ形光導波路（結合用光導波路） ４ 波長可変レーザダイオード ５、６ セルフォックレンズ ７ コーナーキューブ（測定対象物） ８ 受光素子 ９ Ｉ／Ｖ変換回路 １０ 演算装置
Claims (3)
- 【請求項１】 波長可変レーザダイオード（４）と、 この波長可変レーザダイオード（４）の片面に取り付け
られ前記波長可変レーザダイオード（４）の出力光をコ
リメートするコリメータレンズ（５）と、 このコリメータレンズ（５）からの光が入射される測定
対象物（７）と、 この測定対象物（７）からの反射光をレンズ（６）を介
して導波する測定光導波路（２）と、 前記波長可変レーザダイオード（４）の他方の出射面か
らの光を導波する参照光導波路（１）と、 前記測定光導波路（２）と参照光導波路（１）を結合す
る結合用光導波路（３）と、 この結合用光導波路（３）で結合された光が入射される
受光素子（８）とを備えた構成の光ＩＣ化干渉計部を備
え、 前記受光素子（８）で検出された干渉信号をＩ／Ｖ変換
回路（９）で増幅した後、干渉位相の変化を演算装置
（１０）で計算することにより前記測定対象物（７）ま
での絶対距離を求めるようにしたことを特徴とする光Ｉ
Ｃ化アブソリュート測長器。 - 【請求項２】 前記参照光導波路（１）、測定光導波路
（２）および結合用光導波路（３）は、火炎堆積法で製
作したガラス導波路で構成したことを特徴とする請求項
１記載の光ＩＣ化アブソリュート測長器。 - 【請求項３】 前記参照光導波路（１）、測定光導波路
（２）および結合用光導波路（３）の端面を斜めに加工
したことを特徴とする請求項１記載の光ＩＣ化アブソリ
ュート測長器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5046544A JPH06258019A (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | 光ｉｃ化アブソリュート測長器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5046544A JPH06258019A (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | 光ｉｃ化アブソリュート測長器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06258019A true JPH06258019A (ja) | 1994-09-16 |
Family
ID=12750255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5046544A Pending JPH06258019A (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | 光ｉｃ化アブソリュート測長器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06258019A (ja) |
-
1993
- 1993-03-08 JP JP5046544A patent/JPH06258019A/ja active Pending
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