JPH0625882Y2 - 試料傾斜機構 - Google Patents
試料傾斜機構Info
- Publication number
- JPH0625882Y2 JPH0625882Y2 JP10555087U JP10555087U JPH0625882Y2 JP H0625882 Y2 JPH0625882 Y2 JP H0625882Y2 JP 10555087 U JP10555087 U JP 10555087U JP 10555087 U JP10555087 U JP 10555087U JP H0625882 Y2 JPH0625882 Y2 JP H0625882Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- mounting table
- vertical axis
- tilting mechanism
- gear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本考案は、主として表面分析装置に使用される試料傾斜
機構に関する。
機構に関する。
(ロ)従来技術とその問題点 一般に、ＥＰＭＡやＥＳＣＡ等、さらにはこれらが複合
化された各種の表面分析装置においては、試料を任意の
角度から観察できるようにする必要がある。そのため、
従来のこの種の装置には、真空室内において、試料が載
置される試料ステージを水平、垂直方向に移動させる移
動機構と、水平方向と直交する鉛直軸回りに回転できる
回転機構と、試料ステージ全体を傾斜できる傾斜機構と
をそれぞれ設け、かつ、これらの各駆動機構に個別に対
応して各機構を操作する操作部を設けたものが提供され
ている。
化された各種の表面分析装置においては、試料を任意の
角度から観察できるようにする必要がある。そのため、
従来のこの種の装置には、真空室内において、試料が載
置される試料ステージを水平、垂直方向に移動させる移
動機構と、水平方向と直交する鉛直軸回りに回転できる
回転機構と、試料ステージ全体を傾斜できる傾斜機構と
をそれぞれ設け、かつ、これらの各駆動機構に個別に対
応して各機構を操作する操作部を設けたものが提供され
ている。
ところが、このように移動、回転および傾斜の各機構に
対応して操作部をそれぞれ設けた構成にすると、各機構
と操作部とを連結する手段も個別に設けねばならず、そ
の結果、装置全体が複雑になるばかりでなく、高価にな
る。特に、真空外から各機構を操作せねばならない点を
考慮すると、駆動機構はできるだけ簡単な構造であるこ
とが好ましい。
対応して操作部をそれぞれ設けた構成にすると、各機構
と操作部とを連結する手段も個別に設けねばならず、そ
の結果、装置全体が複雑になるばかりでなく、高価にな
る。特に、真空外から各機構を操作せねばならない点を
考慮すると、駆動機構はできるだけ簡単な構造であるこ
とが好ましい。
本考案は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、回転機構と傾斜機構とを一つの操作部で兼用して駆
動できるようにして、装置全体の構造を簡単にするとと
もに、装置のコスト低減を図れるようにすることを目的
とする。
て、回転機構と傾斜機構とを一つの操作部で兼用して駆
動できるようにして、装置全体の構造を簡単にするとと
もに、装置のコスト低減を図れるようにすることを目的
とする。
(ハ)問題点を解決するための手段 本考案は、上記の目的を達成するために、次の構成を採
る。すなわち、本考案の試料傾斜機構は、真空室内にお
いて配置された試料ステージを構成する基台上で水平方
向に移動可能かつ水平方向と直交する鉛直軸回りに回転
可能に設けられた載置台に取り付けられる試料傾斜機構
であって、前記載置台に固定される基板上において、試
料保持用の試料ケースを、その中心が前記載置台の鉛直
軸の軸線と一致するように配置するとともに、前記鉛直
軸から離れた位置に、前記載置台の水平移動により前記
基台の側壁に固着された噛合ピンに係脱する送り歯車を
設け、この送り歯車に回転伝動系を介して水平軸をその
軸方向に回転可能に連結し、この水平軸の軸端部に前記
試料ケースを取り付ける一方、前記回転伝動系の刻み送
り用の制動子を備えている。
る。すなわち、本考案の試料傾斜機構は、真空室内にお
いて配置された試料ステージを構成する基台上で水平方
向に移動可能かつ水平方向と直交する鉛直軸回りに回転
可能に設けられた載置台に取り付けられる試料傾斜機構
であって、前記載置台に固定される基板上において、試
料保持用の試料ケースを、その中心が前記載置台の鉛直
軸の軸線と一致するように配置するとともに、前記鉛直
軸から離れた位置に、前記載置台の水平移動により前記
基台の側壁に固着された噛合ピンに係脱する送り歯車を
設け、この送り歯車に回転伝動系を介して水平軸をその
軸方向に回転可能に連結し、この水平軸の軸端部に前記
試料ケースを取り付ける一方、前記回転伝動系の刻み送
り用の制動子を備えている。
(ニ)作用 上記構成によれば、試料を傾斜させる場合には、まず、
載置台を所定位置まで水平移動させて、試料傾斜機構の
送り歯車を試料ステージの側壁に固着された噛合ピンに
係合させる。この状態で、次に載置台を鉛直軸を中心と
して回転させると、送り歯車が順次噛合ピンに噛み合う
ため、これに伴って送り歯車が従動する。この送り歯車
の動きは、回転伝動系を介して水平軸に伝達され、水平
軸の回転によりその軸端部に固定された試料ケースが傾
斜される。しかも、その場合、制動子によって回転伝動
系が刻み送りされて過回転や逆回転が防止されるので、
送り歯車の回転角度と試料ケースの傾斜角度とが確実に
対応することになる。
載置台を所定位置まで水平移動させて、試料傾斜機構の
送り歯車を試料ステージの側壁に固着された噛合ピンに
係合させる。この状態で、次に載置台を鉛直軸を中心と
して回転させると、送り歯車が順次噛合ピンに噛み合う
ため、これに伴って送り歯車が従動する。この送り歯車
の動きは、回転伝動系を介して水平軸に伝達され、水平
軸の回転によりその軸端部に固定された試料ケースが傾
斜される。しかも、その場合、制動子によって回転伝動
系が刻み送りされて過回転や逆回転が防止されるので、
送り歯車の回転角度と試料ケースの傾斜角度とが確実に
対応することになる。
(ホ)実施例 第１図は試料ステージの概略構造を示す正面図である。
この試料ステージ１は、真空室を構成する隔壁２の内部
に基台４が上下移動（符号Ｚ方向に移動）可能に設けら
れ、また、この基台４上に載置台６が水平移動（符号Ｘ
方向に移動）可能かつ水平方向と直交する鉛直軸Ｃ回り
に回転可能に設けて構成されている。そして、載置台６
に多数の試料８を配置することができる多試料パレット
１０、あるいは、後述する試料傾斜機構２０が配置され
る。また、基台４の側壁には、噛合ピン１２が固着され
ている。さらに、隔壁２の外部には、基台４を上下方向
に移動させるための操作部１８と、載置台６を基台４上
で水平方向に移動させるための操作部１４と、載置台６
を基台４上で鉛直軸Ｃ回りに回転させるための操作部１
６とがそれぞれ設けられている。なお、多試料パレット
１０を載置台６に取り付けた場合、載置台６を図上左側
に最大限移動させた状態でも噛合ピン１２に接触しない
ように多試料パレット１０の外径が予め設定されてい
る。そして、試料の傾斜を必要としない通常の分析で
は、多試料パレット１０を使用し、各操作部１４、１
６、１８を操作して載置台６を水平移動、上下移動、回
転駆動することにより分析を行うことができる。
この試料ステージ１は、真空室を構成する隔壁２の内部
に基台４が上下移動（符号Ｚ方向に移動）可能に設けら
れ、また、この基台４上に載置台６が水平移動（符号Ｘ
方向に移動）可能かつ水平方向と直交する鉛直軸Ｃ回り
に回転可能に設けて構成されている。そして、載置台６
に多数の試料８を配置することができる多試料パレット
１０、あるいは、後述する試料傾斜機構２０が配置され
る。また、基台４の側壁には、噛合ピン１２が固着され
ている。さらに、隔壁２の外部には、基台４を上下方向
に移動させるための操作部１８と、載置台６を基台４上
で水平方向に移動させるための操作部１４と、載置台６
を基台４上で鉛直軸Ｃ回りに回転させるための操作部１
６とがそれぞれ設けられている。なお、多試料パレット
１０を載置台６に取り付けた場合、載置台６を図上左側
に最大限移動させた状態でも噛合ピン１２に接触しない
ように多試料パレット１０の外径が予め設定されてい
る。そして、試料の傾斜を必要としない通常の分析で
は、多試料パレット１０を使用し、各操作部１４、１
６、１８を操作して載置台６を水平移動、上下移動、回
転駆動することにより分析を行うことができる。
第２図から第４図は、試料を傾斜させる場合に多試料パ
レット１０と取り替えて使用される試料傾斜機構を示し
ており、第２図はその平面図、第３図は第２図のIII−I
II線に沿う断面図、第４図は一部切り欠き側面図であ
る。
レット１０と取り替えて使用される試料傾斜機構を示し
ており、第２図はその平面図、第３図は第２図のIII−I
II線に沿う断面図、第４図は一部切り欠き側面図であ
る。
この実施例の試料傾斜機構２０は、試料ステージ１の載
置台６に固定される基板２２上において、載置台６の回
転中心である鉛直軸Ｃの軸線上に試料２３保持用の試料
ケース２４の中心が一致するように配置されるととも
に、鉛直軸Ｃから離れた位置に載置台６の水平移動によ
り噛合ピン１２に係脱する送り歯車２６が設けられてい
る。すなわち、この送り歯車２６は、載置台６を図上左
側に最大限移動させた状態において噛合ピン１２と噛み
合うようにその外径が予め設定されている。また、この
送り歯車２６は、ブロック２８に嵌着されたベアリング
３０、３１によって支持された第１ギヤ軸３２に止めね
じ３４で固定されており、第１ギヤ軸３２には下部歯車
３６が固定されている。そして、下部歯車３６には、従
動歯車３８が噛み合い、この従動歯車３８はベアリング
４０、４１で支持された第２ギヤ軸４２に固定されてい
る。第２ギヤ軸４２の上部には、第１かさ歯車４４が止
めねじ４５で取り付けられ、この第１かさ歯車４４に第
２かさ歯車４６が噛み合っている。この第２かさ歯車４
６は、軸受け台４８にベアリング５０を介して支持され
た水平軸５２の一方側軸端部に止めねじで５４固定さ
れ、水平軸５２の他方側軸端部には、前記の試料ケース
２４が止めねじ５６で取り付けられている。そして、第
１、第２ギヤ軸３２、４２、下部歯車３６、従動歯車３
８、第１、第２かさ歯車４４、４６によって、送り歯車
２６と水平軸５２とを連結する回転伝動系５８が構成さ
れる。
置台６に固定される基板２２上において、載置台６の回
転中心である鉛直軸Ｃの軸線上に試料２３保持用の試料
ケース２４の中心が一致するように配置されるととも
に、鉛直軸Ｃから離れた位置に載置台６の水平移動によ
り噛合ピン１２に係脱する送り歯車２６が設けられてい
る。すなわち、この送り歯車２６は、載置台６を図上左
側に最大限移動させた状態において噛合ピン１２と噛み
合うようにその外径が予め設定されている。また、この
送り歯車２６は、ブロック２８に嵌着されたベアリング
３０、３１によって支持された第１ギヤ軸３２に止めね
じ３４で固定されており、第１ギヤ軸３２には下部歯車
３６が固定されている。そして、下部歯車３６には、従
動歯車３８が噛み合い、この従動歯車３８はベアリング
４０、４１で支持された第２ギヤ軸４２に固定されてい
る。第２ギヤ軸４２の上部には、第１かさ歯車４４が止
めねじ４５で取り付けられ、この第１かさ歯車４４に第
２かさ歯車４６が噛み合っている。この第２かさ歯車４
６は、軸受け台４８にベアリング５０を介して支持され
た水平軸５２の一方側軸端部に止めねじで５４固定さ
れ、水平軸５２の他方側軸端部には、前記の試料ケース
２４が止めねじ５６で取り付けられている。そして、第
１、第２ギヤ軸３２、４２、下部歯車３６、従動歯車３
８、第１、第２かさ歯車４４、４６によって、送り歯車
２６と水平軸５２とを連結する回転伝動系５８が構成さ
れる。
さらに、この試料傾斜機構２０には、基板２２上に取り
付けられた基準台６０の外周壁の一部に凹部６２が形成
され、その凹部６２に圧縮ばね６４と制動子としてのボ
ール６６が嵌め込まれ、これによって圧縮ばね６４で付
勢されたボール６６が従動歯車３８に当接している。な
お、６８は載置台６に対して多試料パレット１０あるい
は試料傾斜機構２０全体がスリップしないようにするた
めの回転防止用ボールである。
付けられた基準台６０の外周壁の一部に凹部６２が形成
され、その凹部６２に圧縮ばね６４と制動子としてのボ
ール６６が嵌め込まれ、これによって圧縮ばね６４で付
勢されたボール６６が従動歯車３８に当接している。な
お、６８は載置台６に対して多試料パレット１０あるい
は試料傾斜機構２０全体がスリップしないようにするた
めの回転防止用ボールである。
したがって、この試料傾斜機構２０を用いて試料２３を
傾斜させる場合には、まず、水平移動用の操作部１４を
操作して試料ステージ１の載置台６を図上左側に向けて
最大限移動させる。すると、送り歯車２６が噛合ピン１
２と噛み合う。この状態で、次に回転駆動の操作部１６
を操作して載置台６を鉛直軸Ｃを中心として回転させ
る。これに伴い、送り歯車２６が１ピッチだけ動く。こ
の送り歯車２６の動きは、回転伝動系５８を介して水平
軸５２に伝達され、水平軸５２も回転し、その回転によ
って試料２３が試料ケース２４とともに傾斜される。こ
の場合の試料２３の傾斜角は、送り歯車２６の回転角度
に試料２３までのギヤ比を乗じた値となる。また、上記
の傾斜動作において、ボール６６によって回転伝動系５
８が刻み送りされてその過回転や逆回転が防止されるの
で、送り歯車２６の回転角度と試料ケース２４の傾斜角
度とが確実に対応することになる。
傾斜させる場合には、まず、水平移動用の操作部１４を
操作して試料ステージ１の載置台６を図上左側に向けて
最大限移動させる。すると、送り歯車２６が噛合ピン１
２と噛み合う。この状態で、次に回転駆動の操作部１６
を操作して載置台６を鉛直軸Ｃを中心として回転させ
る。これに伴い、送り歯車２６が１ピッチだけ動く。こ
の送り歯車２６の動きは、回転伝動系５８を介して水平
軸５２に伝達され、水平軸５２も回転し、その回転によ
って試料２３が試料ケース２４とともに傾斜される。こ
の場合の試料２３の傾斜角は、送り歯車２６の回転角度
に試料２３までのギヤ比を乗じた値となる。また、上記
の傾斜動作において、ボール６６によって回転伝動系５
８が刻み送りされてその過回転や逆回転が防止されるの
で、送り歯車２６の回転角度と試料ケース２４の傾斜角
度とが確実に対応することになる。
なお、試料２３を所望角度まで傾斜させるためには、載
置台６を数回繰り返し回転させることが必要となるが、
表面分析装置においては、連続的に試料を傾斜させるだ
けでなく、傾斜角を小刻みに変えつつ分析箇所も変えて
観察したい場合もあるので、その場合には、送り歯車２
６を噛合ピン１２から離して試料を水平移動あるいは上
下移動させるので、連続的な傾斜機構とするよりもむし
ろ本考案の試料傾斜機構の方が実用性に適している。
置台６を数回繰り返し回転させることが必要となるが、
表面分析装置においては、連続的に試料を傾斜させるだ
けでなく、傾斜角を小刻みに変えつつ分析箇所も変えて
観察したい場合もあるので、その場合には、送り歯車２
６を噛合ピン１２から離して試料を水平移動あるいは上
下移動させるので、連続的な傾斜機構とするよりもむし
ろ本考案の試料傾斜機構の方が実用性に適している。
(ヘ)効果 以上のように本考案によれば、回転機構と傾斜機構とを
一つの操作部で兼用して駆動できるので、従来のように
移動、回転および傾斜の各機構に対応して操作部を個別
に設けた構成ものものに比べて装置全体の構造が簡単に
なるとともに、操作も容易になる。しかも、装置のコス
ト低減を図れる等の優れた効果が発揮される。
一つの操作部で兼用して駆動できるので、従来のように
移動、回転および傾斜の各機構に対応して操作部を個別
に設けた構成ものものに比べて装置全体の構造が簡単に
なるとともに、操作も容易になる。しかも、装置のコス
ト低減を図れる等の優れた効果が発揮される。
図面は本考案の実施例を示し、第１図は試料ステージの
概略構造を示す正面図、第２図は試料ステージに取り付
けられる試料傾斜機構の平面図、第３図は第２図のIII
−III線に沿う断面図、第４図は試料傾斜機構の一部切
り欠き側面図である。 １……試料ステージ、１２……噛合ピン、２０……試料
傾斜機構、２２……基板、２４……試料ケース、２６…
…送り歯車、５２……水平軸、５８……回転伝動系、６
６……制動子（ボール）。
概略構造を示す正面図、第２図は試料ステージに取り付
けられる試料傾斜機構の平面図、第３図は第２図のIII
−III線に沿う断面図、第４図は試料傾斜機構の一部切
り欠き側面図である。 １……試料ステージ、１２……噛合ピン、２０……試料
傾斜機構、２２……基板、２４……試料ケース、２６…
…送り歯車、５２……水平軸、５８……回転伝動系、６
６……制動子（ボール）。
Claims (1)
- 【請求項１】真空室内において配置された試料ステージ
を構成する基台上で水平方向に移動可能かつ水平方向と
直交する鉛直軸回りに回転可能に設けられた載置台に取
り付けられる試料傾斜機構であって、 前記載置台に固定される基板上において、試料保持用の
試料ケースを、その中心が前記載置台の鉛直軸の軸線と
一致するように配置するとともに、前記鉛直軸から離れ
た位置に、前記載置台の水平移動により前記基台の側壁
に固着された噛合ピンに係脱する送り歯車を設け、この
送り歯車に回転伝動系を介して水平軸をその軸方向に回
転可能に連結し、この水平軸の軸端部に前記試料ケース
を取り付ける一方、前記回転伝動系の刻み送り用の制動
子を備えることを特徴とする試料傾斜機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10555087U JPH0625882Y2 (ja) | 1987-07-09 | 1987-07-09 | 試料傾斜機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10555087U JPH0625882Y2 (ja) | 1987-07-09 | 1987-07-09 | 試料傾斜機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6410957U JPS6410957U (ja) | 1989-01-20 |
| JPH0625882Y2 true JPH0625882Y2 (ja) | 1994-07-06 |
Family
ID=31338264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10555087U Expired - Lifetime JPH0625882Y2 (ja) | 1987-07-09 | 1987-07-09 | 試料傾斜機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0625882Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-07-09 JP JP10555087U patent/JPH0625882Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6410957U (ja) | 1989-01-20 |
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