JPH06258306A - ガスクロマトグラフ - Google Patents
ガスクロマトグラフInfo
- Publication number
- JPH06258306A JPH06258306A JP7279993A JP7279993A JPH06258306A JP H06258306 A JPH06258306 A JP H06258306A JP 7279993 A JP7279993 A JP 7279993A JP 7279993 A JP7279993 A JP 7279993A JP H06258306 A JPH06258306 A JP H06258306A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier gas
- column
- valve
- gas
- backflush
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 分析中にキャリアガスの種類を変えることに
より、測定成分として炭化水素に水素が入っている場合
であっても、これら両測定成分を高い検出感度をもって
検出し得るようにする。 【構成】 第１のキャリアガス供給源２０からＮ2 を第
１のキャリアガス流路２２およびサンプルバルブ１を介
して第１カラム３に供給し、第２のキャリアガス供給源
２１によってＨｅを第２のキャリアガス流路２３および
バックフラッシュバルブ５を介して第２カラム４に供給
する。また、第２のキャリアガス流路２３に減圧弁２４
を接続配置する。測定成分として炭化水素（Ｃ2 Ｈ6 ，
ＣＨ4 ）に水素（Ｈ2 ）が入っている場合、炭化水素の
分離にＮ2 を用い、水素の分離にＨｅを用いると、これ
ら成分ガスを高感度に分離、分析することができる。
より、測定成分として炭化水素に水素が入っている場合
であっても、これら両測定成分を高い検出感度をもって
検出し得るようにする。 【構成】 第１のキャリアガス供給源２０からＮ2 を第
１のキャリアガス流路２２およびサンプルバルブ１を介
して第１カラム３に供給し、第２のキャリアガス供給源
２１によってＨｅを第２のキャリアガス流路２３および
バックフラッシュバルブ５を介して第２カラム４に供給
する。また、第２のキャリアガス流路２３に減圧弁２４
を接続配置する。測定成分として炭化水素（Ｃ2 Ｈ6 ，
ＣＨ4 ）に水素（Ｈ2 ）が入っている場合、炭化水素の
分離にＮ2 を用い、水素の分離にＨｅを用いると、これ
ら成分ガスを高感度に分離、分析することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラム内に充填した固
定相とガスとの吸着性の差を利用してガスを分析するガ
スクロマトグラフに関し、特にバックフラッシュベント
方式を採用したガスクロマトグラフに関するものであ
る。
定相とガスとの吸着性の差を利用してガスを分析するガ
スクロマトグラフに関し、特にバックフラッシュベント
方式を採用したガスクロマトグラフに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】石油化学プロセスや鉄鋼プロセスなどに
おいてプロセスガスの成分分析を行い、その分析結果に
基づいて各プロセス工程を監視したり各種制御を行った
りするための検出装置としてガスクロマトグラフが従来
から一般に用いられている。また、近年では排気ガス等
による環境汚染が大きくクローズアップされていること
から大気中の微量成分測定用としてもガスクロマトグラ
フが利用されている。
おいてプロセスガスの成分分析を行い、その分析結果に
基づいて各プロセス工程を監視したり各種制御を行った
りするための検出装置としてガスクロマトグラフが従来
から一般に用いられている。また、近年では排気ガス等
による環境汚染が大きくクローズアップされていること
から大気中の微量成分測定用としてもガスクロマトグラ
フが利用されている。
【０００３】このようなガスクロマトグラフによるプロ
セスガスの分析に際して、分析手法の１つとしてバック
フラッシュ方式がある。このバックフラッシュ方式は、
サンプルガス中の比重の軽いガス成分（低質成分）のみ
測定し、比重の重いガス成分（重質成分）については分
析周期の短縮、カラム劣化保護等のため、バックフラッ
シュバルブにより排出して測定しないようにしている。
セスガスの分析に際して、分析手法の１つとしてバック
フラッシュ方式がある。このバックフラッシュ方式は、
サンプルガス中の比重の軽いガス成分（低質成分）のみ
測定し、比重の重いガス成分（重質成分）については分
析周期の短縮、カラム劣化保護等のため、バックフラッ
シュバルブにより排出して測定しないようにしている。
【０００４】図３はこのようなバックフラッシュベント
方式を採用した工業用ガスクロマトグラフの従来例を示
す概略構成図である。同図において、１はサンプルバル
ブ、２は計量管、３は第１カラム、４は第２カラム、５
はバックフラッシュバルブ、６は検出器、７はバルブ切
替時の圧力変動を防止する抵抗カラムで、これらは一定
の温度（６０°Ｃ〜１２０°Ｃ）に保持された不図示の
恒温槽内に収納されている。第１カラム３はサンプルバ
ルブ１とバックフラッシュバルブ５との間に配設され、
第２カラム４はバックフラッシュバルブ５と検出器６と
の間に配設されている。これら両カラム３，４は同一内
径で、内部にはサンプルガスＳＧに応じて異なるが、活
性炭、活性アルミナ、モレキュラーシーブ等の粒度を揃
えた粉末が固定相として充填されている。検出器６とし
ては、熱伝導度検出器（ＴＣＤ）等が使用され、その検
出信号がコントローラ８に送られて波形処理される。
方式を採用した工業用ガスクロマトグラフの従来例を示
す概略構成図である。同図において、１はサンプルバル
ブ、２は計量管、３は第１カラム、４は第２カラム、５
はバックフラッシュバルブ、６は検出器、７はバルブ切
替時の圧力変動を防止する抵抗カラムで、これらは一定
の温度（６０°Ｃ〜１２０°Ｃ）に保持された不図示の
恒温槽内に収納されている。第１カラム３はサンプルバ
ルブ１とバックフラッシュバルブ５との間に配設され、
第２カラム４はバックフラッシュバルブ５と検出器６と
の間に配設されている。これら両カラム３，４は同一内
径で、内部にはサンプルガスＳＧに応じて異なるが、活
性炭、活性アルミナ、モレキュラーシーブ等の粒度を揃
えた粉末が固定相として充填されている。検出器６とし
ては、熱伝導度検出器（ＴＣＤ）等が使用され、その検
出信号がコントローラ８に送られて波形処理される。
【０００５】非測定時において、サンプルバルブ１およ
びバックフラッシュバルブ５の流路を実線の状態に保持
することにより、サンプルガス導入口９よりサンプルバ
ルブ１に供給されたサンプルガスＳＧを計量管２を経て
ベント口１０より廃棄する一方、抵抗カラム７を通りバ
ックフラッシュバルブ５の第１キャリアガス導入口１１
より同バルブ５に供給されたヘリウム（Ｈｅ）、窒素
（Ｎ２）、水素（Ｈ２）等の不活性ガスからなるキャリ
アガスＣＧを第２カラム４を経て検出器６に流すと共
に、第２キャリアガス導入口１２よりバックフラッシュ
バルブ５に供給された前記と同じ不活性ガスからなるキ
ャリアガスＣＧを第１カラム３に流し、サンプルバルブ
１のベント口１３から廃棄している。
びバックフラッシュバルブ５の流路を実線の状態に保持
することにより、サンプルガス導入口９よりサンプルバ
ルブ１に供給されたサンプルガスＳＧを計量管２を経て
ベント口１０より廃棄する一方、抵抗カラム７を通りバ
ックフラッシュバルブ５の第１キャリアガス導入口１１
より同バルブ５に供給されたヘリウム（Ｈｅ）、窒素
（Ｎ２）、水素（Ｈ２）等の不活性ガスからなるキャリ
アガスＣＧを第２カラム４を経て検出器６に流すと共
に、第２キャリアガス導入口１２よりバックフラッシュ
バルブ５に供給された前記と同じ不活性ガスからなるキ
ャリアガスＣＧを第１カラム３に流し、サンプルバルブ
１のベント口１３から廃棄している。
【０００６】測定に際して、サンプルバルブ１およびバ
ックフラッシュバルブ５の流路を実線の状態から破線の
状態に切り換えると、計量管２によって計量、分取され
たサンプルガスＳＧは、サンプルバルブ１のキャリアガ
ス導入口１４から同バルブ１に導入される前記と同じ不
活性ガスからなるキャリアガスＣＧによって第１カラム
３−バックフラッシュバルブ５−第２カラム４を経て検
出器６に送られる。
ックフラッシュバルブ５の流路を実線の状態から破線の
状態に切り換えると、計量管２によって計量、分取され
たサンプルガスＳＧは、サンプルバルブ１のキャリアガ
ス導入口１４から同バルブ１に導入される前記と同じ不
活性ガスからなるキャリアガスＣＧによって第１カラム
３−バックフラッシュバルブ５−第２カラム４を経て検
出器６に送られる。
【０００７】ここで、第１カラム３に流入したサンプル
ガスＳＧは、同カラム内に充填されている固定相によっ
て低質成分のグループと重質成分のグループに粗分離さ
れる。低質成分のグループは重質成分のグループより先
に固定相から分離してバックフラッシュバルブ５を通り
第２カラム４内に導かれ、同カラム内の固定相によって
さらに個々の成分に分離される。そして、この個々に分
離された低質成分は第２カラム４を通過して検出器６に
送られ、各成分毎に検出されて電気信号に変換される。
この電気信号は各ガス成分の濃度に比例している。これ
をコントローラ８で波形処理し、これに基づいてプロセ
スの制御を行ったり、クロマトグラム波形を記録する。
一方、重質成分は、低質成分がバックフラッシュバルブ
５を通過した時点でバックフラッシュバルブ５が再び切
り替えられてバックフラッシュ状態となることにより、
バックフラッシュバルブ５の第２キャリアガス導入口１
２に導かれるキャリアガスＣＧによってサンプルバルブ
１に戻され、ベント口１３から廃棄される。
ガスＳＧは、同カラム内に充填されている固定相によっ
て低質成分のグループと重質成分のグループに粗分離さ
れる。低質成分のグループは重質成分のグループより先
に固定相から分離してバックフラッシュバルブ５を通り
第２カラム４内に導かれ、同カラム内の固定相によって
さらに個々の成分に分離される。そして、この個々に分
離された低質成分は第２カラム４を通過して検出器６に
送られ、各成分毎に検出されて電気信号に変換される。
この電気信号は各ガス成分の濃度に比例している。これ
をコントローラ８で波形処理し、これに基づいてプロセ
スの制御を行ったり、クロマトグラム波形を記録する。
一方、重質成分は、低質成分がバックフラッシュバルブ
５を通過した時点でバックフラッシュバルブ５が再び切
り替えられてバックフラッシュ状態となることにより、
バックフラッシュバルブ５の第２キャリアガス導入口１
２に導かれるキャリアガスＣＧによってサンプルバルブ
１に戻され、ベント口１３から廃棄される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記したプロセスガス
クロマトグラフにおいては検出器６として熱伝導度検出
器が主として用いられる。その場合、測定成分に対し熱
伝導度の差が大きいガスをキャリアガスＣＧとして用い
ると感度が大きくとれる利点を有する。しかしながら、
キャリアガスＣＧは測定成分の種類によって感度が異な
るという問題があった。因ちに、測定成分として図４に
示すように炭化水素（Ｃ2 Ｈ6 ，ＣＨ4 ）に水素（Ｈ
2 ）が入っている場合、キャリアガスＣＧとしてＨｅを
用いると、炭化水素類の感度が大きい反面水素の検出感
度が小さく、ヘリウムＮ２を用いると、反対に水素の感
度は大きくなるが、炭化水素類の感度が小さくなる。し
たがって、いずれにしても１種類のキャリアガスＣＧで
水素と炭化水素を共に高い検出感度で測定することはで
きなかった。そこで、現状のプロセスガスクロマトグラ
フでは炭化水素などの分析では通常Ｈｅをキャリアガス
ＣＧとして用いている。
クロマトグラフにおいては検出器６として熱伝導度検出
器が主として用いられる。その場合、測定成分に対し熱
伝導度の差が大きいガスをキャリアガスＣＧとして用い
ると感度が大きくとれる利点を有する。しかしながら、
キャリアガスＣＧは測定成分の種類によって感度が異な
るという問題があった。因ちに、測定成分として図４に
示すように炭化水素（Ｃ2 Ｈ6 ，ＣＨ4 ）に水素（Ｈ
2 ）が入っている場合、キャリアガスＣＧとしてＨｅを
用いると、炭化水素類の感度が大きい反面水素の検出感
度が小さく、ヘリウムＮ２を用いると、反対に水素の感
度は大きくなるが、炭化水素類の感度が小さくなる。し
たがって、いずれにしても１種類のキャリアガスＣＧで
水素と炭化水素を共に高い検出感度で測定することはで
きなかった。そこで、現状のプロセスガスクロマトグラ
フでは炭化水素などの分析では通常Ｈｅをキャリアガス
ＣＧとして用いている。
【０００９】本発明は上記したような従来の問題点に鑑
みてなされたもので、その目的とするところは、分析中
にキャリアガスの種類を変えることにより、キャリアガ
スに対して感度の異なる測定成分を高い検出感度をもっ
て検出し得るようにしたガスクロマトグラフを提供する
ことにある。
みてなされたもので、その目的とするところは、分析中
にキャリアガスの種類を変えることにより、キャリアガ
スに対して感度の異なる測定成分を高い検出感度をもっ
て検出し得るようにしたガスクロマトグラフを提供する
ことにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、サンプルバルブ、バックフラッシュバルブ、
カラム、検出器等を備えたガスクロマトグラフにおい
て、前記サンプルバルブと検出器間に連接された第１カ
ラムと第２カラム間にバックフラッシュバルブを配設し
てなり、このバックフラッシュバルブは前記サンプルガ
スに供給されるキャリアガスとは異なった他のキャリア
ガス供給源に接続され、第２カラムにキャリアガスおよ
び他のキャリアガスを選択的に送給可能にするものであ
る。
するため、サンプルバルブ、バックフラッシュバルブ、
カラム、検出器等を備えたガスクロマトグラフにおい
て、前記サンプルバルブと検出器間に連接された第１カ
ラムと第２カラム間にバックフラッシュバルブを配設し
てなり、このバックフラッシュバルブは前記サンプルガ
スに供給されるキャリアガスとは異なった他のキャリア
ガス供給源に接続され、第２カラムにキャリアガスおよ
び他のキャリアガスを選択的に送給可能にするものであ
る。
【００１１】
【作用】バックフラッシュバルブは、切り換えられるこ
とによりサンプルバルブに送られるキャリアガスとは異
なった他のキャリアガスを第２カラムに送給する。たと
えば、測定成分として水素を含む炭化水素の場合、炭化
水素の分離時にはキャリアガスとしてＮ2 を、水素の分
離時にはバックフラッシュバルブの切換によってキャリ
アガスとしてＨｅを第２カラムに送給すると、炭化水素
と水素を共に高い検出感度で測定することができる。
とによりサンプルバルブに送られるキャリアガスとは異
なった他のキャリアガスを第２カラムに送給する。たと
えば、測定成分として水素を含む炭化水素の場合、炭化
水素の分離時にはキャリアガスとしてＮ2 を、水素の分
離時にはバックフラッシュバルブの切換によってキャリ
アガスとしてＨｅを第２カラムに送給すると、炭化水素
と水素を共に高い検出感度で測定することができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて
詳細に説明する。図１は本発明に係るガスクロマトグラ
フの一実施例を示す概略構成図である。同図において、
本発明は２種類のキャリアガス供給源２０，２１を設
け、第１のキャリアガス供給源２０を第１のキャリアガ
ス流路２２によりサンプルバルブ１およびバックフラッ
シュバルブ５を介して第１カラム３に接続し、第２のキ
ャリアガス供給源２１を第２のキャリアガス流路２３に
よりバックフラッシュバルブ５を介して第２カラム４に
接続して構成したものである。第１のキャリアガス供給
源２０はＮ2 を，第２のキャリアガス供給源２１はＨｅ
をそれぞれ送給する。第２のキャリアガス流路２３には
減圧弁２４が接続されている。検出器６は熱伝導度検出
器で、その回路はベースラインキャンセル方式（ブリッ
ジになっていない）で、キャリアガスＣＧが変わっても
ベースラインのキャンセルが瞬時に行なえるようになっ
ている。なお、その他の構成および測定方法は図３に示
した従来装置と同様であるため、同一構成部品に対して
は同一符号をもって示し、その説明を省略する。
詳細に説明する。図１は本発明に係るガスクロマトグラ
フの一実施例を示す概略構成図である。同図において、
本発明は２種類のキャリアガス供給源２０，２１を設
け、第１のキャリアガス供給源２０を第１のキャリアガ
ス流路２２によりサンプルバルブ１およびバックフラッ
シュバルブ５を介して第１カラム３に接続し、第２のキ
ャリアガス供給源２１を第２のキャリアガス流路２３に
よりバックフラッシュバルブ５を介して第２カラム４に
接続して構成したものである。第１のキャリアガス供給
源２０はＮ2 を，第２のキャリアガス供給源２１はＨｅ
をそれぞれ送給する。第２のキャリアガス流路２３には
減圧弁２４が接続されている。検出器６は熱伝導度検出
器で、その回路はベースラインキャンセル方式（ブリッ
ジになっていない）で、キャリアガスＣＧが変わっても
ベースラインのキャンセルが瞬時に行なえるようになっ
ている。なお、その他の構成および測定方法は図３に示
した従来装置と同様であるため、同一構成部品に対して
は同一符号をもって示し、その説明を省略する。
【００１３】このような構成において、測定成分として
炭化水素（Ｃ2 Ｈ6 ，ＣＨ4 ）に水素（Ｈ2 ）が入って
いる場合、第２カラム４内の固定相の保持力はＨｅに対
して水素より強く、Ｃ2 Ｈ6 ，ＣＨ4 より弱い。すなわ
ち、第２カラム４内の成分ガスの順序は、Ｈ2 ，Ｎ2 ，
Ｈｅ，ＣＨ2 ，Ｃ2 となっている。今、サンプルバルブ
１およびバックフラッシュバルブ５を実線の状態から破
線の状態に切り換えると、計量管２によって計量、分取
されたサンプルガスＳＧは、第１のキャリアガス供給源
２０よりサンプルブバルブ１のキャリアガス導入口１４
に導かれたＮ2 によって第１カラム３に送り込まれ、粗
分離された後、バックフラッシュバルブ５を通って第２
カラム４に入る。この時、減圧弁２４はＯＦＦ状態に保
持されている。図２（ａ）はこの粗分離された成分ガス
のクロマトグラムを示す。成分ガスがバックフラッシュ
バルブ５を通過して第２カラム４に入ると、サンプルバ
ルブ１およびバックフラッシュバルブ５を破線の状態か
ら実線の状態に切り換える。すると、第２のキャリアガ
ス供給源２１よりＨｅがキャリアガスＣＧとしてバック
フラッシュバルブ５を通って第２カラム４に供給され
る。したがって、同カラムの出口で分離された段階では
前方がＮ2 、後方がＨｅに区分される。この結果、図２
（ｂ）に示すように水素の検出感度Ｐｈ1 は、キャリア
ガスＣＧとしてＨｅのみを使用する場合に比べて大きく
なる。一方、ＣＨ4，Ｃ2 Ｈ6 の検出感度Ｐｈ2 ，Ｐｈ3
は、従来と変わらない。なお、図２（ｂ）の点Ｑはバ
ックフラッシュバルブ５の切り換え時期である。
炭化水素（Ｃ2 Ｈ6 ，ＣＨ4 ）に水素（Ｈ2 ）が入って
いる場合、第２カラム４内の固定相の保持力はＨｅに対
して水素より強く、Ｃ2 Ｈ6 ，ＣＨ4 より弱い。すなわ
ち、第２カラム４内の成分ガスの順序は、Ｈ2 ，Ｎ2 ，
Ｈｅ，ＣＨ2 ，Ｃ2 となっている。今、サンプルバルブ
１およびバックフラッシュバルブ５を実線の状態から破
線の状態に切り換えると、計量管２によって計量、分取
されたサンプルガスＳＧは、第１のキャリアガス供給源
２０よりサンプルブバルブ１のキャリアガス導入口１４
に導かれたＮ2 によって第１カラム３に送り込まれ、粗
分離された後、バックフラッシュバルブ５を通って第２
カラム４に入る。この時、減圧弁２４はＯＦＦ状態に保
持されている。図２（ａ）はこの粗分離された成分ガス
のクロマトグラムを示す。成分ガスがバックフラッシュ
バルブ５を通過して第２カラム４に入ると、サンプルバ
ルブ１およびバックフラッシュバルブ５を破線の状態か
ら実線の状態に切り換える。すると、第２のキャリアガ
ス供給源２１よりＨｅがキャリアガスＣＧとしてバック
フラッシュバルブ５を通って第２カラム４に供給され
る。したがって、同カラムの出口で分離された段階では
前方がＮ2 、後方がＨｅに区分される。この結果、図２
（ｂ）に示すように水素の検出感度Ｐｈ1 は、キャリア
ガスＣＧとしてＨｅのみを使用する場合に比べて大きく
なる。一方、ＣＨ4，Ｃ2 Ｈ6 の検出感度Ｐｈ2 ，Ｐｈ3
は、従来と変わらない。なお、図２（ｂ）の点Ｑはバ
ックフラッシュバルブ５の切り換え時期である。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るガスク
ロマトグラフは、分析中にキャリアガスの種類をバック
フラッシュバルブによって変えるように構成したので、
キャリアガスによって感度の異なる無機ガスから炭化水
素のプロセスガスを高感度に分析することが可能であ
る。
ロマトグラフは、分析中にキャリアガスの種類をバック
フラッシュバルブによって変えるように構成したので、
キャリアガスによって感度の異なる無機ガスから炭化水
素のプロセスガスを高感度に分析することが可能であ
る。
【図１】本発明に係るガスクロマトグラフの一実施例を
示す概略構成図である。
示す概略構成図である。
【図２】（ａ），（ｂ）は第２カラム入口におけるガス
クロマトグラムと第２カラム出口におけるクロマトグラ
ムフを示す図である。
クロマトグラムと第２カラム出口におけるクロマトグラ
ムフを示す図である。
【図３】従来のガスクロマトグラフの概略構成図であ
る。
る。
【図４】従来装置によるガスクロマトグラムフを示す図
である。
である。
１ サンプルバルブ ２ 計量管 ３ 第１カラム ４ 第２カラム ５ バックフラッシュバルブ ６ 検出器 ２０ 第１のキャリアガス供給源 ２１ 第２のキャリアガス供給源 ２２ 第１のキャリアガス流路 ２３ 第２のキャリアガス流路 ２４ 減圧弁
Claims (1)
- 【請求項１】 サンプルバルブ、バックフラッシュバル
ブ、カラム、検出器等を備えたガスクロマトグラフにお
いて、 前記サンプルバルブと検出器間に連接された第１カラム
と第２カラム間に前記バックフラッシュバルブを配設し
てなり、このバックフラッシュバルブは前記サンプルバ
ルブに供給されるキャリアガスとは異なった他のキャリ
アガス供給源に接続され、第２カラムにキャリアガスお
よび他のキャリアガスを選択的に送給可能にしたことを
特徴とするガスクロマトグラフ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7279993A JPH06258306A (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | ガスクロマトグラフ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7279993A JPH06258306A (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | ガスクロマトグラフ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06258306A true JPH06258306A (ja) | 1994-09-16 |
Family
ID=13499807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7279993A Pending JPH06258306A (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | ガスクロマトグラフ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06258306A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008061158B3 (de) * | 2008-12-09 | 2010-04-08 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und Anordnung zur gaschromatographischen Analyse eines Gasgemischs |
| WO2012130923A1 (de) | 2011-03-30 | 2012-10-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur chromatographischen analyse eines wasserstoff enthaltenden gasgemischs |
| CN105510492A (zh) * | 2015-12-31 | 2016-04-20 | 上海正帆科技股份有限公司 | 一种电子级氯化氢的分析装置和方法 |
| CN109725071A (zh) * | 2017-10-31 | 2019-05-07 | 株式会社岛津制作所 | 分析方法以及分析装置 |
| CN113655159A (zh) * | 2021-08-04 | 2021-11-16 | 洛阳黎明大成氟化工有限公司 | 一种气相色谱分析粗制三氟化氮气体的方法及其阀路系统 |
| CN114509525A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-05-17 | 聚光科技(杭州)股份有限公司 | 氢气和碳氢化合物的色谱分析装置和方法 |
-
1993
- 1993-03-09 JP JP7279993A patent/JPH06258306A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO2010066758A1 (de) * | 2008-12-09 | 2010-06-17 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und anordnung zur gaschromatographischen analyse eines gasgemischs |
| WO2012130923A1 (de) | 2011-03-30 | 2012-10-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur chromatographischen analyse eines wasserstoff enthaltenden gasgemischs |
| DE102011006452A1 (de) | 2011-03-30 | 2012-10-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur chromatographischen Analyse eines Wasserstoff enthaltenden Gasgemischs |
| CN105510492A (zh) * | 2015-12-31 | 2016-04-20 | 上海正帆科技股份有限公司 | 一种电子级氯化氢的分析装置和方法 |
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