JPH0625932B2 - Shutter device - Google Patents
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- JPH0625932B2 JPH0625932B2 JP60110774A JP11077485A JPH0625932B2 JP H0625932 B2 JPH0625932 B2 JP H0625932B2 JP 60110774 A JP60110774 A JP 60110774A JP 11077485 A JP11077485 A JP 11077485A JP H0625932 B2 JPH0625932 B2 JP H0625932B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、たとえば、半導体製造においてプロセスチ
ューブの開閉などに用いられるシャッター装置に係り、
特に、プロセスチューブの開口部などの被開閉部位に対
し、シャッター板をＸ、Ｙ軸方向に移動可能にしたシャ
ッター装置に関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a shutter device used for opening and closing a process tube in semiconductor manufacturing, for example,
In particular, the present invention relates to a shutter device in which a shutter plate can be moved in X and Y axis directions with respect to an opened / closed portion such as an opening of a process tube.
従来、たとえば、半導体製造において、プロセスチュー
ブを開閉するシャッター装置は、石英で形成されたシャ
ッター板をプロセスチューブの開口に対してその上下方
向あるいは左右方向にスライドさせて開閉を行うように
しており、特に、シャッター板はプロセスチューブの開
口部の比較的近い範囲で移動させているため、その開閉
機構部がプロセスチューブの温度の影響を受け易い場所
に設置されていた。Conventionally, for example, in semiconductor manufacturing, a shutter device for opening and closing a process tube is configured to open and close by sliding a shutter plate formed of quartz in the vertical direction or the horizontal direction with respect to the opening of the process tube. In particular, since the shutter plate is moved within a range relatively close to the opening of the process tube, the opening / closing mechanism part thereof is installed in a place susceptible to the temperature of the process tube.
このようなシャッター装置では、シャッター板をプロセ
スチューブの上下あるいは左右方向にスライドさせてい
るため、シャッター板とプロセスチューブの開口部の位
置関係がプロセスチューブの閉塞状態に影響を与えるた
め、両者の角度がずれるなど、位置関係が整合していな
い場合には、プロセスチューブの密閉度が低くなるおそ
れがあった。In such a shutter device, since the shutter plate is slid up and down or left and right of the process tube, the positional relationship between the shutter plate and the opening of the process tube affects the closed state of the process tube. If the positional relationship is not matched, such as when the process tube is displaced, the sealing degree of the process tube may be low.
また、シャッター板を移動させる開閉機構部が高温部分
に設置されるため、焼付などによる損傷が生じるため、
耐用時間が短く、また、過熱による開閉機構部の歪によ
って密閉度の信頼性が損なわれるなどの不都合があっ
た。Also, since the opening and closing mechanism that moves the shutter plate is installed in the high temperature part, damage due to burning etc. occurs,
However, the service life is short, and the reliability of the airtightness is impaired due to distortion of the opening / closing mechanism due to overheating.
この発明のシャッター装置は、第１Ａ図ないし第５図に
例示するように、炉口を開閉すべきシャッター板と、炉
口の側部に熱遮蔽板を介在させて炉芯と平行を成して設
置された第１の支持軸と、この第１の支持軸に摺動可能
に支持されて前記炉芯方向に移動する第１のスライダ
と、回転力を直線方向の駆動力に変換して前記第１のス
ライダを前記炉芯方向に移動させる移動機構と、前記炉
口から離間した位置で前記炉芯と直交方向に設置されて
一端側が前記第１のスライダに固定されているとともに
他端側がフレーム上にローラを以て移動可能に支持され
た第２の支持軸と、この第２の支持軸に摺動可能に支持
されるとともに前記シャッター板が取り付けられ、前記
シャッター板を弾性部材を以て前記炉口側に圧接させる
第２のスライダと、この第２のスライダに一端が固定さ
れ、その他端が前記第１のスライダに固定されるととも
に、前記第１のスライダに取り付けられているスプロケ
ットホィールと懸け回され、そのスプロケットホィール
の回転により、前記第１のスライダ側に巻き取り、第２
のスライダ側に巻取り時より緩やかな曲率を成して繰出
しが可能なチェーンを備えて、このチェーンの前記巻取
り又は繰出しによって前記第２のスライダを移動させる
チェーン機構と、前記チェーンの中途部と前記第２のス
ライダとの間に設置されて、前記繰出しの際に前記チェ
ーンにその進行方向と直交方向の力を作用させ、前記チ
ェーンの屈曲を阻止するスプリングとを備えたことを特
徴とする。As shown in FIGS. 1A to 5, the shutter device of the present invention has a shutter plate for opening and closing the furnace port and a heat shield plate on the side of the furnace port so as to be parallel to the furnace core. Installed on the first support shaft, a first slider that is slidably supported by the first support shaft and moves in the furnace core direction, and a rotational force is converted into a linear driving force. A moving mechanism that moves the first slider in the furnace core direction, and a first mechanism that is installed in a direction orthogonal to the furnace core at a position separated from the furnace mouth and has one end fixed to the first slider and the other end. A second support shaft whose side is movably supported by rollers on a frame; and a shutter plate mounted slidably supported by the second support shaft and having the shutter plate provided with an elastic member A second slider pressed against the mouth side; Has one end fixed to the second slider and the other end fixed to the first slider and is suspended around a sprocket wheel attached to the first slider, and the sprocket wheel is rotated to rotate the sprocket wheel. Winding on the first slider side,
A chain mechanism that is provided on the slider side of the chain and that can be paid out with a gentler curvature than during winding, and a chain mechanism that moves the second slider by the winding or paying-out of the chain; And a second slider, the spring being installed between the second slider and the second slider to apply a force to the chain in a direction orthogonal to the traveling direction of the chain at the time of feeding, and to prevent the chain from bending. To do.
炉口を開閉すべきシャッター板が設けられ、炉口は必要
に応じて開閉される。炉口の側部に熱遮蔽板を介在させ
て炉芯と平行を成して第１の支持軸が設置されており、
この第１の支持軸に摺動可能に支持されて炉芯方向に移
動する第１のスライダが設けられている。このスライダ
には、回転力を直線方向の駆動力に変換する移動機構を
以て駆動力が与えられ、第１のスライダは炉芯方向に移
動させることができる。A shutter plate for opening and closing the furnace opening is provided, and the furnace opening is opened and closed as needed. A first support shaft is installed parallel to the furnace core with a heat shield plate interposed on the side of the furnace mouth,
A first slider is provided which is slidably supported by the first support shaft and moves in the furnace core direction. A driving force is applied to this slider by a moving mechanism that converts a rotational force into a linear driving force, and the first slider can be moved in the furnace core direction.
また、炉口から離間した位置で炉芯と直交方向に設置さ
れて一端側が第１のスライダに固定されているとともに
他端側がフレーム上にローラを以て移動可能に支持され
た第２の支持軸が設けられている。この第２の支持軸に
は摺動可能に第２のスライダが取り付けられ、この第２
のスライダにはシャッター板が取り付けられている。ま
た、このシャッター板は弾性部材を以て炉口側に圧接さ
せるように設定されている。Further, a second support shaft is installed at a position separated from the furnace port in a direction orthogonal to the furnace core, one end side of which is fixed to the first slider and the other end side of which is movably supported on the frame by rollers. It is provided. A second slider is slidably attached to the second support shaft.
A shutter plate is attached to the slider. Further, this shutter plate is set so as to be brought into pressure contact with the furnace port side by means of an elastic member.
第２のスライダとともにシャッター板を移動する手段と
してチェーン機構が設けられている。即ち、この第２の
スライダに一端が固定され、その他端が第１のスライダ
に固定されるとともに、第１のスライダに取り付けられ
ているスプロケットホィールと懸け回され、そのスプロ
ケットホィールの回転により、第１のスライダ側に巻き
取り、第２のスライダ側に巻取り時より緩やかな曲率を
成して繰出しが可能なチェーンを備えて、このチェーン
の巻取り又は繰出しによって第２のスライダを移動させ
る。A chain mechanism is provided as a means for moving the shutter plate together with the second slider. That is, one end is fixed to the second slider and the other end is fixed to the first slider, and the second slider is suspended around the sprocket wheel attached to the first slider, and by the rotation of the sprocket wheel, The first slider side is provided with a chain that can be wound up and the second slider side can be drawn out with a gentler curvature than when winding, and the second slider is moved by winding up or drawing out this chain.
そして、チェーンの中途部と第２のスライダとの間に設
定されて、繰出しの際にチェーンにその進行方向と直交
方向の力を作用させ、チェーンの屈曲を阻止するスプリ
ングが設けられ、シャッター板の開閉動作の信頼性が確
保されている。The shutter plate is provided between the middle part of the chain and the second slider, and is provided with a spring that applies a force in a direction orthogonal to the traveling direction to the chain during feeding and prevents the chain from bending. The reliability of the opening / closing operation of is secured.
以下、この発明の実施例を図面を参照して詳細に説明す
る。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
第１Ａ図ないし第１Ｃ図は、この発明のシャッター装置
の実施例を示す。1A to 1C show an embodiment of the shutter device of the present invention.
このシャッター装置は、たとえば、半導体製造用プロセ
スチューブの開口前面側に設置され、第１Ａ図および第
１Ｂ図に示すように、このシャッター装置にはプロセス
チューブの開口部などの被開閉部位の中心軸方向にシャ
ッター板２を移動させる第１の移動機構４とともに、そ
の被開閉部位の中心軸と直交方向に移動させる第２の移
動機構６が設置されている。したがって、シャッター板
２は、各移動機構４、６を電気的に遠隔制御することに
より、被開閉部位と、他の退避部位との間を移動させる
とともに、被開閉部位に対して着脱させることができ
る。This shutter device is installed, for example, on the front side of the opening of a process tube for semiconductor manufacturing, and as shown in FIGS. 1A and 1B, this shutter device has a central axis of an opening / closing portion such as an opening of the process tube. A first moving mechanism 4 for moving the shutter plate 2 in a direction is installed, and a second moving mechanism 6 for moving the shutter plate 2 in a direction orthogonal to the central axis of the opened / closed portion. Therefore, the shutter plate 2 can be moved between the opened / closed portion and another retracted portion and can be attached / detached to / from the opened / closed portion by electrically and remotely controlling the moving mechanisms 4 and 6. it can.
第１Ａ図および第１Ｂ図に示すように、フレーム８の側
面部側には、プロセスチューブ（石英管）１０から熱の
影響を直接受けない程度に離間した位置に、プロセスチ
ューブ１０の開口面の直交方向にプロセスチューブ１０
からの熱を遮断する熱遮蔽板１２を介在させて第１の移
動機構４側の取付板１４が設置され、この取付板１４に
は一定の間隔を置いてブラケット１６Ａ、１６Ｂが固定
されている。各ブラケット１６Ａ、１６Ｂには、第１Ｃ
図に示すように、第１の移動機構４の第１の支持軸１８
Ａ、１８Ｂとともに、各支持軸１８Ａ、１８Ｂの中間部
分に軸受１９を介して回転可能に駆動軸２０が被開閉部
位の中心軸方向（Ｙ軸方向）、すなわち、炉芯Ｏに平行
して設置されている。各支持軸１８Ａ、１８Ｂには、Ｙ
軸方向に移動可能にＹ軸側移動体として第１のスライダ
であるＹ軸スライダ２２が支持され、このＹ軸スライダ
２２には、駆動軸２０の回転運動を直線運動に変換する
公知の運動変換器２４が取り付けられている。そして、
駆動軸２０にはプーリ２６が取り付けられており、この
プーリ２６と、取付板１４に固定されたモータ２８で駆
動される駆動プーリ３０との間には、回転運動を伝達す
るベルト３２が懸け回され、駆動プーリ３０の回転力が
駆動軸２０に伝達されている。なお、モータ２８は、た
とえば、交流リバーシブルモータなどで構成することが
できる。As shown in FIGS. 1A and 1B, on the side of the side surface of the frame 8, the opening surface of the process tube 10 is separated from the process tube (quartz tube) 10 at a position apart from the process tube 10 directly by the influence of heat. Process tube 10 in orthogonal direction
A mounting plate 14 on the side of the first moving mechanism 4 is installed with a heat shield plate 12 for blocking heat from the first moving mechanism 4 interposed, and brackets 16A and 16B are fixed to the mounting plate 14 at regular intervals. . Each bracket 16A, 16B has a first C
As shown in the figure, the first support shaft 18 of the first moving mechanism 4 is
The drive shaft 20 is rotatably mounted on the intermediate portions of the support shafts 18A and 18B together with A and 18B via a bearing 19 in parallel with the central axis direction (Y-axis direction) of the opened / closed portion, that is, the furnace core O. Has been done. Each support shaft 18A, 18B has a Y
A Y-axis slider 22, which is a first slider, is supported as a Y-axis side moving body so as to be movable in the axial direction, and the Y-axis slider 22 has a known motion conversion that converts the rotational motion of the drive shaft 20 into a linear motion. A container 24 is attached. And
A pulley 26 is attached to the drive shaft 20, and a belt 32 for transmitting a rotational motion is suspended between the pulley 26 and a drive pulley 30 driven by a motor 28 fixed to the attachment plate 14. The rotational force of the drive pulley 30 is transmitted to the drive shaft 20. The motor 28 can be configured by, for example, an AC reversible motor or the like.
また、取付板１４の下端部には、Ｙ軸スライダ２２の移
動を検知するＹ軸位置検知器３４Ａ、３４Ｂが設置さ
れ、この実施例では、Ｙ軸スライダ２２の下端に取り付
けた接触子としてのカム３６によって開閉されるスイッ
チで構成されている。この場合、Ｙ軸位置検知器３４Ａ
はＹ軸スライダ２２がプロセスチューブ１０から最も離
間した位置、Ｙ軸位置検知器３４ＢはＹ軸スライダ２２
がプロセスチューブ１０の開口部にシャッター板２を閉
じた位置を検出し、その検知出力によってモータ２８の
回転が停止される。したがって、モータ２８の回転力が
回転運動伝達手段として設置したプーリ２６、３０およ
びベルト３２によって駆動軸２０に伝達され、その回転
力が運動変換器２４によってＹ軸方向の直線運動に変換
され、また、その直線運動がＹ軸スライダ２２に伝達さ
れると、Ｙ軸スライダ２２はモータ２８の回転に応じて
Ｙ軸方向の任意の位置に移動する。この場合、Ｙ軸スラ
イダ２２の移動範囲は、Ｙ軸位置検知器３４Ａ、３４Ｂ
の検知位置の間隔内に設定されている。Further, Y-axis position detectors 34A and 34B for detecting the movement of the Y-axis slider 22 are installed at the lower end of the mounting plate 14, and in this embodiment, as Y-axis slider 22 attached to the lower end of the Y-axis slider 22, The switch is opened and closed by the cam 36. In this case, the Y-axis position detector 34A
Is the position where the Y-axis slider 22 is farthest from the process tube 10, and the Y-axis position detector 34B is the Y-axis slider 22.
Detects the position where the shutter plate 2 is closed at the opening of the process tube 10, and the detection output thereof stops the rotation of the motor 28. Therefore, the rotational force of the motor 28 is transmitted to the drive shaft 20 by the pulleys 26, 30 and the belt 32 installed as rotational motion transmission means, and the rotational force is converted into a linear motion in the Y-axis direction by the motion converter 24. When the linear motion is transmitted to the Y-axis slider 22, the Y-axis slider 22 moves to an arbitrary position in the Y-axis direction according to the rotation of the motor 28. In this case, the range of movement of the Y-axis slider 22 is the Y-axis position detectors 34A and 34B.
Is set within the detection position interval.
そして、Ｙ軸スライダ２２には、第２の移動機構６を支
持する第２の支持軸３６Ａ、３６Ｂ、支持軸３６Ｃ、３
６Ｄが被開閉部位の中心軸と直交方向（Ｘ軸方向）、す
なわち、プロセスチューブ１０の炉芯Ｏに直交方向に平
行して取り付けられ、各支持軸３６Ａ〜３６Ｄの終端部
は、Ｘ軸スライダ４２のストッパを兼ねる保持部材３７
によって保持され、この保持部材３７には支持軸３６Ａ
〜３６Ｄとは反対方向に３本の支持軸３８Ａ、３８Ｂ、
３８Ｃが突設されている。支持軸３８Ａ、３８Ｂは、フ
レーム８にＹ軸スライダ２２と対面側に突設されたブラ
ケット３９の上面側に、支持軸３８Ｃはそのブラケット
３９の下面側にそれぞれ配設され、各支持軸３８Ａ、３
８Ｂ、３８Ｃの軸端部は、石英などの耐熱性材料からな
るローラ４０とブラケット３９によって滑り軸受を構成
し、各支持軸３８Ａ〜３８Ｃはブラケット３９に移動可
能に支持されている。Then, the Y-axis slider 22 has second support shafts 36A, 36B, support shafts 36C, 3C that support the second moving mechanism 6.
6D is attached in a direction orthogonal to the central axis of the opened / closed portion (X-axis direction), that is, in parallel with the furnace core O of the process tube 10 in an orthogonal direction, and the end portions of the respective support shafts 36A to 36D are X-axis sliders. Holding member 37 which also functions as a stopper of 42
The holding member 37 is held by the support shaft 36A.
3 support shafts 38A, 38B in a direction opposite to 36D,
38C is projected. The support shafts 38A and 38B are arranged on the upper surface side of a bracket 39 projecting from the frame 8 so as to face the Y-axis slider 22, and the support shaft 38C is arranged on the lower surface side of the bracket 39. Three
The shaft ends of 8B and 38C form a slide bearing by a roller 40 made of a heat resistant material such as quartz and a bracket 39, and the support shafts 38A to 38C are movably supported by the bracket 39.
支持軸３６Ａ、３６Ｂには第２の移動機構６のＸ軸側移
動体としての第２のスライダであるＸ軸スライダ４２が
Ｘ軸方向に移動可能に設置され、このＸ軸スライダ４２
にはＹ軸スライダ２２に取り付けられたモータ４４で得
られた回転力がチェーン機構４６で直線運動に変換され
て伝達される。チェーン機構４６には、一端がＸ軸スラ
イダ４２の中央部に固定され、他端がＹ軸スライダ２２
に固定されるとともに、一方向側の折り曲げ角度が制限
されたチェーン４８が設けられている。このチェーン４
８は、その一側部側に断面アーチ型の折曲げ制限部材４
９によって一方向側の折曲げ角度が制限されており、Ｙ
軸スライダ２２に取り付けられたスプロケットホィール
５０に懸け回されているとともに、Ｘ軸スライダ４２に
取り付けられた付勢手段としてのスプリング５２によっ
てその折曲げ方向が規制されている。この場合、フレー
ム８には、スプロケットホィール５０側への熱的影響を
遮断する熱遮蔽板５６が設けられ、チェーン４８は熱遮
蔽板５６の窓５８を貫通して移動する。An X-axis slider 42, which is a second slider as an X-axis side moving body of the second moving mechanism 6, is installed on the support shafts 36A and 36B so as to be movable in the X-axis direction.
The rotational force obtained by the motor 44 attached to the Y-axis slider 22 is converted into a linear motion by the chain mechanism 46 and transmitted to the. The chain mechanism 46 has one end fixed to the center of the X-axis slider 42 and the other end fixed to the Y-axis slider 22.
A chain 48 is provided, which is fixed to the one side and has a limited bending angle in one direction. This chain 4
8 is a bending limiting member 4 having an arch-shaped cross section on one side thereof.
The bending angle on one side is limited by 9 and Y
It is suspended around a sprocket wheel 50 attached to the shaft slider 22, and its bending direction is regulated by a spring 52 as an urging means attached to the X-axis slider 42. In this case, the frame 8 is provided with a heat shield plate 56 that blocks thermal influence on the sprocket wheel 50 side, and the chain 48 moves through the window 58 of the heat shield plate 56.
そして、Ｙ軸スライダ２２の上面には、チェーン４８の
移動を案内するガイドローラ６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、
６０Ｄがチェーン４８の移動方向に沿って設置され、ガ
イドローラ６０Ａは移動によってチェーン４８が水平方
向に移動するので、その移動範囲を考慮して一定の幅を
持つ水平型ローラとし、他のガイドローラ６０Ｂ、６０
Ｃ、６０Ｄは、スプロケットホィール５０に対して同心
円上の位置に設置されている。On the upper surface of the Y-axis slider 22, guide rollers 60A, 60B, 60C for guiding the movement of the chain 48,
60D is installed along the moving direction of the chain 48, and the guide roller 60A is a horizontal roller having a certain width in consideration of the moving range because the chain 48 moves horizontally due to the movement. 60B, 60
C and 60D are installed concentrically with respect to the sprocket wheel 50.
スプロケットホィール５０は、Ｙ軸スライダ２２に水平
方向に固定された取付板６２に軸受６４を介して回転可
能に取り付けられ、このスプロケットホィール５０の回
転軸６６には、交流（ＡＣ）リバーシブルモータなどの
モータ４４が直結されてその回転力が伝達される。そし
て、回転軸６６には、Ｙ軸スライダ２２のＸ軸上の位置
をその回転から間接的に検出するための歯車７０が取り
付けられ、この歯車７０には取付板６２に軸受７２を介
して回転可能に取り付けられた減速歯車７４が噛み合わ
されており、この減速歯車７４の回転軸７６にはカム７
８Ａ、７８Ｂが設けられ、各カム７８Ａ、７８Ｂの回転
によって位置検出器８０Ａ、８０Ｂを構成するスイッチ
が開閉される。たとえば、位置検出器８０ＡはＸ軸スラ
イダ４２の炉芯Ｏ軸上の位置、位置検出器８０Ｂはその
位置から最も離間した退避位置に対応して閉じまたは開
くようになっている。したがって、モータ４４の回転が
スプロケットホィール５０に伝達されると、その回転力
によってチェーン４８が、矢印Ａで示す方向に送り出さ
れる。この場合、チェーン４８はスプリング５２によっ
て一方向に付勢されているため、その折り曲げが禁止さ
れる結果、第１Ａ図に示すように、弓形の円弧を描いて
棒状のＸ軸スライダ４２を押動する応力に耐え得る押出
しプランジャとして機能し、Ｘ軸スライダ４２をスプロ
ケットホィール５０の回転によって所望の位置に移動さ
せる。The sprocket wheel 50 is rotatably mounted on a mounting plate 62 fixed to the Y-axis slider 22 in a horizontal direction via a bearing 64. The sprocket wheel 50 has a rotating shaft 66 such as an alternating current (AC) reversible motor. The motor 44 is directly connected and its rotational force is transmitted. A gear 70 for indirectly detecting the position of the Y-axis slider 22 on the X-axis from its rotation is attached to the rotary shaft 66, and the gear 70 is rotated by a mounting plate 62 via a bearing 72. A reduction gear 74 that is movably attached is meshed with the rotation shaft 76 of the reduction gear 74.
8A and 78B are provided, and the switches constituting the position detectors 80A and 80B are opened and closed by the rotation of the cams 78A and 78B. For example, the position detector 80A is closed or opened corresponding to the position of the X-axis slider 42 on the O-axis of the furnace core, and the position detector 80B is closed or opened corresponding to the retracted position farthest from the position. Therefore, when the rotation of the motor 44 is transmitted to the sprocket wheel 50, the rotational force thereof causes the chain 48 to be fed in the direction indicated by the arrow A. In this case, since the chain 48 is biased in one direction by the spring 52, its bending is prohibited. As a result, as shown in FIG. 1A, the rod-shaped X-axis slider 42 is pushed by drawing an arcuate arc. The X-axis slider 42 is moved to a desired position by the rotation of the sprocket wheel 50, which functions as an extrusion plunger capable of withstanding the applied stress.
また、スプロケットホィール５０を反転させてチェーン
４８を矢印Ｂで示す方向に引き込む場合には、ガイドロ
ーラ６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄに案内されてスプ
ロケットホィール５０に巻き付き、一点鎖線で示すよう
に、Ｙ軸スライダ２２の上面側に収納される。この場
合、チェーン４８には送り出し方向と逆方向に応力が作
用し、チェーン４８は自由に折り曲げられて湾曲する。
なお、８１はスカベンジャ側に設置された排気口を示
す。When the sprocket wheel 50 is reversed and the chain 48 is pulled in the direction indicated by the arrow B, the guide roller 60A, 60B, 60C, 60D guides the sprocket wheel 50 to wrap around the sprocket wheel 50. It is housed on the upper surface side of the shaft slider 22. In this case, stress acts on the chain 48 in the direction opposite to the delivery direction, and the chain 48 is freely bent and curved.
Reference numeral 81 represents an exhaust port installed on the scavenger side.
そして、Ｘ軸スライダ４２には、第２図に示すように、
シャッター板２を取り付けるための取付板８２が固定部
材８３を介してプロセスチューブ１０の開口部に平行し
て取付ねじ８４によって取り付けられ、この取付板８２
の上下方向の位置は、位置調整ねじ８５によって調節可
能にされている。取付板８２の前面には、その四隅に取
り付けた固定ピン８６によってシャッター板２が取り付
けられているとともに、固定ピン８６の軸部に介挿した
被開閉部位に密着する際の衝撃吸収および位置補正手段
としての弾性体、この実施例ではスプリング８８によっ
てＹ軸方向に弾性的に支持されている。なお、８９は固
定ピン８６を固定するＥリングである。したがって、プ
ロセスチューブ１０の開口部の位置に対応してシャッタ
ー板２の上下位置を調整でき、しかも、シャッター板２
はプロセスチューブ１０の開口部、すなわち、被開閉部
位に対して弾力的に当接することは勿論のこと、４点で
弾力的に支持されているため、シャッター板２とプロセ
スチューブ１０の開口部が平行でない場合でも、その角
度誤差をスプリング８８の弾性力が吸収するので、シャ
ッター板２とプロセスチューブ１０とを接合の際の衝撃
を緩和するとともに、安定した信頼性の高い密着状態を
得ることができる。なお、第２図において、Ｘ軸スライ
ダ４２の下面には、Ｘ軸スライダ４２の過熱を防止する
ため、熱遮蔽板９０が取り付けられている。Then, as shown in FIG.
A mounting plate 82 for mounting the shutter plate 2 is mounted in parallel with the opening of the process tube 10 by a mounting screw 84 via a fixing member 83.
The vertical position of the is adjustable by a position adjusting screw 85. The shutter plate 2 is attached to the front surface of the attachment plate 82 by fixing pins 86 attached to the four corners thereof, and shock absorption and position correction are performed when the shutter plate 2 comes into close contact with an open / closed portion inserted in the shaft portion of the fixing pin 86. It is elastically supported in the Y-axis direction by an elastic body as a means, in this embodiment a spring 88. Incidentally, 89 is an E ring for fixing the fixing pin 86. Therefore, the vertical position of the shutter plate 2 can be adjusted according to the position of the opening of the process tube 10, and the shutter plate 2 can be adjusted.
Is not only elastically abutted against the opening of the process tube 10, that is, the portion to be opened and closed, but is elastically supported at four points, the opening of the shutter plate 2 and the process tube 10 is Even if they are not parallel to each other, the elastic force of the spring 88 absorbs the angular error, so that the impact at the time of joining the shutter plate 2 and the process tube 10 can be alleviated, and a stable and highly reliable contact state can be obtained. it can. In FIG. 2, a heat shield plate 90 is attached to the lower surface of the X-axis slider 42 in order to prevent the X-axis slider 42 from overheating.
このように、このシャッター装置では、第３図に示すよ
うに、プロセスチューブ１０に対し、Ｘ軸スライダ４２
の移動によってシャッター板２をＸ軸方向の炉芯Ｏの位
置２ｘに移動させ、この位置からＹ軸スライダ２２の移
動によってシャッター板２をＹ軸方向に移動させ、プロ
セスチューブ１０の開口部位置２ｙで停止させる。この
場合、シャッター板２は、プロセスチューブ１０の被開
閉部位に弾力的に密着させることができ、プロセスチュ
ーブ１０の密閉度を一定に保持することができる。そし
て、プロセスチューブ１０を開く場合には、プロセスチ
ューブ１０を閉じる場合と全く逆方向に移動させ、シャ
ッター板２を被開閉部位から退避させることができる。As described above, in this shutter device, as shown in FIG.
Moves the shutter plate 2 to the position 2x of the furnace core O in the X-axis direction, and from this position moves the shutter plate 2 in the Y-axis direction by moving the Y-axis slider 22, thereby opening 2y of the process tube 10. To stop. In this case, the shutter plate 2 can be elastically brought into close contact with the open / closed portion of the process tube 10, and the degree of sealing of the process tube 10 can be kept constant. When the process tube 10 is opened, the process tube 10 can be moved in the completely opposite direction to the case where the process tube 10 is closed, and the shutter plate 2 can be retracted from the open / closed portion.
第４図はチェーン４８の具体的な構成例を示す。第４図
において、チェーン４８は、ローラリンク９２とピンリ
ング９４との組み合わせからなり、ローラリンク９２は
２枚のローラリンクプレート９６の両端にローラ９８を
取り付け、ピンリンク９４を成すピンリンクプレート１
００はローラリンクプレート９６の外側にピン１０２で
取り付けられている。そして、各ローラリンクプレート
９６およびピンリンクプレート１００には、その外方に
Ｌ字状に補助片１０４が設けられ、この補助片１０４に
チェーン４８の折曲げ角度を制限するための耐熱性材料
で形成された折曲げ角度制限ブロック１０６が図示しな
いナットなどの固着手段で固定されている。FIG. 4 shows a concrete configuration example of the chain 48. In FIG. 4, the chain 48 is made up of a combination of a roller link 92 and a pin ring 94, and the roller link 92 has rollers 98 attached to both ends of two roller link plates 96 to form the pin link 94.
00 is attached to the outside of the roller link plate 96 by a pin 102. Each roller link plate 96 and pin link plate 100 is provided with an L-shaped auxiliary piece 104 on the outside thereof, and this auxiliary piece 104 is made of a heat-resistant material for limiting the bending angle of the chain 48. The formed bending angle limiting block 106 is fixed by fixing means such as a nut (not shown).
したがって、第５図に示すように、チェーン４８のたと
えば、ローラリンク９２を二点鎖線Ｐで示す方向に折り
曲げる場合には、任意の折曲げ角度θpが得られるのに
対し、ローラリンク９２を二点鎖線Ｑで示す方向に折り
曲げる場合には、各折曲げ角度制限ブロック１０６の角
度が、矢印Ｓで示すように、互いに当たって折曲げ角度
θQが折曲げ角度制限ブロック１０６の突出度、幅ある
いは間隔によって一定角度に制限される。このようなチ
ェーン４８を用いれば、折曲げ角度θQになるように応
力を掛けた場合、チェーン４８はその接線方向に対し、
ローラ９８やピン１０２などで決る荷重範囲の強度を持
つプランジャとして機能することは明らかであろう。Therefore, as shown in FIG. 5, when the roller link 92 of the chain 48 is bent in the direction indicated by the chain double-dashed line P, an arbitrary bending angle θ p can be obtained, whereas the roller link 92 is In the case of bending in the direction indicated by the chain double-dashed line Q, the angles of the respective bending angle limiting blocks 106 hit each other as indicated by the arrow S, and the bending angle θ Q is the protrusion degree and width of the bending angle limiting block 106. Alternatively, the distance is limited to a certain angle. When such a chain 48 is used, when stress is applied so that the bending angle becomes θ Q , the chain 48 is
It will be apparent that the roller 98, the pin 102, and the like function as a plunger having a strength within a load range.
なお、実施例では、半導体製造装置におけるプロセスチ
ューブの開閉を例に取って説明したが、化学プロセスや
その他の分野において、被開閉部を持つ各種の機器の開
閉に用いることができる。In the embodiments, the opening and closing of the process tube in the semiconductor manufacturing apparatus has been described as an example, but it can be used for opening and closing various devices having an opened / closed portion in the chemical process and other fields.
以上説明したように、この発明によれば、炉口の開閉を
高精度化することができ、過熱による密閉度の低下や密
閉の不完全性を確実に防止できる。As described above, according to the present invention, the opening and closing of the furnace opening can be made highly precise, and the decrease in the degree of sealing and the incomplete sealing due to overheating can be reliably prevented.
第１Ａ図はこの発明のシャッター装置の実施例を示す平
面図、第１Ｂ図はその正面図、第１Ｃ図はその側面図、
第２図は第１図のII−II線断面図、第３図はシャッター
板の移動を示す図、第４図はチェーンの具体的な構成を
示す斜視図、第５図はその折曲げ角度を示す図である。 ２…シャッター板 ４…移動機構 ８…フレーム １２…熱遮蔽板 １８Ａ、１８Ｂ…第１の支持軸 ２２…Ｙ軸スライダ（第１のスライダ） ３６Ａ、３６Ｂ…第２の支持軸 ４０…ローラ ４２…Ｘ軸スライダ（第２のスライダ） ４６…チェーン機構 ４８…チェーン ５０…スプロケットホィール ５２…スプリング Ｏ…炉芯FIG. 1A is a plan view showing an embodiment of the shutter device of the present invention, FIG. 1B is its front view, and FIG. 1C is its side view.
2 is a sectional view taken along the line II-II of FIG. 1, FIG. 3 is a view showing the movement of the shutter plate, FIG. 4 is a perspective view showing the specific structure of the chain, and FIG. 5 is its bending angle. FIG. 2 ... Shutter plate 4 ... Moving mechanism 8 ... Frame 12 ... Heat shield plate 18A, 18B ... First support shaft 22 ... Y-axis slider (first slider) 36A, 36B ... Second support shaft 40 ... Roller 42 ... X-axis slider (second slider) 46 ... Chain mechanism 48 ... Chain 50 ... Sprocket wheel 52 ... Spring O ... Furnace core
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−121246（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−31255（ＪＰ，Ａ) 実開 昭53−153690（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭51−59748（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−134599（ＪＰ，Ｕ) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-57-121246 (JP, A) JP-A-50-31255 (JP, A) Actually open 53-153690 (JP, U) Actual-open Sho 51- 59748 (JP, U) Actually opened 57-134599 (JP, U)
Claims (1)
設置された第１の支持軸と、 この第１の支持軸に摺動可能に支持されて前記炉芯方向
に移動する第１のスライダと、 回転力を直線方向の駆動力に変換して前記第１のスライ
ダを前記炉芯方向に移動させる移動機構と、 前記炉口から離間した位置で前記炉芯と直交方向に設置
されて一端側が前記第１のスライダに固定されていると
ともに他端側がフレーム上にローラを以て移動可能に支
持された第２の支持軸と、 この第２の支持軸に摺動可能に支持されるとともに前記
シャッター板が取り付けられ、前記シャッター板を弾性
部材を以て前記炉口側に圧接させる第２のスライダと、 この第２のスライダに一端が固定され、その他端が前記
第１のスライダに固定されるとともに、前記第１のスラ
イダに取り付けられているスプロケットホィールと懸け
回され、そのスプロケットホィールの回転により、前記
第１のスライダ側に巻き取り、第２のスライダ側に巻取
り時より緩やかな曲率を成して繰出しが可能なチェーン
を備えて、このチェーンの前記巻取り又は繰出しによっ
て前記第２のスライダを移動させるチェーン機構と、 前記チェーンの中途部と前記第２のスライダとの間に設
置されて、前記繰出しの際に前記チェーンにその進行方
向と直交方向の力を作用させ、前記チェーンの屈曲を阻
止するスプリングと、 を備えたことを特徴とするシャッター装置。1. A shutter plate for opening and closing a furnace opening, a first supporting shaft installed in parallel with a furnace core with a heat shield plate interposed on a side portion of the furnace opening, and a first supporting shaft. A first slider slidably supported by a support shaft and moving in the furnace core direction; and a moving mechanism for converting a rotational force into a linear driving force to move the first slider in the furnace core direction. And a second end which is installed in a direction orthogonal to the furnace core at a position separated from the furnace port, one end side of which is fixed to the first slider and the other end side of which is movably supported on the frame by rollers. A support shaft; and a second slider slidably supported by the second support shaft and having the shutter plate attached thereto, and the shutter plate being pressed against the furnace port side by an elastic member. One end is fixed to the slider and the other end is It is fixed to one slider and is suspended around a sprocket wheel attached to the first slider, and by the rotation of the sprocket wheel, it is wound on the first slider side and wound on the second slider side. A chain mechanism that includes a chain that can be paid out with a gentler curvature than that at the time of taking, and a chain mechanism that moves the second slider by the winding or paying-out of the chain, a midway part of the chain and the second chain A shutter device which is provided between the slider and a spring for preventing a bending of the chain by exerting a force in a direction orthogonal to the traveling direction on the chain during the feeding.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP60110774A JPH0625932B2 (en) | 1985-05-23 | 1985-05-23 | Shutter device |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
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|---|---|
| JPS61267805A JPS61267805A (en) | 1986-11-27 |
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ID=14544252
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|---|---|---|---|
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0625932B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10245021B2 (en) * | 2013-10-08 | 2019-04-02 | Applied Medical Technology, Inc | Magnetic U-stitch device |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5140206B2 (en) * | 1973-07-23 | 1976-11-02 | ||
| JPS5332194Y2 (en) * | 1974-11-05 | 1978-08-10 | ||
| JPS5753892Y2 (en) * | 1977-05-10 | 1982-11-22 | ||
| JPS57121246A (en) * | 1981-01-21 | 1982-07-28 | Hitachi Ltd | Semiconductor treating device |
| JPS5848559Y2 (en) * | 1981-02-17 | 1983-11-05 | 杉山道生 | Industrial heating furnace door opening/closing device |
-
1985
- 1985-05-23 JP JP60110774A patent/JPH0625932B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10245021B2 (en) * | 2013-10-08 | 2019-04-02 | Applied Medical Technology, Inc | Magnetic U-stitch device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61267805A (en) | 1986-11-27 |
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