JPH06259740A - Magnetic recording medium - Google Patents

Magnetic recording medium

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Publication number
JPH06259740A
JPH06259740A JP4288693A JP4288693A JPH06259740A JP H06259740 A JPH06259740 A JP H06259740A JP 4288693 A JP4288693 A JP 4288693A JP 4288693 A JP4288693 A JP 4288693A JP H06259740 A JPH06259740 A JP H06259740A
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JP
Japan
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magnetic recording
recording medium
substrate
layer
medium according
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Application number
JP4288693A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Morimi Hashimoto
母理美 橋本
Takashi Suzuki
隆史 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
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Publication of JPH06259740A publication Critical patent/JPH06259740A/en
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 ヘッドタッチが良好で走行安定性及び耐久性
に優れた金属薄膜型の磁気記録媒体を提供する。 【構成】 基体の少なくとも一方の面に金属薄膜の磁気
記録層を有し、磁気記録媒体全体のスティフネス1/k
0 [単位:kgfmm]が n:磁気記録媒体を構成する層の数 E:第k層のヤング率[単位:kgf/mm] I:第k層の慣性モーメント[単位:mm]) であり、かつ形状がディスク状であることを特徴とする
磁気記録媒体。
(57) [Summary] (Correction) [Purpose] To provide a metal thin film type magnetic recording medium having a good head touch and excellent running stability and durability. [Structure] A magnetic recording layer of a metal thin film is provided on at least one surface of a substrate, and the stiffness of the entire magnetic recording medium is 1 / k.
0 [Unit: kgfmm] is n: number of layers constituting the magnetic recording medium E k : Young's modulus of the kth layer [unit: kgf / mm 2 ] I k : moment of inertia of the kth layer [unit: mm 3 ]) and the shape is A magnetic recording medium having a disk shape.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録層が金属薄膜
で形成された磁気記録媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium having a magnetic recording layer formed of a metal thin film.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、情報処理技術や映像処理技術の発
達に伴って、磁気記録媒体に対する大容量化、高画質化
の要求がますます高まっている。この要求に応えるた
め、高密度記録の可能な磁気記録媒体の研究・開発が活
発になされている。特に、現在一般に使用されている塗
布型磁気記録媒体に対して、磁気記録層としてCo,C
o−Ni,Co−Cr,Co−O等の強磁性金属薄膜
を、真空蒸着法やスパッタリング法により基体上に直接
形成した金属薄膜型磁気記録媒体が高密度記録に適した
媒体として有望視されている。
2. Description of the Related Art In recent years, with the development of information processing technology and image processing technology, demands for larger capacity and higher image quality of magnetic recording media have been increasing. In order to meet this demand, research and development of magnetic recording media capable of high-density recording have been actively conducted. In particular, Co and C are used as the magnetic recording layer for coating type magnetic recording media which are generally used at present.
A metal thin film magnetic recording medium in which a ferromagnetic metal thin film such as o-Ni, Co-Cr, or Co-O is directly formed on a substrate by a vacuum deposition method or a sputtering method is regarded as a promising medium for high density recording. ing.

【0003】一方、パソコン・ワープロ等の一次媒体と
して現在最も普及している3.5″フロッピーディスク
(以下、FDと略す。)についても、近年20MB以上
の大容量化への要求から、高記録密度用の新規な磁気ヘ
ッド、磁気記録媒体及びトラッキングサーボ技術、信号
処理技術等の研究開発が進められている。20MB以上
の大容量FDでは、記録波長は0.8μm以下になる。
このような短波長領域で記録再生を行うには、磁気記録
媒体とヘッド間の接触状態(ヘッドタッチ)の均一性が
特に重要となる。この接触状態(ヘッドタッチ)が不均
一になると、記録及び再生の際にスペーシングロスを生
じ、出力変動や出力低下の原因となる。
On the other hand, the 3.5 "floppy disk (hereinafter abbreviated as FD), which is the most popular as the primary medium for personal computers, word processors, etc., has recently achieved high recording due to the demand for a large capacity of 20 MB or more. Research and development of a new magnetic head for density, a magnetic recording medium, a tracking servo technology, a signal processing technology, etc. is under way.For a large capacity FD of 20 MB or more, the recording wavelength is 0.8 μm or less.
In order to perform recording / reproduction in such a short wavelength region, the uniformity of the contact state (head touch) between the magnetic recording medium and the head is particularly important. If the contact state (head touch) becomes non-uniform, a spacing loss occurs during recording and reproduction, which causes fluctuations in output and reduction in output.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとしている課題】上記短波長記録を
実現しようとすると、従来の塗布型媒体(例えば、Cr
2,γ−Fe23 等を磁性層に用いるもの)を用い
た場合には、記録信号が短波長になるにつれて、磁性層
内の反磁界が強くなり、残留磁化の減衰や回転を生じる
ため、再生出力が著しく減少するという問題が生じる。
In order to realize the above-mentioned short wavelength recording, a conventional coating type medium (for example, Cr
O 2, in the case where the γ-Fe 2 O 3 or the like with use one) in the magnetic layer, as the recording signal becomes shorter, the demagnetizing field in the magnetic layer becomes strong, the attenuation and rotation of residual magnetization Therefore, there is a problem that the reproduction output is significantly reduced.

【0005】そこで、FDとして、高密度記録が可能な
金属薄膜磁気記録媒体を使用することが強く望まれてい
る。しかしながら、磁気ヘッドとの良好なヘッドタッチ
を実現する金属薄膜型磁気記録媒体はまだ得られていな
い。すなわち、金属薄膜型磁気記録媒体をFDとして使
用すると、数秒〜数時間で媒体やヘッドの表面に摩耗粉
や摺動痕が発生して、出力が低下し、実用的な耐久信頼
性が得られていないという問題があった。
Therefore, it is strongly desired to use a metal thin film magnetic recording medium capable of high density recording as the FD. However, a metal thin film type magnetic recording medium which realizes a good head touch with a magnetic head has not yet been obtained. That is, when a metal thin film magnetic recording medium is used as an FD, abrasion powder or sliding marks are generated on the surface of the medium or the head within a few seconds to a few hours, the output is reduced, and practical durability reliability is obtained. There was no problem.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記実情に鑑
みてなされたもので、ヘッドタッチが良好で走行安定性
・耐久性に優れた金属薄膜型の磁気記録媒体を提供する
ことを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a metal thin film type magnetic recording medium having a good head touch and excellent running stability and durability. And

【0007】本発明の磁気記録媒体は、基体の少なくと
も一方の面に金属薄膜の磁気記録層を有し、磁気記録媒
体全体のスティフネス1/k0 [単位:kgfmm]
が、
The magnetic recording medium of the present invention has a magnetic recording layer of a metal thin film on at least one surface of a substrate, and the stiffness of the entire magnetic recording medium is 1 / k 0 [unit: kgfmm].
But,

【0008】[0008]

【数3】 であり、かつ形状がディスク状であることを特徴とす
る。
[Equation 3] And has a disk shape.

【0009】本発明の磁気記録媒体は、図1に示すよう
に、基体1上に金属薄膜の磁気記録層2、更に保護層
3、バックコート層4が形成されている。
In the magnetic recording medium of the present invention, as shown in FIG. 1, a magnetic recording layer 2 of a metal thin film, a protective layer 3 and a back coat layer 4 are formed on a substrate 1.

【0010】基体1は、高分子フィルムが好ましく、特
にポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、アラミド
等が好ましく用いられる。基体1の表側あるいは裏側に
は、フィルムの滑り性や媒体の走行性、耐久性を向上さ
せるために、微細突起を形成してもよい。微細突起の形
成方法としては、無機微粒子を高分子フィルム中に内填
する方法、無機微粒子含む高分子フィルム溶液をコーテ
ィングする方法等がある。無機微粒子としては、カーボ
ン、CaCo3 ,BaSO4 ,SiO2 ,TiO2 等が
用いられるが、その粒径は0.005〜0.2μmが好
ましい。ただし、基体1の記録面側の表面粗さは、スペ
ーシングロスによる出力低下やドロップアウトを考慮す
ると、最大高さが0.05μm以下であることが好まし
い。
The substrate 1 is preferably a polymer film, and polyethylene terephthalate, polyimide, aramid, etc. are particularly preferably used. Fine protrusions may be formed on the front side or the back side of the substrate 1 in order to improve the slip property of the film, the running property of the medium, and the durability. Examples of the method for forming the fine protrusions include a method of internally filling the polymer film with inorganic fine particles and a method of coating a polymer film solution containing the inorganic fine particles. Carbon, CaCo 3 , BaSO 4 , SiO 2 , TiO 2 or the like is used as the inorganic fine particles, and the particle size thereof is preferably 0.005 to 0.2 μm. However, it is preferable that the surface roughness of the recording surface side of the substrate 1 has a maximum height of 0.05 μm or less in consideration of a reduction in output due to spacing loss and dropout.

【0011】また、磁気記録媒体の磁気特性を向上させ
るために、金属薄膜を形成する際に、基体1に熱を加え
ることがある。例えば、Co−Cr磁性層を形成すると
きには、基体1は150℃近くまで加熱される。したが
って、基体1には、ガラス転移点の高い高分子材料を選
択するのが好ましい。例えば、宇部興産(株)製のユー
ピレックスSタイプ、Rタイプ等は以下の理由において
優れている。
Further, in order to improve the magnetic characteristics of the magnetic recording medium, heat may be applied to the substrate 1 when forming the metal thin film. For example, when forming the Co—Cr magnetic layer, the substrate 1 is heated to near 150 ° C. Therefore, it is preferable to select a polymer material having a high glass transition point for the substrate 1. For example, Upilex S type and R type manufactured by Ube Industries, Ltd. are excellent for the following reasons.

【0012】ガラス転移温度が500℃以上である。The glass transition temperature is 500 ° C. or higher.

【0013】基体表面の荒れや欠陥が少なく、表面粗
さをRmax (最大高さ)<0.005μmまで超平滑に
することが可能である。
It is possible to make the surface of the substrate less rough and defective and to make the surface roughness ultra-smooth up to R max (maximum height) <0.005 μm.

【0014】熱膨張係数が、1×10-6〜3×10-5
cm/cm/℃間で制御可能なので、磁気記録層として
用いられる金属薄膜層の熱膨張係数と一致させることが
できる。したがって、カールの発生が抑えられる。
The coefficient of thermal expansion is 1 × 10 -6 to 3 × 10 -5
Since it can be controlled between cm / cm / ° C., it can be matched with the thermal expansion coefficient of the metal thin film layer used as the magnetic recording layer. Therefore, the occurrence of curl is suppressed.

【0015】ヤング率が800〜1200kg/cm
2 と高いので、基体の厚さを薄くすることができる。
Young's modulus is 800 to 1200 kg / cm
Since it is as high as 2 , the thickness of the substrate can be reduced.

【0016】磁気記録層2は、Fe,NiあるいはCo
を主成分とするもので、例えばCo−Ni,Co−C
r,Co−O,Co−Pt−B等の強磁性合金、強磁性
酸化物、強磁性窒化物等の金属薄膜である。
The magnetic recording layer 2 is made of Fe, Ni or Co.
As a main component, for example, Co-Ni, Co-C
It is a metal thin film such as a ferromagnetic alloy such as r, Co—O, or Co—Pt—B, a ferromagnetic oxide, or a ferromagnetic nitride.

【0017】磁気記録層2は、真空蒸着法、スパッタリ
ング法等の物理蒸着法、あるいはメッキ法等で形成され
る。中でも、真空蒸着あるいはスパッタリング法等で形
成したCr8〜23wt%で残部が主にCoからなるC
o−Cr垂直磁化膜は、従来の面内磁化膜に比べ、高密
度記録用として非常に優れている。
The magnetic recording layer 2 is formed by a physical vapor deposition method such as a vacuum vapor deposition method or a sputtering method, or a plating method. Among them, 8 to 23 wt% of Cr formed by vacuum deposition or sputtering method, and the balance of C mainly consisting of Co
The o-Cr perpendicular magnetic film is very excellent for high density recording as compared with the conventional in-plane magnetic film.

【0018】磁気記録層2上には、耐摩耗性、潤滑性、
耐蝕性を向上させる目的で、一般には保護層3が形成さ
れる。保護層3は、磁気記録層2の表面を直接酸化した
金属酸化膜、SiO2 ,Al23 ,Co34 ,アモ
ルファスカーボン、ダイヤモンドライクカーボン等の無
機保護層3aと、無機保護層3a上に形成してフッ素系
樹脂、エステル系オリゴマー等の潤滑層3bとで構成さ
れるが、いずれか一方を単独形成した使用してもよい。
無機保護層3aと潤滑層3bは、真空蒸着、スパッタリ
ング、イオンプレーティング等の物理蒸着法、あるいは
スピンコート、ワイヤーバー等の塗液塗布法によって形
成される。
On the magnetic recording layer 2, wear resistance, lubricity,
The protective layer 3 is generally formed for the purpose of improving the corrosion resistance. The protective layer 3 includes a metal oxide film obtained by directly oxidizing the surface of the magnetic recording layer 2, an inorganic protective layer 3a such as SiO 2 , Al 2 O 3 , Co 3 O 4 , amorphous carbon, or diamond-like carbon, and an inorganic protective layer 3a. The lubricant layer 3b is formed on the upper surface of the lubricant layer 3b such as a fluorine resin or an ester oligomer, but either one may be used alone.
The inorganic protective layer 3a and the lubricating layer 3b are formed by a physical vapor deposition method such as vacuum vapor deposition, sputtering or ion plating, or a coating liquid application method such as spin coating or wire bar.

【0019】バックコート層4としては、従来から磁気
記録媒体のバックコートとして使用されているものでよ
い。例えば、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂等の
バインダー中に、カーボンブラック、グラファイトある
いはCoCO3 等の無機微粒子を分散させたものが使用
できる。バックコート層4は、例えば塗液塗布法によっ
て形成される。
The back coat layer 4 may be any of those conventionally used as a back coat for magnetic recording media. For example, a binder such as polyester resin or polyurethane resin in which inorganic fine particles such as carbon black, graphite or CoCO 3 are dispersed can be used. The back coat layer 4 is formed by, for example, a coating liquid coating method.

【0020】図2に示す磁気記録媒体は、基体1の両面
に磁気記録層2,2′、無機保護層3a,3a′、潤滑
層3b,3b′をこの順に基体1に対して対称な形で形
成したものである。本磁気記録媒体は、両面を記録面と
して使用することができる。また、基体1に対して対称
な層構成をしていることから、カール防止に効果があ
る。
The magnetic recording medium shown in FIG. 2 has magnetic recording layers 2 and 2 ', inorganic protective layers 3a and 3a', and lubricating layers 3b and 3b 'on both sides of the substrate 1, which are symmetrical with respect to the substrate 1 in this order. It was formed in. Both sides of the magnetic recording medium can be used as recording surfaces. Further, since the layer structure is symmetrical with respect to the substrate 1, it is effective in preventing curling.

【0021】図3に示す磁気記録媒体は、基体1の両面
に下地層5,5′を形成した他は図2に示した実施態様
と同様の磁気記録媒体である。
The magnetic recording medium shown in FIG. 3 is the same magnetic recording medium as that of the embodiment shown in FIG. 2 except that the underlying layers 5 and 5'are formed on both surfaces of the substrate 1.

【0022】下地層5は、付着力の向上、結晶配向性の
向上あるいは磁気特性の向上を目的とした、Al,G
e,Cr,Ti,SiO2 等の薄膜や、垂直磁気記録層
の下地としてのFe−Ni合金、Co−Ni合金等の薄
膜である。下地層5は、真空蒸着法、スパッタリング
法、イオンプレーティング法、メッキ法等で形成され
る。
The underlayer 5 is made of Al, G for the purpose of improving adhesion, crystal orientation, or magnetic properties.
It is a thin film of e, Cr, Ti, SiO 2 or the like, or a thin film of a Fe—Ni alloy or a Co—Ni alloy as a base of the perpendicular magnetic recording layer. The underlayer 5 is formed by a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a plating method, or the like.

【0023】さて、本発明の金属薄膜型磁気記録媒体に
おいては、媒体全体のスティフネス1/k0 [単位:k
gfmm]が下記範囲である。
In the metal thin film magnetic recording medium of the present invention, the stiffness of the entire medium is 1 / k 0 [unit: k
gfmm] is in the following range.

【0024】[0024]

【数4】 上記1/k0 更には、1.2×10-11 ≦1/k0
2.7×10-11 の範囲が好ましい。上記の第k層は、
基体1も含め、磁気記録媒体を構成する全ての層を意味
する。
[Equation 4] The above 1 / k 0 and further 1.2 × 10 −11 ≦ 1 / k 0
The range of 2.7 × 10 -11 is preferable. The above k-th layer is
It means all layers constituting the magnetic recording medium, including the substrate 1.

【0025】発明者等は、磁気記録媒体全体のスティフ
ネスを前記の範囲とすることにより、磁気記録媒体走行
時に磁気記録媒体と磁気ヘッドの接触状態を安定に保つ
ことができ、走行耐久性が向上することを見出し本発明
に至った。
The inventors of the present invention can keep the contact state between the magnetic recording medium and the magnetic head stable during traveling of the magnetic recording medium by setting the stiffness of the entire magnetic recording medium within the above range, and the running durability is improved. The present invention has been found to be achieved.

【0026】以下に、本発明でいうスティフネスについ
て説明する。
The stiffness referred to in the present invention will be described below.

【0027】図4に示したように、一端を固定した幅
w、厚み(t1 +t2 )の2層構造の薄板11に、固定
端からlの距離でFの力を加えると、lの位置における
変位δは、δの比較的小さい範囲で、
As shown in FIG. 4, when a force of F is applied to a thin plate 11 of a two-layer structure having a width w and a thickness (t 1 + t 2 ) fixed at one end at a distance of l from the fixed end, The displacement δ at the position is within a relatively small range of δ,

【0028】[0028]

【数5】 と表わせる。上式(1)でFの前にかかるファクター全
体が曲げのコンプライアンスであるが、そのうちl3
wは幾何学的配置に関するものであり、
[Equation 5] Can be expressed as In the above equation (1), the entire factor applied before F is bending compliance, of which l 3 /
w is related to the geometrical arrangement,

【0029】[0029]

【数6】 の部分が層の構造及びそれを構成する材料の物性を反映
した値をとる。そこで、1/k0 を本発明のスティフネ
スとした。
[Equation 6] The part of has a value that reflects the structure of the layer and the physical properties of the material constituting the layer. Therefore, 1 / k 0 is defined as the stiffness of the present invention.

【0030】[0030]

【数7】 上記(2)式は、薄板がn層構造の場合にも拡張するこ
とができる。
[Equation 7] The above formula (2) can be expanded even when the thin plate has an n-layer structure.

【0031】[0031]

【数8】 つまり、本発明においてスティフネスとは、基体、磁気
記録層、保護層、バックコート層等磁気記録媒体を構成
する全ての層を含み、磁気記録媒体がn層で構成されて
いる場合に、
[Equation 8] That is, in the present invention, the stiffness includes all layers constituting the magnetic recording medium such as the substrate, the magnetic recording layer, the protective layer and the back coat layer, and when the magnetic recording medium is composed of n layers,

【0032】[0032]

【数9】 と定義する。[Equation 9] It is defined as

【0033】本発明において、ヤング率Eは、引張り試
験を行って算出した。引張り試験は、東洋ボールドウィ
ン社製引張り試験機を使用して行った。サンプル形状
は、幅8mm、長さ50mm、引張り速度4mm/mi
n(8%/min)とした。基体のヤング率は、0.2
%伸長時の荷重から基体の寄与分を差し引いて算出し
た。
In the present invention, Young's modulus E was calculated by conducting a tensile test. The tensile test was performed using a tensile tester manufactured by Toyo Baldwin. Sample shape is width 8mm, length 50mm, pulling speed 4mm / mi
n (8% / min). Young's modulus of the substrate is 0.2
It was calculated by subtracting the contribution of the substrate from the load at the time of% elongation.

【0034】次に、図2に示した磁気記録媒体を例とし
て、スティフネスの計算例を示す。
Next, an example of stiffness calculation will be described using the magnetic recording medium shown in FIG. 2 as an example.

【0035】図2の磁気記録媒体において、基体1とし
てポリイミドフィルムを用い、磁気記録層2として厚み
0.3μmのCo−Cr合金薄膜(ヤング率:16,0
00kg/mm2 )、磁気記録層2′として厚み0.1
5μmのCo−Cr合金薄膜(ヤング率:16,000
kg/mm2 )を用いたとする。無機保護層3a,3
a′及び潤滑層3b,3b′は、厚みが基体1の厚みに
比べて極めて小さいため、計算上無視することができ
る。
In the magnetic recording medium of FIG. 2, a polyimide film is used as the substrate 1 and a Co—Cr alloy thin film (Young's modulus: 16,0) having a thickness of 0.3 μm is used as the magnetic recording layer 2.
00 kg / mm 2 ) and the thickness of the magnetic recording layer 2 ′ is 0.1.
5 μm Co-Cr alloy thin film (Young's modulus: 16,000
kg / mm 2 ) is used. Inorganic protective layer 3a, 3
The thicknesses of the a'and the lubricating layers 3b and 3b 'are extremely smaller than the thickness of the base body 1, and can be ignored in the calculation.

【0036】さて、ポリイミドフィルムのヤング率が
1,100kg/mm2 の場合、式(3)を用いてステ
ィフネスを計算すると、図5に示したようにポリイミド
フィルムの膜厚を変えたときのスティフネスの変化が算
出される。
When the Young's modulus of the polyimide film is 1,100 kg / mm 2 , the stiffness is calculated by using the equation (3), and the stiffness when the thickness of the polyimide film is changed as shown in FIG. Is calculated.

【0037】この例の場合、ポリイミドフィルムの厚み
は、28〜52μm、更には30〜40μmの範囲が好
ましい。
In the case of this example, the thickness of the polyimide film is preferably 28 to 52 μm, more preferably 30 to 40 μm.

【0038】本発明の磁気記録媒体の各層の厚みは、使
用する材料によって異なるが、磁気記録媒体のスティフ
ネス、磁気特性、スペーシングロス等を考慮すると、次
のようにするのが好ましい。すなわち、基体1の厚みは
50μm以下、更には40μm以下、更に好ましくは3
0〜35μmの範囲、磁気記録層2,2′の厚みは0.
01μm以上、更には0.1μm以上が好ましい。磁気
記録層2,2′の厚みの上限は1μm以下、更には0.
5μm以下が好ましい。無機保護層3a,3a′の厚み
は50〜500Å、更には50〜200Åの範囲、潤滑
層3b,3b′の厚みは5〜200Å、更には10〜5
0Åの範囲、下地層5,5′の厚みは数百Å〜5000
Åの範囲が好ましい。
The thickness of each layer of the magnetic recording medium of the present invention varies depending on the material used, but considering the stiffness, magnetic characteristics, spacing loss, etc. of the magnetic recording medium, the following is preferable. That is, the thickness of the substrate 1 is 50 μm or less, more preferably 40 μm or less, and further preferably 3
The thickness of the magnetic recording layers 2 and 2 ′ is in the range of 0 to 35 μm.
It is preferably at least 01 μm, more preferably at least 0.1 μm. The upper limit of the thickness of the magnetic recording layers 2 and 2'is 1 .mu.m or less, more preferably 0.
It is preferably 5 μm or less. The inorganic protective layers 3a and 3a 'have a thickness of 50 to 500Å, further 50 to 200Å, and the lubricating layers 3b and 3b' have a thickness of 5 to 200Å, further 10 to 5
The range of 0Å, the thickness of the underlayer 5, 5'is several hundred Å ~ 5000
The range of Å is preferable.

【0039】また、本発明の磁気記録媒体は、直径が5
0mm以上のフロッピーディスクとして使用する場合に
有効である。
The magnetic recording medium of the present invention has a diameter of 5
This is effective when used as a 0 mm or larger floppy disk.

【0040】[0040]

【実施例】以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明
する。なお、実施例の評価は、フロッピー用の工具デッ
キ(回転数、磁気ヘッド及びフロッピーディスク面高さ
等が可変)を用いて行った。また、磁気記録媒体は、直
径3.5″のフロッピーディスクとして、以下(i),
(ii)の評価を行った。使用トラックは80トラックの
うちの第40番目のトラック、回転数は600rpmで
あった。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples. The evaluation of the examples was carried out using a floppy tool deck (rotation speed, magnetic head, floppy disk surface height, etc., variable). Further, the magnetic recording medium is a floppy disk having a diameter of 3.5 ″, and the following (i),
The evaluation of (ii) was performed. The used track was the 40th track of the 80 tracks, and the rotation speed was 600 rpm.

【0041】(i)ヘッドタッチ‥‥1MHzにおける
再生エンベロープの形から、ヘッドタッチを定性的に4
段階(◎、○、△、×)に分けた。
(I) Head touch ... Head touch is qualitatively determined from the shape of the reproduction envelope at 1 MHz.
It was divided into stages (⊚, ○, Δ, ×).

【0042】図6に評価基準としてエンベロープの形を
示した。
FIG. 6 shows the envelope shape as an evaluation standard.

【0043】◎、○のものが実用に供せる。Those of ⊚ and ○ are practically usable.

【0044】(ii)耐久性‥‥‥‥‥再生出力(1MH
z)が初期値より3dB低下するまでのパス回転で評価
した。1000万パス以上の耐久性が得られれば好まし
いが、300万パス以上のものであれば実用上問題はな
い。 実施例1 本媒体は、図2に示した構成である。
(Ii) Durability: Reproduction output (1MH
The evaluation was performed by the pass rotation until z) decreased by 3 dB from the initial value. It is preferable that the durability of 10 million passes or more be obtained, but if it is 3 million passes or more, there is no practical problem. Example 1 This medium has the configuration shown in FIG.

【0045】基体として、厚さ30μmのポリイミドフ
ィルム(宇部興産製、ユーピレックスSタイプ)を使用
した。本基体の熱膨張係数は、0.8×10-5cm/c
m/℃,ヤング率は1,100kg/mm2 、表面粗度
はRa27Å、Rmax 222Å、突起密度は6×106
個/mm2 であった。本基体に対して磁気記録層を形成
する前に、真空中熱処理(200℃、10分)を行っ
た。
A 30 μm-thick polyimide film (Upilex S type, manufactured by Ube Industries, Ltd.) was used as the substrate. The thermal expansion coefficient of this substrate is 0.8 × 10 −5 cm / c
m / ° C., Young's modulus 1,100 kg / mm 2 , surface roughness Ra 27Å, R max 222Å, protrusion density 6 × 10 6.
The number of pieces / mm 2 . Before forming the magnetic recording layer on this substrate, heat treatment in vacuum (200 ° C., 10 minutes) was performed.

【0046】本基体の両面にRFマグネトロンスパッタ
装置で、Co80重量%、Cr20重量%の垂直磁化膜
を、A面(表面)側に厚み0.3μm,B面(裏面)側
に厚み0.15μm形成した。媒体のカールをB面(裏
面)側の膜厚でコントロールした。成膜時の基体の温度
は200℃であった。
A perpendicular magnetized film containing 80% by weight of Co and 20% by weight of Cr was formed on both sides of the substrate by an RF magnetron sputtering apparatus to have a thickness of 0.3 μm on the A side (front surface) side and a thickness of 0.15 μm on the B side (rear surface) side. Formed. The curl of the medium was controlled by the film thickness on the B side (back side). The temperature of the substrate during film formation was 200 ° C.

【0047】更にCo−Cr膜上に無機保護層としてS
iO2 薄膜を、RFマグネトロンスパッタ装置で両面に
それぞれ厚み200Åずつ形成した。
Further, S is formed as an inorganic protective layer on the Co--Cr film.
An iO 2 thin film was formed on each side by an RF magnetron sputtering device to a thickness of 200 Å.

【0048】更に、SiO2 保護層上に潤滑層としてシ
ランカップリング剤を、両面にそれぞれ20Åずつ形成
した。
Further, a silane coupling agent was formed as a lubricating layer on the SiO 2 protective layer to form 20 Å on each side.

【0049】本媒体を3.5″の円盤状に打ち抜いて実
装した。
This medium was punched and mounted in a 3.5 ″ disk shape.

【0050】本媒体のスティフネスを計算しても求めた
ところ、1/k0 =1.23×10 -11 [kgfmm]
であった。
Also calculated by calculating the stiffness of this medium
By the way, 1 / k0 = 1.23 x 10 -11 [Kgfmm]
Met.

【0051】このフィロッピーディスクのA面(表面)
を記録面とした各種の評価結果を表1に示した。本フロ
ッピーディスクは、カールがほとんどなく平坦で、ヘッ
ドタッチ、耐久性ともに優れていることが確認された。 実施例2 基体の厚みを35μmとした他は、実施例1と同じとし
た。本フロッピーディスクのスティフネスを算出したと
ころ、1/k0 =1.84×10-11 [kgfmm]で
あった。
A side (front surface) of this phyloppy disk
Table 1 shows the results of various evaluations with the recording surface as a recording medium. It was confirmed that this floppy disk was flat with almost no curl and had excellent head touch and durability. Example 2 The same as Example 1 except that the thickness of the substrate was 35 μm. When the stiffness of this floppy disk was calculated, it was 1 / k 0 = 1.84 × 10 -11 [kgfmm].

【0052】このフロッピーディスクのA面を記録面と
した各種評価結果を表1に示した。本フロッピーディス
クは、カールがほとんどなく平坦で、ヘッドタッチ、耐
久性ともに非常に優れていることが確認された。 実施例3 基体の厚みを40μmとした他は、実施例1と同じとし
た。本フロッピーディスクのスティフネスを算出したと
ころ、1/k0 =2.62×10-11 [kgfmm]で
あった。
Table 1 shows the results of various evaluations with the side A of the floppy disk as the recording surface. It was confirmed that this floppy disk was flat with almost no curl and had excellent head touch and durability. Example 3 The same as Example 1 except that the thickness of the substrate was 40 μm. When the stiffness of this floppy disk was calculated, it was 1 / k 0 = 2.62 × 10 -11 [kgfmm].

【0053】このフロッピーディスクのA面を記録面と
したときの評価結果を表1に示した。本フロッピーディ
スクは、カールがほとんどなく平坦で、ヘッドタッチ、
耐久性ともに優れていることが確認された。 実施例4 基体の厚みを50μmとした他は、実施例1と同じとし
た。本フロッピーディスクのスティフネスを算出したと
ころ、1/k0 =4.78×10-11 [kgfmm]で
あった。
Table 1 shows the evaluation results when the surface A of this floppy disk was used as the recording surface. This floppy disk is flat with almost no curl, head touch,
It was confirmed that both durability was excellent. Example 4 The same as Example 1 except that the thickness of the substrate was 50 μm. When the stiffness of this floppy disk was calculated, it was 1 / k 0 = 4.78 × 10 -11 [kgfmm].

【0054】このフロッピーディスクのA面を記録面と
したときの評価結果を表1に示した。本フロッピーディ
スクは、カールがほとんどなく平坦で、ヘッドタッチが
多少悪く耐久性は目標スペックに対してギリギリであっ
た。 比較例1 基体の厚みを25μmとした他は、実施例1と同じとし
た。本フロッピーディスクのスティフネスを算出したと
ころ、1/k0 =0.77×10-11 であった。
Table 1 shows the evaluation results when the side A of this floppy disk was used as the recording surface. The floppy disk was flat with almost no curl, the head touch was a little bad, and the durability was close to the target spec. Comparative Example 1 The same as Example 1 except that the thickness of the substrate was 25 μm. When the stiffness of this floppy disk was calculated, it was 1 / k 0 = 0.77 × 10 -11 .

【0055】このフロッピーディスクのA面を記録面と
したときの評価結果を表1に示した。本フロッピーディ
スクは、カールがほとんどなく平坦であったが、ヘッド
タッチ、耐久性ともに不良であった。
Table 1 shows the evaluation results when the surface A of this floppy disk was used as the recording surface. This floppy disk was flat with almost no curl, but had poor head touch and durability.

【0056】[0056]

【表1】 [Table 1]

【0057】[0057]

【発明の効果】本発明の磁気記録媒体は、以上説明した
ように、スティフネス1/k0 [単位:kgfmm]を
特定の範囲としているため、良好なヘッドタッチが得ら
れ、走行が安定する。このため、本発明の磁気記録媒体
は、優れた耐久性を示す。
As described above, the magnetic recording medium of the present invention has a stiffness of 1 / k 0 [unit: kgfmm] within a specific range, so that a good head touch is obtained and the running is stabilized. Therefore, the magnetic recording medium of the present invention exhibits excellent durability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の磁気記録媒体の一例を示す断面図。FIG. 1 is a sectional view showing an example of a magnetic recording medium of the present invention.

【図2】本発明の磁気記録媒体の他の例を示す断面図。FIG. 2 is a sectional view showing another example of the magnetic recording medium of the present invention.

【図3】本発明の磁気記録媒体の他の例を示す断面図。FIG. 3 is a sectional view showing another example of the magnetic recording medium of the present invention.

【図4】本発明でいうスティフネスを説明するために2
層構造の薄板を曲げた状態を示した斜視図。
FIG. 4 is a diagram for explaining the stiffness referred to in the present invention.
The perspective view which showed the state which bent the thin plate of a layered structure.

【図5】基体の厚みとスティフネスの関係を示したグラ
フ。
FIG. 5 is a graph showing the relationship between substrate thickness and stiffness.

【図6】再生エンベロープ(ヘッドタッチの良否を判
断)を示した図。
FIG. 6 is a diagram showing a reproduction envelope (judging the quality of head touch).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基体 2,2′ 磁気記録層 3a,3a′ 無機保護層 3b,3b′ 潤滑層 5,5′ 下地層 1 Substrate 2, 2'Magnetic Recording Layer 3a, 3a 'Inorganic Protective Layer 3b, 3b' Lubricating Layer 5, 5'Underlayer

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基体の少なくとも一方の面に金属薄膜の
磁気記録層を有し、磁気記録媒体全体のスティフネス1
/k0 [単位:kgfmm]が 【数1】 であり、かつ形状がディスク状であることを特徴とする
磁気記録媒体。
1. A stiffness 1 of the entire magnetic recording medium having a magnetic recording layer of a metal thin film on at least one surface of a substrate.
/ K 0 [unit: kgfmm] is And a disk-shaped magnetic recording medium.
【請求項2】 前記スティフネス1/k0 [単位:kg
fmm]が 【数2】 1.2×10-11 ≦1/k0 ≦2.7×10-11 である請求項1に記載の磁気記録媒体。
2. The stiffness 1 / k 0 [unit: kg
The magnetic recording medium according to claim 1, wherein fmm] is 1.2 × 10 −11 ≦ 1 / k 0 ≦ 2.7 × 10 −11 .
【請求項3】 前記基体がポリイミドである請求項1ま
たは2に記載の磁気記録媒体。
3. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the substrate is polyimide.
【請求項4】 前記ポリイミド基体の磁気記録層側の表
面に微細な突起を形成し、突起高さがRmax ≦0.1μ
m、突起密度が104 個/mm2 以上である請求項3に
記載の磁気記録媒体。
4. A fine protrusion is formed on the surface of the polyimide substrate on the magnetic recording layer side, and the protrusion height is R max ≦ 0.1 μm.
The magnetic recording medium according to claim 3, wherein m and the protrusion density are 10 4 pieces / mm 2 or more.
【請求項5】 前記基体の片面に、前記磁気記録層を有
する請求項1または2または3または4に記載の磁気記
録媒体。
5. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording layer is provided on one surface of the substrate.
【請求項6】 前記基体の両面に、前記磁気記録層を有
する請求項1または2または3または4に記載の磁気記
録媒体。
6. The magnetic recording medium according to claim 1, 2 or 3 or 4, wherein the magnetic recording layer is provided on both surfaces of the substrate.
【請求項7】 前記磁気記録層がCoを主成分とする垂
直磁化膜である請求項5または6に記載の磁気記録媒
体。
7. The magnetic recording medium according to claim 5, wherein the magnetic recording layer is a perpendicular magnetization film containing Co as a main component.
【請求項8】 前記磁気記録層が8〜23重量%のCr
と、92−77重量%のCoとからなるCo−Cr垂直
磁化膜であることを特徴とする請求項7記載の磁気記録
媒体。
8. The magnetic recording layer comprises 8 to 23% by weight of Cr.
9. A magnetic recording medium according to claim 7, which is a Co—Cr perpendicular magnetization film made of Co and Cr of 92 to 77% by weight.
【請求項9】直径が50mm以上、200mm以下であ
る請求項1に記載の磁気記録媒体。
9. The magnetic recording medium according to claim 1, which has a diameter of 50 mm or more and 200 mm or less.
【請求項10】 前記基体が、厚み25〜50μmのポ
リイミドで、前記磁気記録層がCoを主成分とする垂直
磁化膜である請求項1または2または3または4または
5または6または9に記載の磁気記録媒体。
10. The substrate according to claim 1, wherein the substrate is 25 to 50 μm thick polyimide, and the magnetic recording layer is a perpendicular magnetization film containing Co as a main component. Magnetic recording medium.
【請求項11】 前記基体の厚みが30〜40μmであ
る請求項10に記載の磁気記録媒体。
11. The magnetic recording medium according to claim 10, wherein the substrate has a thickness of 30 to 40 μm.
【請求項12】 前記基体の両面に、前記基体側から順
にCo−Cr垂直磁化膜の磁気記録層と、SiO2 の保
護層と潤滑層を有する請求項6または7または8または
9または10または11に記載の磁気記録媒体。
12. A magnetic recording layer of a Co—Cr perpendicularly magnetized film, a protective layer of SiO 2 and a lubricating layer are provided on both surfaces of the substrate in order from the substrate side. 11. The magnetic recording medium according to item 11.
【請求項13】 ガラス転移点180℃以上の耐熱性の
高分子材料より成る直径50mm以上、厚み50μm以
下の円盤状の基体の両面に厚み0.1μm以上の金属薄
膜磁性層を有することを特徴とする磁気記録媒体。
13. A metal thin-film magnetic layer having a thickness of 0.1 μm or more on both sides of a disk-shaped substrate made of a heat-resistant polymer material having a glass transition point of 180 ° C. or more and having a diameter of 50 mm or more and a thickness of 50 μm or less. And a magnetic recording medium.
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